Электротепловой элемент сенсоров газа

Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности с...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2002
Автор: Лепих, Я.И.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70807
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-708072025-02-23T17:24:41Z Электротепловой элемент сенсоров газа Electrothermal element of gas sensors Лепих, Я.И. Сенсоэлектроника Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт. The constructive-technological solutions of gas sensor with built-in electrical thermal element made by thin-film technology is described. The power calculation of made from nichrome sensor thermoheater is made. For providing sensor working surface stabilized temperature equal 100°C it is enough heater power equal 0,2 W. 2002 Article Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807 543.271 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Сенсоэлектроника
Сенсоэлектроника
spellingShingle Сенсоэлектроника
Сенсоэлектроника
Лепих, Я.И.
Электротепловой элемент сенсоров газа
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Описано конструктивно-технологическое исполнение сенсора газа с встроенным электрическим тепловым элементом, выполненным методом тонкопленочной технологии. Проведен расчет мощности изготовленного из нихрома термонагревателя сенсора. Для обеспечения стабилизированной температуры рабочей поверхности сенсора, равной 100°С, достаточно мощности нагревателя, равной 0,2 Вт.
format Article
author Лепих, Я.И.
author_facet Лепих, Я.И.
author_sort Лепих, Я.И.
title Электротепловой элемент сенсоров газа
title_short Электротепловой элемент сенсоров газа
title_full Электротепловой элемент сенсоров газа
title_fullStr Электротепловой элемент сенсоров газа
title_full_unstemmed Электротепловой элемент сенсоров газа
title_sort электротепловой элемент сенсоров газа
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2002
topic_facet Сенсоэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70807
citation_txt Электротепловой элемент сенсоров газа / Я.И. Лепих // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 43-44. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT lepihâi élektroteplovojélementsensorovgaza
AT lepihâi electrothermalelementofgassensors
first_indexed 2025-11-24T03:40:13Z
last_indexed 2025-11-24T03:40:13Z
_version_ 1849641521644568576
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� ���������� �� �� ��������� �� ���� ���� � ���� ����� ������� ��!" ����#$�� � %& ��� ��!���� ���' ���������� ��� ������ � �������� ������� � ���(� �)�������� * �� ������� ��� �� � � ��� ���'� %��)���� ���� �� ��*� '� �� ����'�� ����'���" ��� �� # � �� ���� ������� �� ������ �++�� � ��!��������� ������������ � ,����� �� ����� � " ��' �� � � ���(��� * ������(��� ��!������� � ���� �'���� ���� ���� �� ��*��� * � �!��� �����!�� ��)���� �'���� ��� %� ��������� ��������� � ��'� ������������ ��� ������*� � ����� � ���� �� '� ����'�� ����" ���� � '� ���' �'���*����� ����(���� ��� $��" ���� ��� ����"��������� '�(�� ��(� ����� * � " ���� � � �����*!������ ���� � ��� �� ��!��� � !��" �� ��*�� ����-� * ������ � ����� ���� ��� �� ��" ��� ������� � .&/,012,34%%56 .&�,7%.8. 9� 4�+���� :� .� .� ��� � )���$�� ������������" ��� � �� ���� ��� �� �� ;�/�< 9==>�< ?� ��� � 9�< @� �<9>� �� AB C� D�� DEF D� G�� HBFI J�� KEFI L� M� MNOPPQNO RO" SETBUN UV WSUXUYQZBFOP[OF[O VNUZ \F]P PQRZUFUYE^ON BF CE]P ZEXNB_ �� `� MS^P�a @UFbOFP� cEXXON�< 9==>�< dUY� 9��< M� 99999<999��� �� MONYBF M�� ?NeO[BEfUgPfB K�� ABXgBF"hXEPeOgPfE i� OX EY� ?SO OVVO[X UV WNOPPQNO UF XSO YQZBFOP[OF[O VNUZ CE]Pj ]YCE]P kQEFXQZ gOYYP �� hOZB[UFb� h[B� ?O[SFUY�< 9==��< dUY� =�< M� ���= < ����� �� @SOF l�� LSEFI K�� AB C� D� OX EY� MNOPPQNO ROSETBUN UV POYV"EPPOZRYOb \F��mm]Y���m]Pj]Y��mCE��m]P kQEFXQZ bUXP gBXS ZQYXB"ZUbEY bBPXNBRQXBUF BF PBe �� `� MS^P�a @UFbOFP� cEXXON�< �����< dUY� 9��< M� �9n� o �9>�� m� ?EfEFERO J�� DBXUZB h�� lUPSBZQNE ?� OX EY� poq [NUP" PUTON BF CE]Pj]Y]P PSUNX WONBUb PQWONYEXXB[O QFbON WNOPPQNO �� hOZB[UFb� h[B� ?O[SFUY�< 9==9�< dUY� ��< M� ��m<��>� �� iYERP^ ]� c� iVVO[X UV XSO poq [NUPPUTON UF XSO RBF" bBFI OFONIBOP UV [UFVBFOb bUFUNP BF PBFIYO CE]Pj]Y � CE9o�]P kQEFXQZ"gOYY ZB[NUPXNQ[XQNOP �� `� MS^P�a @UFbOFP� cEX" XON�< 9==��< dUY� ��< M� 9���m<9����� n� `ENUP c�� rNUgF A�� cUNNBPUF \� rEFb PXNQ[XQNO OVVO[XP BF \\\od PQWONYEXXB[OP QFbON S^bNUPXEXB[ WNOPPQNO EP E ZOEFP UV bOXONZBFBFI ZB[NUP[UWB[ PBIFEXQNO UV WONVO[X EFb BZWON" VO[X POZB[UFbQ[XUN BFXONVE[OP �� hOZB[UFb� h[B� ?O[SFUY�< 9==9�< dUY� ��< M� �9n<��9� >� cEQbO H� J�� sUPXON ?� `�� iETOP A� OX EY� DBIS WNOPPQNO PXQbBOP UV NOPUFEFX XQFFOYBFI EFb PQWONYEXXB[O WSOFUZOFE �� \RBb�< M� ���<��n� =� 8�������� 4� ;�� ,��#� 3� %� t��� ���� � ���" u��� � ����� ��*� � ��� �'�� ����(����� ��!'����" � ��< %�����)����a .!�"�� %�����)���� ��" �� ����� 9�� ?E^YUN v� M� MS^PB[EY EFb OYO[XNB[EY BFTOPXBIEXBUF UV USZB[ [UFXE[XP XU ]YCE]PjCE]P SOXONUPXNQ[XQNOP �� `� ]WWY� MS^P�< 9==��< dUY� n�� w 9��< M� n=��<n=n�� 99� x������� .� 6�� 6����� &� y�� 8������ 4� �� � ��� /�������� ��!����!'��� � � ��� �� � ��� �'� ]Y< CE<]P '� ���' �'���*����� ����(���� ��� $����" �� ��� ����"�������� �� MNU[OObBFIP UV 9�XS \FXONFEXBUFEY P^ZWUPBQZ z?SBF VBYZP BF OYO[XNUFB[P{�< JSENfUT�< ���9�< M� �nn<�>9� ������������ �� ���� � |������� ,������� ��u�����*� � �������� � �'� .� .� x�������� 6"ZEBYa FbY}YOWBfS~IUZEBY�[UZ�QE �� � ��� ������ � �����u�# �n�99 ���� �� ,������ ��������������� ����� �,%/|� �� ,������ t068��,�6/0,3,� t06x6%� &6%&,�,3 p424 ������������������������������������ ������������� ��!�"�������� ��#���� ����!����$��������� "�%���� ���������� &!���������������!�����&!�������� 2���� ��*��� ����� ���� �������� ��!� ��������" �������� �� ��� �������� � � ���� �++�� ���� ��" )� �# ��� �'���� ���� � -� ��'�� ��� �9<��� /�" � -���� ��)���� �'���� �� � �����'��� �������" ����������� ������� �� ������ hF��� d���� K�� � ��� �� ���<����& ��!��� � ��� ��* '����'��*��� ���� �� ��*��� �� /������� ���� �� ��*���� ���'��" � �����)u������� ������� �����*!�� � ��(� �� ��������u�� ��� ����� �� t � � ! ��� ���)����'�� * ��!���� � �������� ����� � ���'�� �� �� ������� � ��� ��� �'���� �� ���� �� ��*���� ��� � �����" � � ���� ���������# �������� ���'�� � ��!�� � �������� � ���� $��� ��� � $� ��)� �� %��)���� �++�� ��� '� ����� ��� # � �� ��" ��� � ����� � ���'�� � ������' � '� ���'� ��" ����������� ��������� �� �)�� ��# � ����� ���" ��(��� �� �� ���# � ������ � ���� �' ��� �� ' �����)�' ������ � ���� �� ��*� � � ��!�' ���� '� ������� ��!��� ���� ���u� ����� ������� ���" '� ������ ����!��� �� ������� 9 � 9 � n � � m � ���� 9� 8��� ���u� ������� ��!� � �� ����� ' ����" � ' ���'�� �'a ' < ��� �� � � ���$������(�< ���� �� ��*� � ����� ) < ���" ��(��� * < ������� ��*� � ���������+ < ������� ��*� � ���" '�� � , < !�$� � � ����� - < ��������� ������� �� ���������� �� �� ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � 3 ����� �� �����(�� �����*!����� �� ��� '��" �� &�"m�� ���'�������� ��* � ���� '������ +��'�" ������ �! ��� �����'� �>�� wB ���� @N� �����" ���� ����� �� �)�� ��� � ����� �����(�� ������� �� � ����� ��� ������������� ���������� /���� � ��� �� ��'�������� ��* �������� !�$� � � ���� �! hB��� /�� ���' ��-���� ��!)��� �'���� �� �� ��������� � �����(�� �� ���� -�� m�� �� ����� ���� ��� ������ ��������� ������� ���� �� ������ '����* �'�� ���� ����� ������ � �� ������� 2���* . < �� ����� ����� /��Σ < ��'" '����� ������� ����� ������� ������� ��*� � ��������� /� < ������� ����� ������� ��!" ��-��� ��������� '�(�� ���" ��(��� � �������'� /�! < ��" ����� ����� ������� ������� � !�$� ���� ��� � /� < ������� ����� ������� �����(��� 0� < �'���� ��� ������� �� � 0�� < �'���� ��� ��)���� ��������" � � �����(��� 0�� < �'���� �" �� ����(�#$�� ���� � ����� ���'�� �� � ���� � " � � ��� �' ����������� �� '�" ��'��*��� '�$��� � � ��� �" '��� ���� � '���'��*���� ���" ���� � �'���� �� �� �����(�� �� ���� ���u�� ���" ���� �� �� ����� ' � '� ����� ��� �� � ������ ���" � �� ��*� ' ���'�� �'� 3������ ����� � ����� �������� ���!��� � �� ���� �� ������� # � ������ � '� ���'� �������'� � ����+�!������'� ����'� ��'� ���'�� �� ���� " ���u�� �������� x�$��� *� � ��� �'� ������� �" ��'� ���)����'� �� �)�������� � �)��*��� �'" ���� �� ��)���� ��������� � �����(�� �������� '�(� ) * ���������� �! ��� ��-��� ∑ −= R tt P ���� � �9� ��� /Σ < [�''����� ������� ����� �������� ����" ��� �'�� �! ���' ��� .� ���������� ����� R RRRRRR RRR R + ++ = ΣΣ Σ ∑ ��� ����� � ��������� � �� ������� � '� ����� ��" � ���' ������� ��� 89m9�9�"9 � �����'�� ' ��" '�������� ���'� �'�#$�' ����*��� ��������� ��� ����� ������� ρ�9�� ,'j � �� �� ������� �����(" �� ��!'���'� m×m '' � ��!��-��� ���������� � ''� ����!���� � � �� �)�������� � �)���!��������� �'���� �� ��)���� ��������� � �������� ������ 9���&� ���)����'� '�$��� * ������� �� 1���� 3 � /����-��� * �� ������ �'���� �� ��������� � �����(�� �� ���� -�� 9��� /������� � ���� � ��� ���(��# ������� ��" ��� * ���������� ���� ��� ����" ��������������� ��-��� ��������� ������� ��!� � �� ����� ' ���" ���� ' ��'�������� ���'� �!�� ������ ' '� ���' ������������� ���������� .&/,012,34%%56 .&�,7%.8. 9� cUNNBPUF h� v� cO[SEFBPZ UV POZB[UFbQ[XUN IEP POFPUNP UWONEXBUF �� hOFPUNP EFb ][XQEXUNP�< 9=>n�< w 99��< M� �>�<�>n� �� cENPEY ]�� HOeEFFOEQ C�� @UZOX ]�� cUNEFXO `� v� ] FOg @�� PUYBb PXEXOb REPOb IEP POFPUN �� ?SO 9�XS iQNU" WOEF @UFVONOF[O UF hUYBb"hXEXO ?NEFPbQ[ONP�< hOWXOZRON 9m<9>� ����� MNEIQO� @eO[S vOWQRYB[�< M� �9m<�9�� �� \TEFUTE ��� JNQXUTONXPOT h�� MBPY^EfUT ]� OX EY� hXQb^ UV POZB[UFbQ[XUN POFPUN POFPBXBTBX^ XU D�h ZB[NU[UF[OF" XNEXBUFP �� \RBb�< M� ��m<���� �� &' � �� 3� 4�� 0���� �� .�� ��'�-������ 4� 4�� 7�� ��� 3� /� /�������������� � ������� � ���'��" � �����)u�����"���� �� ��*� � � ��������� �� /��" )�� � ��� �' ��������� �< 9=>=�< � ��< &� ��<��� ���� �� t�������� " �� ���'� ���� ��" ������� '����� ��" !����� ������� 0U[ /� 0�� 0� /��Σ /�! /� . �������� ����� �� ���� � � �������� �� ���� �������� ��������� ��� �������� �� ���������������� ����������� ������������ � ����� ����� ����������� �������� � ����� �������� �������� ������� ������� �� � �� ����� ������ ����� �� ��������������� � ����