Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”
Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формирова...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2002 |
| Hauptverfasser: | , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70808 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862543642730692608 |
|---|---|
| author | Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. |
| author_facet | Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. |
| citation_txt | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем.
Modernisation of the “Oникс” system for photon annealing of semiconductor wafers was carried out. It has provided to increase a repetition and reproducibility of the temperature-time annealing cycles with small duration at high temperature increasing rate. The control software of the IBM compatible PC allows to form the temperature-time annealing cycle according to adjusted one with the time accuracy established about 0,01 s at the typical annealing time up to 100 s and annealing temperature up to 1000°C.
|
| first_indexed | 2025-11-24T23:19:38Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70808 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T23:19:38Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. 2014-11-13T19:49:05Z 2014-11-13T19:49:05Z 2002 Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70808 621.382: 621.315.59 Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем. Modernisation of the “Oникс” system for photon annealing of semiconductor wafers was carried out. It has provided to increase a repetition and reproducibility of the temperature-time annealing cycles with small duration at high temperature increasing rate. The control software of the IBM compatible PC allows to form the temperature-time annealing cycle according to adjusted one with the time accuracy established about 0,01 s at the typical annealing time up to 100 s and annealing temperature up to 1000°C. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” Modernization of the "Oникс" system for photon annealing of semiconductor wafers Article published earlier |
| spellingShingle | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_alt | Modernization of the "Oникс" system for photon annealing of semiconductor wafers |
| title_full | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_fullStr | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_full_unstemmed | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_short | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_sort | модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “оникс” |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70808 |
| work_keys_str_mv | AT savickiigv modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT bončikaû modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT ižninii modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT kiâksg modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT mogilâkia modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT trostinskiiip modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT savickiigv modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT bončikaû modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT ižninii modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT kiâksg modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT mogilâkia modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT trostinskiiip modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers |