Зображення обкладинки

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем

Показано, что с помощью лазерной рекристаллизации пленок поликристаллического кремния удается получить высококачественные монокристаллические слои, что позволяет изготавливать в них элементы функциональных микросхем, в частности, датчики Холла....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2002
Автори:	Искендер-заде, З.А., Касимов, Ф.Д., Исмайлова, С.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Теми:	Технология производства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70789
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем / З.А. Искендер-заде, Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 40-42. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Микроволновый нагрев: особенности модернизации технологии
за авторством: Демьянчук, Б.А.
Опубліковано: (2004)

Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
за авторством: Завадский, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Контактное взаимодействие и смачивание поликристаллического кремния металлическими расплавами
за авторством: Красовский, В.П., та інші
Опубліковано: (2018)

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)

Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2003)

Действие радиации на чувствительность магнитотранзисторов из высокоомного кремния
за авторством: Викулина, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
за авторством: Джавадов, Н.Г.
Опубліковано: (2005)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Плазменный процесс получения «солнечного» кремния
за авторством: Петров, С.В.
Опубліковано: (2013)

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Smyntyna, V. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
за авторством: Смынтына, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Опубліковано: (1998)

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5299Б
Опубліковано: (1998)

Косвенный метод вычисления объема яиц у колониально гнездящихся ржанкообразных птиц
за авторством: Черничко, И.И., та інші
Опубліковано: (1999)

Проблемы получения непрерывнолитых биметаллических заготовок
за авторством: Титова, Т.М.
Опубліковано: (2004)

Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)

Нестационарный нагрев движущихся объектов
за авторством: Байда, Е.И.
Опубліковано: (2014)

Проблемы получения чистого кремния для солнечной энергетики
за авторством: Шаповалов, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности
за авторством: Алиев, Р., та інші
Опубліковано: (2011)

Спекание алмазного поликристаллического композиционного материала в системе Салм.–Si–Pd
за авторством: Дуда, Т.М., та інші
Опубліковано: (2010)

ФАЗОВЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ВИБРАЦИЙ С РАСШИРЕННЫМ ЧАСТОТНЫМ ДИАПАЗОНОМ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Оценка перспектив повышения эффективности получения конечной продукции из угля
за авторством: Гринев, В.Г.
Опубліковано: (2008)

Синтез каталитически активных подложек для получения наноструктур германия (IV)
за авторством: Дорошенко, М.Н., та інші
Опубліковано: (2011)

Антенная решетка из активных элементов для радиоастрономии
за авторством: Коноваленко, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)

ЛАЗЕРНЫЙ ДАТЧИК ВИБРАЦИЙ, ОСНОВАННЫЙ НА ЧАСТОТНО-ФАЗОВОМ МЕТОДЕ ИЗМЕРЕНИЯ РАССТОЯНИЙ
за авторством: Брагинец, И.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
за авторством: Mokritskij, V. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2010)

Нагрев водорода высокой плотности излучением сильноточной дуги
за авторством: Пинчук, М.Э., та інші
Опубліковано: (2012)

Нагрев частиц угольной пыли плазмой СВЧ-разряда
за авторством: Тымчик, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Импульсный нагрев рабочего пространства в теплотехнических агрегатах
за авторством: Бирюков, А.Б., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Попов, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния
за авторством: Филатов, Ю.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Нейросетевая технология распознавания объектов топологии интегральных микросхем
за авторством: Дудкин, А.А.
Опубліковано: (2008)