APA-Zitierstil (7. Ausg.)

Савицкий, Г., Бончик, А., Ижнин, И., Кияк, С., Могиляк, И., & Тростинский, И. (2002). Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)

Савицкий, Г.В, А.Ю Бончик, И.И Ижнин, С.Г Кияк, И.А Могиляк, und И.П Тростинский. Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.

MLA-Zitierstil (8. Ausg.)

Савицкий, Г.В, et al. Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.