Электротепловой элемент сенсоров газа

Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности с...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2002
Main Author: Лепих, Я.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859460613203296256
author Лепих, Я.И.
author_facet Лепих, Я.И.
citation_txt Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт. The constructive-technological solutions of gas sensor with built-in electrical thermal element made by thin-film technology is described. The power calculation of made from nichrome sensor thermoheater is made. For providing sensor working surface stabilized temperature equal 100°C it is enough heater power equal 0,2 W.
first_indexed 2025-11-24T03:40:13Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ��������� �� ���� ���� � ���� ����� ������� ��!" ����#$�� � %& ��� ��!���� ���' ���������� ��� ������ � �������� ������� � ���(� �)�������� * �� ������� ��� �� � � ��� ���'� %��)���� ���� �� ��*� '� �� ����'�� ����'���" ��� �� # � �� ���� ������� �� ������ �++�� � ��!��������� ������������ � ,����� �� ����� � " ��' �� � � ���(��� * ������(��� ��!������� � ���� �'���� ���� ���� �� ��*��� * � �!��� �����!�� ��)���� �'���� ��� %� ��������� ��������� � ��'� ������������ ��� ������*� � ����� � ���� �� '� ����'�� ����" ���� � '� ���' �'���*����� ����(���� ��� $��" ���� ��� ����"��������� '�(�� ��(� ����� * � " ���� � � �����*!������ ���� � ��� �� ��!��� � !��" �� ��*�� ����-� * ������ � ����� ���� ��� �� ��" ��� ������� � .&/,012,34%%56 .&�,7%.8. 9� 4�+���� :� .� .� ��� � )���$�� ������������" ��� � �� ���� ��� �� �� ;�/�< 9==>�< ?� ��� � 9�< @� �<9>� �� AB C� D�� DEF D� G�� HBFI J�� KEFI L� M� MNOPPQNO RO" SETBUN UV WSUXUYQZBFOP[OF[O VNUZ \F]P PQRZUFUYE^ON BF CE]P ZEXNB_ �� `� MS^P�a @UFbOFP� cEXXON�< 9==>�< dUY� 9��< M� 99999<999��� �� MONYBF M�� ?NeO[BEfUgPfB K�� ABXgBF"hXEPeOgPfE i� OX EY� ?SO OVVO[X UV WNOPPQNO UF XSO YQZBFOP[OF[O VNUZ CE]Pj ]YCE]P kQEFXQZ gOYYP �� hOZB[UFb� h[B� ?O[SFUY�< 9==��< dUY� =�< M� ���= < ����� �� @SOF l�� LSEFI K�� AB C� D� OX EY� MNOPPQNO ROSETBUN UV POYV"EPPOZRYOb \F��mm]Y���m]Pj]Y��mCE��m]P kQEFXQZ bUXP gBXS ZQYXB"ZUbEY bBPXNBRQXBUF BF PBe �� `� MS^P�a @UFbOFP� cEXXON�< �����< dUY� 9��< M� �9n� o �9>�� m� ?EfEFERO J�� DBXUZB h�� lUPSBZQNE ?� OX EY� poq [NUP" PUTON BF CE]Pj]Y]P PSUNX WONBUb PQWONYEXXB[O QFbON WNOPPQNO �� hOZB[UFb� h[B� ?O[SFUY�< 9==9�< dUY� ��< M� ��m<��>� �� iYERP^ ]� c� iVVO[X UV XSO poq [NUPPUTON UF XSO RBF" bBFI OFONIBOP UV [UFVBFOb bUFUNP BF PBFIYO CE]Pj]Y � CE9o�]P kQEFXQZ"gOYY ZB[NUPXNQ[XQNOP �� `� MS^P�a @UFbOFP� cEX" XON�< 9==��< dUY� ��< M� 9���m<9����� n� `ENUP c�� rNUgF A�� cUNNBPUF \� rEFb PXNQ[XQNO OVVO[XP BF \\\od PQWONYEXXB[OP QFbON S^bNUPXEXB[ WNOPPQNO EP E ZOEFP UV bOXONZBFBFI ZB[NUP[UWB[ PBIFEXQNO UV WONVO[X EFb BZWON" VO[X POZB[UFbQ[XUN BFXONVE[OP �� hOZB[UFb� h[B� ?O[SFUY�< 9==9�< dUY� ��< M� �9n<��9� >� cEQbO H� J�� sUPXON ?� `�� iETOP A� OX EY� DBIS WNOPPQNO PXQbBOP UV NOPUFEFX XQFFOYBFI EFb PQWONYEXXB[O WSOFUZOFE �� \RBb�< M� ���<��n� =� 8�������� 4� ;�� ,��#� 3� %� t��� ���� � ���" u��� � ����� ��*� � ��� �'�� ����(����� ��!'����" � ��< %�����)����a .!�"�� %�����)���� ��" �� ����� 9�� ?E^YUN v� M� MS^PB[EY EFb OYO[XNB[EY BFTOPXBIEXBUF UV USZB[ [UFXE[XP XU ]YCE]PjCE]P SOXONUPXNQ[XQNOP �� `� ]WWY� MS^P�< 9==��< dUY� n�� w 9��< M� n=��<n=n�� 99� x������� .� 6�� 6����� &� y�� 8������ 4� �� � ��� /�������� ��!����!'��� � � ��� �� � ��� �'� ]Y< CE<]P '� ���' �'���*����� ����(���� ��� $����" �� ��� ����"�������� �� MNU[OObBFIP UV 9�XS \FXONFEXBUFEY P^ZWUPBQZ z?SBF VBYZP BF OYO[XNUFB[P{�< JSENfUT�< ���9�< M� �nn<�>9� ������������ �� ���� � |������� ,������� ��u�����*� � �������� � �'� .� .� x�������� 6"ZEBYa FbY}YOWBfS~IUZEBY�[UZ�QE �� � ��� ������ � �����u�# �n�99 ���� �� ,������ ��������������� ����� �,%/|� �� ,������ t068��,�6/0,3,� t06x6%� &6%&,�,3 p424 ������������������������������������ ������������� ��!�"�������� ��#���� ����!����$��������� "�%���� ���������� &!���������������!�����&!�������� 2���� ��*��� ����� ���� �������� ��!� ��������" �������� �� ��� �������� � � ���� �++�� ���� ��" )� �# ��� �'���� ���� � -� ��'�� ��� �9<��� /�" � -���� ��)���� �'���� �� � �����'��� �������" ����������� ������� �� ������ hF��� d���� K�� � ��� �� ���<����& ��!��� � ��� ��* '����'��*��� ���� �� ��*��� �� /������� ���� �� ��*���� ���'��" � �����)u������� ������� �����*!�� � ��(� �� ��������u�� ��� ����� �� t � � ! ��� ���)����'�� * ��!���� � �������� ����� � ���'�� �� �� ������� � ��� ��� �'���� �� ���� �� ��*���� ��� � �����" � � ���� ���������# �������� ���'�� � ��!�� � �������� � ���� $��� ��� � $� ��)� �� %��)���� �++�� ��� '� ����� ��� # � �� ��" ��� � ����� � ���'�� � ������' � '� ���'� ��" ����������� ��������� �� �)�� ��# � ����� ���" ��(��� �� �� ���# � ������ � ���� �' ��� �� ' �����)�' ������ � ���� �� ��*� � � ��!�' ���� '� ������� ��!��� ���� ���u� ����� ������� ���" '� ������ ����!��� �� ������� 9 � 9 � n � � m � ���� 9� 8��� ���u� ������� ��!� � �� ����� ' ����" � ' ���'�� �'a ' < ��� �� � � ���$������(�< ���� �� ��*� � ����� ) < ���" ��(��� * < ������� ��*� � ���������+ < ������� ��*� � ���" '�� � , < !�$� � � ����� - < ��������� ������� �� ���������� �� �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � 3 ����� �� �����(�� �����*!����� �� ��� '��" �� &�"m�� ���'�������� ��* � ���� '������ +��'�" ������ �! ��� �����'� �>�� wB ���� @N� �����" ���� ����� �� �)�� ��� � ����� �����(�� ������� �� � ����� ��� ������������� ���������� /���� � ��� �� ��'�������� ��* �������� !�$� � � ���� �! hB��� /�� ���' ��-���� ��!)��� �'���� �� �� ��������� � �����(�� �� ���� -�� m�� �� ����� ���� ��� ������ ��������� ������� ���� �� ������ '����* �'�� ���� ����� ������ � �� ������� 2���* . < �� ����� ����� /��Σ < ��'" '����� ������� ����� ������� ������� ��*� � ��������� /� < ������� ����� ������� ��!" ��-��� ��������� '�(�� ���" ��(��� � �������'� /�! < ��" ����� ����� ������� ������� � !�$� ���� ��� � /� < ������� ����� ������� �����(��� 0� < �'���� ��� ������� �� � 0�� < �'���� ��� ��)���� ��������" � � �����(��� 0�� < �'���� �" �� ����(�#$�� ���� � ����� ���'�� �� � ���� � " � � ��� �' ����������� �� '�" ��'��*��� '�$��� � � ��� �" '��� ���� � '���'��*���� ���" ���� � �'���� �� �� �����(�� �� ���� ���u�� ���" ���� �� �� ����� ' � '� ����� ��� �� � ������ ���" � �� ��*� ' ���'�� �'� 3������ ����� � ����� �������� ���!��� � �� ���� �� ������� # � ������ � '� ���'� �������'� � ����+�!������'� ����'� ��'� ���'�� �� ���� " ���u�� �������� x�$��� *� � ��� �'� ������� �" ��'� ���)����'� �� �)�������� � �)��*��� �'" ���� �� ��)���� ��������� � �����(�� �������� '�(� ) * ���������� �! ��� ��-��� ∑ −= R tt P ���� � �9� ��� /Σ < [�''����� ������� ����� �������� ����" ��� �'�� �! ���' ��� .� ���������� ����� R RRRRRR RRR R + ++ = ΣΣ Σ ∑ ��� ����� � ��������� � �� ������� � '� ����� ��" � ���' ������� ��� 89m9�9�"9 � �����'�� ' ��" '�������� ���'� �'�#$�' ����*��� ��������� ��� ����� ������� ρ�9�� ,'j � �� �� ������� �����(" �� ��!'���'� m×m '' � ��!��-��� ���������� � ''� ����!���� � � �� �)�������� � �)���!��������� �'���� �� ��)���� ��������� � �������� ������ 9���&� ���)����'� '�$��� * ������� �� 1���� 3 � /����-��� * �� ������ �'���� �� ��������� � �����(�� �� ���� -�� 9��� /������� � ���� � ��� ���(��# ������� ��" ��� * ���������� ���� ��� ����" ��������������� ��-��� ��������� ������� ��!� � �� ����� ' ���" ���� ' ��'�������� ���'� �!�� ������ ' '� ���' ������������� ���������� .&/,012,34%%56 .&�,7%.8. 9� cUNNBPUF h� v� cO[SEFBPZ UV POZB[UFbQ[XUN IEP POFPUNP UWONEXBUF �� hOFPUNP EFb ][XQEXUNP�< 9=>n�< w 99��< M� �>�<�>n� �� cENPEY ]�� HOeEFFOEQ C�� @UZOX ]�� cUNEFXO `� v� ] FOg @�� PUYBb PXEXOb REPOb IEP POFPUN �� ?SO 9�XS iQNU" WOEF @UFVONOF[O UF hUYBb"hXEXO ?NEFPbQ[ONP�< hOWXOZRON 9m<9>� ����� MNEIQO� @eO[S vOWQRYB[�< M� �9m<�9�� �� \TEFUTE ��� JNQXUTONXPOT h�� MBPY^EfUT ]� OX EY� hXQb^ UV POZB[UFbQ[XUN POFPUN POFPBXBTBX^ XU D�h ZB[NU[UF[OF" XNEXBUFP �� \RBb�< M� ��m<���� �� &' � �� 3� 4�� 0���� �� .�� ��'�-������ 4� 4�� 7�� ��� 3� /� /�������������� � ������� � ���'��" � �����)u�����"���� �� ��*� � � ��������� �� /��" )�� � ��� �' ��������� �< 9=>=�< � ��< &� ��<��� ���� �� t�������� " �� ���'� ���� ��" ������� '����� ��" !����� ������� 0U[ /� 0�� 0� /��Σ /�! /� . �������� ����� �� ���� � � �������� �� ���� �������� ��������� ��� �������� �� ���������������� ����������� ������������ � ����� ����� ����������� �������� � ����� �������� �������� ������� ������� �� � �� ����� ������ ����� �� ��������������� � ����
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70807
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-24T03:40:13Z
publishDate 2002
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Лепих, Я.И.
2014-11-13T19:45:52Z
2014-11-13T19:45:52Z
2002
Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807
543.271
Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт.
The constructive-technological solutions of gas sensor with built-in electrical thermal element made by thin-film technology is described. The power calculation of made from nichrome sensor thermoheater is made. For providing sensor working surface stabilized temperature equal 100°C it is enough heater power equal 0,2 W.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Сенсоэлектроника
Электротепловой элемент сенсоров газа
Electrothermal element of gas sensors
Article
published earlier
spellingShingle Электротепловой элемент сенсоров газа
Лепих, Я.И.
Сенсоэлектроника
title Электротепловой элемент сенсоров газа
title_alt Electrothermal element of gas sensors
title_full Электротепловой элемент сенсоров газа
title_fullStr Электротепловой элемент сенсоров газа
title_full_unstemmed Электротепловой элемент сенсоров газа
title_short Электротепловой элемент сенсоров газа
title_sort электротепловой элемент сенсоров газа
topic Сенсоэлектроника
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807
work_keys_str_mv AT lepihâi élektroteplovoiélementsensorovgaza
AT lepihâi electrothermalelementofgassensors