Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов
Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный пр...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70774 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862747150155251712 |
|---|---|
| author | Дудин, С.В. Яцков, А.П. Фареник, В.И. |
| author_facet | Дудин, С.В. Яцков, А.П. Фареник, В.И. |
| citation_txt | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный прибор «Плазмометр», предназначенный для автоматизированного определения ключевых параметров лабораторной и технологической плазмы.
The review of methods and devices for probe control of plasma technological processes is carried out. A series of "Kontrol" devices using specially designed schemes of the probe signal compensation and processing as well as original algorithms of the analysis of etching curves is described. Versatile instrument "PlasmaMeter" designed for automated definition of key parameters of laboratory and technological plasma is described too.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:49:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70774 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:49:26Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дудин, С.В. Яцков, А.П. Фареник, В.И. 2014-11-12T08:00:37Z 2014-11-12T08:00:37Z 2002 Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов / С.В. Дудин, А.П. Яцков, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 3. — С. 43-50. — Бібліогр.: 24 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70774 533.9.082.5 Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также оригинальные алгоритмы анализа кривых травления. Описан также универсальный прибор «Плазмометр», предназначенный для автоматизированного определения ключевых параметров лабораторной и технологической плазмы. The review of methods and devices for probe control of plasma technological processes is carried out. A series of "Kontrol" devices using specially designed schemes of the probe signal compensation and processing as well as original algorithms of the analysis of etching curves is described. Versatile instrument "PlasmaMeter" designed for automated definition of key parameters of laboratory and technological plasma is described too. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов Equipment for probe diagnostics and control of plasma technology processes Article published earlier |
| spellingShingle | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов Дудин, С.В. Яцков, А.П. Фареник, В.И. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов |
| title_alt | Equipment for probe diagnostics and control of plasma technology processes |
| title_full | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов |
| title_fullStr | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов |
| title_full_unstemmed | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов |
| title_short | Оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов |
| title_sort | оборудование для зондовой диагностики и контроля плазменных технологических процессов |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70774 |
| work_keys_str_mv | AT dudinsv oborudovaniedlâzondovoidiagnostikiikontrolâplazmennyhtehnologičeskihprocessov AT âckovap oborudovaniedlâzondovoidiagnostikiikontrolâplazmennyhtehnologičeskihprocessov AT farenikvi oborudovaniedlâzondovoidiagnostikiikontrolâplazmennyhtehnologičeskihprocessov AT dudinsv equipmentforprobediagnosticsandcontrolofplasmatechnologyprocesses AT âckovap equipmentforprobediagnosticsandcontrolofplasmatechnologyprocesses AT farenikvi equipmentforprobediagnosticsandcontrolofplasmatechnologyprocesses |