Диодные реакторные системы микротравления
Выполнены разработки малоэнергоемкого плазменного технологического оборудования на основе разрядов с комбинированными постоянным и переменным электрическим и магнитным полями. В настоящей работе приведены результаты исследований характеристик высокочастотного емкостного разряда и разработки диодных...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70773 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Диодные реакторные системы микротравления / В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 38-42. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860202504758755328 |
|---|---|
| author | Фареник, В.И. |
| author_facet | Фареник, В.И. |
| citation_txt | Диодные реакторные системы микротравления / В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 38-42. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Выполнены разработки малоэнергоемкого плазменного технологического оборудования на основе разрядов с комбинированными постоянным и переменным электрическим и магнитным полями. В настоящей работе приведены результаты исследований характеристик высокочастотного емкостного разряда и разработки диодных реакторов установок микротравления с малым энерговкладом.
The development low-power intensive plasma technological equipment is maid on the basis of discharges with combined direct and alternating electrical and magnetic fields. The results of parameter investigations of high-frequency capacitive discharge and development of diode-reactors of the microetching devices with a low-energy deposition are adduced.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:10:56Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 3
38
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ÄÈÎÄÍÛÅ ÐÅÀÊÒÎÐÍÛÅ ÑÈÑÒÅÌÛ ÌÈÊÐÎÒÐÀÂËÅÍÈß*
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
18.03 2002 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. È. ÁÎÑÛÉ
("Ñàòóðí-Ìèêðî", ã. Êèåâ)
Ê. ô.-ì. í. Â. È. ÔÀÐÅÍÈÊ
Óêðàèíà, ã. Õàðüêîâ, Íàó÷. ôèç.-òåõíîëîãè÷. öåíòð ÕÍÓ èì. Â. Í. Êàðàçèíà
E-mail: root@sptca.kharkov.ua
Ïðèâåäåíû ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèé
õàðàêòåðèñòèê âûñîêî÷àñòîòíîãî åì-
êîñòíîãî ðàçðÿäà è ðàçðàáîòêè äèîä-
íûõ ðåàêòîðîâ óñòàíîâîê ìèêðîòðàâ-
ëåíèÿ ñ ìàëûì ýíåðãîâêëàäîì.
Âíåäðåíèå ìåòîäîâ ïëàçìåííîé îáðàáîòêè ïîâåð-
õíîñòåé òâåðäûõ òåë â ïëåíî÷íûõ è ïîëóïðîâîäíèêî-
âûõ òåõíîëîãèÿõ ïðîìûøëåííîé ìèêðîýëåêòðîíèêè,
â ÷àñòíîñòè è â îñîáåííîñòè, äëÿ îáåñïå÷åíèÿ êîìï-
ëåêñà êëþ÷åâûõ â ïðîèçâîäñòâå ìèêðîïðèáîðîâ ïðî-
öåññîâ ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà, â
îòå÷åñòâåííîé ïðîìûøëåííîñòè ïîëó÷èëî ìàññîâûé
õàðàêòåð ñ íà÷àëà 80-õ ãîäîâ ìèíóâøåãî ñòîëåòèÿ.
Óñèëèÿìè òåõíîëîãîâ îòðàñëè è ñïåöèàëèñòîâ â
îáëàñòè ýëåêòðîííîãî ìàøèíîñòðîåíèÿ ê ñåðåäèíå
1980-õ ãîäîâ áûëè ðàçðàáîòàíû óñòàíîâêè ïëàçìåí-
íîé îáðàáîòêè ìèêðîñòðóêòóð ñåðèè ÓÂÍ, ÓÐÌ,
ÓÐÌÇ, ÏÕÎ, �Ïëàçìà�. Óäà÷íûìè åäèíè÷íûìè îá-
ðàçöàìè ïîäîáíîãî îáîðóäîâàíèÿ ÿâëÿëèñü ðàçðàáîò-
êè ÍÏÎ �Êðèñòàëë� (ã. Êèåâ), ÖÊÁ ÏÎ �Äîíåö�
(ã. Ëóãàíñê).
Àâòîðîì â ñîñòàâå ãðóïïû ó÷åíûõ è ñïåöèàëèñ-
òîâ ñîçäàííîé Ìèíâóçîì ÓÑÑÐ è Ìèíýëåêòðîíïðî-
ìîì ÑÑÑÐ ïðè Õàðüêîâñêîì ãîñóäàðñòâåííîì óíè-
âåðñèòåòå** îòðàñëåâîé íàó÷íî-èññëåäîâàòåëüñêîé ëà-
áîðàòîðèè äèàãíîñòèêè ïëàçìåííûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ
ïðîöåññîâ (ÎÍÈË ÄÏÒÏ) áûëè íà÷àòû â òî æå âðåìÿ
ïëàíîâûå íàó÷íî-èññëåäîâàòåëüñêèå (à ñ 1983 ã., ïî-
ñëå îðãàíèçàöèè ÑÊÒÁ �Êîíòóð�, îïûòíî-êîíñòðóê-
òîðñêèå) ðàáîòû ïî òàêèì íàïðàâëåíèÿì:
� èññëåäîâàíèå è ðàçðàáîòêà äèàãíîñòè÷åñêèõ
ìåòîäèê è óñòðîéñòâ êîíòðîëÿ ïëàçìåííûõ ïðîöåñ-
ñîâ â òåõíîëîãèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ;
� ôóíäàìåíòàëüíûå èññëåäîâàíèÿ ôèçèêè ïðî-
öåññîâ çàæèãàíèÿ è ãîðåíèÿ ðàçðÿäîâ â ñêðåùåííûõ
ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíîì ïîëÿõ, Â×-åìêîñòíîãî
(Â×Å), Â×-èíäóêöèîííîãî (Â×È) è ïó÷êîâî-ïëàçìåí-
íîãî ðàçðÿäîâ;
� èçó÷åíèå ïðîìûøëåííîãî èîííî-ïëàçìåííîãî
îáîðóäîâàíèÿ ñ öåëüþ îïòèìèçàöèè è ðàçðàáîòêè ïåð-
ñïåêòèâíîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî îáîðóäîâàíèÿ, â ÷à-
ñòíîñòè, íîâûõ òèïîâ èîííûõ èñòî÷íèêîâ èîííî-ëó-
÷åâîé îáðàáîòêè ìàòåðèàëîâ è íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé,
âàêóóìíî-ðåàêöèîííûõ êàìåð äëÿ ïðîöåññîâ ïëàç-
ìåííîé îáðàáîòêè íà áàçå Â×Å- è Â×È-ðàçðÿäîâ;
� èññëåäîâàíèå ïðîöåññîâ âçàèìîäåéñòâèÿ ïëàç-
ìû è ïîòîêîâ çàðÿæåííûõ ÷àñòèö ñ ïîâåðõíîñòÿìè
òâåðäûõ òåë, èçó÷åíèå âëèÿíèÿ ïëàçìåííîé îáðàáîò-
êè íà ýëåêòðîôèçè÷åñêèå ïàðàìåòðû è ñòðóêòóðó ïî-
âåðõíîñòè.
Ïðè âûïîëíåíèè ýòèõ ðàáîò ñôîðìèðîâàëîñü ñà-
ìîñòîÿòåëüíîå íàó÷íî-òåõíè÷åñêîå íàïðàâëåíèå: ðàç-
ðàáîòêà íèçêîýíåðãåòè÷åñêèõ, ñ ìàëûìè çàòðàòàìè
ðàáî÷èõ (êàê ïðàâèëî, õèìè÷åñêè àêòèâíûõ) ãàçîâ,
ìàëîãàáàðèòíûõ èîííî-ïëàçìåííûõ è Â×-ðàçðÿäíûõ
óñòðîéñòâ äëÿ ñîçäàíèÿ óïðàâëÿåìîãî âûñîêîýôôåê-
òèâíîãî ïëàçìåííîãî ìàëîýíåðãîåìêîãî îáîðóäîâà-
íèÿ èíäèâèäóàëüíîé îáðàáîòêè ïëàñòèí.
Ýòî íàïðàâëåíèå, èìåÿ ñòðàòåãè÷åñêîå çíà÷åíèå,
ñâÿçàííîå ñ íåîáõîäèìîñòüþ ìèêðîìèíèàòþðèçàöèè
ýëåêòðîííûõ ïðèáîðîâ è óâåëè÷åíèåì äèàìåòðà ïëà-
ñòèí-íîñèòåëåé, àêòóàëüíî è â ñâÿçè ñ ðåøåíèåì ïî-
ñòîÿííî âîçíèêàþùèõ ýòàïíûõ çàäà÷, êîòîðûå ñîïðî-
âîæäàþò ðàçâèòèå ïëàçìåííûõ òåõíîëîãèé â ìèêðî-
ýëåêòðîíèêå. Íàïðèìåð, ðàçðàáîòêà èîííûõ èñòî÷íè-
êîâ áåç íàêàëèâàåìîãî êàòîäà äëÿ ðåàëèçàöèè ïðî-
öåññîâ èîííî-õèìè÷åñêîé îáðàáîòêè, ÷òî òîæäåñòâåí-
íî óìåíüøåíèþ ôèçèêî-ýíåðãåòè÷åñêîãî âîçäåéñòâèÿ
íà ïîâåðõíîñòü; íåîáõîäèìîñòü íàíåñåíèÿ ïëåíîê íà
ãèáêèå ïëàñòèêîâûå íîñèòåëè ñ íèçêîé òåìïåðàòóðîé
ïëàâëåíèÿ; ìàëîãàáàðèòíûå òåõíîëîãè÷åñêèå ìîäóëè
äëÿ êîñìè÷åñêèõ ñòàíöèé; ïðèìåíåíèå âìåñòî êðåì-
íèåâûõ íîñèòåëåé ìàòåðèàëîâ ãðóïïû À3Â5 è îðãàíè-
÷åñêèõ ïîëóïðîâîäíèêîâ ñ íèçêèìè òåìïåðàòóðàìè
äåñòðóêöèè; ïðîáëåìû óìåíüøåíèÿ âûáðîñîâ âðåä-
íûõ âåùåñòâ â àòìîñôåðó, â ÷àñòíîñòè, ôòîðà.
Ñåé÷àñ æå, íà ïîðîãå êà÷åñòâåííîãî ïðåîáðàçî-
âàíèÿ ïðîöåññà ìèêðîìèíèàòþðèçàöèè ïðèáîðîâ è èç-
äåëèé ýëåêòðîíèêè ñ ïîìîùüþ íàíîòåõíîëîãèé, ìè-
íèìèçàöèÿ êîìïëåêñíîãî âîçäåéñòâèÿ àêòèâèðîâàí-
íîé òåõíîëîãè÷åñêîé ñðåäû íà íàíîñòðóêòóðû ïðè
ñîõðàíåíèè ýôôåêòèâíîñòè ýòîãî âîçäåéñòâèÿ òåì
áîëåå àêòóàëüíà.
Ðåçóëüòàòû ðàçðàáîòîê áûëè èñïûòàíû â âåäóùèõ
ÍÈÈ è âíåäðåíû íà òàêèõ ïåðåäîâûõ ïðåäïðèÿòèÿõ
ýëåêòðîííîé ïðîìûøëåííîñòè êàê ÍÏÎ «Êðèñòàëë»,
ÏÎ «Ñàòóðí», ÏÎ «Îðèîí» (ã. Êèåâ), ÖÊÁ ÏÎ �Äî-
íåö� (ã. Ëóãàíñê), Ìèíñêèé ðàäèîòåõíè÷åñêèé èíñòè-
__________________
*Ïóáëèêóåìàÿ ñòàòüÿ � ïåðâàÿ â öèêëå "Ìàëîýíåðãîåìêèå
ïëàçìåííûå òåõíîëîãè÷åñêèå ñèñòåìû ñ ðàçðÿäàìè â êîìáèíè-
ðîâàííûõ ýëåêòðè÷åñêîì è ìàãíèòíîì ïîëÿõ".
** Ñ 1999 ãîäà � Õàðüêîâñêèé íàöèîíàëüíûé óíèâåðñèòåò
èì. Â. Í. Êàðàçèíà.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 3
39
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
òóò, ÏÎ �Èíòåãðàë� (ã. Ìèíñê), ÍÈÈ âàêóóìíîé òåõ-
íèêè èì. Ñ.À. Âåêøèíñêîãî, Ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñ-
êèé èíñòèòóò ÐÀÍ, ÍÈÈ ïðèêëàäíîé ôèçèêè, ÍÏÎ
�Îðèîí�, ÍÏÎ �Ñàïôèð� (ã. Ìîñêâà), ÍÈÈ òî÷íûõ
òåõíîëîãèé, çàâîä �Àíãñòðåì� (ã. Çåëåíîãðàä), ÏÎ
�Ñâåòëàíà�, ÏÎ �Àâàíãàðä� (ã. Ñ.-Ïåòåðáóðã), ÍÈÈ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ, ÍÏÎ �Ýëåêòðîíèêà�
(ã. Âîðîíåæ) â ïðîöåññàõ ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãè-
÷åñêîãî ðèñóíêà ïðè ïðîèçâîäñòâå ïðèáîðîâ ìèêðî-
è ìèêðîôîòîýëåêòðîíèêè.
Õàðàêòåðèñòèêè Â×-åìêîñòíîãî ðàçðÿäà
Èçó÷åíû óñëîâèÿ ïðîáîÿ ñàìîñòîÿòåëüíîãî Â×Å-
ðàçðÿäà, åãî ñòàòè÷åñêèå àêòèâíûå âîëüò-àìïåðíûå õà-
ðàêòåðèñòèêè (ÂÀÕ), ñïåêòðû îïòè÷åñêîãî èçëó÷åíèÿ
îïòèìèçèðîâàííîãî Â×Å-ðàçðÿäà [1�5]. Ýêñïåðèìåí-
òû âûïîëíÿëèñü â äâóõýëåêòðîäíîì ðàçðÿäíîì óñò-
ðîéñòâå. Êðèâûå çàæèãàíèÿ Â×-ðàçðÿäà èçìåðÿëèñü
â âîçäóõå, àðãîíå, ÑF4 è SF6 ïðè äàâëåíèÿõ ãàçà P
10�3�10 òîðð â äèàïàçîíå Â×-íàïðÿæåíèé U0<1500 Â
è ÷àñòîòå ïîëÿ f =13,56 ÌÃö. Ïàðàìåòðû ðàçðÿäà èç-
ìåðÿëèñü ñòàíäàðòíûìè çîíäîâûìè ìåòîäèêàìè, ìî-
äèôèöèðîâàííûìè äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ â óñëîâèÿõ Â×-
ðàçðÿäà. Ðàññòîÿíèå ìåæäó ïëîñêèìè ïàðàëëåëüíû-
ìè ýëåêòðîäàìè äèàìåòðîì 100 ìì èçìåíÿëîñü â äè-
àïàçîíå 6�54 ìì. Èñïîëüçîâàëèñü ýëåêòðîäû èç íå-
ðæàâåþùèé ñòàëè è äþðàëþìèíèÿ, à òàêæå ñòàëüíûå
ýëåêòðîäû, ïîêðûòûå ñàæåé è ïîëèìåðíîé ïëåíêîé.
Íà îäèí èç ýëåêòðîäîâ ïîäàâàëîñü Â×-íàïðÿæåíèå,
âòîðîé ýëåêòðîä áûë çàçåìëåí. Äëÿ èñêëþ÷åíèÿ ïî-
ñòîÿííîãî íàïðÿæåíèÿ àâòîñìåùåíèÿ ìåæäó ýëåêò-
ðîäàìè ïîäêëþ÷àëñÿ äðîññåëü èíäóêòèâíîñòüþ 4 ìÃí.
Ïîêàçàíî, ÷òî êðèâàÿ çàæèãàíèÿ Â×Å-ðàçðÿäà èìååò
îñîáåííîñòè: íà ëåâîé âåòâè íàáëþäàåòñÿ íåîäíî-
çíà÷íàÿ çàâèñèìîñòü íàïðÿæåíèÿ çàæèãàíèÿ îò äàâ-
ëåíèÿ, à íà ïðàâîé, â îïðåäåëåííûõ óñëîâèÿõ, � òî÷-
êà ïåðåãèáà. Íà îñíîâå äèôôóçíîé êèíåòè÷åñêîé òå-
îðèè Â×-ïðîáîÿ [6] ìîæíî ïîëó÷èòü ñîîòíîøåíèå
ìåæäó çíà÷åíèÿìè äàâëåíèÿ â òî÷êå ïåðåãèáà, â ìè-
íèìóìå è â òî÷êå ïîâîðîòà êðèâîé çàæèãàíèÿ.
Èç ýêñïåðèìåíòàëüíûõ êðèâûõ íà ðèñ. 1, 2 âûòå-
êàåò, ÷òî ïàðàìåòðû, êîòîðûå îòâå÷àþò âåòâÿì êðè-
âîé çàæèãàíèÿ ïî ïðàâóþ è ïî ëåâóþ ñòîðîíó îò ìè-
íèìóìà, óäîâëåòâîðÿþò óñëîâèÿì ïðèìåíèìîñòè äèô-
ôóçíîé òåîðèè:
ν >> ω, λe << d,
e
emd
E
ùí
2lim ≤ ,
Íà ðèñ. 3, 4 ïðåäñòàâëåíû êðèâûå çàæèãàíèÿ Â×-
ðàçðÿäà â âîçäóõå, SFá è ÑF4 ïðè ðàçíûõ ìàòåðèàëàõ
ýëåêòðîäîâ. Èç ðèñóíêîâ âèäíî, ÷òî êðèâûå çàæèãà-
íèÿ Â×-ðàçðÿäà ïðàêòè÷åñêè íå çàâèñÿò îò ìàòåðèàëà
ýëåêòðîäîâ â äèàïàçîíå äàâëåíèé ãàçà âáëèçè è ïî
ïðàâóþ ñòîðîíó îò òî÷êè ïåðåãèáà.  îáëàñòè äàâëå-
íèé ïî ëåâóþ ñòîðîíó îò òî÷êè ïåðåãèáà íàáëþäàåòñÿ
çàìåòíîå ðàñõîæäåíèå ìåæäó êðèâûìè çàæèãàíèÿ.
U0, Â
800
400
200
100
50
0,05 0,1 0,2 0,4 1,0
Ð, ìì ðò. ñò.
Ðèñ. 1. Çàâèñèìîñòü íàïðÿæåíèÿ çàæèãàíèÿ Â×Å-ðàçðÿäà
îò äàâëåíèÿ (Ð) àðãîíà:
1 � ðàññòîÿíèå ìåæäó ýëåêòðîäàìè d=14 ìì;
2 � d=29 ìì
1 2
U0, Â
600
400
200
100
60
0,05 0,1 0,2 0,4 1,0
Ð, ìì ðò. ñò.
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü íàïðÿæåíèÿ çàæèãàíèÿ Â×Å-ðàçðÿäà
îò äàâëåíèÿ äëÿ ðàçëè÷íûõ ãàçîâ ïðè d=20 ìì:
1 � SF6 ; 2 � H2
1 2
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü ïðîáîéíîãî Â×-íàïðÿæåíèÿ îò äàâ-
ëåíèÿ âîçäóõà ïðè d=14 ìì:
1 � ÷èñòûå ñòàëüíûå ýëåêòðîäû; 2 � ñòàëüíûå ýëåêòðîäû, ïîêðûòûå
ñàæåé; 3 � ðàñ÷åò ïî (1) äëÿ δ=0,1; 4 � ðàñ÷åò ïî (1) äëÿ δ=0,02
Uïð, Â
1000
300
100
0,3 1 3 10
Ð, òîðð
1 2 3 4
ãäå ν �
ω �
λe �
d �
me, e �
Elim�
÷àñòîòà ýëåêòðîí-àòîìíûõ ñîóäàðåíèé;
÷àñòîòà ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ;
äëèíà ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ýëåêòðîíà;
ðàññòîÿíèå ìåæäó ýëåêòðîäàìè;
ìàññà è çàðÿä ýëåêòðîíà;
ïðåäåëüíàÿ àìïëèòóäà ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ, ïðè
êîòîðîé âñå ýëåêòðîíû äîñòèãàþò ñòåíîê ðàç-
ðÿäíîé êàìåðû çà ïîëîâèíó ïåðèîäà èçìåíå-
íèÿ ïîëÿ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 3
40
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
×åì âûøå êîýôôèöèåíò âòîðè÷íîé ýëåêòðîííîé ýìèñ-
ñèè ìàòåðèàëà ýëåêòðîäîâ δ, òåì ìåíüøèå Â×-íàïðÿ-
æåíèÿ íóæíû äëÿ ïðîáîÿ ãàçà; êðèâàÿ çàæèãàíèÿ
cäâèãàåòñÿ â îáëàñòü áîëåå íèçêèõ äàâëåíèé. Èñïîëü-
çîâàíèå ýëåêòðîäîâ ñ áîëåå âûñîêèì çíà÷åíèåì δ
âëèÿåò íà êðèâóþ çàæèãàíèÿ Â×-ðàçðÿäà òàêèì æå îá-
ðàçîì, êàê è íåáîëüøîå óâåëè÷åíèå ðàññòîÿíèÿ ìåæ-
äó ýëåêòðîäàìè d. Ïðàêòè÷åñêè íà âñåõ ýêñïåðèìåí-
òàëüíûõ êðèâûõ çàæèãàíèÿ ïî ëåâóþ ñòîðîíó îò ìè-
íèìóìà õîðîøî âèäíî îáëàñòü íåîäíîçíà÷íîé çàâè-
ñèìîñòè ïðîáîéíîãî Â×-íàïðÿæåíèÿ îò äàâëåíèÿ ãàçà.
Ïîñòðîåíà ïðîñòàÿ ôåíîìåíîëîãè÷åñêàÿ îäíîìåð-
íàÿ ìîäåëü Â×-ïðîáîÿ ãàçà ñ ó÷åòîì âòîðè÷íîé ýëåê-
òðîííîé ýìèññèè c ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäîâ.  ÷àñò-
íîñòè, ïîëó÷åíî óðàâíåíèå Â×-ïðîáîÿ
×
ρ
Λ−ρπ=
ρ
20
0
1
0
0
22
exp
CB
E
LA
E
B
λ
π
ωπδ×
−
−
1
4121
0 2
32
arccos2
eE
m , (1)
Ïðè îòñóòñòâèè âòîðè÷íîé ýëåêòðîííîé ýìèññèè
c ïîâåðõíîñòè ýëåêòðîäîâ (δ=0) óðàâíåíèå (1) ïåðå-
õîäèò â óðàâíåíèÿ Êèõàðû äëÿ ïðîáîÿ ãàçà â îäíî-
ðîäíîì Â×-ïîëå. Êàê âèäíî èç ðèñ. 3, óðàâíåíèå (1)
óäîâëåòâîðèòåëüíî îïèñûâàåò ýêñïåðèìåíòàëüíûå
êðèâûå çàæèãàíèÿ Â×-ðàçðÿäà ïðè ðàçíûõ ìàòåðèà-
ëàõ ýëåêòðîäîâ.
Ñòàòè÷åñêàÿ àêòèâíàÿ ÂÀÕ (çàâèñèìîñòü îìè÷åñ-
êîé ñîñòàâëÿþùåé Â×-òîêà ïðîâîäèìîñòè J0 cosϕ îò
íàïðÿæåíèÿ U0, ñâÿçàííûõ ñîîòíîøåíèåì W=
=U0 Jcosϕ, ãäå W � ìîùíîñòü, ïîòðåáëÿåìàÿ ðàçðÿ-
äîì, ϕ � óãîë ñäâèãà ôàçû ìåæäó òîêîì è íàïðÿæå-
íèåì), êàê è êðèâàÿ çàæèãàíèÿ Â×Å-ðàçðÿäà, ÿâëÿåò-
ñÿ âàæíîé åãî õàðàêòåðèñòèêîé. Ïðîâåäåííûå èññëå-
äîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî àêòèâíàÿ ÂÀÕ âûñîêî÷àñòîò-
íîãî ðàçðÿäà îòëè÷àåòñÿ îò àíàëîãè÷íîé çàâèñèìîñ-
òè â ðàçðÿäå ïîñòîÿííîãî òîêà. Îñíîâíûå îñîáåííî-
ñòè îòëè÷èÿ ÂÀÕ íàáëþäàþòñÿ â îáëàñòè íàïðÿæå-
íèé, áëèçêèõ ê íàïðÿæåíèþ ïðîáîÿ Â×Å-ðàçðÿäà.
Ïðè íàïðÿæåíèè íà ðàçðÿäå, ïðåâûøàþùåì ïî-
òåíöèàë çàæèãàíèÿ, äëÿ íåêîòîðûõ ãàçîâ íàáëþäàåò-
ñÿ ñïàä òîêà ïðîâîäèìîñòè. Õàðàêòåðíûå çàâèñèìî-
ñòè ïðèâåäåíû íà ðèñ. 5. Êàê âèäíî èç ðèñóíêà, ÷åì
òÿæåëåå ãàç, òåì áîëüøèé ñïàä òîêà íàáëþäàåòñÿ íà
ÂÀÕ. Ìèíèìóì Â×-òîêà ïðîâîäèìîñòè ïðèõîäèòñÿ íà
ìåíüøèå íàïðÿæåíèÿ äëÿ ãàçà, ó êîòîðîãî êîýôôèöè-
åíò âòîðè÷íîé èîí-ýëåêòðîííîé ýìèññèè âûøå. ×åì
ÿð÷å âûðàæåíà çàâèñèìîñòü ñå÷åíèÿ óïðóãèõ ýëåêò-
ðîí-íåéòðàëüíûõ ñòîëêíîâåíèé îò ýíåðãèè ýëåêòðî-
íîâ, òåì áîëüøåå ïàäåíèå òîêà íàáëþäàåòñÿ â ýêñïå-
ðèìåíòå.
Àíàëîãè÷íîå ïîâåäåíèå íàáëþäàåòñÿ òàêæå è äëÿ
Â×-ìîùíîñòè, âêëàäûâàåìîé â ðàçðÿä. Íà ó÷àñòêàõ
ñ îòðèöàòåëüíîé äèôôåðåíöèàëüíîé ïðîâîäèìîñòüþ
(ÎÄÏ) íà àêòèâíûõ ÂÀÕ Â×-ìîùíîñòü â ðàçðÿäå ìî-
æåò íå òîëüêî çàìåäëÿòü ñâîé ðîñò ïðè ïîâûøåíèè
Â×-íàïðÿæåíèÿ, íî äàæå ïàäàòü. Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî îò-
íîñèòåëüíûå ýíåðãîçàòðàòû íà ñîçäàíèå â ðàçðÿäå
ïðèýëåêòðîäíîãî ïàäåíèÿ ïîòåíöèàëà Vp, ëèíåéíî çà-
âèñÿùåãî îò U0, äëÿ ýòèõ ó÷àñòêîâ áóäóò ìèíèìàëü-
íûìè, à çíà÷èò, ìèíèìàëüíûìè áóäóò òàêæå çàòðàòû
Â×-ìîùíîñòè íà ñîçäàíèå óñêîðåííîãî äî ñîîòâåò-
ñòâóþùåé ýíåðãèè ïîòîêà èîíîâ èç ïëàçìû. Ïðè ðàâ-
íîé ýíåðãåòèêå èîííîé áîìáàðäèðîâêè áîëåå ýêîíî-
ìè÷íûì áóäåò ðåæèì ðàçðÿäà, ñîîòâåòñòâóþùèé
èìåííî ó÷àñòêàì ñ ÎÄÏ.
Äèîäíûå ðåàêòîðû è óñòàíîâêè
ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ (ÏÕÒ)
Ñóùåñòâåííîå óìåíüøåíèå îáúåìà ðàçðÿäíîé êà-
ìåðû è îãðàíè÷åíèå îáúåìà ïëàçìû òîëüêî ðàçìåðà-
ìè îáëàñòè, íàõîäÿùåéñÿ ìåæäó ýëåêòðîäàìè íåïîñ-
ðåäñòâåííî íàä îáðàáàòûâàåìîé ïëàñòèíîé, à òàêæå
èñïîëüçîâàíèå â êà÷åñòâå ðàáî÷èõ ðåæèìîâ ðåàêòî-
ðà îáëàñòè ïàðàìåòðîâ ñ ìèíèìàëüíûì ïîòåíöèàëîì
Ðèñ. 5. Ñòàòè÷åñêèå àêòèâíûå ÂÀÕ Â×Å-ðàçðÿäà ïðè
Ð=0,3 òîðð è d =50 ìì äëÿ ðàçëè÷íûõ ãàçîâ:
1 � ãåëèé; 2 � àðãîí; 3 � êñåíîí
Jcosϕ,
ìÀ
25
15
5
100 300 500
U0, Â
1
2
3
Ðèñ. 4. Çàâèñèìîñòü ïðîáîéíîãî Â×-íàïðÿæåíèÿ îò äàâ-
ëåíèÿ SF6 ïðè d=20 ìì:
1 � ÷èñòûå ñòàëüíûå ýëåêòðîäû; 2 � ñòàëüíûå ýëåêòðîäû, ïî-
êðûòûå ñàæåé
Uïð, Â
500
100
0,1 0,5
1 2
Ð, òîðð
ãäå Â0, ρ, À1, Ñ2, λ �
Å0 �
L �
Λ �
ìîëåêóëÿðíûå êîíñòàíòû;
àìïëèòóäà Â×-ïîëÿ;
äëèíà ðàçðÿäíîãî ïðîìåæóòêà;
âàêóóìíàÿ äëèíà Â×-ïîëÿ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 3
41
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
çàæèãàíèÿ ðàçðÿäà, â êîòîðîé íàáëþäàåòñÿ ÎÄÏ, ïî-
çâîëèëî çíà÷èòåëüíî ñíèçèòü ýíåðãîçàòðàòû íà ïðî-
âåäåíèå ïðîöåññîâ ÏÕÒ â Â×-äèîäíîì ðàçðÿäå [7] è
ðàçðàáîòàòü ñåðèþ ìàëîýíåðãîåìêèõ ðåàêòîðîâ Â×Å-
òèïà, à òàêæå ýêñïåðèìåíòàëüíûõ òåõíîëîãè÷åñêèõ
óñòàíîâîê íà èõ îñíîâå.
Ïðîâåäåííûå èçìåðåíèÿ òåìïåðàòóðû ýëåêòðîíîâ
Te, ïëîòíîñòè ïëàçìû ni, ïîñòîÿííîé ñîñòàâëÿþùåé
ïîòåíöèàëà ïëàçìû ϕpl, ðàñïðåäåëåíèÿ ýòèõ ïàðàìåò-
ðîâ ïî ðàäèóñó è âåëè÷èíå ìåæýëåêòðîäíîãî ïðîìå-
æóòêà, ñïåêòðîâ èçëó÷åíèÿ è ìàññ-ñïåêòðîìåòðè÷åñ-
êèå èññëåäîâàíèÿ âìåñòå ñ èçó÷åíèåì ãàçîâûõ ïîòî-
êîâ â ìîäåëüíûõ äèîäíûõ óñòðîéñòâàõ ïîçâîëèëè
ðàçðàáîòàòü îïòèìàëüíûå ïëàçìîõèìè÷åñêèå ðåàê-
òîðû äëÿ óñòàíîâîê ÏÕÒ �Êîíòóð-01�, �Êîíòóð-03�,
�Òèòàí�.
Îáùèì äëÿ ïåðå÷èñëåííûõ óñòàíîâîê ÿâëÿåòñÿ èñ-
ïîëüçîâàíèå ìèíèìèçèðîâàííîãî ïî ðàçìåðàì (�â
ïëàñòèíó�) è ýíåðãîâêëàäó ðåàêòîðà ñ âåðõíèì ýëåê-
òðîäîì îðèãèíàëüíîé êîíñòðóêöèè [8], ïîçâîëÿþùåé
îñóùåñòâëÿòü ðàñïðåäåëåííûå ïî ïëîùàäè ýëåêòðî-
äà íàïóñê ðàáî÷èõ ãàçîâ è îòêà÷èâàíèå ïðîäóêòîâ ðå-
àêöèè. Ñõåìà ðåàêòîðà ïðèâåäåíà íà ðèñ. 6.
 ðåàêöèîííîé êàìåðå 2 ðàçìåùåíû äâà ïîòåíöè-
àëüíûõ ýëåêòðîäà 1, 5. Íà ýëåêòðîäå 5 íàõîäèòñÿ îáðàáà-
òûâàåìàÿ ïëàñòèíà 4. Â ïîòåíöèàëüíîì ýëåêòðîäå 1 èìå-
þòñÿ îòâåðñòèÿ äëÿ âàêóóìíîé îòêà÷êè ïðîäóêòîâ ðåàê-
öèè 8 è íàïóñêà ðàáî÷åãî ãàçà 7. Îòâåðñòèÿ äëÿ îòêà÷êè
ïðîäóêòîâ ðåàêöèè ðàñïîëîæåíû íà ïëîùàäè ýëåêòðîäà
òàê, ÷òî îíè îáðàçóþò ñèììåòðè÷íóþ îòíîñèòåëüíî öåí-
òðà ýëåêòðîäà ðåøåòêó. Îòâåðñòèÿ äëÿ íàïóñêà ðàáî÷åãî
ãàçà 7 íàõîäÿòñÿ â öåíòðàõ ýòîé ðåøåòêè. ×åðåç îòâåðñòèÿ
8 âàêóóìíûé îáúåì êàìåðû 2 ñîåäèíÿåòñÿ ñ îáúåìîì 9,
êîòîðûé ñâÿçàí ñ ñèñòåìîé âàêóóìíîé îòêà÷êè ÷åðåç îò-
âåðñòèå 11. ×åðåç îòâåðñòèÿ 7 âàêóóìíûé îáúåì êàìåðû
2 ñîåäèíÿåòñÿ ñ îáúåìîì 8, êîòîðûé ñâÿçàí ñ ñèñòåìîé
íàïóñêà ðàáî÷åãî ãàçà ÷åðåç îòâåðñòèå 10. Èçìåðåíèå
âàêóóìà â ðåàêöèîííîé êàìåðå îñóùåñòâëÿåòñÿ ÷åðåç
îòâåðñòèå 3.
6
7
Îòêà÷êà
Íàïóñê
ãàçà
Íàïóñê
ãàçà
10
8
7
6
1
2
3
4
5
11
9
Ðèñ. 6. Äèîäíûé ðåàêòîð óñòàíîâîê òèïà «Êîíòóð» è
«Òèòàí» è âåðõíèé ýëåêòðîä (â ïëàíå)
Ýêñïåðèìåíòàëüíûå òåõíîëîãè÷åñêèå óñòàíîâêè
�Êîíòóð-01� è �Êîíòóð-03� [4], îñíàùåííûå ðåàêòî-
ðàìè òàêîãî òèïà, ïðåäíàçíà÷åíû äëÿ èíäèâèäóàëü-
íîãî ÏÕÒ ïëàñòèí â ïëàçìå Â×Å-ðàçðÿäà.  ýòèõ óñ-
òàíîâêàõ ìîæíî îñóùåñòâëÿòü òðàâëåíèå òîíêèõ ïëå-
íîê íèòðèäà êðåìíèÿ, ïîëèêðåìíèÿ, äèîêñèäà êðåì-
íèÿ, ìåòàëëîâ, ãëóáèííîå òðàâëåíèå êðåìíèÿ â àòìîñ-
ôåðå ðàáî÷èõ ãàçîâ è èõ ñìåñåé (àðãîí, âîäîðîä, êèñ-
ëîðîä, ôðåîíû). ×àñòîòà Â×-ãåíåðàòîðà � 13,56 Ìãö,
ìîùíîñòü ãåíåðàòîðà óñòàíîâêè �Êîíòóð-01� � íå
áîëåå 100 Âò, �Êîíòóð-03� � íå áîëåå 500 Âò, äèàïà-
çîí äàâëåíèé â âàêóóìíîé êàìåðå 0,1�1,0 òîðð.
Óñòàíîâêà �Êîíòóð-01� âûïîëíåíà â âèäå ñòîéêè
ñ ãàáàðèòàìè 1750×550×560 ìì. Â ñîñòàâ óñòàíîâêè
âõîäÿò ñèñòåìà ãàçîíàïóñêà è îòêà÷êè, óñòðîéñòâî
ðåãóëèðîâàíèÿ ñêîðîñòè îòêà÷êè è óñòàíîâêè ðàáî-
÷åãî äàâëåíèÿ, âàêóóìíàÿ ðåàêöèîííàÿ êàìåðà, áëîê
óïðàâëåíèÿ ðåæèìàìè ðàáîòû, âûñîêî÷àñòîòíûé ãå-
íåðàòîð, ïðèáîð �Êîíòðîëü� äëÿ îïðåäåëåíèÿ ìîìåí-
òà îêîí÷àíèÿ òðàâëåíèÿ. Äëÿ óäîáñòâà ýêñïëóàòàöèè
è íàëàäêè ïðåäóñìîòðåíû ðó÷íîé è àâòîìàòè÷åñêèé
ðåæèìû ðàáîòû. Áëîê óïðàâëåíèÿ ðåæèìàìè ðàáîòû
îáåñïå÷èâàåò ñòûêîâêó è ñîâìåñòíóþ ðàáîòó âñåõ
ñèñòåì è óñòðîéñòâ. Â×-ãåíåðàòîð èìååò ñîãëàñóþ-
ùåå óñòðîéñòâî è êîíòðîëüíûå ïðèáîðû äëÿ èçìåðå-
íèÿ òîêà àíîäà è ïîäâîäèìîãî Â×-íàïðÿæåíèÿ.
Óñòàíîâêà �Êîíòóð-03� ÿâëÿåòñÿ óñîâåðøåíñòâî-
âàííîé ìîäèôèêàöèåé óñòàíîâêè �Êîíòóð-01�. Îñíîâ-
íûå îòëè÷èÿ ñîñòîÿò â ðàçìåðàõ îáðàáàòûâàåìûõ ïëà-
ñòèí (100 ìì), ìîùíîñòè ãåíåðàòîðà. �Êîíòóð-03� ïðè
óëó÷øåííûõ ýðãîíîìè÷åñêèõ ïîêàçàòåëÿõ èìååò çíà-
÷èòåëüíî ìåíüøèå ãàáàðèòû.  óñòàíîâêå ïðèìåíåíà
ñèñòåìà ãàçîíàïóñêà, îáåñïå÷èâàþùàÿ áîëüøóþ ðàâ-
íîìåðíîñòü òðàâëåíèÿ, óñîâåðøåíñòâîâàí áëîê óï-
ðàâëåíèÿ. Êîíñòðóêöèÿ ðåàêòîðà îáåñïå÷èâàåò âîç-
ìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ óñòàíîâêè â ñîñòàâå ëèíèé
ïëàçìîõèìè÷åñêîé îáðàáîòêè.
Ñ ðàçâèòèåì ýëåìåíòíîé áàçû óñòàíîâîê ÏÕÒ è
áëàãîäàðÿ âûïîëíåííûì èññëåäîâàíèÿì âûñîêî÷àñ-
òîòíîãî ãàçîâîãî ðàçðÿäà ïîÿâèëàñü âîçìîæíîñòü ñî-
çäàíèÿ ìèíèàòþðíûõ íàñòîëüíûõ óñòàíîâîê. Òàêîé
óñòàíîâêîé ÿâëÿåòñÿ ýêñïåðèìåíòàëüíàÿ òåõíîëîãè-
÷åñêàÿ óñòàíîâêà �Òèòàí� (ðèñ. 7). Óñòàíîâêà ñåðèè
�Òèòàí� èìååò ãàáàðèòû 60×30×50 ñì.  åå ñîñòàâ âõî-
äÿò âàêóóìíàÿ ðåàêöèîííàÿ êàìåðà, áëîê ãàçîíàïóñêà,
âàêóóììåòð, ãåíåðàòîð âûñîêîé ÷àñòîòû, áëîê óïðàâ-
ëåíèÿ, áëîê ïèòàíèÿ, ìåõàíèçì îòêðûâàíèÿ êàìåðû.
Íà óñòàíîâêàõ �Òèòàí� ïðîâîäèëèñü ïðîöåññû
òðàâëåíèÿ ðàçëè÷íûõ òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð. Òðàâ-
ëåíèå ïîëèèìèäíûõ ïëåíîê òîëùèíîé 12�36 ìêì â
àòìîñôåðå êèñëîðîäà è ôðåîíà ñ êîíòàêòíîé íèêåëå-
âîé ìàñêîé ïîêàçàëî âûñîêóþ ñêîðîñòü (5 ìêì/ìèí)
Ðèñ. 7. Ìàëîãàáàðèò-
íàÿ ýêñïåðèìåíòàëü-
íàÿ óñòàíîâêà ÏÒÕ ñå-
ðèè �Òèòàí�
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 3
42
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
è àíèçîòðîïèþ. Îñóùåñòâëÿëîñü òðàâëåíèå êðåìíè-
åâûõ ñòðóêòóð, îðãàíè÷åñêîãî è êðåìíèéîðãàíè÷åñ-
êîãî ôîòîðåçèñòîâ. Ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ òîíêèõ ïëå-
íîê íèòðèäà êðåìíèÿ, äèîêñèäà êðåìíèÿ, ïîëèêðåì-
íèÿ ñîñòàâëÿëà 1 ìêì/ìèí è áîëüøå. Ïðîâîäèëèñü
ïðîöåññû ãëóáèííîãî òðàâëåíèÿ êðåìíèÿ. Ñðåäíÿÿ
ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ ñîñòàâëÿëà 5 ìêì/ìèí ïðè ãëó-
áèíå òðàâëåíèÿ äî 50 ìêì.
Óñòàíîâëåíû îïòèìàëüíûå ðåæèìû òðàâëåíèÿ
êðåìíèÿ â òåõíîëîãè÷åñêèõ ðåàêòîðàõ óñòàíîâîê
�Êîíòóð� è �Òèòàí�.
Íà ðèñ. 8 ïîêàçàíû çàâèñèìîñòè ñêîðîñòè òðàâ-
ëåíèÿ êðåìíèÿ îò äàâëåíèÿ SF6 è êðèâàÿ çàæèãàíèÿ
Â×-ðàçðÿäà â ýòîì ãàçå.
Èç ðèñóíêà âèäíî, ÷òî ôóíêöèÿ vòð(Ð) èìååò ìàê-
ñèìóì ïðè äàâëåíèè, ëåæàùåì â äèàïàçîíå ìåæäó
ìèíèìóìîì è òî÷êîé ïåðåãèáà êðèâîé çàæèãàíèÿ Â×-
ðàçðÿäà. Ïðîöåññ ñêîðîñòíîãî òðàâëåíèÿ íà÷èíàåòñÿ
ïðè íåêîòîðîì ïîðîãîâîì äàâëåíèè âáëèçè ìèíèìó-
ìà êðèâîé çàæèãàíèÿ. Íàëè÷èå ìàêñèìóìà íà çàâè-
ñèìîñòè vòð(Ð) â äèàïàçîíå äàâëåíèé 0,1�1 òîðð íà-
áëþäàëîñü òàêæå â ðàáîòàõ äðóãèõ àâòîðîâ.
Èçìåðåíèÿìè ýëåêòðîííîé ïëîòíîñòè è ñêîðîñòè
ãåíåðàöèè õèìè÷åñêè àêòèâíûõ ÷àñòèö â ðåàêòîðàõ
óñòàíîâëåíà ñâÿçü ìåæäó îáëàñòüþ äàâëåíèé, îïòè-
ìàëüíûõ äëÿ ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà òðàâëåíèÿ êðåì-
íèÿ â òåõíîëîãè÷åñêèõ ìàëîýíåðãîåìêèõ ïëàçìåííûõ
óñòàíîâêàõ ñåðèè �Êîíòóð� è �Òèòàí�, è ñîîòâåòñòâó-
þùèì ó÷àñòêîì Â×-êðèâîé çàæèãàíèÿ. Ìàêñèìàëü-
íûå ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ êðåìíèÿ íàáëþäàþòñÿ â äèà-
ïàçîíå äàâëåíèé ìåæäó ìèíèìóìîì è òî÷êîé ïåðå-
ãèáà êðèâîé çàæèãàíèÿ. Ïîëó÷åíà àïïðîêñèìàöèîí-
íàÿ ôîðìóëà, ïîçâîëÿþùàÿ ïðåäñêàçàòü îïòèìàëüíîå
äëÿ ïðîâåäåíèÿ ïðîöåññà ñêîðîñòíîãî òðàâëåíèÿ êðåì-
íèÿ â SF6 äàâëåíèå â øèðîêîì äèàïàçîíå ðàññòîÿíèé
ìåæäó ýëåêòðîäàìè.
Îïèñàííûå âûøå óñòàíîâêè ïîçâîëÿþò îñóùåñòâ-
ëÿòü ïðàêòè÷åñêè âñå ïðîöåññû ìèêðîòðàâëåíèÿ ìå-
òàëëîâ, ïîëóïðîâîäíèêîâ è äèýëåêòðèêîâ â ðàáî÷èõ
ãàçàõ (êðîìå õëîðñîäåðæàùèõ, ïðè èñïîëüçîâàíèè
êîòîðûõ òðåáóþòñÿ èçâåñòíûå èçìåíåíèÿ â êîíñòðóê-
öèè óñòàíîâîê).
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Êðîïîòîâ Í. Þ., Êà÷àíîâ Þ. À., Ðåóêà À. Ã. è äð.
Îñîáåííîñòè ïðîáîÿ ãàçà íèçêîãî äàâëåíèÿ â âûñîêî÷à-
ñòîòíîì îäíîðîäíîì ïîëå // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1988.�
Ò. 14, âûï. 4.� Ñ. 359 � 363.
2. Êðîïîòîâ Í. Þ., Êà÷àíîâ Þ. À., Ëèñîâñêèé Â. À. è
äð. Îñîáåííîñòè âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê ñëàáî-
òî÷íîé ôîðìû âûñîêî÷àñòîòíîãî ðàçðÿäà Å-òèïà // Òàì
æå.� 1989.� Ò. 15, âûï. 21.� Ñ. 17�21.
3. Ëèñîâñêèé Â. À., Êðîïîòîâ Í. Þ., Ôàðåíèê Â. È.
Âëèÿíèå âòîðè÷íîé ýëåêòðîííîé ýìèññèè íà Â×-ïðîáîé
ãàçà íèçêîãî äàâëåíèÿ // Òàì æå.� 1996.� Ò. 22, âûï. 24.�
Ñ. 64�69.
4. Ôàðåíèê Â. È. Ïðèìåíåíèå âûñîêî÷àñòîòíûõ ðàç-
ðÿäîâ íèçêîãî äàâëåíèÿ äëÿ ðàçðàáîòêè ìàëîýíåðãîåì-
êèõ óïðàâëÿåìûõ ñèñòåì âàêóóìíî-ïëàçìåííîãî òðàâ-
ëåíèÿ // Âåñòíèê Õàðüêîâñ. ãîñ. ïîëèòåõíè÷. óíèâåðñè-
òåòà.� 1999.� Âûï. 55.� Ñ. 56�74.
5. Ôàðåíèê Â. È. Ôèçèêî-òåõíè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè
âûñîêî÷àñòîòíîãî äèîäíîãî ðàçðÿäà â óñòðîéñòâàõ òðàâ-
ëåíèÿ ìèêðîñòðóêòóð // Ðàäèîýëåêòðîíèêà è èíôîðìà-
òèêà.� 1999.� ¹ 2.� Ñ. 73�81.
6. Kihara T. The mathematical theory of electrical dis-
charges in gazes // Rev. Modern Phys. � 1952. � Vol. 24,
N 1.� P. 45.
7. À. ñ. 1443689 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá ïëàçìîõèìè÷åñêîãî
òðàâëåíèÿ ìèêðîñòðóêòóð / Í. Þ. Êðîïîòîâ, Þ. À. Êà÷à-
íîâ, Â. Ä. Åãîðåíêîâ è äð.� Îïóáë. â Á. È.� 1988, ¹ 12.
8. À. ñ. 1355053 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ ïëàçìîõèìè-
÷åñêîãî òðàâëåíèÿ ïîêðûòèé îáðàçöîâ / Í. Þ. Êðîïî-
òîâ, Â. Ò. Ñåðèêîâ, Â. È. Ôàðåíèê è äð.� Îïóáë. â
Á. È.� 1987, ¹ 11.
Ðèñ. 8. Êðèâàÿ çàæèãàíèÿ Â×-ðàçðÿäà â SF6 (1) è çàâèñè-
ìîñòü ñêîðîñòè òðàâëåíèÿ êðåìíèÿ vòð îò äàâëåíèÿ Ð (2)
ïðè d=22 ìì
1000
100
0,1 1 Ð, òîðð
Uïð, Â
1 2
vòð,
ìêì/ìèí
1,5
1,0
0,5
0
Óêðàèíà, ã. Êèåâ
ÍÈÈ «ÎÐÈÎÍ»
èìååò ñîáñòâåííûé ñîâðåìåííûé èñïûòàòåëüíûé öåíòð.
Ìîæåò ïðîâîäèòü èñïûòàíèÿ èçäåëèé, ïðèáîðîâ è êîìïëåêòóþùèõ íà
âîçäåéñòâèå ìåõàíè÷åñêèõ, êëèìàòè÷åñêèõ è äðóãèõ ôàêòîðîâ.
Èñïûòàíèÿ ìîãóò ïðîâîäèòüñÿ ñ ïðåäñòàâèòåëåì Çàêàç÷èêà è Îòäåëîì
òåõíè÷åñêîãî êîíòðîëÿ.
Ñïðàâêè ïî òåë. ((044) 446-82-72 (Øâåäîâ Àíàòîëèé Íèêîëàåâè÷)
ÊÎÍÒÐÎËÜ ÈÇÌÅÐÅÍÈß ÈÑÏÛÒÀÍÈß ÊÎÍÒÐÎËÜ ÈÇÌÅÐÅÍÈß ÈÑÏÛÒÀÍÈß ÊÎÍÒÐÎËÜ ÈÇÌÅÐÅÍÈß ÈÑÏÛÒÀÍÈß
Ê
Î
Í
Ò
Ð
Î
Ë
Ü
È
Ç
Ì
Å
Ð
Å
Í
È
ß
È
Ñ
Ï
Û
Ò
À
Í
È
ß
ÊÎÍÒÐÎËÜ ÈÇÌÅÐÅÍÈß ÈÑÏÛÒÀÍÈß ÊÎÍÒÐÎËÜ ÈÇÌÅÐÅÍÈß ÈÑÏÛÒÀÍÈß ÊÎÍÒÐÎËÜ ÈÇÌÅÐÅÍÈß ÈÑÏÛÒÀÍÈß
Ê
Î
Í
Ò
Ð
Î
Ë
Ü
È
Ç
Ì
Å
Ð
Å
Í
È
ß
È
Ñ
Ï
Û
Ò
À
Í
È
ß
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70773 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:10:56Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Фареник, В.И. 2014-11-12T07:57:23Z 2014-11-12T07:57:23Z 2002 Диодные реакторные системы микротравления / В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 38-42. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70773 533.915;539.23 Выполнены разработки малоэнергоемкого плазменного технологического оборудования на основе разрядов с комбинированными постоянным и переменным электрическим и магнитным полями. В настоящей работе приведены результаты исследований характеристик высокочастотного емкостного разряда и разработки диодных реакторов установок микротравления с малым энерговкладом. The development low-power intensive plasma technological equipment is maid on the basis of discharges with combined direct and alternating electrical and magnetic fields. The results of parameter investigations of high-frequency capacitive discharge and development of diode-reactors of the microetching devices with a low-energy deposition are adduced. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Диодные реакторные системы микротравления Diode-reactor systems of a microetching Article published earlier |
| spellingShingle | Диодные реакторные системы микротравления Фареник, В.И. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Диодные реакторные системы микротравления |
| title_alt | Diode-reactor systems of a microetching |
| title_full | Диодные реакторные системы микротравления |
| title_fullStr | Диодные реакторные системы микротравления |
| title_full_unstemmed | Диодные реакторные системы микротравления |
| title_short | Диодные реакторные системы микротравления |
| title_sort | диодные реакторные системы микротравления |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70773 |
| work_keys_str_mv | AT farenikvi diodnyereaktornyesistemymikrotravleniâ AT farenikvi diodereactorsystemsofamicroetching |