Электротепловой элемент сенсоров газа
Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности с...
Збережено в:
| Дата: | 2002 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70807 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-708072025-02-23T17:24:41Z Электротепловой элемент сенсоров газа Electrothermal element of gas sensors Лепих, Я.И. Сенсоэлектроника Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт. The constructive-technological solutions of gas sensor with built-in electrical thermal element made by thin-film technology is described. The power calculation of made from nichrome sensor thermoheater is made. For providing sensor working surface stabilized temperature equal 100°C it is enough heater power equal 0,2 W. 2002 Article Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807 543.271 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника |
| spellingShingle |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника Лепих, Я.И. Электротепловой элемент сенсоров газа Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт. |
| format |
Article |
| author |
Лепих, Я.И. |
| author_facet |
Лепих, Я.И. |
| author_sort |
Лепих, Я.И. |
| title |
Электротепловой элемент сенсоров газа |
| title_short |
Электротепловой элемент сенсоров газа |
| title_full |
Электротепловой элемент сенсоров газа |
| title_fullStr |
Электротепловой элемент сенсоров газа |
| title_full_unstemmed |
Электротепловой элемент сенсоров газа |
| title_sort |
электротепловой элемент сенсоров газа |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2002 |
| topic_facet |
Сенсоэлектроника |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807 |
| citation_txt |
Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT lepihâi élektroteplovojélementsensorovgaza AT lepihâi electrothermalelementofgassensors |
| first_indexed |
2025-11-24T03:40:13Z |
| last_indexed |
2025-11-24T03:40:13Z |
| _version_ |
1849641521644568576 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
���������� ��
��
���������
��
����
���� �
����
�����
�������
��!"
����#$��
�
%&
���
��!����
���'
����������
���
������
�
��������
������� �
���(�
�)��������
*
��
�������
���
��
�
�
���
���'�
%��)����
����
��
��*� '�
��
����'��
����'���"
���
�� #
�
��
����
�������
��
������
�++��
�
��!���������
������������ �
,�����
��
�����
�
"
��'
�� �
�
���(���
*
������(���
��!�������
� ����
�'����
����
����
��
��*���
*
�
�!���
�����!��
��)����
�'����
���
%�
���������
��������� �
��'�
������������
���
������*� �
�����
�
����
�� '�
����'��
����"
���� �
'�
���'
�'���*�����
����(����
��� $��"
����
���
����"���������
'�(��
��(�
�����
*
� "
����
�
�
�����*!������
����
�
���
��
��!��� �
!��"
��
��*��
����-�
*
������ �
�����
����
���
��
��"
���
������� �
.&/,012,34%%56
.&�,7%.8.
9� 4�+����
:�
.�
.�
���
�
)���$��
������������"
��� �
��
����
���
��
��
;�/�<
9==>�<
?�
���
�
9�<
@�
�<9>�
�� AB
C�
D��
DEF
D�
G��
HBFI
J��
KEFI
L�
M�
MNOPPQNO
RO"
SETBUN
UV
WSUXUYQZBFOP[OF[O
VNUZ
\F]P
PQRZUFUYE^ON
BF
CE]P
ZEXNB_
��
`�
MS^P�a
@UFbOFP�
cEXXON�<
9==>�<
dUY�
9��<
M�
99999<999���
�� MONYBF
M��
?NeO[BEfUgPfB
K��
ABXgBF"hXEPeOgPfE
i�
OX
EY�
?SO
OVVO[X
UV
WNOPPQNO
UF
XSO
YQZBFOP[OF[O
VNUZ
CE]Pj
]YCE]P
kQEFXQZ
gOYYP
��
hOZB[UFb�
h[B�
?O[SFUY�<
9==��<
dUY�
=�<
M�
���=
<
�����
�� @SOF
l��
LSEFI
K��
AB
C�
D�
OX
EY�
MNOPPQNO
ROSETBUN
UV
POYV"EPPOZRYOb
\F��mm]Y���m]Pj]Y��mCE��m]P
kQEFXQZ
bUXP
gBXS
ZQYXB"ZUbEY
bBPXNBRQXBUF
BF
PBe
��
`�
MS^P�a
@UFbOFP�
cEXXON�<
�����<
dUY�
9��<
M�
�9n�
o
�9>��
m� ?EfEFERO
J��
DBXUZB
h��
lUPSBZQNE
?�
OX
EY�
poq
[NUP"
PUTON
BF
CE]Pj]Y]P
PSUNX
WONBUb
PQWONYEXXB[O
QFbON
WNOPPQNO
��
hOZB[UFb�
h[B�
?O[SFUY�<
9==9�<
dUY�
��<
M�
��m<��>�
�� iYERP^
]�
c�
iVVO[X
UV
XSO
poq
[NUPPUTON
UF
XSO
RBF"
bBFI
OFONIBOP
UV
[UFVBFOb
bUFUNP
BF
PBFIYO
CE]Pj]Y
�
CE9o�]P
kQEFXQZ"gOYY
ZB[NUPXNQ[XQNOP
��
`�
MS^P�a
@UFbOFP�
cEX"
XON�<
9==��<
dUY�
��<
M�
9���m<9�����
n� `ENUP
c��
rNUgF
A��
cUNNBPUF
\�
rEFb
PXNQ[XQNO
OVVO[XP
BF
\\\od
PQWONYEXXB[OP
QFbON
S^bNUPXEXB[
WNOPPQNO
EP
E
ZOEFP
UV
bOXONZBFBFI
ZB[NUP[UWB[
PBIFEXQNO
UV
WONVO[X
EFb
BZWON"
VO[X
POZB[UFbQ[XUN
BFXONVE[OP
��
hOZB[UFb�
h[B�
?O[SFUY�<
9==9�<
dUY�
��<
M�
�9n<��9�
>�
cEQbO
H�
J��
sUPXON
?�
`��
iETOP
A�
OX
EY�
DBIS
WNOPPQNO
PXQbBOP
UV
NOPUFEFX
XQFFOYBFI
EFb
PQWONYEXXB[O
WSOFUZOFE
��
\RBb�<
M�
���<��n�
=�
8��������
4�
;��
,��#�
3�
%�
t���
���� �
���"
u���
�
�����
��*� �
���
�'��
����(�����
��!'����"
�
��<
%�����)����a
.!�"��
%�����)����
��"
��
�����
9��
?E^YUN
v�
M�
MS^PB[EY
EFb
OYO[XNB[EY
BFTOPXBIEXBUF
UV
USZB[
[UFXE[XP
XU
]YCE]PjCE]P
SOXONUPXNQ[XQNOP
��
`�
]WWY�
MS^P�<
9==��<
dUY�
n��
w
9��<
M�
n=��<n=n��
99�
x�������
.�
6��
6�����
&�
y��
8������
4�
��
�
���
/��������
��!����!'��� �
�
���
��
�
���
�'�
]Y<
CE<]P
'�
���'
�'���*�����
����(����
��� $����"
��
���
����"��������
��
MNU[OObBFIP
UV
9�XS
\FXONFEXBUFEY
P^ZWUPBQZ
z?SBF
VBYZP
BF
OYO[XNUFB[P{�<
JSENfUT�<
���9�<
M�
�nn<�>9�
������������ ��
����
�
|�������
,�������
��u�����*� �
��������
�
�'�
.�
.�
x��������
6"ZEBYa
FbY}YOWBfS~IUZEBY�[UZ�QE
��
�
���
������
�
�����u�#
�n�99
����
��
,������
���������������
�����
�,%/|�
��
,������
t068��,�6/0,3,�
t06x6%�
&6%&,�,3
p424
������������������������������������
������������� ��!�"�������� ��#����
����!����$��������� "�%���� ����������
&!���������������!�����&!��������
2����
��*���
�����
����
��������
��!�
��������"
�������� ��
���
�������� �
�
����
�++��
����
��"
)�
�#
���
�'����
����
� -�
��'��
���
�9<���
/�"
� -����
��)����
�'����
�� �
�����'���
�������"
�����������
�������
��
������
hF���
d����
K��
�
���
��
���<����&
��!��� �
���
��*
'����'��*���
����
��
��*���
��
/�������
����
��
��*����
���'��"
�
�����)u�������
�������
�����*!��
�
��(�
��
��������u��
���
�����
��
t
�
� ! ���
���)����'��
*
��!����
�
��������
����� �
���'��
��
��
�������
�
���
���
�'����
��
����
��
��*����
��� �
�����"
�
�
����
���������#
��������
���'��
�
��!�� �
��������
�
���� $���
���
� $�
��)�
��
%��)����
�++��
��� '�
�����
��� #
�
��
��"
��� �
����� �
���'��
�
������' �
'�
���'�
��"
�����������
���������
��
�)��
��#
�
�����
���"
��(���
��
��
���#
�
������
�
����
�'
���
�� '
�����)�'
������
�
����
��
��*� �
�
��!�'
����
'�
�������
��!���
����
���u�
�����
�������
���"
'�
������
����!���
��
�������
9
�
9
�
n
�
�
m
�
����
9�
8���
���u�
�������
��!�
�
��
����� '
����"
� '
���'��
�'a
'
<
���
��
� �
���$������(�<
����
��
��*� �
�����
)
<
���"
��(���
*
<
�������
��*� �
���������+
<
�������
��*� �
���"
'��
�
,
<
!�$�
� �
�����
-
<
���������
�������
��
���������� ��
��
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
3
�����
��
�����(��
�����*!�����
��
���
'��"
��
&�"m��
���'��������
��*
�
����
'������
+��'�"
������
�!
���
�����'�
�>��
wB
����
@N�
�����"
����
�����
��
�)��
���
�
�����
�����(��
�������
��
�
�����
���
�������������
����������
/����
�
���
��
��'��������
��*
��������
!�$�
� �
����
�!
hB���
/��
���'
��-����
��!)���
�'����
��
��
���������
�
�����(��
��
���� -��
m��
��
�����
����
���
������
���������
�������
����
��
������
'����*
�'��
����
�����
������ �
��
�������
2���*
.
<
��
�����
�����
/��Σ <
��'"
'�����
�������
�����
�������
�������
��*� �
���������
/�
<
�������
�����
�������
��!"
��-���
���������
'�(��
���"
��(���
�
�������'�
/�!
<
��"
�����
�����
�������
�������
�
!�$�
����
��� �
/�
<
�������
�����
�������
�����(���
0�
<
�'����
���
�������
�� �
0��
<
�'����
���
��)����
��������"
�
�
�����(���
0��
<
�'����
�"
��
����(�#$��
���� �
�����
���'��
��
� ���� �
"
�
�
���
�'
�����������
��
'�"
��'��*���
'�$���
�
� ��� �"
'���
����
�
'���'��*����
���"
����
�
�'����
��
��
�����(��
��
����
���u��
���"
����
��
��
����� '
�
'�
�����
��� �� �
������
���"
�
��
��*� '
���'��
�'�
3������
����� �
�����
��������
���!��� �
��
����
��
������� #
�
������
� '�
���'�
�������'�
�
����+�!������'�
����'�
��'�
���'��
��
����
"
���u��
��������
x�$���
*�
� ��� �'�
�������
�"
��'�
���)����'�
��
�)��������
�
�)��*���
�'"
����
��
��)����
���������
�
�����(��
��������
'�(�
)
*
����������
�!
���
��-���
∑
−=
R
tt
P ���� �
�9�
���
/Σ
<
[�''�����
�������
�����
��������
����"
��� �'��
�!
���'
���
.�
����������
����� R
RRRRRR
RRR
R +
++
=
ΣΣ
Σ
∑
���
�����
�
��������� �
��
�������
�
'�
�����
��"
� ���'
�������
���
89m9�9�"9
�
�����'�� '
��"
'��������
���'�
�'�#$�'
����*���
���������
���
�����
�������
ρ�9��
,'j �
��
��
�������
�����("
��
��!'���'�
m×m
''
�
��!��-���
����������
�
''�
����!����
�
�
��
�)��������
�
�)���!���������
�'����
��
��)����
���������
�
��������
������
9���&�
���)����'�
'�$���
*
�������
��
1����
3
�
/����-���
*
��
������
�'����
��
���������
�
�����(��
��
���� -��
9���
/������� �
���� �
���
���(��#
�������
��"
���
*
����������
����
���
����"
���������������
��-���
���������
�������
��!�
�
��
����� '
���"
���� '
��'��������
���'�
�!��
������ '
'�
���'
�������������
����������
.&/,012,34%%56
.&�,7%.8.
9�
cUNNBPUF
h�
v�
cO[SEFBPZ
UV
POZB[UFbQ[XUN
IEP
POFPUNP
UWONEXBUF
��
hOFPUNP
EFb
][XQEXUNP�<
9=>n�<
w
99��<
M�
�>�<�>n�
��
cENPEY
]��
HOeEFFOEQ
C��
@UZOX
]��
cUNEFXO
`�
v�
]
FOg
@��
PUYBb
PXEXOb
REPOb
IEP
POFPUN
��
?SO
9�XS
iQNU"
WOEF
@UFVONOF[O
UF
hUYBb"hXEXO
?NEFPbQ[ONP�<
hOWXOZRON
9m<9>�
�����
MNEIQO�
@eO[S
vOWQRYB[�<
M�
�9m<�9��
��
\TEFUTE
���
JNQXUTONXPOT
h��
MBPY^EfUT
]�
OX
EY�
hXQb^
UV
POZB[UFbQ[XUN
POFPUN
POFPBXBTBX^
XU
D�h
ZB[NU[UF[OF"
XNEXBUFP
��
\RBb�<
M�
��m<����
��
&' �
��
3�
4��
0����
��
.��
��'�-������
4�
4��
7��
���
3�
/�
/�������������� �
������� �
���'��"
�
�����)u�����"����
��
��*� �
�
���������
��
/��"
)��
�
���
�'
��������� �<
9=>=�<
�
��<
&�
��<���
����
��
t��������
"
��
���'�
����
��"
�������
'�����
��"
!�����
�������
0U[
/�
0��
0�
/��Σ
/�!
/�
.
��������
�����
��
����
�
�
�������� �� ����
��������
���������
���
��������
��
����������������
�����������
������������
�
����� �����
�����������
�������� �
�����
��������
�������� �������
������� ��
� ��
����� ������
�����
��
���������������
�
����
|