Buchumschlag

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем

Показано, что с помощью лазерной рекристаллизации пленок поликристаллического кремния удается получить высококачественные монокристаллические слои, что позволяет изготавливать в них элементы функциональных микросхем, в частности, датчики Холла....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2002
Hauptverfasser:	Искендер-заде, З.А., Касимов, Ф.Д., Исмайлова, С.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Schlagworte:	Технология производства
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70789
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем / З.А. Искендер-заде, Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 40-42. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Микроволновый нагрев: особенности модернизации технологии
von: Демьянчук, Б.А.
Veröffentlicht: (2004)

Влияние радиационного облучения на характеристики солнечных элементов из поликристаллического кремния
von: Завадский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
von: Агаев, Ф.Г.
Veröffentlicht: (2001)

Контактное взаимодействие и смачивание поликристаллического кремния металлическими расплавами
von: Красовский, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Электрические свойства межзеренных границ в объеме поликристаллического кремния
von: Олимов, Л.О., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Действие радиации на чувствительность магнитотранзисторов из высокоомного кремния
von: Викулина, Л.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
von: Марончук, И.Е., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Ivanchykou, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
von: Джавадов, Н.Г.
Veröffentlicht: (2005)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование пленок поликристаллического кремния для применения в фильтровых спектральных приборах
von: Javadov, N. G.
Veröffentlicht: (2005)

Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
von: Спирин, В.Г.
Veröffentlicht: (2004)

Плазменный процесс получения «солнечного» кремния
von: Петров, С.В.
Veröffentlicht: (2013)

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
von: Светличный, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Косвенный метод вычисления объема яиц у колониально гнездящихся ржанкообразных птиц
von: Черничко, И.И., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Smyntyna, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл — p-кремний»
von: Смынтына, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Лазерный генератор изображений ЭМ-5009В
Veröffentlicht: (1998)

Проблемы получения непрерывнолитых биметаллических заготовок
von: Титова, Т.М.
Veröffentlicht: (2004)

Оценка технологического процесса изготовления СБИС по стабильности элементов ее структуры
von: Вантеев, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Нестационарный нагрев движущихся объектов
von: Байда, Е.И.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
von: Касимов, Ф.Д., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Проблемы получения чистого кремния для солнечной энергетики
von: Шаповалов, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5299Б
Veröffentlicht: (1998)

Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Veröffentlicht: (1998)

Процесс формовки пластин поликристаллического кремния из порошкового сырья и анализ примесного состава их поверхности
von: Алиев, Р., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Спекание алмазного поликристаллического композиционного материала в системе Салм.–Si–Pd
von: Дуда, Т.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности получения наночастиц карбида кремния из стружки бамбука
von: До Дык Хуэн, et al.
Veröffentlicht: (2014)

Оценка перспектив повышения эффективности получения конечной продукции из угля
von: Гринев, В.Г.
Veröffentlicht: (2008)

Синтез каталитически активных подложек для получения наноструктур германия (IV)
von: Дорошенко, М.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Переключение тока и напряжения при нагреве беспереходного поликристаллического кремния, легированного щелочными металлами в области межзеренных границ
von: Олимов, Л.О., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Антенная решетка из активных элементов для радиоастрономии
von: Коноваленко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Перспективы технологии получения солнечного кремния восстановлением кварцевого песка пироуглеродом
von: Бондаренко, Б.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

ФАЗОВЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ ПАРАМЕТРОВ ВИБРАЦИЙ С РАСШИРЕННЫМ ЧАСТОТНЫМ ДИАПАЗОНОМ
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Фазовый лазерный измеритель параметров вибраций с расширенным частотным диапазоном
von: Брагинец, И.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Локальные свойства электрически активных дефектов в солнечных батареях на основе кремния
von: Попов, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
von: Новосядлый, С.П.
Veröffentlicht: (1998)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Mokritskij, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Исследование радиационной стойкости гибридных интегральных микросхем
von: Мокрицкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)