Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при п...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70788 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70788 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Кренделев, А.Е. 2014-11-13T06:15:26Z 2014-11-13T06:15:26Z 2002 Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70788 621.385.69 Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| spellingShingle |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона Кренделев, А.Е. Технология производства |
| title_short |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_full |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_fullStr |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_full_unstemmed |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_sort |
технологические средства изготовления микрополосковых линий для гис квч-диапазона |
| author |
Кренделев, А.Е. |
| author_facet |
Кренделев, А.Е. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2002 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70788 |
| citation_txt |
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT krendelevae tehnologičeskiesredstvaizgotovleniâmikropoloskovyhliniidlâgiskvčdiapazona |
| first_indexed |
2025-12-07T17:09:50Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:09:50Z |
| _version_ |
1850870218657628160 |