Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс”
Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формирова...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70808 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70808 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. 2014-11-13T19:49:05Z 2014-11-13T19:49:05Z 2002 Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70808 621.382: 621.315.59 Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем. Modernisation of the “Oникс” system for photon annealing of semiconductor wafers was carried out. It has provided to increase a repetition and reproducibility of the temperature-time annealing cycles with small duration at high temperature increasing rate. The control software of the IBM compatible PC allows to form the temperature-time annealing cycle according to adjusted one with the time accuracy established about 0,01 s at the typical annealing time up to 100 s and annealing temperature up to 1000°C. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” Modernization of the "Oникс" system for photon annealing of semiconductor wafers Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| spellingShingle |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title_short |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_full |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_fullStr |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_full_unstemmed |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” |
| title_sort |
модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “оникс” |
| author |
Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. |
| author_facet |
Савицкий, Г.В. Бончик, А.Ю. Ижнин, И.И. Кияк, С.Г. Могиляк, И.А. Тростинский, И.П. |
| topic |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| publishDate |
2002 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Modernization of the "Oникс" system for photon annealing of semiconductor wafers |
| description |
Проведена модернизация промышленной установки фотонного отжига полупроводниковых пластин "Оникс" для обеспечения повторяемости и воспроизводимости температурно-временных циклов отжига малой длительности при высоких скоростях нарастания температуры. Управляющая программа позволяет формировать температурно-временную диаграмму процесса отжига пластин по заданной с точностью установления времени ~0,01 секунды с визуальным контролем.
Modernisation of the “Oникс” system for photon annealing of semiconductor wafers was carried out. It has provided to increase a repetition and reproducibility of the temperature-time annealing cycles with small duration at high temperature increasing rate. The control software of the IBM compatible PC allows to form the temperature-time annealing cycle according to adjusted one with the time accuracy established about 0,01 s at the typical annealing time up to 100 s and annealing temperature up to 1000°C.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70808 |
| citation_txt |
Модернизация установки фотонного отжига полупроводниковых пластин “Оникс” / Г.В. Савицкий, А.Ю. Бончик, И.И. Ижнин, С.Г. Кияк, И.А. Могиляк, И.П. Тростинский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 45-47. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT savickiigv modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT bončikaû modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT ižninii modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT kiâksg modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT mogilâkia modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT trostinskiiip modernizaciâustanovkifotonnogootžigapoluprovodnikovyhplastinoniks AT savickiigv modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT bončikaû modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT ižninii modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT kiâksg modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT mogilâkia modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers AT trostinskiiip modernizationoftheonikssystemforphotonannealingofsemiconductorwafers |
| first_indexed |
2025-11-24T23:19:38Z |
| last_indexed |
2025-11-24T23:19:38Z |
| _version_ |
1850500013391609856 |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������������
���
�������������
�������
�����
����
��������
���
�� ������ ���������
����� � ��������� ����������������
�� ������������������������ �
����
����������
����������� �����
�� ����
������ �!
������������
���������
�
���
���
!"#
��$��
$������
����������
���
�%��
�������
��%��&���
���������'�������
���(�����
�
&��
���
��
)*+
���
�����
���%��
����
�
(��,����
-�
��
./01
2�����
���
������3��
��
�����,%�����
����
�
���
��
�� %����
���4'�
������
�
�������
�'����'���
,5
����
��&�����
������
���
��
���3�'�
6��
��4�
/7
�89�
�������
���
�� ����
,5
������
���
�
�'����
��������&������
:����
�
'�������
�
����
��,���
����
�
��
���:����
�
�������
����%��'�
��,���
,5�
&
�
�(����&����
�
�����������
���
��
�
��53���
��������&������
�(���'����� 1
2'����
������'
�����
�
��������&�����
�
���
$����
�� �
�
(����
���4���
��
�������
��
�����
����5
�
��������1
;��
�������
������
����
����
����'�
��%��4����
��
������
%�
�&�
��������
"#
�
���������
�1
<
�
��%'��
'������
��,���
��'���
�
�
���
�����'����
�����������
�:�������
�
4���
�
���
��
�
��%����
���(��'����
,
%�3�
�
�������
���
�
���
�(�&���
����&�����
�
4���
���
�����,�
%�����
��
�'��
�����,�����
�
4���1
;���������
�����,����
��
�&�����
�������
'�
�
4���
������������������
�
���
��
'��
� '
������3��
�
��
��������5
�
��'�:������
���
��&�����
�
4����1
=��(����
�������
���������
���
�'���
�� �
�
�����,����
��%�����
�
���������
�
���
6>�
�����9
�
4��1
?������
��
�
��&�
%���5&��
5
�
�
��%��&���
�
�����
���������
�&���
�
���
��
��%��&���
���
���
�
��
���
��������
��%��&���
'���
��,���
�
�����,���
.�01
@�����%�
��%������
�����,�����
�
4���
�� %����
�
�
���
�
����������
�
�����'�53��
����
����%�:���
����'��������
���
��
������
6
�������
�
4��9
.A0�
���
�
�(��%�������
����
������'���&���
���%��
�������
���
���
�
.�01
B��
�
�&��
�����
����
���:����
6���
� '��
/�C�
�9
����
�
���
%��&�
��,����
�����������
'�����5
������
���������
������
&
�
�(����������
�(��%������
��%���
���>����1
���
��
�����
��'��
�
�
���
��%������
�
4���
�� �
�
��
&
�
&��%��&����
���
����
������
,
>�%����
����(��%������
�����'�
�
@2BDE=�FGH�I
J)�G=2*K�
L2�2==2?2
2�M�?G
;2NJ;E2*2B=�K2*OP
;NG)��=
Q2=�K)R
"!��!��!��!�#!� !�$% &'"&()��!��!��!��!�%!�*!�+,-.&")
�!��!��!��!�&!�&!�&/-&-)��!��!��!��!�$!�#!�"&0")
&!�%!��,#&10")�&!��!�23,$2&-$"&(
J�������
�1
N,����
�;;
@@
=G=J�
=;;
SK���
S
T�U!VWX
YZ![!\]^!Z!\1W_V_1`!
B�
�
���
������
�
��'��:�5
/�1�a
����
�1
2������
�!��!��!� !�#!� 43+&'"&(
6=��
@;�
�1
K���9
�(��%�����5
���,��
�������������
���
����
����'�
�
���
&���
��%����5
%��&�
��,���
�������
'�>�����
:��1
;��
���
���
�����
����&�����
�(��(�
��
(�'�
�����'�
,
�
�����
�����������
����������'�����5
��������1
;��
�����,����
���������
���
6>�
�����9
�
4��
���
�
�
��&��
�
��%�������
���:���
�
4���
�������'�
�
���'��
>�%�
���
�����
������
'��
��,���
�
�����,�
����
����'�
���
&���
�(��%�:
���������
�
��
��5
���
3���1
���
��
������
��
��������5
�
�(�&���
�����
&�����
�
4�����
���:���
�����
�����
'�>��
���
�
����
���
�����'�
%��&�
��,��
(��
���
6��� '��
'��
��
�����'9�
���
���
>�
�����
�
4��
��
�������4'��
�
'�>>�%���
��%��������
���>��
������
���������
�������1
2(3��
������3��
���
'�
�(���
����
�����,�
�����
�
4���
���
�����
��
�����
�� �
�
������
�
����,
��
���:��
���������
��
���
���(��4��
�
�
/1
;��
���
�
��(�
��
���������
�����,������
�
���(�����
�
>�
�������
�
4���
�� �
�
��
���,���
%�'�&��
�
������
��%��(�
��
�(3���
��������&���
����
���:����
��%'���
������������
���������
!"#��
���
��1
J&�
���
����5
'��
��,���
,
���:����
�
�����
���
������
�
�����
���
������
����
�������%���
'����
�
:����
�
:����
��%��,
�
�
��4��
����&�
,
��$,
���
�����,%������
��
���
�%���������
����
��
>�
������
�
4���
�
����,5
�����
����������
��1
E�%��(�
��
����
���
���
�
(���
��������
:��
�,5
'�����
��(�
�1
J�
������
>�
������
�
4���
S2����S
���'���
%��&���
'�
���
������������
�
4���
�����
�����'�������
����
��
'����
���
'�
a�
��1
2
4��
�������'�
�
�������
6'�
/�C�
��
�
1
�
19
���
�
%��
3�
���
���
�&���
�
���>���
6$
�
���
��4��9
���
�� �
�������
�%�
�
6���
�����
'���
��%��91
�����,��
���
������
���
�������
�(b���
��(�&��
������
�
'��4�
����
����
��
�������'�
�
����3,5
��������
���
����
��3���
,5
/
�*
�
��
����������
��
'��
�
,
�
��4'��
�
�����
������
6�(3�
��3���
,
��
�*
91
K�����
����4'��
�
���
�&���
��'��1
B�
�(����&���
������������
���������
����
:�����
�
4���
����
��
��
��
������
S2����S
(���
��%��(�
���
�
�%��
������
���:���,��
���
���
��
(�%�
c*@
������
�����
����,5
���1
)��
���
���
��
�%
�%����
��,����
(����
�
���
�������
���'����
����(��%���
�� ��
6PG�
�����
��
�������������
���
�������������
�������
�����
����
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
����
�
�����
�
���������
����'���
�����
�
>�
��
'��'9
�
������ �
�
����,5
����
5�6������91
E�%��,�
�
�
��(�
�
�
���
���,��
�����,
���������
�
��
(��4�5
�
��
������
'�����
561
*
���
��
�%����
��,����
(����
���'
>���:���
���,��
%����&�����
��'����
��(������
��
��&�
���
���
��
��%������
/��×/��
��X
��'��,
'����':�
��
��%� '����
���,�������,����
��������:�>������
����(��%���
��
55�
�
���'��
��
�����
��'��5&���
�����
��,
���
� �����
���
57�'�
�%������
�1
'1
�1
PG�
���������
�����
��,
���
� �����
���
58
'�
�������
�������
>�
����������
59d
��'���
:�>���
�����������
����(��%���
��
:�'� ����������
>��
%������,����
����
�����
�����
����
��3���
�d
��������
�
;1
*��
��'���
���5
��%���
>�������
������
(�%����
�'����
�
������ 5
�
�����'���
�
����,5
���
��
�(3��
���,����%� '���
$����
�'�
�����
7�
'�����
6
�
�����'
<� 6ef�
ge�
eThTi9�
��
����
>������5
�
��
��>������
��'����
81
=��(��'����
���� 4���
��
���
���
���5
��
�(�
3��
$����
=
�
(����
5>1
��
��>���
��4'�
����,5
����
�
�%����
��,���
(�����
������%����
�
����3,5
'���
��'����
9
�
8�
�'��
�%
��
����
6G/9
��
��� �
�
�
���(�'���
���
jh"
$���
����,5
����
�
�
����
6G�9
7
�
�'��
�%
���
��
���$�����
�%����
��,����
(����
.�01
@��
'���
G/
�
G�
���'�� 5
�
��(����
'�����
'�
/�
�
�
�(��%�5
'��������������
���,����%� '���
��
��
&����
��%� %�����
��������,���
�����
�(����
�
����
�����,���
������
,5
����'�&�
���
�(��
k�1
F�
����
��
��
��>�������
��'��
G/
�
jlm
no
%���%�����
������
�'����
A��pTq7A�rpTq1
2(��3����
��
�'�
����
A��=DP
>�������
�
�����
G�
�'���
>���:���
���,����
��'��
��
�'������
$���
7��%����
��,���
��
(����1
;�����,���
,
�
��
�����:��
��4��
����
���
��������
,
&
�����
��
�'����
A�/=DP1
;�
�'���
��
A��=DP
�������'�
�(���
'������
��
$���
'���
���
6�
���
� ���
��
����
��4��
������
��������
,
&
�����
��
�'����
A�A=DP1
*
�����
��
��>����
'������
��,��
���'��
����
��������������
�����
���
�s�*��A
6(�%����
�'�
���
A�s=DP9
'�
���������
��������%�:��
��%��&�
���
�
�'��
���:����
�
4���
�
�%������
�������
�
'��
�
�&���
��%'�� 53��
�����(���
,5
�
>�����
�������
������
����
%������
��
����������
��
���
���
jet/�1
G�����
��
&��
,
��%��(�
�����
���
���
�(�����
&����
X
7
��4��
��������
���������
��3���
,5
����
�����
��
���
����������
����
�
����3,5
�����
������
>�%������,�����
�����
���d
7
�%�������
������
���
���>�
�����
'��4�
��
�
�
����
����
�
����3,5
����(��������
�������
��
�
�����
�
����������
����'����
���:���
�
�
���'����
��,���
�����
����
���
� �����
���1
7
�%�������
�����
���
�����
��
���
�
��(�&��
������
�
����3,5
>�
�'��'�
LB���Kd
7
��������5
��������%�:�5
���:�����
�%�����
��
������
���
�
������������
��3���
�
����
6'�����
���
,
�%�������
7
/��k��
��%'�� 53�
����
��(���
,
7
/�
��%� '��9d
7
���
���,
���
� ��
���
��
��
������
6�������
����&��
��'��
���
��
��%��
(���������
�
'�����91
J���������
���:�����
�
4���
��4�
(�
,
������%�����
��
'���
��%��&���
������
�
���1
*
������
������
�
������ 53�
���������
�
��
�������
���/
�
��&��� �
�4�'�����
%��&����
������
���
���>�
�����
'��4�
��
�
�
4�������
����
����
�
���
��
�
���
�
%�'�����
������
�����
���������
��4����
�
4���
6������91
��>����:�
�
1
IBM PC
ISA
����
15
�����
2
��
����
��
3
��
���
��
14
����
12
����
��
��-���
7 ���
10
����
�������
4
5
6
9
11 ����� �������!"
��# ���
���$�% ��$�&
13
����
8���&����%% �'
E��1
/1
u���������
���
���
����,5
������
���������
��
�������
�
4���
/���
s��
���
���
���
�
�
s
/�
/�
��
*��� �
�
�
��
�
��
�
�
�
��
v
)
E��1
�1
;�����
������
��������������
'�������
��
���:����
>�
������
�
4���
!"#
����������
���
���������
�
���
���
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�a
�������������
���
�������������
�������
�����
����
���������
���
����
��������
����������
�
�
����,���
������
���
'��4�
��
���'�
�
�
����,5�
��
��
������
wP�
��������
7
���'����
��,���
����
��
��,
J;�/
7
GH;x
�
���������
�
�
��&������
���
%��&�����
%�'��� 1
E�%��:�
�
��
����&��
�����
'��
������,
���
� �����
���� 4���
��
����'�
HG;�
������
�
��
�����
���
����
��
>�%������,��
���
����
�����
�����
��
���
�����
��
���
�����
������
����1
;�����:�����,�����
�����'�>>�����
:���,���
%����
���������
��3���
,5
>�
������
�������
��
>�������
�
�����������
����'
�%
���
��,���
'�����&�����
�����
����
��
��(�&��
�����
��
��
������
S2����S1
*�
�
����
���&��
�����%��
�
�
4��
����(������
���
���
����
�����,���1
;��
�
��
����������
�%�
��� �
�
�
�
�(���%����
�
��3���
,
>�
������
���
�����
�� �
������,
��
����
�%��� �
�
�
����3,5
>�
�'��'��
J;��
�
GH;�
�
����,��
������
���
'���
4�
��
����
�
���
�������
�
�������
��������1
J����� 53�
���������
��%��� �
>��������
,
������
�������������5
'��������
���:����
�
4��
��
����
��
��
%�'�����
�
�&���
,5
��
��������
�������
y���/
�
���
�����
�����
�������
�
4���
'�
/��
�
�
������
���
�
4���
'�
/���v)
�
��%���,���
���
�����
����������
��'�
%�'���
�
����,���
���
����
���
'��4�
��
��
������
'����� 1
E�%��,
�
�
������
����
����������
�
����
(�
,
���������
��
4��
���
'����
6pff9
�
�����,%�����
�
'��,���$��
���:�����
���
�
�������1
zzz
;����'����
��'����%�:�
��
������
�����,����
��
>�
������
�
4���
w2����x
��%��� �
�
�������
�&���
,5
�
�������%��'����
,5
�����%�����
,
���
�(��'����
������
��������������
��4���
�����,�
�����
�
4���
���������'�������
����
���
�
&��
�
���
��
�
���:����
���������
����%��'�
��
������
������
���������
!"#��
���
��
'�
�%��
������
��
��
������
���������
������
���(����1
K����
����
��
������
��%��� �
����%��'�
,
���:�%����
���
�
4��
���
��
��
���
�%��
�������
�����'����
��,����
�(��%:��1
�);2N{F2*G==OD
�)�2+=�K�
/1
p`[#|}ZY}Z
e1
1�
pVZ#^~
�1
!"#
�V}W��}��}^\
\Z![#V#�
\�Z#
�V\~
V�[
VU|W![\}�
^~![[}W#
kk
TW}^\Z�[1
�}\\1C
/�aA1C
��W1
��
�
��1C
n1
�aaC�as1
�1
?�
��
F1
�1�
2����',��
)1
G1�
u�(�:���
I1
*1
���
���,����
��%�����
�
4��
������������
���������
���
�������'�������
��
�������
kk
F���(�4��
����
����
��
������1C
/�sA1C
�
�1C
)1
AC�s1
A1
g���
e1
n1�
VW}#
1
T1
m!^Z�#^�|V^
\~}�Z�
��
|`W#}�
W!#}Z
![[}!WV[Y1
/1
i~}ZU!W
\Z![#|�Z\
![�
U}W\V[Y
kk
n~�#1
e}_1
6l91C
/�s/1C
��W1
�A�
�
�1C
n1
��AC��a1
�1g![\}W}\
p1�
�![
�}^~\}[
�1
"1
o!ZZV}Z
�V��`#V�[
V[
#}UV^�[�`^\�Z
#`r�}^\
\�
W!ZY}
YZ!�V}[\#
��
}�V\}�
^!ZZV}Z
�}[#V\�
kk
jrV�1C
/�s/1C
��W1
�A�
�
/�1C
E1
���/C���a1
�1
u��&��
21
�1�
c4���
c1
c1�
K� �
)1
?1
�
��1
G�
���
��
%������
��������
'�
'����'4���
����
��>�%�&���
����
�
����
��
����������'�������
��
�������
kk
F(1
����1
���:,
L�%����������&����
���
�
��1
?1
*1
K�������
=G=J�
)��1
wL�%�&��
��
�'�
�
%���(�
���
���5
����'���3�
��
�������
�
����(��x1C
����1C
*��1
a1C
)1
�A�C���1
��������
���
�
����
���
���������
��������
������
������
�����������������������
�
��� �������
����������
�� ��!�� �
� ��!������
��������
������
����
��
��
���� "���!��"
������
��#�������������������"����
��$�����"���!��"
������
�
���� ����%���� "�����
&��×&'(����
��������
������������
����������������������
�
��� �����������
�����!�
)�����!�*�������� ��� �
�
��
�+���������������� ���
!����
�����,�����������
�
����
��������������� ����
���
��
������ �����
�
�&�� ��� �
��
�������
��� �
�$�������� ��
���
�
�������
�
��
�����
���
���
����$�����������-�!��
����
����������
����� ���
���
��� ������������.
�
���
��������������
�/��0�����
�
� �
��
�
���1
��������������
������
��
�����
�������-����� ���
!�����������������������
��������234567689�:65;�
-����������
����
������
��$�������&���$� ��������
��
������
�������������+<�
=����
���������
���$���
��$��
��������
�������
�
����
���� ���������������
����������
�����������$��
��
����
���" !� !#!���!�$ ��
��
�
�$����
������������>?@�
A936B�%��� �&��!��!'����)��
�� ���
����
�����
�������
����
������"����
*��C�
��$����������:65;���������
�����+��� �����������$����
�������
�
���������
D
������
���
��������
�������
������(!�$ )*�
�������
�������������
EF������
���G���
���������/(
+�"��*����
�����
$�"�����
����HIJ+�KHL+�MNO+�:2O+
IPQ��R��"
�
�
�������
��
��
������� �
�������,!� ��&!�
��*�-&�����*.��!#�*!�
,
��������������
������
��
� ������ �� ���
��� �
S�TA3UV�/0123451662781/
�W��X����
�������
��
��
������
�������
��
���
��������)"��
�+�
��+����
������+����������� ���*+��
����������.
����
��������
����%�
��������������$��
�
��� ������!��
������+
������
������
��������� ��
����
+���TA3U+���
�"���+
��
�"������
�����$
+�����
������
��
�<��C�
�������.�.��
�+
������!�����$�
�������� �
������������!������������
���������+��� �����
�������
����1�� �������$��
����
�
�������$�������
���� ��
�
���
������������ ����
�
|