APA (7th ed.) Citation

Савицкий, Г., Бончик, А., Ижнин, И., Кияк, С., Могиляк, И., & Тростинский, И. (2002). Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Савицкий, Г.В, А.Ю Бончик, И.И Ижнин, С.Г Кияк, И.А Могиляк, and И.П Тростинский. Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.

MLA (8th ed.) Citation

Савицкий, Г.В, et al. Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”. Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України, 2002.