Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при п...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70788 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862708203014324224 |
|---|---|
| author | Кренделев, А.Е. |
| author_facet | Кренделев, А.Е. |
| citation_txt | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:09:50Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70788 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:09:50Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кренделев, А.Е. 2014-11-13T06:15:26Z 2014-11-13T06:15:26Z 2002 Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона / А.Е. Кренделев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 34-39. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70788 621.385.69 Показано, что основные задачи реализации пленочных ГИС сверхвысоких и крайне высоких частот состоят в выборе материала подложки, методов точного формирования проводников, методов и режимов осаждения металлов с высокой проводимостью без адгезионного подслоя. Эти задачи могут быть успешно решены при применении полимерных подложек, методов ионного травления с использованием источника ионов типа Кауфмана и при использовании магнетронного распыления металлов. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона Article published earlier |
| spellingShingle | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона Кренделев, А.Е. Технология производства |
| title | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_full | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_fullStr | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_full_unstemmed | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_short | Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона |
| title_sort | технологические средства изготовления микрополосковых линий для гис квч-диапазона |
| topic | Технология производства |
| topic_facet | Технология производства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70788 |
| work_keys_str_mv | AT krendelevae tehnologičeskiesredstvaizgotovleniâmikropoloskovyhliniidlâgiskvčdiapazona |