Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС

Рассмотрены некоторые особенности проектирования в части обеспечения правильного функционирования высоковольтных КМОП БИС аналогового ключа с управлением и коммутаторов путем защиты электрической схемы, выполняющей заданное функциональное назначение, как от внутренних (в КМОП БИС), так и от внешних...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2002
Автори: Вербицкий, В.Г., Золотаревский, В.И., Николаенко, Ю.Е., Самотовка, Л.И., Товмач, Е.С.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Назва видання:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70809
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС / В.Г. Вербицкий, В.И. Золотаревский, Ю.Е. Николаенко, Л.И. Самотовка, Е.С. Товмач // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 48-53. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70809
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-708092025-02-09T14:11:20Z Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС Constructive and technological limitations for a design of high voltage CMOS LSIC Вербицкий, В.Г. Золотаревский, В.И. Николаенко, Ю.Е. Самотовка, Л.И. Товмач, Е.С. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Рассмотрены некоторые особенности проектирования в части обеспечения правильного функционирования высоковольтных КМОП БИС аналогового ключа с управлением и коммутаторов путем защиты электрической схемы, выполняющей заданное функциональное назначение, как от внутренних (в КМОП БИС), так и от внешних дестабилизирующих факторов. Some peculiarities of a design of electrical scheme are considered: in part of a quarantee of correct function of high voltage CMOS LSIC of analog switch with a control and multiplexers by means of a defence of electrical scheme, whiche given functional purpose fulfils. 2002 Article Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС / В.Г. Вербицкий, В.И. Золотаревский, Ю.Е. Николаенко, Л.И. Самотовка, Е.С. Товмач // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 48-53. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70809 621.382 (088-8) ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
spellingShingle Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Вербицкий, В.Г.
Золотаревский, В.И.
Николаенко, Ю.Е.
Самотовка, Л.И.
Товмач, Е.С.
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрены некоторые особенности проектирования в части обеспечения правильного функционирования высоковольтных КМОП БИС аналогового ключа с управлением и коммутаторов путем защиты электрической схемы, выполняющей заданное функциональное назначение, как от внутренних (в КМОП БИС), так и от внешних дестабилизирующих факторов.
format Article
author Вербицкий, В.Г.
Золотаревский, В.И.
Николаенко, Ю.Е.
Самотовка, Л.И.
Товмач, Е.С.
author_facet Вербицкий, В.Г.
Золотаревский, В.И.
Николаенко, Ю.Е.
Самотовка, Л.И.
Товмач, Е.С.
author_sort Вербицкий, В.Г.
title Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
title_short Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
title_full Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
title_fullStr Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
title_full_unstemmed Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
title_sort конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных кмоп бис
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2002
topic_facet Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70809
citation_txt Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС / В.Г. Вербицкий, В.И. Золотаревский, Ю.Е. Николаенко, Л.И. Самотовка, Е.С. Товмач // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 48-53. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT verbickijvg konstruktivnotehnologičeskieograničeniâpriproektirovaniivysokovolʹtnyhkmopbis
AT zolotarevskijvi konstruktivnotehnologičeskieograničeniâpriproektirovaniivysokovolʹtnyhkmopbis
AT nikolaenkoûe konstruktivnotehnologičeskieograničeniâpriproektirovaniivysokovolʹtnyhkmopbis
AT samotovkali konstruktivnotehnologičeskieograničeniâpriproektirovaniivysokovolʹtnyhkmopbis
AT tovmačes konstruktivnotehnologičeskieograničeniâpriproektirovaniivysokovolʹtnyhkmopbis
AT verbickijvg constructiveandtechnologicallimitationsforadesignofhighvoltagecmoslsic
AT zolotarevskijvi constructiveandtechnologicallimitationsforadesignofhighvoltagecmoslsic
AT nikolaenkoûe constructiveandtechnologicallimitationsforadesignofhighvoltagecmoslsic
AT samotovkali constructiveandtechnologicallimitationsforadesignofhighvoltagecmoslsic
AT tovmačes constructiveandtechnologicallimitationsforadesignofhighvoltagecmoslsic
first_indexed 2025-11-26T17:26:58Z
last_indexed 2025-11-26T17:26:58Z
_version_ 1849874736171974656
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ����� !��"#��$�%&��'�(")%��"% �( *�")%�"+ , " , �%��" �#*�"" #-����#�'.��-& �/�, 0"� 1� � ��� ������ � ��2��3�4 567�6 ���� �7 ������� ��������������� �� � �� 8�"" /,� �7 ����9 ��� ������������������������� ������������������������� ��� ������������������������������� ����������������� �� !������� �7 ����� �"" :�������;���� <$=>?@A =?BCD=>EBFG7B?HI7J> �� ! "#$��%�&!&'���&! (�)�&�� (�&� #"�(*� #� +"! (�&'�!)�+��(*��,��-(&�(� �&#"�(*� #%!&�&#&$. �%/�� � ���� �&��, " &�&#�(� �$0+�1��"� &!�&#�� (!� /& �&1� 2�)& $&3�(� # ��;� � [1] ���2� �����K ������K� ���� ��� ��$ ���$ ��������L����� ����:� �K �� ���K� ���:�� ��� ���2 M�� � ��� �� �/�,$ ���N�� ����� ������L�$ ��4M�� � �;����L���4M�� ����� �������� �K����$ ���O �K� �/�, 0"� �� �;P�:��: :������� ����$ L����: ���:��� ��� �����:�L���� ���;���� �QQ��$ ����: ���������2������: :� ������7 �����L����� ��� � ��� �� �����O�K� :�������:� ����2�� �:�� � ����L����� 2������ ��� ��� ������$ ���� ��;� ������;��� � ������O�� Q���3������4$ M��� �;����L���� � � � �����4 �L���2O� �� � �2�� �� ����� ������� � � N� �: ��������L����: ���3����: ����N��2� ��� ���K ���� � 2���� �:K:� ������ $ :�� ��R�:�:� �� ������� �3��7 1� ������O���� Q���3���������� �K�������O $ �K� �/�, 0"� � �;P�:� :������� ����L������ ���:�� ���;��2�:� ����� ����� O �� ��O�� ���� $ ���3�4 ���� ��L����� ���:K� �K���� 4M�� N�2��$ ��� Q���3�����O��� ��N��L����� �� � ���3���O��4 ��� �:� N�M� K � 2��� �� Q�� ����� 2�� �;���N�$ ��4M�� ������O��� Q���3����������� ��� ���:K � 3���:� �� � ���� ��� ��� 4M�� �� ���:�� �� S �;$ ��� � � ����� �� ����� �������� 4S2$������2��� ��2$ ��R�� � �;��� � �;�2����K� ������ ��2N� ������� 2����� ����� ��������2 M�� T�� � ��� �� ��� � ��$ R� 4S2$������2��� �N�����4M�� ��:���:�� ���K� /�,$ ���N�� ��K7 # 2����� ��;� � ����:� ���K ���� ��K� ���;��$ ��� � ����� ������� � L�� � �;����L��� ������O$ ���� Q���3���������� �K�������O �K� �/�, 0"� ����������� ��4L� � ����������: � ��::� � ���� �� �: N�M� K ���� ��L����� ���:K� �K���� 4M�� N�2����� Q���3�����O��� ��N��L����� ��� � ��� $ ������ 8� �/�, 0"�9� �� � � ���T��� 2�� �;���$ N���4M�� Q�� ����7 #�� ������ ���� ��L����� 2�� �;���N���4M�� Q�� ��K �� N��K � �:� L � � ��R�:�� ���K$ ����� ������� �3�� �/�, 0"� �N:������ ���� ��$ L������ �� ��3���� �� �K��2� ��R2��� ����L������ ���:�� � U�%V� ��� �� � ��4M��� ����L����� �2�$ ��3� ��� ���4� �������R2�� � � �;����L���� � ��$ ��N�� 2��� �:��� �� ���:�� �� ��:���:�� ���K� ���N�� ����� ���� ��� WN� ���S��2��R��W� W� ��S N� ���W� 4S2$������2K W� ��S��2��R��W� W� ��S �� ��W� ����N� �K� �:��� ��� ���� ��� ���� ���N;�R$ �� ��N2����:K� :�R2� �����2�M�:� T���:� � ���$ ����K:� �;��� :� ��2��R�� 2$ ��� �;P�:���� ���:�� � ���:���:� 4$ ��� �����2�:�� �7 ,���N�$ � 2�� � �� �:��� �� ���M�� �� � � ���:�� ��� �$ ��4M�:� � ��2��R��� �/�,$ ���N�� ����7 ���:� ���� � � �� ��2��R��� ��� ���4 ��� �;�� �� �:�$ M���K� � ����K� 4S2$������2�� � 4S2$������2��� �N�����4M�� 2$ � 4$�����O�K� /�,$ ���N�� ����7 ,�2���� ���� R��� � ��N2����� � �:� ���:� �;��$ N� �� ����K� 4S2$������2��� :�R� ������ � � ��$ R��3�� ��������K� ���� ���� N�� 2� � ��2��R�� 2$ � 4$�����O�K� /�,$ ���N�� ����7 1���Q � 2�QQ�$ N� � �� N�� 2�� � �;�� �� �:�M���K: 4S2$������$ 2�: :��� ��M�� ����� �����L��� O �� �;�� �K� ���� �: ��:K: �����3��� 2��O���T�� ���KT���� ����$ � ��R��3�� ��������K� ���� ���� � ������K� ���$ ;�� 4S2$������2��7 � ���T��: 2�� �;���N���4M�: Q�� ���: :�R$ �� � ��� � ����KT���� ��2 ���2��O�� 2���� �:K:� ����� :� ���� ��L����� ���� R���� � T���� �� �$ �� � �� ���2��: �����2�� ���4L���� ���� R��� ��$ ��� �/�, 0"� ����� ��2�L� �� ���2��� �����2 ������ 4M�� ���� R����� �:���� ���K�� ��2��3�$ ���K� � 2����� ��N2��� �� � ����KT�4M�� ���2��O$ �� 2���� �:K� ���:K7 #�� ������ � ���T��� 2�� �;���N���4M�� Q��$ ��K ��� �� 4 � � ��2� ����N� �K� �QQ�� �� ����$ ��L������ ��� � ���� ���K� �QQ�� ��7 XQQ�� K ���� ��L������ ��� :��� �����L��� O ��� � �L��� ��N2��� O �������� �:��R���� ��2��R�K� ���� ���� N�� 2�� � 4S2$������2��� 2����� ��L����� �������� :�2������� O ����L��� ����� ������ � ��$ ��� ����� O �����2�:�� O �� ���K� � �������K� �;��$ � �� Q���3�����O��� ���� ��L����� ���:K � :������$ � ����L����: ���:���� � 7 L7 � � �;��� � 4S2$������$ 2�� � �������4M�� � ��: ������ �:��OT� �� ���;��$ �K� ���� R��� � � ��R� ��N2��� O � ���� ��L����� ���$ :� ����N� �K� 2��2K� ;���� ��K� � /�,$ ���N�� �$ �K� ������2 M�� �/�, 0"� � ��� � ��� ��������O��$ �� Q���3���������� 7 ����� �L����� �N��R����� ���$ Q��� � Q��:��K 2� ���L� � ���� ��Q�N�L����� ����$ :� ��� �� ���K� � �������K� �;��� �� ���� ��L����� � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �Y �������� � ��� �� ������������������ �������� �9 �$���:�� �Z �Z2Z 2[ 2$��2��R�� 5 Y� �� 5� 6 ��� \6 Q���3�����O��� ���:K � :������� ����L����: ���:$ ��� ��2 2��� ���: �QQ�� �� ���� ��L������ ��� ���2$ � �����K � ]�S�^ � ;K�� �����ON����K 2� ���L� � ���$ � ��� ����$ ��������L����� � ���� ��Q�N�L����� ��$ ��:� ��� �� ���K� � �������K� ���:�� �� ���� ��L��$ ��� Q���3�����O��� ���:K � ��� �:K N�M� K �� � 2�$ � �;���N���4M�� Q�� ���� � ���3���� ����� ������� �K�������O �K� �/�, 0"�7 ����� ���K� �QQ�� ��N����� � L� K��������K� 4S2S4S2 82S4S2S49 ���������2�����K� � ��� �$ ���� � �� ��K: � ���2� 4$ ��� �����2�:�� � �����R�� ����R� ��O�K� �� ��3��� � ���� ��O�� �� �2� 2$ ��� �����2�:�� �� � �����3���4M�:� Q�� ���:� ���4L�$ �� ���� ������ �QQ�� � :��� ;K O ��R��3� ��2$ ��R�K� ���� ���� N�� 2� 4S2$������2�: � �;�� �K� ��� �;�� �� �:�M���K� 4S2$������2��7 *����N ���� ��� ������ �������R��� �;��� �� � ����� �� ����� N�M� �K� 2��2�� � ����L����� ���$ :�� �� �� ������ ��:���:�� ���K� /�,$ ���N�� �$ ��� ]�^ ����NK��� � L � � ����L����: ���:�� � ���$ � ��� ���� :�R�� �K2��� O 2�� ��� ������K� L�$ K��������K� � ��� �� 8������97 � ��� ��K ������� ��� �;��N�4 � �� ���2�K� �����2�� �/�, 0"� � :��� �����N��� O� � 2��� ��2��7 � ��� ��� 7S7 ���4L�� 4Z$ ��� �����2�:�� � ;�N� ��������� ���2$ ���� 2��2� 8���29� 2$ ��� �����2�:�� � ��2��R�� �$�����O���� /�,$ ���N�� ���� 4$���:�� � 2Z$ ��� �����2�:�� � �� �� 2$�����O���� /�,$ ���N�� ��� 8�� �297 � ��� ��� 8S8 �� NK��� ;�N� ���2���� N�$ M� ���� 2Z$ ��� �����2�:�� � 2��2� � �$���:��� � 4Z$�� ���: �$�����O���� ���N�� ��� � ��2��R�� 2$ ��� �����2�:�� �7 )� K��������K� � ��� ��K 2������ ��� �����$ ���K 2� ��� ������ � �K��2�K� �����2�� �/�, 0"�7 # � ��� ��� 9 S 9 ���2 4Z$ ��� �����2�:��$ � �� �� �$�����O���� /�,$ ���N�� ��� 8���29� 2$ ��� �����2�:�� � ��2��R��� �$���:�� � 2Z$ ��� �����2�:�� � �� �� 2$�����O���� ���N�� ��� 8��$ �297 � ��L�� 2��� ���� �� ���K� ����N� �K� L� K$ ��������K� � ��� �� � �:� L � L� K��������K� � ��� ��K ��� 7S7� 8S8 ��� ������2� � ��N���:$ ��2������ ��� � ��� N�:K��4 T��K _N�:��` ��� �� ��� �� �K��2 ���2K2�M�� :�������:K� � ��� $ ������ 89S99 N�:K��4 �������2� ����� T��� ��$ ��� �� T��� _N�:��`7 # ���L�� 7S7� 8S8 ��� �$ ��4M�� L���N L� K���������4 � ��� ��� �� ����$ ��L�� �����N�L��� �����;��� O4 ���2K2�M�� :��$ �����:K� �� ��� ����2�� � � ����� �������: ��$ ���� � ��K ��� ���N�� ���� � ��R� ����L���� ���2$ ���� N�M� ���� ��N�� ��� a 8���7 597 #� � ���: ���$ L�� ��� �����2 M�� L���N ����N� ��4 � ��� ���� ��$ ����L���� � ��TO :�2���������K: ������2����$ �K: ����� �������: 4$���:���� 2$��2��R��� �����$ �������: ��� �� �� � ��� �����: ����� �������: �� �L���� ���� R��� �� ��� �/�, 0"�7 b�M� � Q���3�����O��� ���:K �/�, 0"� ��:$ :� � ��� ! cd�5��5� � ����������� ��4L� � ����������: ! cd�5���� � ���T��� 2�� �;���N�$ ��4M�� Q�� ����� � �: L���� � ����KT��� ���$ 2��O�� 2���� �:K� ���� ��L����� ���� R���� �� ���2� ���2���� �����2� � �� T���� �� ��� � ���M�$ � �� � � � ��:�MO4 N�M� �K� ���:�� �� X5 � XN5 S XN�� ���2� ������K� �� ������ ���7 ��7 57 ,���N� �K� L� K��������K� � ��� ��K �/�,$ ���N�� ��� 123 123 123 123 2Z 4Z4Z 4Z 2Z 2Z 4Z2Z \5 \�6 ��� �S� 5S5 �$���:�� 2$��2��R�� 6S6 6 ��5 6 �K� a �5 6 ��5 �� 6 ��5 a \5 \� X5 :6 ��5 6 � �5 6 �K� 6 � \6 6 ��� �� �9 6 � Y 5 Y 5655 5� 6 ��5 6 ��� :6 ��5 a\5 \� �$���:�� 2Z 2[ 2[�Z �Z 2$��2��R�� � ;9 ��7 �7 ���:� ���� ��L���� ���2���� �����2� � ���:��$ �:� N�M� K � � � �L������ ���� ��L�� �� 8"9e ' S � ��� ��� ��N�� ��� a � 2��2�� \5� \�e # S � ��� ��� 2��2� \6 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � c� �������� � ��� �� ������������������ �������� #��2��� ����� �� 8���7 �9 �� ���� �� ��������� ��4L�: � �/�, 0"� ! cd�5���� � ! cd�5��5� ������ ������ �� ��:���:�� ���K� /�,$ ���N�� �$ ���� � �� ��K� ��2��R�� 2$�����O���� ���N�� ��� �� N�N�:����� � ��2��R�� 4$�����O���� ���N�� ��� �5 ��2���2����� � �� �L���� ����R� ��O���� ��$ �� R��� �� ��� 6 ��5 7 ,�� �:� ���N�� �� �5 ��� ���� R��� � 6 ��5 ≥6 �� [6 � ����2� � ��� � ��� � � $ ��K �: ��� � ���� � ��������� ���� R���� 6 � ���$ N�� ��� �� �� N����� � ����L��K � ��3� ��O���� ���� R��� �� ��� 6 ff� �/�, 0"�7 #� ���2��: ����� ��� N�M� � ��2N� ������� 2����� ���� � ���$ N�� ���� �5 � �� � ���� R����� ����KT�4M�� ���$ 2��O�� 2���� �:K�� ���M�� �� � � � ��:�MO4 ���$ :�� � N�M� K X57 # ��� �� ���:�� � N�M� K ���2 ����� ������� a � 2��2K \5� \�� \6 8���7 ���"� '97 1��2 \5� ��K��� � � ��������� �� � �� :�: ��$ ��������� ��� 6 ��5 g6 ff5 7 1��2 \� � ��K��� � ��� ���� R���� 6 ��� g6 ff5 7 )�: �KT� ���� R���� 6 ��� � �: ;��OT� ��2���� ���� R��� 6 ��5 [�6 ��� �� �����$ ������� a7 *������L�� ��;� �� N�M� � � � ��3�$ ��O�K� ���� R����� ����KT�4M�� ���2��O�� 2�$ ��� �:K�� � ��:�MO4 ����� ������ a � 2��2� \6 ���:�� � X57 �2���� N�M� � ��2N� ������� 2����� $ ���� � ����R� ��O���� ��� � ��3� ��O���� ���� $ R���� � � �L������ ���� ��L�� �� 2� 5c�� ���O �� ���:���: 2��� �� �� ���2��� 3���� �� ����KT�4$ M��� ������O��� :���������2� �������� �� ��N2�$ ��� 4S2$������2�� � 2��2�� \5� \� � \6 � ���;��$ �K:� ���� R��� :� ��R� ���;������ ���� R��� ��2N� ������� 2����� ���� � ���;���K� ���� R���� 4S2$������2�� ���:�� �� Q���3�����O��� ���:K �/�, 0"�7 ,��;���K� ���� R��� 2��2�� \5 � \� ����R�$ 4 � � ��������� � ���;���K: ���� R����: 4S2$ ������2� �$���:��� �� �: 2������ ��O���� ������$ ���� �;��� � 5 5 � 5 � 2������� ���:��O4 ; 2 � ��$ �KT����: ����2���� ����� ���3�� ��3�� ���:��� � 2$��2��R�� � 5�5c �: [6 2� ������� 5�5⋅5�5� �: [6 � �;��� � 5 5 � c⋅5�5c �: [6 � �;��� � 5 � 7 ,��;����� ���� R���� 2��2� \6 8�:7 ���7 �� #9 ����2�� � � ��R� ���3�� ��3��� ��3�� ����� ���$ :��� ; � �� ��������� � �$���:��� 8c⋅5�5c �: [69 � ���3�� ��3��� 2������� ���:��� �� ��������� � 2$�;��� � 85�5� �: [697 ,�����K �� 5 � �$���:��� ��$ ���������� �;��� O4 < �� 2��R�� ����KT� O � :�:� � ���� � ��� 5 5 � 4S2$������2� 2� �����O�� ����$ ������ ��������� � 9 2$��2��R�� 2��R�� ;K O �� :���� 5� :�:7 ����� ������� a ��N2�� � �;��� O4 4$ ��� �����2�:�� � �$���:��� 7 :�R2� ��� �� �$ :� �Z$ ��� =S= 8���7 �� '97 ���:� N�M� K XN5SXN� ����������� ��4L� �� ������ ���N�� ���� �5� ��� �6 8���7 69 ��� ����� �� ����3��� �:K���� 2��� �;��� �� <S< 2$ ��� ���$ ��2�:�� �� ��N2�����K� �;��� O4 �$ ��� �����2�$ :�� � �$���:��� 8���7 6� '97 # ��R2�: N�M� ��: ���$ :�� � XN5[XN� ����� �;��� O 2$ ��� �����2�:�� � ���� ��L���� ������2����� �� ���2� ������ 4M�:� 82� XN5 � XN� S �� #� ���5 � �� �� ��K� ��2�4 ��$ ���� 4M�� ���� R���� 6 ��� � � 2� XN6 � XN� S �� #� ���� � �� �� ��K� ��2�4 ������ 4M�� ���� R���� U ���� ��������� � ���� ��O�� 6���� �:7 ���7 6� "97 # ��� �;��� O 2$ ��� �����2�:�� � 2� XN5 � XN6 ���� ��L���� ������2�� � � �� ���2� > ���������$ �� ��4L� 8�5 � �69� � 2� XN� � XN� S � �K��2� ? ����������� ��4L� 8�� � �69 8���7 6� "� '97 # ���L�� 2�� �R��� :�R2� ���2�:� ������ 4M�:� � ���$ 2�: > 8�K��2�: ?9 ����������� ��4L� ���2��O�� 2���� �:K� ���� R���� 4S2$������2K 2$�;��� �� <S< 8���7 6� '9 �:K��4 � � � ��2���� ���� R��� �� ��2N� �����: 2����� ���� ;�2� ����2�� O� ��2�$ ���: ���� R��� �� ���� ��N�:��� K� �;��� � <[< 2$ ��� �����2�:�� �7 ����2����K ���2�4M�� ������K� ����� �K� ���$ � ��� �����$ ��������L����� ������L��� �� ���� �$ �� :�R2� ���:�� �:� N�M� K� �;����L���4M�� �� ��������� O � ��;� ������;��� O7 /���:��O�K� ���� � �� :�R2� ���� ���3� :� �������L����� ����� ���:�� �� N�M� K X5 �� ���2$ ��: �����2� 8�:7 ���7 �9A S � 4S2$������2� �$���:��� 2� �;��� � �����O$ ���� ������� 5 5 S 5� :�:e S ������K �� ����: 2$ ��� �����2�:�� � < ��� 7 �$���:���� 5 � S � :�:e S � �Z$ ��� �����2�:�� � ��� �� � � ����� ��$ ����4 � �$���:��� 2� �S2�������2�� N�M� �K� 2�$ �2�� \5� \�� 56 S 5� :�:e ��7 67 ���:� ���� ��L���� ��4L� � N�M� �K:� ���:�� �:� XN5SXN� 8"9e ' S � ��� ��� ���:�� � N�M� K XN5 >hc� 6 ��� 6 [ ��� �5 �� �6 XN6 XN� XN5 XN� ? �9 :#� ���5 #� ���� 2Z 4Z 2Z 4Z 2Z 2[ 2Z 2[ 12345 12345 12345 2$��2��R�� �$���:�� 6 [ ��� 86 ��� 9 :6 �� >8?9 :6 �� Y 5 � c � � � 6 � ;9 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � c5 �������� � ��� �� ������������������ �������� S � ��� �� � �Z$ ��� �����2�:�� � � �$���:��� 2� �S2$������2� N�M� ���� 2��2� \6� 5 � S d :�:7 /���:��O�K� ���� � �� :�R2� ���� ���3� :� �������L����� ����� �� ���� �� ��������� ��4$ L�:� ����������� ��4L� � ���:�� �� ��� N�M� K XN5 [ XN� 8�:7 ���7 6� 9A S � ��� �� � �Z$ ��� 2Z$ ��� �����2�:�� � � �;$ ��� � � ��� 2� N� ����� 5 5 S � :�:e S � �Z$ ��� 2Z$ ��� �����2�:�� � ��� �� � � �;$ ��� � � ��� 2� � ������� �S2$������2�� 5 � S � :�:e S � � ������� �S2$������2� 2� �;��� � �����O$ ���� �������� � 5 6 S � :�:e S � � ������� �S2$������2� 2� 2Z$ ��� �����$ 2�:�� � ��� �� � � ������ ���� 5 � S 5� :�:e S � �S2$������2� �$���:��� 2� �;��� � iZ$ ��� �����2�:�� � ��� �� � � ������ ���� 5 c S 56 :�:e S � �S2$������2� �$���:��� 2� �;��� � �Z$ ��� �����2�:�� � ��� �� � � ������ ��� � �$���:���� 5 � S � :�:e S � � ������� �S2$������2� � �$���:��� 2� �;$ ��� � �Z$ ��� �����2�:�� � ��� �� � � ������ ���� 5 d S 5� :�:7 #�� ������ 2�� �;���N���4M�� ���� ��L����� ��N2��� �� � � �������:� :��� �� ���N���$ �� O ���� ���K� �QQ�� � ���� ���3� � L� K���$ �����K� � ��� �� Q���3�����O��� ���� ��L����� ���:K ����������� ��4L� � ��::� � ���7 XQQ�� N�$ M�������� �/�, 0"� ����2� ��� ���� ������ �QQ�� � :�R� ���3������ O� ���:� Q�N�L����:� ���3����:� ��� �;��N������ ���� �:�M��� ;��O$ ���K� �:��� �� 4S2$������2�� ��� ��N��� �N:���$ �� � �����R���K� � ��: ���� R����� ������K: ��� �����K: ���;��: �;�� ���:�M���K� 4S2$������$ 2��� ��� ������ ��R��3��� ���� ���� � �;��� � �/�, 0"� ��� � ������� 4S2$������2��� ����2$ � ��� �N:����� ��� ���� � �����R������ ���� R�$ �� ��� ��2����: �� :��� ���� R��� �;��N� 4S2$ ������2�� ��N2������ �������� �:K:� ���:� � ��2$ ��R��� 2� � 4$�����O�K� /�,$ ���N�� ����7 b�M� � � ���� ������ �QQ�� � :�R� ;K O �;��$ ��L��� �� �: ���R��� ������� ��R��3�� 4S2$��$ ����2�:� ��������K� ���� ���� N�� 2�� N�� 2��� ��$ � ����������K� �;�� ���:�M���K:� 4S2$������2�$ :�� ������:� ;K� ��� ����:;���3�� N�� 2��� � ��$ 2�: � �� N�� 2�� � �;��� ��� �������4M�� � 4S2$ ������2�: L� K��������K� � ��� ��� � ��R� ��N��� �QQ�� ����� O4 4S2$������2��� ��R�� ���4M�� ��������K� ���� ���� � ��N��: �2��O�K: ����� ��$ �����: �;��N� � �� 4S2$������2��7 ���R���� ���� ��� � ��N��������� ���� ��$ ���� �QQ�� � � ����� ���� �� ������ ��:���:�� ��$ �K� /�,$ ���N�� ���� � �K�������O �K� �/�, 0"� ����������� ��4L� � ��::� � ��� �;����L���$ � � �:� L � ��N��L�K� Q���3�����O�K� ;����� �$ ��� ��� ���:�� K N�M� K � ���T��� 2�� �;���N�$ ��4M�� Q�� ���� X5� XN5SXN�� 2$�����O�K� /�,$ ���N�� ��K �� ���� �� ��������� ��������K: ��4$ L�: � ��������K� ��4L� �� ������ 2$�����O�K� /�,$ ���N�� ����� ��N:�M�4 � � � 2��O�K� ���$ � ���3� � ���:���� 7 �$ ��� �����2�:�� �7 # �;$ M�� ��2��R�� 2$ ��� �����2�:�� �� � ��R� � �$ ���$ :���� 7 ���2��K ������ ��K @� = 8������K� ���O3� 9 2� N���� � �������� �:K� ��2��R�K� ���� ���� N�� 2�� 2�QQ��2���4M�� � 2���Q�4M�� � ��2��R$ ��� 4$� 2$�����O�K� /�,$ ���N�� ���� 8���7 �� "��#97 ���:� ���� � 2$��2��R�� :�R2� ���:� �$�����O$ �K:� /�,$ ���N�� ���:� � �$���:���:� 2� 2$��$ ���O�K� /�,$ ���N�� ����� ���2 M�� � ��� �� ���: ����������� ��4L� � ����������: ! cd�5���� � ��::� � ��� ! cd�5��5�� ���2��K ���� ���3�� ���$ ��� ���� � ��2� ���O3��K� �;��� �� 2$ ��� �����2�$ :�� � @� ������2�����K� � ����R� ��O��:� �� �L$ ���� ���� R��� � � �;��� �� �$ ��� �����2�:�� � =� ��2��4L���K� � � ��3� ��O��:� �� ��3���� �/�, 0"� 8���7 �� '97 ��������L����� ��N:�M���� � ���� � �� :�R2� �/�,$ ���N�� ���:�� ����L����:� ���:�� �:� � ��7 � " S � ��� ��� � ��� � �� ��� �$�����O���� ���N�� ���e ' S � ��� ��� ������ ���� 8������K� ����39e # S � ��� ��� � ��� � �� ��� 2$�����O���� ���N�� ��� 2Z 4Z 4Z2Z2Z 123456 123456 123456 5c 5� 5d 56 5� 55 � � � � � 5i �$���:�� A 5 A 6 2[ 6 5 Y � � � � Y � c � 2$��2��R�� A � �9 �$���:�� 2$��2��R�� 5 Y � 6 � 2Z4Z2Z � � 5c 5� �6 �� ;9 12345 12345 12345 2$��2��R�� � Y c d Y 6 � � 2Z 4Z 4Z 4[ 2Z 55 5�54 5� 56 � � A � �9 ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � c� �������� � ��� �� ������������������ �������� ���:�� �:� N�M� K � ���T��� � ��� ������ 2�� �$ ;���N���4M�� Q�� ���� ����L� ��K �N ��;������ ����4L��� �N��:���� ����N� ���� ��� �� :�R2� ��:�� ���R��� ���� ��� � 2��� �� �QQ�� �� ����$ ��L������ ��� � ���� ���K� �QQ�� ��7 ����: �;$ ��N�:� ��������K� ��2��R�K� ���� ��� N�� 2� N��$ �� K��4 � ���� ��L����: ����: �;�� ��$�:�M��$ �K: 4S2$������2�: ��������� ���O3� 4$ ��� ���$ ��2�:�� �� � �N;K �L�K� ������K� ���� ��� S ����$ ���K �N �;M�� ��2��R�� 2$ ��� �����2�:�� � S N���� K��4 � ������K: ���O3�: 2$ ��� �����2�$ :�� � @� ����2 M�:� ��2 ����R� ��O�K: �� ��3�$ ���:7 ,���� �K� ���� ��� �����$ ��������L����� ��$ ����L��� �� N�N��K :�R2� ���� ���3� :� �����$ ��L����� ����� Q���3�����O�K� ���: ����������� ��4L� � ����������:� ��::� � ��� ���2� �����K �KT�7 ��L� 2���� �:K� ��N:���� ���:�� �� �����$ ��L����� ������ ���� � ��� :�R2� ���:�� �:� ���$ M�� �� �� � ���;��R���� ��N��� 4S2$������2�� � �L� �: ��� �� �QQ�� � ���� ��L������ ��� A "����2������ ������� ��N��������� � ��2����$ �� ���� ������ �QQ�� � � �K�������O �K� �/�, 0"� ]�^ �����2����O �� ��������� �����N� ����L�$ �K ��� B �2 � �2��R���4M��� � � ��K �: ��� � ��� L� K���������4 � ��� ��� � N�����:�� � � N��L�$ ��� ���QQ�3��� �� ����2�L� ��� �:� ��� α2� α4 � ����L��K ����� ������� C2 � C4� �� ��K� �L� K��$ ���� R����� O ���� ��L������ ��� ���;� �S2$������2�e �;�� ��� ���� R���� �� �S2$������2�e T����� �S2$������2�e � ���� ��O�� ���� ��L���� �����3��$ :�� O :������� ����L������ ���:�� e �;���4 �� ���� ��L���� �����3��:�� O �����:�e ��� �� �� ��N��� O �� ��3����� �� 4D2$��$ ����2�e N�� 2� ����K� �� :�2��4 N�� 2� ���� ����7 �2� � �� S 6�D2 S E S εF S ε � S ϕ � �D G S ( )( ) , 2 ; �a �a�0 �� NqN NNU W W U E npsnp +−ϕεε =≤ −− �&�� �%�� �&�! �,� &�!�&� �/�&$&H(+�!�(�� &H�"�(+��(*� �"� � �"I���%�&!�&#�%/� &)&$&H(+�!�(/� !$&�#� $* J$���� &#� #%!&�&#&$. �%/�� � ���� ������ �� � �� �� ��� � �������� ����� ���—4) ������������� ��� ������ �� ����������� � ���� ��� ��� ������ ����� ������������ � ���� ���� ��� ���������� 3 — ���� �� ���� ��!����� �� � 1 "# � � ��������$ Na=5⋅1015c�–3; h1=5,0 ��� 6 22 %�� �� ���� ������� �� ����� ������� 3 5 ���� �� ���� ��!����� �� � 2 &� �������# � � 6 5 %�� �� ���� ������� �� ����� �� �������# � � 9 — ���� �� ���� ��!����� �� � 3 �� �������# � ��� �!���������� '� '����$ N�=1016c�–3, h3()�*���� 12 — %�� �� ���� ������� �� ����� +� �������# � � 9 — ���� �� ���� ��!����� �� � 4 �� �������# � ��� �!���������� #����$ N�=1016,�–3, h3()�*���� 12 — %�� �� ���� ������� �� ����� +� �������# � � 5 -� ������� ���+������.���/���� ���+� ��������$�Ln, Lp 9 2 Lp���Ln —�� �������� ����� ����0� �� �� ������p-���n-���� ���!�� �"�- ����� ��� 11,5 — ���� �� ���� ��!����� �� � 6 "# � �������!�� �!���������'� � '������-!��������$ N�=1016,�–3, h2(��1���� 14,5 — %�� �� ���� ������� �� ����� �������.���/��� 11,5 — ���� �� ���� ��!����� �� � 7 "# � �������!�� �!���������#�� �����-!��������$� N�=1016,�–3 14,5 — %�� �� ���� ������� �� ����� �������.���/��� 3 — ���� �� ���� ��!����� �� � 8 "# � �������!�� �!���������'� � '�����2-!��������$ N�=1019,�–3 , h3()�*���� 6 — %�� �� ���� ������� �� ��� 3 — ���� �� ���� ��!����� �� � 9 "# � �������!�� �!���������#�� ����2-!��������$ N�=1019,�–3 , h3()�*���� 6 — %�� �� ���� ������� �� ��� 10 "����� ��� �� ���� ��3���� �� �� 2×2 — ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � c6 �������� � ��� �� ������������������ �������� ��� ����������������� ���� ����������������� ���� ����������������� ���� ������� ��������� ������������ ���������������������� ���������������������� ���������������������� ������ � �� � � � �� �� � �� � � � � � �� � �� � � � �� �� �� �� � � � � � � � � � � � � ������������ �� �� ���� �������������������� ���� ���������� ��� ������ ����� � �������� �������� ��� �� ��� �� � � ��� ��� ��� � �� ������ ��� ��� � � �� � �� �� ��� �������� ���������� � ! ���������� ��� ������ ������������������������ ���������������������������� � �� � ����������� �� � ���������"#� � ���$���� ������%�����! ����� ��������������� �������������� ���� �������������� ������&��������'�� � ���(��)��" ���*�����+� , � ���������* ����$���� �������%�������)�� � �! !������� ��������� � ����"� ������������ ��������������-������� # .���&�����/��� � � ���*��0��1��&��-���� # .���$���� ������2�� �13! #$%&�������'�������� ������� ���� �� �������� ������ ���(���� �������� ��� �������� ������ ����������� ���#)*+,-./��������)���� � ��4�����4��� � ��$���� ������)�� � �! 0����� � �� ���� ������ �������������� ���������� �� ��������� ��"� �������&1$23%42$5��������+����� � �����5��+ "�� ������� +�.��1��6�������'� ������� ��! 6���������� � �������(��(������������ ��������� �������� ����� � �� ����������������������� ����������� �������������2�� �7� � � ���&������� � ���$���� ������%�����! � �� � � � �� ��� �� � � � � � ��� �� � � � �� ���� �� � � � � � 4 ��N��� O �� ��3����� :�R2� �� ���:� =� @ 4$ � 2$ �����O�K� /�,$ ���N�� ���� �� ��� �� � ������ ���$ �� �:� @� = � 2$��2��R�� � 4$���:��� 8���7 ���"� #97 ( ) . II I np RpnRnp 1−α+α α+α =�2 b�M� � �� ���K� ���:�� �� Q���3�����O��� ���$ :K ��::� � ��� � ����������� ��4L� � ����������: � �QQ�� � ���� ��L������ ��� � � ��R� N�M� � ���$ ����K� �;��� ��� �N:������ ���� ��Q�N�L����� ��$ ��:� ��� �� ��K� :�R� ����T� O ������O��� O Q��$ �3���������� �K�������O ��� �/�, 0"�� �;����$ L���� � ���;��2�:K:� ����� :� ��������� �K� ���$ 3�� ��3�� 2�����K�� ��3�� ���K� ���:���� � N�N���$ :� :�R2� �� ���K:� ���:�� �:�� ��2 �� ��K:� ���$ � ��� ���� ��N:�M�4 � �����2�M�� T��K� ��� 2�$ � � �L�K: ���� � ���: 2� �����2�M�� T�� ��2 ��$ ���K:� ���:�� �:� � �������K:� �;��� :�7 1� �K������� ��;������ ���R��� ����N� ��$ �� ��� �� ���� ��L����� ����� �� Q���3�����O�K� ���:K ����������� ��4L� � ����������: ! cd�5���� � ��::� � ��� ! cd�5��5� ���2��:� ���K ���� $ ��� ���K� ��T��� �������:����K� N� ������ ���$ ��2����� � 2����������� ��N��2�� ��4:�����K� �$ ����2�M�� T��7 #��� ��� O ��N:�R���� ����N� $ ���� 2��� �� �QQ�� � ���� ��L������ ��� �� ���$ :�� K ���: �:��OT�� � ��� �:��OT���� � ��T�$ �� ���M�2�� N���:��:�� ���:�� �:� � �� ���:� � ���M�2� �������K� �;��� ��7 !:��OT���� ������K�� �;P�:�K� ��N:���� ���$ :�� �� �/�,$ ���N�� ����� 2��2�� :���� �����;$ � ���� O �����L���4 N�N���� :�R2� ��:� �� ���: �;��N�:� ���N� O ����N� �K� ��� �� �QQ�� �� ����$ ��L������ ��� 7 �2���� :���:��O�K� ��N:��K �/�,$ ���N�� ����� ������ ����� 2��2�� ������L�$ ��4 � ��;����� :� ��������L������ ���3���� ���$ �N��2� ��� :���:��O�� 2���� �:K:� ���;���K:� ���� R��� :� 4S2$������2�� � ���;��2�:K:� ��$ ��� ������ :� ����������� ��4L� � � ��K �: ��$ � � ���7 ,���� �K� ���� ��� �����$ ��������L����� ������L��� �� ��N:��K ������K� �������L����� ����� 2� ���:�� �� �/�,$ ���N�� ����� ������ �$ ��� 8������K� ����39� 2��2��� 2���� �:K� ���3�� $ ��3�� ��3�� ���K� � 2�����K� ���:���� �� ������$ ��� � �������L����� ������ � ��R� �� ���;��K N�$ ������ 4S2$������2�� �K�������O �K� �/�, 0"� ���2� �����K � �������7 jjj ����: �;��N�:� � ���3���� �����N� � �����2���$ ��� ���� ���3�� � ��R�:��� �;����L���4M�� ���$ ���O��� Q���3����������� �K�������O �K� �/�, 0"�� ��N��;� ��K ������K� ���� ��� �����$ ����$ ����L����� ������L��� �� ��N:��K ���:�� �� ���$ ����L����� ������ :���:��O�� 2���� �:K� ���� �$ �� :�R2� ��:�� ��� ��� 4M�� ���� ���3�4 Q��$ �3�����O�K� ���� ��L����� ���: ����������� ��4$ L� � ����������: � ��::� � ���� � ��R� ������ �$ ������ N�M� � �K�������O �K� �/�, 0"� ! cd�5���� � ! cd�5��5� � ��� ������ � ���$ T��� 2�� �;���N���4M�� Q�� ����� ���� ��� �Q$ Q�� ���� ��L������ ��� � ���� ���K� �QQ�� K7 "�,�'.b�#*��-% "���)�"�" 57 #��;�3��� #7 (7� b��� �������� #7 "7� ���������� k7 %7 � 2�7 ,���� �������� �K�������O �K� �/�, "� ��4L�� � ��::�$ � ���� �� ������ �;P�:���� ���:�� �� ��������� � ���� ���$ ������� � ���� ������ ������ ���7S ���57S � 67S �7 cd S �57 �7 l� ��3� ��O � %7 7 b�M��������� � �� �����O�K� :����$ ���:�� �� b���;�R�� ���� ����� ������7S /7A m�"" _X���$ ������`7S 5Y�Y7S � 5�7S �7 6S�7 67 ��;;��2 7 ����� � ���:������ �����K� ���N�� ����7S '7A X����� � 5Ydc7 �7 ,���� #7 /7� '�� '7 "� �����O�K� ���:K �� /1,$���;�$ ���7S /7A /��� 5Ydc7 c7 b� �7 n�N��� ���������2�����K� ���;����7S /7A /��� 5Y��7 �7 #�N2��� ��� ��2��3�� �� �� �����O�K� :�������:K o ���$ T���� n7 ,7 � 2�7S /����A ����� � ������� 5Y��7