Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС
Рассмотрены особенности проектирование датчиков давления с первичным преобразователем на поверхностных акустических волнах для АЭС. Описаны структурная схема и конструкция датчика. Проводится анализ функциональной схемы датчика с точки зрения его метрологических характеристик. Сопоставляются результ...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70745 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко, Н.Г. Черняк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 58-62. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860257544752070656 |
|---|---|
| author | Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. Черняк, Н.Г. Николаенко, Ю.Е. |
| author_facet | Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. Черняк, Н.Г. Николаенко, Ю.Е. |
| citation_txt | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко, Н.Г. Черняк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 58-62. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрены особенности проектирование датчиков давления с первичным преобразователем на поверхностных акустических волнах для АЭС. Описаны структурная схема и конструкция датчика. Проводится анализ функциональной схемы датчика с точки зрения его метрологических характеристик. Сопоставляются результаты экспериментальных исследований характеристик датчиков с расчетными.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:50:47Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 2
58
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
09.10 2001 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Å. Á. ÏËÀÂÈÍÑÊÈÉ
(ÎÍÏÓ, ã. Îäåññà)
Ä. ô.-ì. í. ß. È. ËÅÏÈÕ, ê. ò. í. Â. Ê. ËÎÏÓØÅÍÊÎ,
ê. ò. í. Í. Ã. ×ÅÐÍßÊ, ê. ò. í. Þ. Å. ÍÈÊÎËÀÅÍÊÎ
Óêðàèíà, ã. Îäåññà, ÍÒÖ �Ôîíîí�;
ã. Êèåâ, ÍÈÈ ÏÌ "Ðèòì", Ìèíïðîìïîëèòèêè
E-mail: ndl_lepikh@gomail.com.ua
ÎÑÎÁÅÍÍÎÑÒÈ ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ
ÄÀÒ×ÈÊΠÄÀÂËÅÍÈß ÍÀ ÏÀ ÄËß ÀÝÑ
Ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü ïîñòðîåíèÿ
àêóñòîýëåêòðîííûõ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ
äëÿ ÀÝÑ, îñíîâàííûõ íà òåíçî÷óâñòâè-
òåëüíîñòè ñêîðîñòè ðàñïðîñòðàíåíèÿ
ïîâåðõíîñòíûõ àêóñòè÷åñêèõ âîëí.
Äàò÷èêè äàâëåíèÿ ÿâëÿþòñÿ îñíîâíûìè ýëåìåí-
òàìè àâòîìàòèçèðîâàííûõ ñèñòåì óïðàâëåíèÿ òåõíî-
ëîãè÷åñêèìè ïðîöåññàìè ÀÝÑ.
 øèðîêî ïðèìåíÿåìûõ íà ÀÝÑ Óêðàèíû äàò÷è-
êàõ äàâëåíèÿ òèïà «Ñàïôèð» ñðåäíåãî êëàññà òî÷íî-
ñòè â êà÷åñòâå ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà èñïîëüçó-
åòñÿ ñòðóêòóðà ÊÍÑ � êðåìíèé íà ñàïôèðå. Ïðîìûø-
ëåííàÿ òåõíîëîãèÿ ÊÍÑ â Óêðàèíå îòñóòñòâóåò, à åå
îñâîåíèå òðåáóåò áîëüøèõ êàïèòàëüíûõ çàòðàò, ÷òî â
óñëîâèÿõ ìåëêîñåðèéíîãî ïðîèçâîäñòâà íåâûãîäíî
(äëÿ ÀÝÑ íóæíû äàò÷èêè äàâëåíèÿ áîëüøîé íîìåíê-
ëàòóðû, íî â îòíîñèòåëüíî íåáîëüøèõ êîëè÷åñòâàõ).
Êðîìå òîãî, ñóùåñòâåííî âîçðîñëè òðåáîâàíèÿ ê äàò-
÷èêàì òàêîãî íàçíà÷åíèÿ ïî ìåòðîëîãè÷åñêèì õàðàê-
òåðèñòèêàì, íàäåæíîñòè, ïî èñïîëüçîâàíèþ âîçìîæ-
íîñòåé ìèêðîïðîöåññîðíîé òåõíèêè.
Âìåñòå ñ òåì â ïîñëåäíåå âðåìÿ ïîëó÷èëè ðàçâè-
òèå áîëåå ïåðñïåêòèâíûå ïðèíöèïû ïîñòðîåíèÿ äàò-
÷èêîâ, â èõ ÷èñëå àêóñòîýëåêòðîííûå íà ïîâåðõíîñò-
íûõ àêóñòè÷åñêèõ âîëíàõ (ÏÀÂ).
 íàñòîÿùåé ðàáîòå ïðåäñòàâëåíû ðåçóëüòàòû ïðî-
åêòèðîâàíèÿ äàò÷èêà äàâëåíèÿ (ÄÄ) æèäêîñòè è ãàçà
äëÿ ÀÝÑ íà îñíîâå èçìåðèòåëüíûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé
(ÈÏ) íà ÏÀÂ, äåéñòâèå êîòîðûõ îñíîâàíî, â ÷àñòíî-
ñòè, íà òåíçî÷óâñòâèòåëüíîñòè ñêîðîñòè ðàñïðîñòðà-
íåíèÿ ÏÀÂ [1, 2].
Ôóíêöèîíàëüíàÿ ñõåìà äèôôåðåíöèàëüíîãî àâ-
òîãåíåðàòîðíîãî ÄÄ íà ÏÀÂ ïðèâåäåíà íà
ðèñ. 1. Çäåñü Ó1, Ó2 � óñèëèòåëè ýëåêòðîííûå; ÑÌ
� ñìåñèòåëü ñèãíàëîâ; ÔÍ× � ôèëüòð íèæíèõ ÷àñ-
òîò, Ð � èçìåðÿåìîå äàâëåíèå.
ÄÄ ñòðîèòñÿ ïî ðàçîìêíóòîé ñõåìå, âêëþ÷àþ-
ùåé ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûå ïåðâè÷íûé è âòî-
ðè÷íûé ïðåîáðàçîâàòåëüíûå ýëåìåíòû (ÏÏÝ è ÂÏÝ).
ÏÏÝ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ïüåçîýëåêòðè÷åñêèé óïðó-
ãèé äåôîðìèðóåìûé ÷óâñòâèòåëüíûé ýëåìåíò (×Ý),
æåñòêî çàêðåïëåííûé ïî ïåðèìåòðó â îñíîâàíèè êîð-
ïóñà ÄÄ, íà âíåøíåé ïîâåðõíîñòè êîòîðîãî ðàñïî-
ëîæåíû âñòðå÷íî-øòûðåâûå ïðåîáðàçîâàòåëè
(ÂØÏ), îáðàçóþùèå ëèíèè çàäåðæêè (ËÇ) íà ÏÀÂ.
Ýòî äàåò âîçìîæíîñòü íåïîñðåäñòâåííîãî èçìåðå-
íèÿ äàâëåíèÿ.  êà÷åñòâå ïüåçîýëåêòðèêà ïðåèìó-
ùåñòâåííî èñïîëüçóåòñÿ ïüåçîýëåêòðè÷åñêèé êâàðö,
îáëàäàþùèé âûñîêîé òåìïåðàòóðíîé è âðåìåííîé ñòà-
áèëüíîñòüþ (ÒÊ× äëÿ ST-ñðåçà áëèçîê ê íóëþ) [3].
×Ý ÄÄ (ðèñ. 1) ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ïðîôèëèðî-
âàííóþ ìåìáðàíó 1 èç SiO2, âîñïðèíèìàþùóþ âíóò-
ðåííåé ïðèåìíîé ïîëîñòüþ 2 äàâëåíèå èçìåðÿåìîé
ñðåäû Ð, óðàâíîâåøèâàþùóþ åãî ñèëàìè óïðóãîñòè
è ðåäóöèðóþùóþ ýòî äàâëåíèå â íàïðÿæåííî-äåôîð-
ìèðîâàííîå ñîñòîÿíèå ε0
j (ð) õàðàêòåðíûõ ó÷àñòêîâ
âíåøíåé ïëîñêîé ïîâåðõíîñòè 3 ìåìáðàíû, íà êîòî-
ðîé ìåòîäàìè òîíêîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè ôîðìèðó-
þòñÿ âõîäíîé ÂØÏ1 è âûõîäíîé ÂØÏ2 ïðåîáðàçîâà-
òåëè äâóõ ËÇ � ËÇ1 è ËÇ2, ðàñïîëîæåííûõ â îáëà-
ñòÿõ, èñïûòûâàþùèõ äåôîðìàöèè ïðîòèâîïîëîæíî-
ãî çíàêà [4] (ðèñ. 2).
Ðèñ. 1. Ôóíêöèîíàëüíàÿ ñõåìà äàò÷èêà äàâëåíèÿ ñ ïåð-
âè÷íûì ïðåîáðàçîâàòåëåì íà ÏÀÂ:
1 � ïðîôèëèðîâàííàÿ ìåìáðàíà; 2 � ïðèåìíàÿ ïîëîñòü; 3 �
âíåøíÿÿ ïîâåðõíîñòü ìåìáðàíû
ÑÌ ÔÍ×
Ó1
Ó2
P
f2(P)
f1(P)
fΣ(P)
1
3
2
Ðèñ. 2. Ñõåìà ðàñïîëîæåíèÿ ËÇ íà ÏÀÂ íà ïîâåðõíîñòè
ïüåçîýëåêòðè÷åñêîãî çâóêîïðîâîäà-ìåìáðàíû
ËÇ1
ËÇ2
ÂØÏ2 ÂØÏ1
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 2
59
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ÂÏÝ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé àêóñòîýëåêòðîííûé äèô-
ôåðåíöèàëüíûé òåíçîïðåîáðàçîâàòåëü, ñîñòîÿùèé èç
äâóõ âûñîêîñòàáèëüíûõ ïåðåñòðàèâàåìûõ ÏÀÂ-àâòî-
ãåíåðàòîðîâ (ÏÀÂ-ÀÃ), ñìåñèòåëÿ (ÑÌ) è ôèëüòðà
íèæíèõ ÷àñòîò (ÔÍ×). Êàæäûé Àà âêëþ÷àåò â ñåáÿ
âûñîêî÷àñòîòíûé øèðîêîïîëîñíûé óñèëèòåëü, â öåïü
îáðàòíîé ñâÿçè êîòîðîãî âêëþ÷åí ÷àñòîòîçàäàþùèé
ýëåìåíò � ËÇ íà ÏÀÂ. Êàæäûé ïåðåñòðàèâàåìûé
ÏÀÂ-ÀÃ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îäíîìîäîâóþ êîëåáà-
òåëüíóþ ñèñòåìó, äîïóñêàþùóþ â îïðåäåëåííûõ ïðå-
äåëàõ íåïðåðûâíóþ óïðàâëÿåìóþ èçìåðÿåìûì âîç-
äåéñòâèåì ìîäóëÿöèþ ÷àñòîòû ÏÀÂ-êîëåáàíèé.
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ äèíàìè÷åñêîãî äèàïàçîíà èç-
ìåðåíèé ïðîàíàëèçèðóåì ðàáîòó ÏÀÂ-ÀÃ. Óñ-
ëîâèÿ ñóùåñòâîâàíèÿ àâòîêîëåáàíèé ÏÀÂ-ÀÃ êàê ëè-
íåéíîé ðåçîíàíñíîé ñèñòåìû îïðåäåëÿþòñÿ óðàâíå-
íèåì áàëàíñà ôàç
ϕΣ=ϕËÇ(ω)+ϕý(ω)=2πn, n∈Z (1)
è óðàâíåíèåì áàëàíñà àìïëèòóä
AΣ=Aó(ω)A1(ω)A2(ω)≥1, (2)
Èç (1) îïðåäåëÿþòñÿ ÷àñòîòû, íà êîòî-
ðûõ âîçìîæíà ãåíåðàöèÿ n-é ìîäû ÏÀÂ:
fn=(n�ϕý/2π)τ�1. (3)
Cîãëàñíî (3), âîçìîæíûå ÷àñòîòû ãå-
íåðàöèè fn îáðàçóþò ãðåáåí÷àòûé äèñêðåò-
íûé ñïåêòð (ðèñ. 3) ñ ïåðèîäè÷åñêèìè èí-
òåðâàëàìè δf ≈τ�1 ïðè ϕËÇ(ω)>>ϕý(ω).
Óçêîïîëîñíûé ÂØÏ1 âîçáóæäàåò, à
ÂØÏ2 äåòåêòèðóåò íåïðåðûâíûé ÷àñòîò-
íûé ñïåêòð ÏÀÂ â ïðåäåëàõ ïîëîñ ïðî-
ïóñêàíèÿ À×Õ À1(f) è À2(f), êîòîðûå äëÿ
íåàïîäèçèðîâàííûõ ýêâèäèñòàíòíûõ ïðå-
îáðàçîâàòåëåé àïïðîêñèìèðóþòñÿ ôóíê-
öèåé
1,2, ,
sin
)( == i
X
X
fA
i
i
i (4)
Èíòåðâàëû ìåæäó ëîêàëüíûìè ìèíèìóìàìè ãëàâ-
íûõ ëåïåñòêîâ À³(f) cîñòàâëÿþò ∆³=2fANi
�1. Òèïîâàÿ
À×Õ ËÇ, îïðåäåëÿåìàÿ âûðàæåíèåì (2), à òàêæå À×Õ
è Ô×Õ ÂØÏ1 è ÂØÏ2 ïðèâåäåíû íà ðèñ. 3.
Ïðè ñîîòâåòñòâóþùåì ðàñ÷åòå òîïîëîãèè ËÇ,
îáåñïå÷èâàþùåì âûïîëíåíèå óñëîâèÿ
δf≈0,5∆1, (5)
â ðåçîíàíñíîé ñèñòåìå óñòàíàâëèâàåòñÿ óñòîé÷èâûé
îäíîìîäîâûé (n-ÿ ìîäà) ðåæèì êîëåáàíèé íà ÷àñòî-
òå fn
0 (ðèñ. 3), ÷òî íåîáõîäèìî äëÿ óñòîé÷èâîé ðà-
áîòû ÏÀÂ-ÀÃ â ñîñòàâå òåíçîïðåîáðàçîâàòåëÿ (ÒÏ).
Âàæíûì ñâîéñòâîì ÏÀÂ-ÀÃ äëÿ ïîñòðîåíèÿ ÒÏ
ÿâëÿåòñÿ òî, ÷òî À×Õ è Ô×Õ ÷àñòîòîçàäàþùåãî ýëå-
ìåíòà ìîæíî èçìåíÿòü íåçàâèñèìî äðóã îò äðóãà, ïî-
ñêîëüêó ïîëîñà ïðîïóñêàíèÿ À×Õ ∆1 îïðåäåëÿåòñÿ â
ïåðâîì ïðèáëèæåíèè ÷èñëîì ïàð øòûðåé ÂØÏ, à êðó-
òèçíà Ô×Õ � âðåìåíåì àêóñòè÷åñêîé çàäåðæêè ñèã-
íàëà
dϕËÇ(f)/df=2πτ. (6)
Òàêèì îáðàçîì, â îäíîìîäîâîì ðåæèìå íà ÷àñ-
òîòå fn â ïðåäåëàõ ïîëîñû ïðîïóñêàíèÿ ëèíåéíîé ðå-
çîíàíñíîé ñèñòåìû ÀΣ(f)≥1 âîçìîæíà íåïðåðûâíàÿ
óïðàâëÿåìàÿ âíåøíèì èçìåðÿåìûì âîçäåéñòâèåì (äå-
ôîðìàöèåé çâóêîïðîâîäà) ìîäóëÿöèÿ ÷àñòîòû ãåíå-
ðàöèè ÏÀÂ-ÀÃ ñîãëàñíî (3) è (6) ïóòåì èçìåíåíèÿ τ.
Äåâèàöèþ ÷àñòîòû n-é ìîäû êîëåáàíèé â ïðåä-
ïîëîæåíèè ïðèáëèæåííîãî ðàâåíñòâà ïîëíûõ
ïðèðàùåíèé ïàðàìåòðîâ â (3) èõ äèôôåðåíöèàëàì
ìîæíî ïðåäñòàâèòü â âèäå [5]
∆fn≈dfn/dτ∆τ+dfn/dϕý∆ ∆τ/τ�∆ϕý, (7)
ϕi(f), ðàä
π
�π
,
)(A
)(A
Af
f
i
i äÁ
�10
�20
ð2
)(– fxϕ
n�1
n
n+1
α0=arctgτ0
6
5
3
4
2
≈ ∆fn(∆τ)
α0
ϕý(f)
2∆fn
<3> ≈3 äÁ
fn fÀ
,
)(A
)(A
A3Ë f
fΣ äÁ
0
�7
δf
0,5∆1 0,5∆2
Ðèñ. 3. À×Õ è Ô×Õ ÂØÏ, ËÇ è ïåðåñòðàèâàåìîãî ÏÀÂ-ÀÃ
(ïðè N1=3N2, L0=N1λ0):
1 � A1(f)≈AΣ(f); 2 � A2(f); 3 � ϕ1(f); 4 � ϕ2(f); 5 � ϕΣ(f) ïðè ϕý≈const, τ=τ0;
6 � ϕΣ(f)ïðè τ>τ0
f
f
f
ωτ � ôàçîâûé íàáåã (Ô×Õ) â ËÇ íà òåêó-
ùåé ÷àñòîòå ω=2πf;
âðåìÿ àêóñòè÷åñêîé çàäåðæêè ÏÀÂ-ñèãíà-
ëà â ËÇ;
àêóñòè÷åñêàÿ äëèíà ËÇ (ðàññòîÿíèå ìåæ-
äó ãåîìåòðè÷åñêèìè öåíòðàìè ÂØÏ1 è
ÂØÏ2);
ôàçîâàÿ ñêîðîñòü ÏÀÂ;
ýëåêòðè÷åñêèé ôàçîâûé ñäâèã â öåïÿõ óñè-
ëèòåëÿ;
àìïëèòóäíî-÷àñòîòíûå õàðàêòåðèñòèêè
(À×Õ) óñèëèòåëÿ, ÂØÏ1 è
ÂØÏ2, ñîîòâåòñòâåííî.
ãäå ϕËÇ(ω) =
τ=LV�1 �
L �
V �
ϕý(ω) �
Aó, A1, A2 �
ãäå Xi=
N³ �
fA=V0λ0
�1 �
λ0 �
πN³(f�fA)fA
�1;
÷èñëî ïàð øòûðåé â ñîîòâåò-
ñòâóþùèõ ÂØÏ;
÷àñòîòà àêóñòè÷åñêîãî ñèíõ-
ðîíèçìà ïðåîáðàçîâàòåëåé;
äëèíà ÏÀÂ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 2
60
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Èç (7) îòíîñèòåëüíàÿ äåâèàöèÿ ÷àñòîòû ãåíåðàöèè
n-é ìîäû îïðåäåëÿåòñÿ èç âûðàæåíèé
∆fn/fn
0≈�∆τ/τ0�∆ϕý/2πn (8)
èëè, ó÷èòûâàÿ, ÷òî τ=LV�1,
∆fn/fn
0≈∆V/V0�∆L/L0�∆ϕý/2πn. (9)
Îïðåäåëèì ìàêñèìàëüíî âîçìîæíóþ ïîëåçíóþ
äåâèàöèþ ÷àñòîòû ∆f max ÏÀÂ-ÀÃ, ïðè êîòîðîé ñî-
õðàíÿåòñÿ îäíîìîäîâûé ðåæèì ðàáîòû. Èç âûðàæå-
íèÿ (3) âèäíî, ÷òî ∆f max îïðåäåëÿåòñÿ ìàêñèìàëü-
íûì ïîëåçíûì èçìåíåíèåì âðåìåíè àêóñòè÷åñêîé çà-
äåðæêè ∆τmax. Äëÿ âû÷èñëåíèÿ ∆τmax ðàññìîòðèì ïå-
ðåõîä ñ n-é íà (n+1)-þ ìîäó êîëåáàíèé.
Ïóñòü â ËÇ âðåìÿ çàäåðæêè ñèãíàëà ðàâíî.τ0. Ñî-
ãëàñíî ðèñ. 3, åìó ñîîòâåòñòâóåò ÷àñòîòà ãåíåðàöèè
f0. Â ðåçóëüòàòå äåôîðìàöèè âðåìÿ çàäåðæêè èçìå-
íèëîñü íà âåëè÷èíó ∆τ: τ0+∆τ; ñîîòâåòñòâåííî ñìå-
ñòèëàñü ÷àñòîòà ãåíåðàöèè n-é ìîäû è ñòàëà ðàâíîé
fn=f0�Õ1 (ðèñ. 4).
Èç ãðàôèêà ðèñ. 4 âèäíî, ÷òî äëÿ òî÷åê À è  âðå-
ìÿ àêóñòè÷åñêîé çàäåðæêè îäèíàêîâî: τÀ=τÂ. Ïðè
ýòîì τÀ è τB îïðåäåëÿþòñÿ èç (3) âûðàæåíèÿìè
.
1
ô,ô
20
B
10
A Xf
n
Xf
n
+
+=
−
=
Òîãäà ìàêñèìàëüíî âîçìîæíîå âðåìÿ çàäåðæêè,
ïðè êîòîðîì ïðîèçîéäåò ïåðåõîä ñ n-é íà (n+1)-þ
ìîäó êîëåáàíèé, îïðåäåëèòñÿ êàê
,
1
ô
2010
max
Xf
n
Xf
n
+
+=
−
= (10)
îòêóäà
;
ôôôô
–
max
00
max01
∆+
−== nnn
fX
.
ô
–
ôô
1
–
ô
1
0
max
0
0max2
nn
f
n
X
∆+
+=+=
Ïåðåõîä ñ n-é íà (n+1)-þ ìîäó âîçìîæåí ïðè óñ-
ëîâèè Õ1=Õ2, èç êîòîðîãî ñëåäóåò:
0
max
0
max
00 ôôô
1
ôôô
nnnn −
∆+
+=
∆+
−
èëè
n2
ô
ô 0max =∆ � (11)
ìàêñèìàëüíî âîçìîæíîå èçìåíåíèå âðåìåíè çàäåð-
æêè ñèãíàëà, â ïðåäåëàõ êîòîðîãî íå ïðîèñõîäèò ïå-
ðåõîä ñ n-é íà (n+1)-þ ìîäó.
Èç (11) è îñíîâíîãî óðàâíåíèÿ ÏÀÂ-ÀÃ
ô
ô
–
2
0
∆=∆ n
fn
äëÿ òåîðåòè÷åñêè âîçìîæíîé ìàêñèìàëüíîé äåâèà-
öèè ÷àñòîòû ãåíåðàöèè çàïèøåì:
.ô5,0
2ô
ô
ô
– 1–
0
0
2
0
max
2
0
max −=τ−=∆=∆
n
nn
fn (12)
Òàêèì îáðàçîì, ïåðåñòðîéêà ÷àñòîòû â ïðåäåëàõ
n-é ìîäû âîçìîæíà â äèàïàçîíå
f0±∆fn
max=f0m0,5τ0
�1. (13)
Ñ ó÷åòîì (4) è ìàêñèìàëüíîé äåâèàöèè ÷àñòîòû
óðîâåíü À×Õ ËÇ ïî îòíîøåíèþ ê ìàêñèìóìó ðàâåí:
4
ð5,0
ð5,0sin
lg20
ôð
ôðsin(
lg20
A
A
0A
A
A
0A
≈
=
−
−
f
ff
f
f
ff
f
äÁ.
Øèðèíà ÷àñòîòíîãî ñïåêòðà A1(f) íà óðîâíå 3 äÁ ðàâ-
íà 0,885 τ0
�1, îòêóäà äëÿ ïåðåñòðàèâàåìîãî ÏÀÂ-AÃ ïðè
îïòèìàëüíîì ïî êðèòåðèþ óñòîé÷èâîñòè îäíîìîäî-
âîãî ðåæèìà çàïàñå ïî óñèëåíèþ â 3 äÁ ïðèìåì
∆fn
màõ≈fn
<ç>= m0,442τ0
�1 (14)
èëè, â îòíîñèòåëüíûõ åäèíèöàõ (fn
0≈fA):
%.100
442,0442,0
ô
442,0
1
A
00
00
3
N
f
N
fff
f
t
nnn
n mmm ==≈∆ ><
(15)
Ïðè N1=180�220 ïîëó÷àåì ∆fn
<3>/fn
0≈+0,245� 0,2%.
Âûñîêàÿ íåñóùàÿ ÷àñòîòà ÏÀÂ-Àà fn
0≈108 Ãö
îáåñïå÷èâàåò â ôàçîâûõ ïðåîáðàçîâàòåëÿõ íà ïåðå-
ñòðàèâàåìûõ Àà äî íåñêîëüêèõ ñîò êÃö ïîëåçíîé äå-
âèàöèè ÷àñòîòû, à ðåàëüíî ïîëó÷àåìàÿ êðàòêîâðåìåí-
íàÿ íåñòàáèëüíîñòü ÷àñòîòû ãåíåðàöèè (∆fý/fn
0) íà
óðîâíå 10�8 ïîçâîëÿåò ñîçäàâàòü èçìåðèòåëüíûå ïðå-
îáðàçîâàòåëè ñ âûñîêîé ðàçðåøàþùåé ñïîñîáíîñ-
òüþ (÷óâñòâèòåëüíîñòüþ) â äèíàìè÷åñêîì äèàïàçîíå
îêîëî 100 äÁ. Ïðî÷íîñòíûå ñâîéñòâà ìåìáðàíû è êî-
ýôôèöèåíò äåôîðìàöèîííîé ÷óâñòâèòåëüíîñòè ôàçî-
âîé ñêîðîñòè ÏÀÂ ïîçâîëÿåò ïðîèçâîäèòü ïåðåñòðîé-
êó ÏÀÂ-Àà â óêàçàííîì äèíàìè÷åñêîì äèàïàçîíå.
Íàìè óñòàíîâëåíà ñóùåñòâåííàÿ çàâèñèìîñòü
÷óâñòâèòåëüíîñòè è àääèòèâíîé òåìïåðàòóð-
íîé ïîãðåøíîñòè äèôôåðåíöèàëüíîãî èçìåðèòåëüíî-
ãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ äàâëåíèÿ (ÈÏÄ) ñ äâóìÿ àêóñòî-
ýëåêòðîííûìè òåíçîïðåîáðàçîâàòåëÿìè îò èõ ðàñïî-
ëîæåíèÿ íà ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû (ðèñ. 2).
Ñîãëàñíî [5], îòíîñèòåëüíîå èçìåíåíèå ÷àñòîòû ãå-
íåðàöèè êàæäîãî ÏÀÂ-ÀÃ (i =1,2) èìååò âèä
∆fi/f0i≈χεγpi∆P+(Kò�γòi)∆T, (16)
Ðèñ. 4. Ôàçî÷àñòîòíàÿ õàðàêòåðèñòèêà ËÇ
α α0=arctgτ0
X1 X2
α=arctg(τ0+∆τ)
π
ϕ
2
3Ë
n
n+1
A
B
f0 f
nτ0
�2≈�V0N1
�1λ0
�2
� ÷óâñòâèòåëüíîñòü
ÏÀÂ-ÀÃ ê èçìåíåíèþ τ;
�(2πτ0)�1≈�V0(2πN1λ0)�1 � ÷óâñòâèòåëü-
íîñòü ÏÀÂ-ÀÃ ê íåñòàáèëüíîñòè ϕý.
ãäå dfn/dτ =
dfn/dϕý =
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 2
61
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ôóíêöèÿ ïðåîáðàçîâàíèÿ äèôôåðåíöèàëüíîãî
ÈÏÄ ìîæåò áûòü ïðåäñòàâëåíà ñëåäóþùèì îáðàçîì:
fΣ=f0Σ+Sð∆P+Sò∆T, (17)
Sð=χε(f01γp1�f02γp2);
Sò=f0ΣKò�f01γò1+f02γò2. (18)
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ âåëè÷èí γpi, γòi íåîáõîäèìî ïî-
ëó÷èòü âûðàæåíèå äëÿ ñðåäíåé äåôîðìàöèè ËÇ. Ðàñ-
ñìîòðèì äåôîðìàöèþ ó÷àñòêà ìåìáðàíû, ïðåäñòàâ-
ëÿþùóþ óçêóþ ïîëîñêó äëèíîé L0, ñèììåòðè÷íî ðàñ-
ïîëîæåííóþ îòíîñèòåëüíî îñè ó (ðèñ. 5).
Ïðåíåáðåãàÿ ïîãðåøíîñòüþ, âûçâàííîé èñêðèâëå-
íèåì ðàññìàòðèâàåìîãî ó÷àñòêà, îòíîñèòåëüíîå óä-
ëèíåíèå ïîëîñêè âûðàçèì â âèäå èíòåãðàëà:
( ) ( )
+
++=∆ ∫∫
00 5,0
0
5,0–22
00
5,0
0
5,0–22
0
1–
00 åå2/
L
t
L
r dxxyydxxyxLLL . (19)
Çäåñü εr è εt� ðàäèàëüíûå è îêðóæíûå ñîñòàâëÿ-
þùèå äåôîðìàöèè ïîâåðõíîñòè, êîòîðûå äëÿ ìåìá-
ðàíû áîëüøîé òîëùèíû èìåþò âèä [6, c. 538]
ε
r
=A(R2–3r2)+…α∆Τ; ε
t
=A(R2–r2)+…α∆Τ;
Α=3(1–ν2)(8h2E)–1∆P; r2=y
0
2+x2,
Îáîçíà÷èâ y0=δ0R(0≤δ0≤1), L0=δ1R, h=δ2R, ïîñëå
èíòåãðèðîâàíèÿ íàéäåì:
òòp ã̂2 ã;ã̂Sã áp == , (20)
ãäå S=3(1�ν2)/4δ2
2E;
( ) ( )
+
−++−= − 1
ä
ä25,0ää5,0
lnä5,01ääã̂
0
5,02
1
2
002
00
1
1p
( ) ( )
−−+++ 01
2
1
2
0
5,02
1
2
0 ää25,0ä25,0ä1ä25,0ä ;
( ) ( ) . ä25,0ä
ä
ä25,0ää5,0
lnääã̂
5,02
1
2
0
0
5,02
1
2
01
0
1
1ò
++++= −
e
Âåëè÷èíû pã̂ è òã̂ îïðåäåëÿþòñÿ òîëüêî ðàñïîëî-
æåíèåì ËÇ íà ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû.
Ãðàôèêè çàâèñèìîñòè γp(δ0) è γò(δ0) äëÿ ðàçëè÷-
íûõ çíà÷åíèé δ1 ïîêàçàíû íà ðèñ. 6.
Àíàëèç ãðàôèêîâ è âûðàæåíèé (18) ïîçâîëÿåò ñäå-
ëàòü íåêîòîðûå êà÷åñòâåííûå âûâîäû:
� äëÿ îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé ÷óâñòâèòåëüíîñòè
ÈÏÄ íåîáõîäèìî âûïîëíåíèå óñëîâèÿ γð1≈�γð2, ÷òî
âîçìîæíî ïðè ðàñïîëîæåíèè ÒÏ1 â öåíòðàëüíîé, à
ÒÏ2 � â ïåðèôåðèéíîé (δ0≥0,75) îáëàñòÿõ ïîâåðõ-
íîñòè ìåìáðàíû, ïðè ýòîì áîëüøàÿ êðóòèçíà çàâèñè-
ìîñòè pã̂ â ïåðèôåðèéíîé îáëàñòè ñâèäåòåëüñòâóåò î
áîëåå âûñîêîé òåíçî÷óâñòâèòåëüíîñòè ÒÏ2 ïî ñðàâ-
íåíèþ ñ ÒÏ1;
� íàèìåíüøåé àääèòèâíîé òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè ÈÏÄ ñîîòâåòñòâóåò óñëîâèå
( ) ,ã̂5,0ã̂ 1
01ò202
1
0ò1
−− +=
∑
ffÊÒáf (21)
êîòîðîå ìîæåò áûòü îáåñïå÷åíî âûáîðîì ïàðàìåòðà
δ0
ÒÏ1 ÒÏ1 áåç ñóùåñòâåííîãî ñíèæåíèÿ åãî òåíçî-
Ðèñ. 5. Ê îïðåäåëåíèþ îòíîñèòåëüíûõ äåôîðìàöèîí-
íûõ (γpi) è òåìïåðàòóðíûõ êîýôôèöèåíòîâ àêóñòè÷åñ-
êîé äëèíû ËÇ
y
x
x
L0
y 0 r
εr
ε t
ðàäèóñ è òîëùèíà ìåìáðàíû;
òåìïåðàòóðíûé êîýôôèöèåíò ëèíåéíîãî
ðàñøèðåíèÿ ìàòåðèàëà.
ãäå R è r �
α �
à) pγ̂
0,6
0,3
0
�0,3
�0,6
1
2
0,01 0,03 0,05 0,07 0,1 0,3 0,5 0,7 δ0
Ðèñ. 6. Çàâèñèìîñòü îòíîñèòåëüíûõ äåôîðìàöèîííûõ (à)
è òåìïåðàòóðíûõ (á) êîýôôèöèåíòîâ àêóñòè÷åñêîé äëè-
íû ËÇ îò ïîëîæåíèÿ íà ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû:
1 � δ1=0,5; 2 � δ1=0,9
á) òã̂
0,67
0,64
0,61
0,58
0,55
1
0,01 0,03 0,05 0,07 0,1 0,3 0,5 0,7 δ0
2
ãäå χε =
γpi =
γòi =
Êε, Kò �
Êε(1�2ν)�1;
ε(∆P)∆P�1 �îòíîñèòåëüíûé äåôîðìàöèîí-
íûé êîýôôèöèåíò àêóñòè÷åñêîé äëèíû ËÇ;
ε(∆T)∆T�1 �îòíîñèòåëüíûé òåìïåðàòóðíûé
êîýôôèöèåíò àêóñòè÷åñêîé äëèíû ËÇ;
êîýôôèöèåíòû äåôîðìàöèîííîé è òåìïåðà-
òóðíîé ÷óâñòâèòåëüíîñòè ôàçîâîé ñêîðîñ-
òè ÏÀÂ, ñîîòâåòñòâåííî.
f01�f02;
ñîîòâåòñòâåííî âûõîäíàÿ ÷àñòîòà ÈÏÄ è ÷àñ-
òîòû ãåíåðàöèè ÒÏ1 è ÒÏ2 ïðè ∆P=0;
÷óâñòâèòåëüíîñòü è óäåëüíàÿ àääèòèâíàÿ òåì-
ïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü ÈÏÄ, îïðåäåëÿåìûå
èç ñëåäóþùèõ âûðàæåíèé:
ãäå f0Σ=
f01, f02 �
Sp, Sò �
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 2
62
ÄÀÒ×ÈÊÈ
÷óâñòâèòåëüíîñòè âñëåäñòâèå ìàëîé êðóòèçíû çàâè-
ñèìîñòè pã̂ â îáëàñòè δ0<0,05.
Òàêèì îáðàçîì, ìîæíî ïðåäëîæèòü ñëåäóþùóþ
ñõåìó âûáîðà ïî ãðàôèêàì ðèñ. 6 âàðèàíòà ðàñïîëî-
æåíèÿ ÒÏ1 è ÒÏ2 íà ïîâåðõíîñòè ìåìáðàííîãî ×Ý è
ðàñ÷åòà ÷óâñòâèòåëüíîñòè ÈÏÄ:
à) çàäàâàÿ âåëè÷èíû δ1 è δ0
ÒÏ2=0,5(4�δ1
2)0,5�
�0,5WR�1 (ãäå W � àïåðòóðà ËÇ), îïðåäåëèòü ïî
ðèñ. 6, á çíà÷åíèÿ ò2ã̂ ;
á) íàéòè çíà÷åíèå δ0
ÒÏ1, óäîâëåòâîðÿþùåå óñëî-
âèþ (21);
â) äëÿ çíà÷åíèé δ0
ÒÏ1è δ0
ÒÏ2
ïî ðèñ. 6, à îïðåäåëèòü
çíà÷åíèå 1ã̂ p è 2ã̂ p ;
ã) ïî ôîðìóëàì (17) è (19) îöåíèòü ÷óâñòâèòåëü-
íîñòü ÈÏÄ.
Ñ öåëüþ ýêñïåðèìåíòàëüíîé ïðîâåðêè ïðåäëà-
ãàåìîé ñõåìû ðàñ÷åòà áûëè èçãîòîâëåíû îá-
ðàçöû ÄÄ ñ ÈÏÄ äâóõ òèïîâ ñ ×Ý èç ïüåçîýëåêòðè-
÷åñêîãî êâàðöà ST-ñðåçà, èìåþùèå äèàïàçîí èçìå-
ðåíèÿ 0 � 1,6·102 êÏà.
Êîíñòðóêòèâíî ÄÄ íà ÏÀÂ ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé
(ðèñ. 7) ãåðìåòè÷íûé êîðïóñ èç ñòàëè, ðàçäåëåííûé
íà äâå ÷àñòè âíóòðåííåé ïîëîñòüþ.  îäíîé èç íèõ
ðàçìåùåí ÷óâñòâèòåëüíûé ÏÀÂ-ýëåìåíò 1, â äðóãîé
� ýëåêòðîííàÿ ÷àñòü (Ó1,Ó2, ÑÌ, ÔÍ×). Ýëåêòðîí-
íàÿ ÷àñòü âêëþ÷àåò â ñåáÿ îñíîâíîé èçìåðèòåëüíûé
êàíàë (ÎÊ) è òåìïåðàòóðíûé êàíàë (ÒÊ), âûïîëíåí-
íûé â âèäå ÃÈÑ, ñîäåðæàùåé äâå ìèêðîñõåìû äâóõ
Â×-óñèëèòåëåé 8, ìèêðîñõåìó ñìåñèòåëÿ 9, ìèêðî-
ñõåìó âûõîäíîãî êàñêàäà 10 è ìèêðîñõåìó ÒÊ 11.
Êàæäàÿ ìèêðîñõåìà Â×-óñèëèòåëÿ ïîìåùåíà â ìå-
òàëëîñòåêëÿííûé êîðïóñ. Ìèêðîñõåìû óñòàíîâëåíû
íà êîììóòàöèîííûå ïëàòû 12, êîòîðûå çàêðåïëÿþòñÿ
íà ñòîéêàõ 13 øïèëüêàìè 14. Ê êîðïóñó ñî ñòîðîíû
ÏÏÝ ïðèâàðèâàåòñÿ ñòàíäàðòíûé øòóöåð 3. Ñî ñòî-
ðîíû ÂÏÝ êîðïóñ çàêðûâàåòñÿ êîíòàêòíîé êîëîäêîé
4, êîòîðàÿ ïî ñïåöèàëüíî ñôîðìèðîâàííûì êðîìêàì
ñâàðèâàåòñÿ ñ îñíîâàíèåì. Â êîëîäêó ââåäåíû çîëî-
Ðèñ. 7. Êîíñòðóêöèÿ
äàò÷èêà
16
15
12
10
5
7
1
2
3
11
14
13
9
8
6
4
òûå ïðîâîäíèêè ñ ËÇ íà ÏÀÂ. Â íåå æå ââàðèâàåòñÿ
êðûøêà 6. Íà ðèñóíêå: 2 � îñíîâàíèå êîðïóñà; 5 �
ïðîâîä ïåðåäà÷è ñèãíàëà îò ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà
ê ýëåêòðîííîé ÷àñòè; 7 � êðûøêà êâàðöåâàÿ çàùèò-
íàÿ; 15 � êðûøêà êîðïóñà; 16 � ìåòàëëîñòåêëÿí-
íûé ðàçúåì.
ÈÏÄ èìåëè ðÿä îáùèõ êîíñòðóêòèâíûõ ïàðàìå-
òðîâ (f0i≈8,82·107 Ãö; f0Σ≈1,83·105 Ãö; δ0
ÒÏ2 = 0,820;
δ1=0,649; δ2=0,488) è îòëè÷àëèñü ðàñïîëîæåíèåì
ÒÏ1 â öåíòðàëüíîé îáëàñòè ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû
δ0
ÒÏ1=0 â ÈÏÄ òèïà 1 è δ0
ÒÏ2= 0,027 â ÈÏÄ òèïà 2.
Èñïûòàíèÿ ÄÄ ïðîâîäèëèñü íà ñòåíäå, îñíàùåí-
íîì çàäàò÷èêîì äàâëåíèÿ ÌÏÀ-15 è òåðìîêàìåðîé
ÌÑ-81 â òåìïåðàòóðíîì äèàïàçîíå ±80°Ñ.
Êðàòêîâðåìåííàÿ íåñòàáèëüíîñòü âûõîäíîé ÷àñòî-
òû ÈÏÄ íå ïðåâûñèëà 10�5 çà 1,0 ìèí, ÷òî ïîçâîëèëî
ôèêñèðîâàòü èçìåíåíèå äàâëåíèÿ â 2·10�3%. Èçìå-
ðåííûå ÷óâñòâèòåëüíîñòè Sð îáîèõ ÈÏÄ ñîñòàâèëè
5,95·102 Ãö·êÏà�1, à èõ óäåëüíûå àääèòèâíûå òåìïå-
ðàòóðíûå ïîãðåøíîñòè Sò íå ïðåâûñèëè ñîîòâåòñòâåí-
íî 25 Ãö·°Ñ�1 â ÈÏÄ òèïà 1 è 8 Ãö·°Ñ�1 â ÈÏÄ òèïà 2.
Ïðè ýòîì ïðåäâàðèòåëüíî ðàññ÷èòàííûå ïî ïîëó÷åí-
íûì çàâèñèìîñòÿì çíà÷åíèÿ Sp è Sò ñîîòâåòñòâåííî
ñîñòàâèëè 6,09·102 Ãö·êÏà�1 è 16 Ãö·°Ñ�1 äëÿ òèïà 1,
6,1·102 Ãö·êÏà è 0 Ãö·°Ñ�1 äëÿ ÈÏÄ òèïà 2.
Ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ äå-
ìîíñòðèðóþò õîðîøåå ñîâïàäåíèå ðàñ÷åòíûõ è ýêñ-
ïåðèìåíòàëüíûõ äàííûõ.
***
Òàêèì îáðàçîì, ïîëó÷åííûå àíàëèòè÷åñêèå âûðà-
æåíèÿ è ãðàôèêè ïîçâîëÿþò ïðè ïðîåêòèðîâàíèè äèô-
ôåðåíöèàëüíîãî ÈÏÄ íà ÏÀÂ ñ ïîãðåøíîñòüþ äî 5%
îöåíèòü åãî ÷óâñòâèòåëüíîñòü è îáåñïå÷èòü ïðèâåäåí-
íóþ ê äèàïàçîíó èçìåðåíèÿ àääèòèâíóþ òåìïåðàòóð-
íóþ ïîãðåøíîñòü íå áîëåå 10�2 %·°Ñ�1.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ëåïèõ ß. È. Äàò÷èêè ìåõàíè÷åñêèõ âåëè÷èí íà ïî-
âåðõíîñòíûõ àêóñòè÷åñêèõ âîëíàõ // 35 Internat. wissen-
shaft. kollogvium technische hoshschule. Ilmenau, DDR.�
1990. Vortrogsreine. D. 9.� S. 80�82.
2. Ãóëÿåâ Þ. Â., Êîëåøêî Â. Ì., Ìåøêîâ Þ. Â. Òåíçî-
ýôôåêò â ñòðóêòóðàõ íà ÏÀÂ ñî çâóêîâîäîì èç ìîíîêðè-
ñòàëëè÷åñêîãî êâàðöà // Ðàäèîòåõíèêà è ýëåêòðîíèêà.�
1988.� Ò. 33, ¹ 11.� Ñ. 2448�2451.
3. Lepikh Ya. I. Strein effect in surface acoustic wave ele-
ments with a piezoelectric acoustic line sensours based on this
effect // Semicond. Phós. Quart. Electron.� 2000.�Vol. 3,
N 1.� Ð. 91�93.
4. Ëîïóøåíêî Â. Ê., Òåíòþê Ñ. Â., ×åðíÿê Í. Ã. Ðàñïî-
ëîæåíèå ÏÀÂ-ñòðóêòóð íà ìåìáðàííîì ÷óâñòâèòåëüíîì
ýëåìåíòå äàò÷èêà äàâëåíèÿ // Ìàò-ëû êîíô. «Àêóñòî-
ýëåêòðîííûå óñòðîéñòâà îáðàáîòêè èíôîðìàöèè íà
ÏÀ».� Ìîñêâà, 1990.� Ñ. 330�331.
5. Ïàâëîâñêèé Ì. À., Ëîïóøåíêî Â. Ê., Êîíäðàòåíêî
Í. Ã. Äåôîðìàöèîíûå, òåìïåðàòóðíûå è ãèðîñêîïè÷åñ-
êèå ýôôåêòû â àâòîãåíåðàòîðàõ ïî ïîâåðõíîñòíûì àêóñ-
òè÷åñêèì âîëíàì // Ìåõàíèêà ãèðîñêîïè÷åñêèõ ñèñòåì.
� 1990.� Âûï. 9.� Ñ. 50�56.
6. Áèðãåð È.À., Ìàâëþòîâ Ð. Ð. Ñîïðîòèâëåíèå ìàòå-
ðèàëîâ.� Ì.: Íàóêà, 1986.
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70745 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:50:47Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. Черняк, Н.Г. Николаенко, Ю.Е. 2014-11-11T20:05:45Z 2014-11-11T20:05:45Z 2002 Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко, Н.Г. Черняк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 2. — С. 58-62. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70745 681.586.326 Рассмотрены особенности проектирование датчиков давления с первичным преобразователем на поверхностных акустических волнах для АЭС. Описаны структурная схема и конструкция датчика. Проводится анализ функциональной схемы датчика с точки зрения его метрологических характеристик. Сопоставляются результаты экспериментальных исследований характеристик датчиков с расчетными. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС Лепих, Я.И. Лопушенко, В.К. Черняк, Н.Г. Николаенко, Ю.Е. Датчики |
| title | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС |
| title_full | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС |
| title_fullStr | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС |
| title_full_unstemmed | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС |
| title_short | Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС |
| title_sort | особенности разработки датчиков давления на пав для аэс |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70745 |
| work_keys_str_mv | AT lepihâi osobennostirazrabotkidatčikovdavleniânapavdlâaés AT lopušenkovk osobennostirazrabotkidatčikovdavleniânapavdlâaés AT černâkng osobennostirazrabotkidatčikovdavleniânapavdlâaés AT nikolaenkoûe osobennostirazrabotkidatčikovdavleniânapavdlâaés |