Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
Проведен анализ температурных погрешностей датчиков давления, выявлена физическая природа их возникновения. Выработаны рекомендации по конструированию датчиков давления с уменьшенной температурной погрешностью. Классифицированы и рассмотрены методы уменьшения температурных погрешностей, приведены пр...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70792 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 50-54. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860044267153522688 |
|---|---|
| author | Васильев, В.А. |
| author_facet | Васильев, В.А. |
| citation_txt | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 50-54. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведен анализ температурных погрешностей датчиков давления, выявлена физическая природа их возникновения. Выработаны рекомендации по конструированию датчиков давления с уменьшенной температурной погрешностью. Классифицированы и рассмотрены методы уменьшения температурных погрешностей, приведены примеры реализации методов в конструкциях датчиков давления.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:57:39Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
50
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ÌÅÒÎÄÛ ÓÌÅÍÜØÅÍÈß ÒÅÌÏÅÐÀÒÓÐÍÎÉ ÏÎÃÐÅØÍÎÑÒÈ
ÄÀÒ×ÈÊΠÄÀÂËÅÍÈß
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
04.06 2002 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Å. Â. ÁÎÍÄÀÐÅÍÊÎ
(ÍÈÈ "Øòîðì", ã. Îäåññà)
Ê. ô.-ì. í. Â. À. ÂÀÑÈËÜÅÂ
Ðîññèÿ, Ïåíçåíñêèé ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò
Å-mail: paspen@rambler.ru
Êëàññèôèöèðîâàíû è ðàññìîòðåíû ìå-
òîäû óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè, ïðèâåäåíû ïðèìåðû ðåàëè-
çàöèè ìåòîäîâ â êîíñòðóêöèÿõ äàò÷è-
êîâ äàâëåíèÿ.
Ïðÿìûì íàçíà÷åíèåì äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ ÿâëÿåòñÿ
ðåãèñòðàöèÿ èçìåðÿåìîé âåëè÷èíû. Îäíàêî â áîëü-
øèíñòâå ñëó÷àåâ, íàðÿäó ñ ïîëåçíûì èíôîðìàòèâ-
íûì ñèãíàëîì èçìåðÿåìîé âåëè÷èíû, íà ÷óâñòâèòåëü-
íûé ýëåìåíò äàò÷èêà (ïåðâè÷íîãî ïðåîáðàçîâàòåëÿ)
äåéñòâóåò íåèíôîðìàòèâíûé ñèãíàë (ñèãíàë ïîìåõè).
Âûäåëåíèå ïîëåçíîãî èíôîðìàòèâíîãî ñèãíàëà íå
âñåãäà áûâàåò ïðîñòîé çàäà÷åé, è ðåøàòü åå ïðèõî-
äèòñÿ ðàçëè÷íûìè ïóòÿìè [1,2].
Ê ÷èñëó íàèáîëåå ÷àñòî âñòðå÷àþùèõñÿ ôàêòîðîâ,
âûçûâàþùèõ ïîÿâëåíèå íåèíôîðìàòèâíîãî ñèãíàëà,
îòíîñèòñÿ òåìïåðàòóðà. Öåëüþ íàñòîÿùåé ñòàòüè ÿâ-
ëÿåòñÿ ïîëó÷åíèå ðåêîìåíäàöèé ïî ðàöèîíàëüíîìó
ïðîåêòèðîâàíèþ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ ñ ó÷åòîì àíàëèçà
èõ òåìïåðàòóðíûõ ïîãðåøíîñòåé.
Ðàçëè÷àþò êâàçèñòàòè÷åñêîå è äèíàìè÷åñêîå
âîçäåéñòâèå òåìïåðàòóðû [1]. Äèíàìè÷åñêîå
âîçäåéñòâèå ÷àùå âñåãî îêàçûâàåòñÿ ñî ñòîðîíû èç-
ìåðÿåìîé ñðåäû. Ñî ñòîðîíû îêðóæàþùåé ñðåäû
îáû÷íî èìååò ìåñòî êâàçèñòàòè÷åñêîå âîçäåéñòâèå
òåìïåðàòóðû (ìåäëåííî ìåíÿþùååñÿ ñî âðåìåíåì).
Âåëè÷èíîé, õàðàêòåðèçóþùåé âëèÿíèå òåìïåðàòóðû
íà âûõîäíîé ñèãíàë ïåðâè÷íûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé,
ñëóæèò òåìïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü.
Òåìïåðàòóðíûå ïîãðåøíîñòè äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ
îáóñëîâëåíû ìíîãèìè ôèçè÷åñêèìè ïðîöåññàìè,
ïðîòåêàþùèìè â íèõ ïðè òåïëîâîì âîçäåéñòâèè. Íàè-
áîëåå îáùèìè ïðè÷èíàìè âîçíèêíîâåíèÿ òåìïåðàòóð-
íûõ ïîãðåøíîñòåé ÿâëÿþòñÿ èçìåíåíèå ñîïðîòèâëå-
íèÿ, èçìåíåíèå êîýôôèöèåíòà ÷óâñòâèòåëüíîñòè, èç-
ìåíåíèå ìîäóëÿ óïðóãîñòè, èçìåíåíèå ëèíåéíûõ ðàç-
ìåðîâ [2]. Îäíàêî â êàæäîì îòäåëüíîì ñëó÷àå íåîá-
õîäèìî àíàëèçèðîâàòü âñå âèäû ïðè÷èí. Íàïðèìåð,
ïðè ðàçðàáîòêå äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ äëÿ äâèãàòåëåé
âíóòðåííåãî ñãîðàíèÿ è áàëëèñòè÷åñêèõ óñòàíîâîê
íåëüçÿ îñòàâëÿòü áåç âíèìàíèÿ òàêèå ÿâëåíèÿ êàê òåì-
ïåðàòóðíàÿ äåôîðìàöèÿ è ïîÿâëåíèå ãðàäèåíòà òåì-
ïåðàòóðû, êîòîðûå ìîãóò ñëóæèòü ïðè÷èíîé âîçíèê-
íîâåíèÿ çíà÷èòåëüíîé òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè.
 ïîñëåäíèå äåñÿòèëåòèÿ äëÿ òî÷íûõ èçìåðåíèé
äàâëåíèé äîñòàòî÷íî øèðîêîå ïðèìåíåíèå ïîëó÷èëè
òåíçîðåçèñòîðíûå ïðåîáðàçîâàòåëè íà îñíîâå ìåòàë-
ëîïëåíî÷íûõ òåíçîðåçèñòîðîâ, ÷òî ïîçâîëèëî ñîçäàòü
íîâûé êëàññ äàò÷èêîâ � ìåòàëëîïëåíî÷íûå èíòåãðàëü-
íûå äàò÷èêè. Îäíàêî ñóùåñòâóþùèå ìåòàëëîïëåíî÷-
íûå äàò÷èêè äàâëåíèÿ îáëàäàþò ðÿäîì íåäîñòàòêîâ,
êîòîðûå ñäåðæèâàþò èõ ïðèìåíåíèå â ìîùíûõ ýíåð-
ãåòè÷åñêèõ óñòàíîâêàõ. Ê òàêèì íåäîñòàòêàì ñëåäóåò
îòíåñòè âûñîêóþ òåìïåðàòóðíóþ ïîãðåøíîñòü ïðè
ðàáîòå â óñëîâèÿõ äåéñòâèÿ íåñòàöèîíàðíûõ òåìïå-
ðàòóð (òåðìîóäàðà), çíà÷èòåëüíóþ òåìïåðàòóðíóþ ïî-
ãðåøíîñòü íóëÿ è ÷óâñòâèòåëüíîñòè.
Ìîæíî âûäåëèòü òðè îñíîâíûõ ãðóïïû ìåòîäîâ
óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè � êîíñò-
ðóêòèâíóþ, ñõåìíóþ è êîíñòðóêòèâíî-ñõåìíóþ.
Êîíñòðóêòèâíûå ìåòîäû. Îäíîé èç ñóùåñòâåí-
íûõ ïðè÷èí âîçíèêíîâåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè ïåðâè÷íûõ ïðåîáðàçîâàòåëåé, ïîñòðîåí-
íûõ íà îñíîâå ìåòàëëîïëåíî÷íûõ òåíçîðåçèñòîðîâ,
ÿâëÿåòñÿ íàëè÷èå ãðàäèåíòà òåìïåðàòóðû â ýëåìåíòàõ
êîíñòðóêöèè äàò÷èêà. Îñîáåííî ñèëüíîå äåéñòâèå
ãðàäèåíòà òåìïåðàòóðû ïðîÿâëÿåòñÿ â âûõîäíîì ñèã-
íàëå äàò÷èêà èç-çà âîçäåéñòâèÿ íà åãî ÷óâñòâèòåëü-
íûé ýëåìåíò.
Ýôôåêòèâíûì ìåòîäîì óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóð-
íûõ ïîãðåøíîñòåé, îáóñëîâëåííûõ ãðàäèåíòîì òåì-
ïåðàòóðû, ÿâëÿåòñÿ ñîçäàíèå ðàâåíñòâà óñðåäíåííûõ
òåìïåðàòóð äëÿ ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ ïåðâè÷íûõ
ïðåîáðàçîâàòåëåé. Äàííûé ìåòîä ïðèìåíåí â äàò÷è-
êå äëÿ èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ [3], êîíñòðóêöèÿ êîòîðî-
ãî ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 1. Äàò÷èê ñîäåðæèò ìåìáðà-
íó ñ òåíçîðåçèñòîðàìè, ñôîðìèðîâàííûìè ïî ìåòàë-
ëîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè (ñì. ðèñ. 1, à) è îáúåäèíåí-
íûìè â ìîñòîâóþ èçìåðèòåëüíóþ öåïü (ðèñ. 1, á).
Ðèñ. 1. Äàò÷èê èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ ñ ðàâíîé óñðåäíåí-
íîé òåìïåðàòóðîé ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ:
à � ðàñïîëîæåíèå òåíçîðåçèñòîðîâ íà ìåìáðàíå; á � ìîñòîâàÿ
èçìåðèòåëüíàÿ öåïü
R1
R2 R4
R3
r0
r1
à) á)
R1
R2 R4
R3
+ Uïèò �
Uâûõ
51
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ñíèæåíèå âëèÿíèÿ òåðìîóäàðà íà âûõîäíîé ñèãíàë
äàò÷èêà äîñòèãàåòñÿ ïóòåì îïðåäåëåííîãî ðàçìåùå-
íèÿ òåíçîðåçèñòîðîâ íà ìåìáðàíå. Òåíçîðåçèñòîðû
R2 è R3, ðàñïîëîæåííûå â îêðóæíîì íàïðàâëåíèè,
óñòàíîâëåíû ïî îêðóæíîñòè, ðàäèóñ êîòîðîé ðàâåí
,
3
1
òð0 lrr −= (1)
Ïðè äåéñòâèè òåðìîóäàðà, íàïðèìåð, òåìïåðàòóðû
Ò= �196°Ñ (æèäêèé àçîò) òåìïåðàòóðà íà ïîâåðõíîñ-
òè âîñïðèíèìàþùåé ìåìáðàíû ðàñïðåäåëÿåòñÿ íåðàâ-
íîìåðíî, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ. 2 (ýêñïåðèìåíòàëüíûå
äàííûå, rì � òåêóùèé ðàäèóñ ìåìáðàíû). Èç ðèñóí-
êà âèäíî, ÷òî çíà÷åíèå òåìïåðàòóðû, ñîîòâåòñòâóþ-
ùåå ñðåäíåìó çíà÷åíèþ òåìïåðàòóðû êðàåâ ðàäèàëü-
íûõ òåíçîðåçèñòîðîâ R1 è R4, íàõîäèòñÿ íà ðàññòîÿ-
íèè r îò öåíòðà ìåìáðàíû è ñîîòâåòñòâóåò âûðàæå-
íèþ (1). Èçìåíåíèå ñîïðîòèâëåíèé òåíçîðåçèñòîðîâ
R2 è R3 (îêðóæíûõ) ïîä äåéñòâèåì òåðìîóäàðà ðàâ-
íî èçìåíåíèþ ñîïðîòèâëåíèé òåíçîðåçèñòîðîâ R1 è
R4 (ðàäèàëüíûõ). À ïîñêîëüêó òåíçîðåçèñòîðû R1,
R2, R3 è R4 îáðàçóþò ïëå÷è ìîñòà, òî ñèãíàë íà âû-
õîäå èçìåðèòåëüíîé öåïè íå èçìåíÿåòñÿ ïðè âîçäåé-
ñòâèè òåðìîóäàðà. Òåìïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü ñòà-
íîâèòñÿ ïðàêòè÷åñêè ðàâíîé íóëþ.
Àääèòèâíàÿ òåìïåðàòóðíàÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòü äàò-
÷èêà äàâëåíèÿ, õàðàêòåðèçóþùàÿ òåìïåðàòóðíóþ ïî-
ãðåøíîñòü, îïðåäåëÿåòñÿ âûðàæåíèåì
( ) ( )
,
4
1
3241
0
∑
=
ε
α+α−α+α=
i
Ri
TS
(2)
Äëÿ ðàññìîòðåííîé êîíñòðóêöèè äàò÷èêà äàâëå-
íèÿ α1=α2=α3=α4, ïîýòîìó èç âûðàæåíèÿ (2) ñëåäó-
åò, ÷òî S0T=0.
Íà ðèñ. 3 ïðåäñòàâëåíû ãðàôèêè èçìåíåíèÿ íà-
÷àëüíîãî âûõîäíîãî ñèãíàëà äàò÷èêà äàâëåíèÿ â ñðàâ-
íåíèè ñ ïðîòîòèïîì ïðè âîçäåéñòâèè íà ïðèåìíóþ
ïîëîñòü æèäêîãî àçîòà (òåðìîóäàð). Èç ðèñóíêà âèä-
íî, ÷òî ñêà÷êîîáðàçíîå èçìåíåíèå íà÷àëüíîãî âûõîä-
íîãî ñèãíàëà (à ñëåäîâàòåëüíî, è âåëè÷èíà ïîãðåø-
íîñòè) â ïðåäëàãàåìîé êîíñòðóêöèè ïðàêòè÷åñêè îò-
ñóòñòâóåò, à òåìïåðàòóðíàÿ ïîãðåøíîñòü íå ïðåâûøàåò
ïîãðåøíîñòè â ñòàöèîíàðíîì òåìïåðàòóðíîì ðåæè-
ìå. Ìåòîä ñîçäàíèÿ ðàâåíñòâà óñðåäíåííûõ òåìïåðà-
òóð ïðèìåíåí â ðàçëè÷íûõ êîíñòðóêöèÿõ äàò÷èêîâ
äàâëåíèÿ [4 è äð.].
Ñõåìíûå ìåòîäû óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ
ïîãðåøíîñòåé äàò÷èêîâ äîñòàòî÷íî õîðîøî
îïèñàíû â [5, ñ. 48�68].
 êà÷åñòâå ïðèìåðà ñõåìíîãî ðåøåíèÿ çàäà÷è âîñ-
ñòàíîâëåíèÿ èíôîðìàöèè î äàâëåíèè è óìåíüøåíèÿ
òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåí
äàò÷èê äàâëåíèÿ, âõîäÿùèé â óñòðîéñòâî [6].  íåì
÷óâñòâèòåëüíûå ê äåôîðìàöèè ìåòàëëîïëåíî÷íûå òåí-
çîðåçèñòîðû ñôîðìèðîâàíû íà ïëîñêîé ãðàíè ñòåð-
æíåâîãî óïðóãîãî ýëåìåíòà 2. Òåíçîðåçèñòîðû 1 è 6
èñïûòûâàþò ïðîäîëüíóþ, à òåíçîðåçèñòîðû 4 è 7 �
ïîïåðå÷íóþ äåôîðìàöèè.
ðàññòîÿíèå îò öåíòðà ìåìáðàíû äî ñåðåäèíû
ðàäèàëüíûõ òåíçîðåçèñòîðîâ R1 è R4;
äëèíà ðàäèàëüíîãî òåíçîðåçèñòîðà.
ãäå r0 �
lòð �
T, °C
r0
rR2
R1 R3
R4lòð
rì
�153
�196
�240
Ðèñ. 2. Ðàñïðåäåëåíèå
òåìïåðàòóð íà ïîâåð-
õíîñòè ìåìáðàíû ïðè
òåðìîóäàðå
U0, %
30
15
0
0 5 10 15 t, ìèí
Ïðîòîòèï
Ïðåäëàãàåìàÿ êîíñòðóêöèÿ
Ðèñ. 3. Èçìåíåíèå íà÷àëüíîãî âûõîäíîãî ñèãíàëà äàò÷è-
êà äàâëåíèÿ ñî âðåìåíåì â ñðàâíåíèè ñ ïðîòîòèïîì
2
8
1
À
11 7 10
6
94
1
À
2
3
Ð
4 5
7 6
Ðèñ. 4. Äàò÷èê äàâëåíèÿ ñî ñòåðæíåâûì óïðóãèì
ýëåìåíòîì:
1, 4, 6, 7 � ìåòàëëîïëåíî÷íûå òåíçîðåçèñòîðû; 2 �ñòåðæíåâîé
óïðóãèé ýëåìåíò; 3 � ìåìáðàíà; 5 � êîðïóñ äàò÷èêà; 8�11 �
êîíòàêòíûå ïëîùàäêè
òåìïåðàòóðíûå êîýôôèöèåíòû ñîïðî-
òèâëåíèÿ òåíçîðåçèñòîðîâ R1, R2, R3, R4
(ñîîòâåòñòâåííî) ñ ó÷åòîì òåìïåðàòóð-
íîãî ïîëÿ;
îòíîñèòåëüíîå èçìåíåíèå ñîïðîòèâëå-
íèÿ âñåõ ïëå÷ ìîñòîâîé öåïè îò íîìè-
íàëüíîãî äàâëåíèÿ.
ãäå α1, ..., α4 �
�∑
=
ε
4
1i
Ri
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
52
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ïðè ïîäà÷å èçìåðÿåìîãî äàâëåíèÿ (Ð) ñî ñòîðîíû
ìåìáðàíû 3 (ðèñ. 4) íà âûõîäå ìîñòîâîé èçìåðèòåëü-
íîé öåïè èç òåíçîðåçèñòîðîâ 1, 4, 6, 7 ïîÿâëÿåòñÿ
ñèãíàë, ïðîïîðöèîíàëüíûé èçìåðÿåìîìó äàâëåíèþ.
Ýòîò ñèãíàë (ñì. ðèñ. 5) óñèëèâàåòñÿ óñèëèòåëåì 12
è ïîäàåòñÿ ÷åðåç ðåãóëèðóþùèé ýëåìåíò (ðåãóëÿòîð
íàïðÿæåíèÿ) 13 íà âûõîä óñòðîéñòâà.
Ïðè âîçäåéñòâèè íà äàò÷èê íåñòàöèîíàðíûõ òåì-
ïåðàòóð, êîãäà èìååò ìåñòî ãðàäèåíò òåìïåðàòóðû ïî
äëèíå ñòåðæíåâîãî óïðóãîãî ýëåìåíòà, òåíçîðåçèñ-
òîðû 4 è 7 îêàçûâàþòñÿ â íåîäèíàêîâûõ òåìïåðàòóð-
íûõ óñëîâèÿõ. Â ðåçóëüòàòå íà âûõîäå óñèëèòåëåé 14
è 15 ñèãíàëû îêàçûâàþòñÿ íåðàâíûìè ïî âåëè÷èíå,
è ñ âûõîäà ñóììàòîðà 16 ðàçíîñòíûé ñèãíàë, îòëè÷-
íûé îò íóëÿ, ïîñòóïàåò íà âõîä óïðàâëåíèÿ ðåãóëÿòî-
ðà íàïðÿæåíèÿ 13. Ðåãóëÿòîð íàïðÿæåíèÿ, óïðàâëÿå-
ìûé ïîñòóïàþùèì íà âõîä óïðàâëåíèÿ ñèãíàëîì,
îáåñïå÷èâàåò âîññòàíîâëåíèå èíôîðìàòèâíîãî ñèã-
íàëà íà âûõîäå ìîñòîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè, óìåíü-
øàÿ òåìïåðàòóðíóþ ïîãðåøíîñòü.
Êîíñòðóêòèâíî-ñõåìíûå ìåòîäû. Â öåëÿõ óìåíü-
øåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ ïîãðåøíîñòåé äàò÷èêîâ
äàâëåíèÿ ýòè ìåòîäû ïðåäñòàâëÿþò íåñîìíåííûé èí-
òåðåñ.
Ìåòîä ïî ïðèíöèïó äîïîëíèòåëüíîñòè ðåàëèçî-
âàí â óñòðîéñòâå äëÿ èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ [7], êîíñò-
ðóêöèÿ äàò÷èêà êîòîðîãî ïðåäñòàâëåíà íà ðèñ. 6. Çà
ñ÷åò èçãîòîâëåííûõ â êîðïóñå äàò÷èêà 1 äâóõ ïðî-
äîëüíûõ ïîëóñôåðè÷åñêèõ ïàçîâ 8, âûïîëíåííûõ ñ
òîðöåâîé ñòîðîíû, îáðàçîâàíû êàíàëû äëÿ îõëàæäà-
þùåé æèäêîñòè, è ìåìáðàíà îõëàæäàåòñÿ ñî ñòîðî-
íû åå îñíîâàíèÿ. Âìåñòå ñ òåì ìåòàëëîïëåíî÷íûå òåí-
çîðåçèñòîðû, îáðàçóþùèå ìîñòîâóþ èçìåðèòåëüíóþ
öåïü, ðàñïîëîæåíû íà ìåìáðàíå îïðåäåëåííûì îá-
ðàçîì.  ÷àñòíîñòè (ñì. ðèñ. 7), òåíçîðåçèñòîðû 13 è
14 ñâîåé ñðåäèííîé ÷àñòüþ ðàçìåùåíû íà äâóõ îê-
ðóæíîñòÿõ ñ ðàäèóñàìè òð01 4
1
lrr += è òð02 4
1
lrr −= ,
ñîîòâåòñòâåííî. Ïðè òàêîì ðàñïîëîæåíèè òåíçîðåçè-
ñòîðîâ ïðîèñõîäèò êîìïåíñàöèÿ òåìïåðàòóðíîé ïî-
ãðåøíîñòè, âûçûâàåìîé íàëè÷èåì ãðàäèåíòà òåìïå-
ðàòóðû ïî ïîâåðõíîñòè ìåìáðàíû.
Ïðè ðàáîòå äàò÷èêà â óñëîâèÿõ âîçäåéñòâèÿ ñòà-
öèîíàðíûõ è íåñòàöèîíàðíûõ òåìïåðàòóð íà âûõîäå
ìîñòîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè èç òåíçîðåçèñòîðîâ
11�16 (ñì. ðèñ. 8) áóäåò âîçíèêàòü òåìïåðàòóðíàÿ
ïîãðåøíîñòü, îáóñëîâëåííàÿ èçìåíåíèåì ÷óâñòâè-
òåëüíîñòè. Îäíàêî íà âûõîäå óñòðîéñòâà ýòà ïîãðåø-
íîñòü çíà÷èòåëüíî ñíèæåíà. Âûõîäíîé ñèãíàë ñ ìîñ-
òîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè U, ñîäåðæàùèé ñîñòàâëÿ-
þùóþ òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè ∆U(t), óñèëèâà-
åòñÿ óñèëèòåëåì 18 â K ðàç. Îäíîâðåìåííî ñ ïîëåç-
íûì ñèãíàëîì óñèëèâàåòñÿ è ñîñòàâëÿþùàÿ òåìïå-
ðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè ∆U(t). Äàëåå óñèëåííûé ñèã-
íàë äåëèòñÿ íà íàïðÿæåíèå U0 â òî÷êå ñîåäèíåíèÿ
ìîñòîâîé èçìåðèòåëüíîé öåïè ñ ïîñòîÿííûì ðåçèñ-
òîðîì 17, êîòîðûé ïîäêëþ÷åí ê ñòàáèëèçàòîðó íà-
ïðÿæåíèÿ 19. Íàïðÿæåíèå â ýòîé òî÷êå ïðîïîðöèî-
íàëüíî èçìåíåíèþ ÷óâñòâèòåëüíîñòè ìîñòà.
Uïèò
Uâûõ
13
14
15
16
128
1
9
4 6
10
11
7
Ðèñ. 5. Èçìåðèòåëüíàÿ ñõåìà óñòðîéñòâà äëÿ èçìåðåíèÿ
äàâëåíèÿ:
12, 14, 15 � óñèëèòåëè; 13 � ðåãóëÿòîð íàïðÿæåíèÿ; 16 �
ñóììàòîð
7
5 3
61
6
À�À 1À À
2
3
4
5
6
7
1
8
9
Ðèñ. 6. Êîíñòðóêöèÿ îõëàæäàå-
ìîãî äàò÷èêà äàâëåíèÿ:
1 � îñíîâàíèå ìåìáðàíû; 2 � âîñ-
ïðèíèìàþùàÿ ìåìáðàíà; 3 � êîëü-
öåâàÿ ïðîòî÷êà; 4 � êîíòàêòíàÿ êî-
ëîäêà; 5 � çàùèòíàÿ ãèëüçà; 6 �
ïðîäîëüíûé ïîëóñôåðè÷åñêèé ïàç;
7 � êîðïóñ äàò÷èêà; 8 � êàíàë äëÿ
ïîäâîäà è îòâîäà îõëàæäàþùåé æèä-
êîñòè; 9 � êàáåëüíàÿ ïåðåìû÷êà
13
10
11
16
2
15
10 10
12
Ðèñ. 7. Ðàñïîëîæåíèå òåíçîðåçèñòîðîâ íà ìåìáðàíå:
11, 12, 15, 16 � ðàäèàëüíûå òåíçîðåçèñòîðû; 13, 14 � îêðóæíûå
òåíçîðåçèñòîðû; 10 � êîíòàêòíûå ïëîùàäêè
14
r
0
r 1
r 2
r ì
53
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ðàñ÷åòû ïîêàçûâàþò, ÷òî
( )[ ]
( )[ ] .
1
1
0
1
0
1
âûõ U
KU
t
t
U
ε+
ε+= (3)
Èç (3) âèäíî, ÷òî îòíîñèòåëüíûå èçìåíåíèÿ íàïðÿ-
æåíèé âûõîäíîãî ñèãíàëà ε1(t) è íàïðÿæåíèÿ â òî÷êå
ñîåäèíåíèÿ ïîñòîÿííîãî ðåçèñòîðà ñ ìîñòîâîé èçìå-
ðèòåëüíîé öåïüþ ε0(t) îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíû,
ò. å. âêëþ÷åí ìåõàíèçì êîìïåíñàöèè äëÿ âîññòàíîâ-
ëåíèÿ èíôîðìàöèè î äàâëåíèè.
Îñîáåííîñòüþ ðàññìîòðåííîãî ìåòîäà ÿâëÿåòñÿ òî,
÷òî êîíñòðóêòèâíûå ðåøåíèÿ äîïîëíÿþòñÿ ñõåìíû-
ìè ðåøåíèÿìè, çà ñ÷åò ÷åãî äîñòèãàåòñÿ áîëüøèé
ïîëîæèòåëüíûé ýôôåêò.
Ìåòîä ïî ïðèíöèïó åäèíîãî öåëîãî ðåàëèçîâàí â
óñòðîéñòâå äëÿ èçìåðåíèÿ äàâëåíèÿ [8], ãäå ñ öåëüþ
óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíîé ïîãðåøíîñòè íà ìåìáðà-
íå ñôîðìèðîâàíû òåðìîðåçèñòèâíûé ìîñò è òåíçîðå-
çèñòèâíûé ìîñò, èìåþùèå îäèíàêîâóþ òîïîëîãèþ è
ðàçìåùåííûå äðóã íàä äðóãîì. Îáà ìîñòà ïîäêëþ-
÷àþòñÿ ê îáùåé èçìåðèòåëüíîé ñõåìå, èçîáðàæåí-
íîé íà ðèñ. 9. Â îäíó èç äèàãîíàëåé êàæäîãî ìîñòà
âêëþ÷åí ðåãóëèðóþùèé ýëåìåíò 9, à â ïðîòèâîïî-
ëîæíóþ äèàãîíàëü � äèôôåðåíöèàëüíûé óñèëèòåëü
11, ñ êîòîðîãî ïîñòóïàåò ñèãíàë íà ñóììàòîð 12.
Ïðè äåéñòâèè òåðìîóäàðà èçìåíÿåòñÿ òåíçî÷óâñòâè-
òåëüíîñòü òåíçîðåçèñòîðîâ 1�4, âìåñòå ñ ýòèì èçìå-
íÿåòñÿ ñîïðîòèâëåíèå òåðìîðåçèñòîðîâ 5�8 è, ñëå-
äîâàòåëüíî, âåëè÷èíà ñèãíàëà, ïîñòóïàþùåãî ñ óñè-
ëèòåëÿ 11 íà ñóììàòîð 12. Èçìåíåííûé ñèãíàë ñ ñóì-
ìàòîðà 12, âîçäåéñòâóÿ íà ýëåìåíò 9, ðåãóëèðóåò íà-
ïðÿæåíèå ïèòàíèÿ ìîñòà èç òåðìîðåçèñòîðîâ òàêèì
îáðàçîì, ÷òî ñèãíàë íà âûõîäå óñèëèòåëÿ 11 îñòàåòñÿ
íåèçìåííûì è ðàâíûì ïî àáñîëþòíîé âåëè÷èíå îïîð-
íîìó íàïðÿæåíèþ Uîï. Íàïðÿæåíèå ïèòàíèÿ ìîñòîâ
èçìåíÿåòñÿ îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíî èçìåíåíèþ
âûõîäíîãî ñèãíàëà ìîñòà èç òåðìîðåçèñòîðîâ 5�8.
Ïîñêîëüêó ìîñòîâàÿ èçìåðèòåëüíàÿ öåïü èç òåð-
ìîðåçèñòîðîâ ðàçìåùåíà íàä ìîñòîâîé èçìåðèòåëü-
íîé öåïüþ èç òåíçîðåçèñòîðîâ, çàêîíîìåðíîñòü èç-
ìåíåíèÿ ñèãíàëà ïðè âîçäåéñòâèè òåðìîóäàðà ñ ìîñ-
òà èç òåðìîðåçèñòîðîâ àäåêâàòíà èçìåíåíèþ ñèãíàëà
ñ ìîñòà èç òåíçîðåçèñòîðîâ. Â ðåçóëüòàòå ýòîãî âû-
õîäíîé èíôîðìàòèâíûé ñèãíàë óñèëèòåëÿ 10 âîññòà-
íàâëèâàåòñÿ è çàâèñèò òîëüêî îò èçìåíåíèÿ äàâëåíèÿ,
à òåðìîóäàð ïðàêòè÷åñêè íå âëèÿåò íà âûõîäíóþ õà-
ðàêòåðèñòèêó äàò÷èêà. Çäåñü, êàê è â ðàíåå ðàññìîò-
ðåííûõ ñëó÷àÿõ, âêëþ÷åíèå ìåõàíèçìà êîìïåíñàöèè
ïðèâîäèò ê âîññòàíîâëåíèþ èíôîðìàöèè.
Òîò æå ìåòîä ðåàëèçîâàí è â óñòðîéñòâàõ äëÿ èç-
ìåðåíèÿ äàâëåíèÿ ñ äðóãèìè òèïàìè äàò÷èêîâ � äàò-
÷èêîâ ñî ñòåðæíåâûì óïðóãèì ýëåìåíòîì [9].
 êàæäîì èç ðàññìîòðåííûõ âàðèàíòîâ òåõíè÷åñ-
êèõ ðåøåíèé çàäåéñòâîâàí ìåõàíèçì êîìïåíñàöèè
äåñòàáèëèçèðóþùåãî ôàêòîðà (òåìïåðàòóðû). Ïðè
ýòîì âíà÷àëå óñòàíàâëèâàåòñÿ çàêîí äåãðàäàöèè, à
çàòåì âûáèðàåòñÿ çàêîí èçìåíåíèÿ ôàêòîðà, íåîáõî-
äèìûé äëÿ êîìïåíñàöèè [10].
Îñíîâíûå ðåêîìåíäàöèè, êîòîðûå ñëåäóåò âû-
ïîëíÿòü â öåëÿõ óìåíüøåíèÿ òåìïåðàòóðíûõ
ïîãðåøíîñòåé ïðè ðàçðàáîòêå âûñîêîòåìïåðàòóðíûõ
è òåðìîóñòîé÷èâûõ äàò÷èêîâ äàâëåíèÿ, ñâîäÿòñÿ ê
ñëåäóþùåìó:
� êîíñòðóêöèþ ñëåäóåò âûïîëíÿòü òàê, ÷òîáû òåï-
ëîâîå âîçäåéñòâèå íà ýëåìåíòû â öåïè ïðåîáðàçîâà-
íèÿ äàò÷èêà áûëî ðàâíîìåðíûì;
� íå äîïóñêàòü âîçìîæíîñòè íàãðåâà ýëåìåíòîâ
êîíñòðóêöèè äàò÷èêà âûøå äîïóñòèìîé;
� ñòðåìèòüñÿ èñïîëüçîâàòü â ýëåêòðè÷åñêèõ è êîí-
òàêòíûõ ñîåäèíåíèÿõ èçìåðèòåëüíûõ öåïåé äàò÷èêà
îäíîðîäíûå ìåòàëëû è ñïëàâû, äëÿ êîíòàêòíûõ ñî-
åäèíåíèé � ìåòàëëû è ñïëàâû ñ âûñîêîé ýëåêòðî-
ïðîâîäíîñòüþ;
� ñòðåìèòüñÿ ê óìåíüøåíèþ ÷èñëà êîíòàêòíûõ
ñîåäèíåíèé èç ðàçíîðîäíûõ ìàòåðèàëîâ;
� êîíöåíòðèðîâàòü ýëåìåíòû èçìåðèòåëüíîé öåïè
äàò÷èêà â çîíàõ ðàâíûõ òåìïåðàòóð, ñòðåìèòüñÿ ê êîí-
öåíòðàöèè èõ â îäíîé òî÷êå;
� âûáèðàòü ìàòåðèàëû ñ òåìïåðàòóðíî-íåçàâèñè-
ìûì ìîäóëåì óïðóãîñòè èëè íåçíà÷èòåëüíî ìåíÿþ-
ùèìñÿ â ðàáî÷åì èíòåðâàëå òåìïåðàòóð;
� ïðèìåíÿòü ìàòåðèàëû ñ íèçêèì òåìïåðàòóðíûì
êîýôôèöèåíòîì ñîïðîòèâëåíèÿ;
� âûáèðàòü ìàòåðèàëû ñîïðÿãàåìûõ ýëåìåíòîâ
äàò÷èêà ïî êîýôôèöèåíòó òåïëîâîãî ðàñøèðåíèÿ òàê,
20
11
15
12
16
13
17
14
18
Uïèò
19
Uâûõ
U0
KU1
Ðèñ. 8. Èçìåðèòåëüíàÿ ñõåìà óñòðîéñòâà äëÿ èçìåðåíèÿ
äàâëåíèÿ:
17 � ïîñòîÿííûé ðåçèñòîð; 18 � óñèëèòåëü; 19 � ñòàáèëèçàòîð
íàïðÿæåíèÿ; 20 � àíàëîãîâûé äåëèòåëü íàïðÿæåíèÿ
U1
Ðèñ. 9. Èçìåðèòåëüíàÿ ñõåìà äàò÷èêà äàâëå-
íèÿ ñ òåðìîðåçèñòèâíûì è òåíçîðåçèñòèâ-
íûì ìîñòàìè
Uâûõ
9
Uïèò
12
10
11
Uîï
5
1
3
2
4
7
6
8
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2002, ¹ 4�5
54
ÄÀÒ×ÈÊÈ
÷òîáû ïðè òåïëîâîì âîçäåéñòâèè íà ýòè ýëåìåíòû íå
âîçíèêàëî äåôîðìàöèé (íåîáõîäèìî, ÷òîáû âûïîë-
íÿëîñü óñëîâèå îáåñïå÷åíèÿ ðàâåíñòâà àáñîëþòíûõ
èçìåíåíèé ëèíåéíûõ ðàçìåðîâ ñîïðÿãàåìûõ äåòàëåé);
� ïðèìåíÿòü ìàòåðèàëû è âåùåñòâà ñ íèçêèì êî-
ýôôèöèåíòîì îáúåìíîãî ðàñøèðåíèÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Âàñèëüåâ Â. À. Êëàññèôèêàöèÿ è ìåòîäû óìåíüøå-
íèÿ òåìïåðàòóðíûõ ïîãðåøíîñòåé äàò÷èêîâ íà îñíîâå
òâåðäîòåëüíûõ ñòðóêòóð // Äàò÷èêè è ñèñòåìû.� 2001.�
¹ 12.� Ñ. 6�7.
2. Âàñèëüåâ Â. À. Óìåíüøåíèå âëèÿíèÿ äåñòàáèëèçè-
ðóþùèõ ôàêòîðîâ íà èíôîðìàòèâíûé ñèãíàë äàò÷èêîâ
// Òàì æå.� 2002.� ¹ 4.� Ñ. 12�15.
3. À. ñ. 1337691 ÑÑÑÐ. Äàò÷èê äàâëåíèÿ / À. È. Òèõî-
íîâ, Â. À. Òèõîíåíêîâ, À. È. Æó÷êîâ, Â. À. Âàñèëüåâ.�
Îïóáë. â Á. È.� 1987, ¹ 48.
4. À. ñ. 1486766 ÑÑÑÐ. Ñïîñîá íàñòðîéêè èíòåãðàëü-
íûõ òåíçîìåòðè÷åñêèõ ìîñòîâ äàò÷èêîâ ìåìáðàííîãî
òèïà ñ ðàäèàëüíûìè è îêðóæíûìè òåíçîðåçèñòîðàìè /
Â. À. Çèíîâüåâ, Â. À. Âàñèëüåâ, À. È. Òèõîíîâ, Â. À. Òèõî-
íåíêîâ.� Îïóáë. â Á. È.� 1989, ¹ 8.
5. Ïðîåêòèðîâàíèå äàò÷èêîâ äëÿ èçìåðåíèÿ ìåõàíè-
÷åñêèõ âåëè÷èí / Ïîä ðåä. Å. Ï. Îñàä÷åãî.� Ì.: Ìàøèíî-
ñòðîåíèå, 1979.
6. À. ñ. 1490515 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçìåðåíèÿ äàâ-
ëåíèÿ / Â. À. Âàñèëüåâ, À. È. Òèõîíîâ.� Îïóáë. â Á. È.�
1989, ¹ 24.
7. À. ñ. 1597623 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçìåðåíèÿ äàâ-
ëåíèÿ / Â. À. Âàñèëüåâ, À. È. Òèõîíîâ.� Îïóáë. â Á. È.�
1990, ¹ 37.
8. À. ñ. 1377633 ÑÑÑÐ. Äàò÷èê äàâëåíèÿ / Â. À. Âàñèëü-
åâ.� Îïóáë. â Á. È.� 1988, ¹ 8.
9. À. ñ. 1515081 ÑÑÑÐ. Óñòðîéñòâî äëÿ èçìåðåíèÿ äàâ-
ëåíèÿ / Â. À. Âàñèëüåâ, Å. Ï. Îñàä÷èé, À. È. Òèõîíîâ.�
Îïóáë. â Á. È.� 1989, ¹ 38.
10. Âàñèëüåâ Â. À. Èíôîðìàöèîííûé ðåñóðñ ðåãèñò-
ðèðóþùèõ òâåðäîòåëüíûõ ñòðóêòóð // Èçìåðèòåëüíàÿ òåõ-
íèêà.� 2002.� ¹ 7.� Ñ. 22�24.
ÂÛÑÒÀÂÊÈ. ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ. ÑÈÌÏÎÇÈÓÌÛ
1-ÿ ÓÊÐÀÈÍÑÊÀß ÍÀÓ×ÍÀß
ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈß ÏÎ ÔÈÇÈÊÅ
ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂ
ïðîõîäèëà c 9 ïî14 ñåíòÿáðÿ 2002 ã.
íà áàçå Îäåññêîãî íàöèîíàëüíîãî
óíèâåðñèòåòà èì. È. È. Ìå÷íèêîâà.
Êîíôåðåíöèÿ ñ ìåæäóíàðîäíûì
ó÷àñòèåì ïðîõîäèëà ïîä ýãèäîé Íà-
öèîíàëüíîé àêàäåìèè íàóê Óêðàèíû,
Ìèíèñòåðñòâà îáðàçîâàíèÿ è íàóêè
Óêðàèíû, Óêðàèíñêîãî ôèçè÷åñêîãî
îáùåñòâà, Èíñòèòóòà ôèçèêè ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ ÍÀÍÓ è ÎÍÓ èì. È. È.
Ìå÷íèêîâà.  êîíôåðåíöèè ïðèíÿ-
ëè ó÷àñòèå áîëåå 300 ïðåäñòàâèòåëåé
àêàäåìè÷åñêèõ ó÷ðåæäåíèé, âóçîâ,
ÍÈÈ è ÊÁ Óêðàèíû, ïðåäñòàâèòåëè
óíèâåðñèòåòîâ, íàó÷íûõ îðãàíèçà-
öèé è ôèðì Áåëàðóñè, Âåíãðèè, Ãåð-
ìàíèè, Ãîëëàíäèè, Èçðàèëÿ, Ìîëäî-
âû, Ïîëüøè, Ðîññèè, ÑØÀ, ×åõèè.
Åùå áîëåå âíóøèòåëüíûì áûë ñî-
ñòàâ àâòîðîâ äîêëàäîâ � ïðåäñòàâè-
òåëåé 29 ãîñóäàðñòâ.
Ðàáîòà êîíôåðåíöèè ïðîõîäèëà â
ñëåäóþùèõ ñåêöèÿõ:
1. Òåîðåòè÷åñêèå ïðîáëåìû ôèçè-
êè ïîëóïðîâîäíèêîâ.
2. Ýëåêòðîííûå è ôîíîííûå ÿâëå-
íèÿ â îáúåìå è íà ïîâåðõíîñòè ïî-
ëóïðîâîäíèêîâ.
3. Íàíîñòðóêòóðû è êâàíòîâî-ðàç-
ìåðíûå ýôôåêòû.
4. Ôèçèêà ñîâðåìåííûõ ïîëóïðî-
âîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ è ñåíñîðîâ.
5. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ìàòåðèàëû
è òåõíîëîãèè.
Áûëî çàñëóøàíî 17 ïëåíàðíûõ äîê-
ëàäîâ, ïîñâÿùåííûõ àêòóàëüíûì
ôóíäàìåíòàëüíûì è ïðèêëàäíûì
ïðîáëåìàì, ñâÿçàííûì ñ êâàíòîâî-
ðàçìåðíûìè ÿâëåíèÿìè, ôèçèêîé
ïîâåðõíîñòè, ðàçðàáîòêîé ôóíêöèî-
íàëüíûõ ìàòåðèàëîâ äëÿ ìèêðî- è îï-
òîýëåêòðîíèêè, ÈÊ-òåõíèêè. Áîëü-
øîé èíòåðåñ âûçâàëè ïðîáëåìíûå
äîêëàäû ÷ë.-êîðð. ÍÀÍÓ Ëèòîâ÷åí-
êî Â. Ã. "Àíàëèç ôóíäàìåíòàëüíûõ
ïàðàìåòðîâ àëìàçîïîäîáíûõ êðèñ-
òàëëîâ è íèçêîðàçìåðíûõ ñòðóêòóð"
(Êèåâ), ïðîôåññîðà èç Íèæíåãî Íîâ-
ãîðîäà Êðàñèëüíèêà Ç. Ô. "Êðåìíè-
åâàÿ îïòîýëåêòðîíèêà íà íàíîñòðóê-
òóðàõ", ÷ë.-êîðð. ÐÀÍ Íåèçâåñòíîãî
È. Ã. ( Èí-ò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíè-
êîâ ÑÎ ÐÀÍ, Íîâîñèáèðñê) "Ïðîáëå-
ìû ïîëóïðîâîäíèêîâîé ýëåìåíòíîé
áàçû êâàíòîâîãî êîìïüþòåðà è êâàí-
òîâîé òåëåïîðòàöèè", ÷ë.-êîðð.
ÍÀÍÓ Áëîíñêîãî È. Â. (Êèåâ) "Êîì-
áèíèðîâàííîå âëèÿíèå ðàçìåðíîãî
ôàêòîðà è ôàêòîðà òîêîâîé íåîäíî-
ðîäíîñòè â ôîðìèðîâàíèè ñâîéñòâ
èçëó÷àþùèõ ñòðóêòóð íà îñíîâå
íàíî-Si", Ô. Êîõà (F. Koch) (Ìþíõåí)
"Ôèçèêà è õèìèÿ íàíîêðèñòàëëè÷åñ-
êîãî êðåìíèÿ" è Ñ. À. Äæ. Àììåðëà-
àíà (Ñ. A. J. Ammerlaan) (Àìñòåðäàì)
�Ñïåêòðîñêîïè÷åñêèå õàðàêòåðèñòè-
êè ðåäêîçåìåëüíûõ ïðèìåñåé â ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûõ êðèñòàëëàõ�.
 õîäå êîíôåðåíöèè áûë îðãàíè-
çîâàí êîíêóðñ äîêëàäîâ ìîëîäûõ
ó÷åíûõ. Áûëè îòìå÷åíû äîêëàäû Ñà-
ðèêîâà À. Â. "Ñîëíå÷íûå ýëåìåíòû
íà îñíîâå ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî
êðåìíèÿ. Òåîðèÿ è ýêñïåðèìåíò"
(Êèåâ), Áàëàáàíà À. Ï. "Íàñûùåíèå
ñèãíàëà â ñåíñîðàõ îïòè÷åñêîãî èçîá-
ðàæåíèÿ íà îñíîâå íåèäåàëüíîãî ãå-
òåðîïåðåõîäà" (Îäåññà) è äðóãèå.
Êîíôåðåíöèÿ çàâåðøèëàñü ïðèíÿ-
òèåì ðåøåíèÿ, â êîòîðîì, â ÷àñòíî-
ñòè, îòìå÷åíû çíà÷èòåëüíûå óñïåõè
â ðàçâèòèè íàïðàâëåíèÿ "Ïîëóïðî-
âîäíèêîâûå ôîòîýëåêòðè÷åñêèå ïðå-
îáðàçîâàòåëè ñîëíå÷íîé ýíåðãèè" è
ïðèçíàíî öåëåñîîáðàçíûì ñîçäàíèå
ïîëèãîíà ïî ãåëèîýíåðãåòèêå â þæ-
íîì ðåãèîíå Óêðàèíû íà áàçå ÎÍÓ
èì. È. È. Ìå÷íèêîâà ñ ïðèâëå÷åíè-
åì ñîîòâåòñòâóþùèõ îðãàíèçàöèé
Óêðàèíû.
Èçäàí ñáîðíèê òåçèñîâ äîêëàäîâ
êîíôåðåíöèè â äâóõ òîìàõ � ïëåíàð-
íûå è ñåêöèîííûå äîêëàäû, ñòåíäî-
âûå äîêëàäû. Ïî ðåêîìåíäàöèè
Ïðîãðàììíîãî êîìèòåòà ìàòåðèàëû
äîêëàäîâ áóäóò îïóáëèêîâàíû â
æóðíàëàõ "Ôîòîåëåêòðîí³êà" (ÎÍÓ
èì. È. È. Ìå÷íèêîâà), "Semicond.
Phys. Quant. Electron.Optoelectron."
(ÈÔÏÏ ÍÀÍÓ), "Óêðà¿íñüêèé ô³çè÷-
íèé æóðíàë" (ÍÀÍÓ), "Æóðíàë ô³-
çè÷íèõ äîñë³äæåíü" (Óêð. ôèçè÷åñêîå
îáùåñòâî), Funktionàl Materials (Èí-ò
ìîíîêðèñòàëëîâ ÍÀÍÓ), �Òåõíîëî-
ãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîí-
íîé àïïàðàòóðå�.
Ïðèíÿòî òàêæå ðåøåíèå î ðåãóëÿð-
íîì ïðîâåäåíèè òàêîé êîíôåðåíöèè
ñ ïåðèîäè÷íîñòüþ â 2�3 ãîäà.
Ä. ô.-ì. í. ß. È. Ëåïèõ
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70792 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:57:39Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Васильев, В.А. 2014-11-13T06:20:47Z 2014-11-13T06:20:47Z 2002 Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления / В.А. Васильев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 4-5. — С. 50-54. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70792 531.7.08 Проведен анализ температурных погрешностей датчиков давления, выявлена физическая природа их возникновения. Выработаны рекомендации по конструированию датчиков давления с уменьшенной температурной погрешностью. Классифицированы и рассмотрены методы уменьшения температурных погрешностей, приведены примеры реализации методов в конструкциях датчиков давления. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления Article published earlier |
| spellingShingle | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления Васильев, В.А. Датчики |
| title | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_full | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_fullStr | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_full_unstemmed | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_short | Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| title_sort | методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70792 |
| work_keys_str_mv | AT vasilʹevva metodyumenʹšeniâtemperaturnoipogrešnostidatčikovdavleniâ |