Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859584239957180416 |
|---|---|
| author | Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. |
| author_facet | Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. |
| citation_txt | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики.
Discussion of the thermal stability of ohmic and rectifying AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au contacts to n-type GaAs epitaxial layer structures 3—5 mm thick with carrier concentration ranged between (5...6)·10¹⁵ cm⁻³. It is shown that parameters of contacts which included TiNх, TaNх, TiBrх layers changed slightly after annealing at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers showed abrupt changes in their characteristics when annealed at 550°C.
|
| first_indexed | 2025-11-27T09:10:20Z |
| format | Article |
| fulltext |
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��������������
��������
�
�
�� !�� �����
"����������������������� ��
� ��
�
#$%�����&'
��$�� � (
��)
�����������������������������
���
����
������������������ �������� �����
��������
*
��
���� �(
����+,,�-"�
��.��,/0�+1+*
2&34567�839:5 ;5<= >4
("+�1(�""?@1A*BC,D
0ED+(,�?"@,�"F�,�+,�@,�"F��,�1+1
F�1@%D+,�G1EE,DFHI�%FJ&0@,?"@1I
��������������������� !"����"��� �
#��� $� �%&'�(�!()* $���������&$�� �
�����+,-./01/+,��+,-./012$/+,�
+,-./034$/+,��+,-./034$/56/+,�
03/+,��032$/+,��034$/+,���7' ���� �!"�
�&�����8��8��������� ��� 9�!! (�
+��K���������L��
��������M��������
�����&
�
� ���
��L���
�
����L��%FJ&��
N�����
�
��� ���M&
�L�����K������
���������������K����
������O��
K
���N��K�K
���P�������������������
O��
��Q���O�
���Q���L����R��K
�����
�K��K
O��
��
�N��M���L�
����
����
�S4T9�������U��
��
����L��Q��
����
�O�&
�����
�����V����M����K�������N�QL�������N������&
��N����M���
����LU��������K���������
����
����&
K��M�L�������
����
��������
�G�������
Q��
��W
��������
��K�������������
�R�Q��N��Q����
�����K
&
O��
��
�N��M���L��
����
�������N����
���N�O
����K&
��������%FJ&��
N����#���O���K���
��M�� ������ ��&
������ �� �- ���O
�.���O
����
� �����K���������K�V��
��!��X����Q������LU��M���N�O��) �@�U��
�������Q�&
��O
������P������Q��O
���M����
��
O������R
Q
�&
�������
O��
��
���������
��
� �������
O��
�
��Q��N���
���N�NP���L����������NQ�����Y!WZ[
(�
�
Q����������������
���� ���O���
����
���N��&
Q��P
��K����
��L��
�
�����
����������������
�
&
�����
O��
K
�����������K����
QK��� �����
�����&
��
����
�����N���������Q���� ���
O�����
RR�Q
&
���W���KLK�NL���LK���������K����
����P
K�
���Q&
��U��
����
N��� �?��MU���O���M���N������
����
&
��K�����������������������
����� ��K����
QK� �"�&
��
���
�Q����M��O������������M������V�����������&
O��
���Q���O���
��������M��������
�M���V������M&
�L���RR�
�L������LK
�K�����K
����������� ���
��
�&
���MQ����
����
�O������
����
�����K��R�L��K����&
����� ���
O
������������
���M����
Q
�����K������&
����R�Q��� ����������\���
K����
�����
� �����
�
R&
R�Q
���� ��������
���
��
��#����
K���]5^
�
)����&
N�����L��
�����O����
��������
O��
� �����������
��Q�����P� ����Q�����M��O��M����
��#≤���Å)�����&
����L�����
�]5^
�
\���Q���
��
����
��L���
���K�����&
K�PM���
�
�
��L��
��
��
��L��R�Q��� �����
�
K����������
V�����N�����L��
���O�L���������
O��&
������������R��K
�����
����������L����������&
���
�����
����������
F�������P�K����NP��
�����Q���O����U����������&
K�PM���K��R�L�������
�N��
����
��
��
�����
����
F�
�O������
������ ��K����
��������R��K
��&
���
���K
O��
��
�N��M���L��
����
����
�&
���MQ����
�M� ��
��
�
��M�L�� ����
���L� �����
��
���
�����P
����_���W`�K
K�:&�
�����
���������
&
������
������ #� �)a!�!��KX` �b�
�����
���L��L��&
P
���
�M�����������P
��
�����
Q��
���P
�����&
��V
��
'�����
O��
��
����
�L������
�
�M�K�����K�K� &
�������� ������L���
������K��R������ �������K�&
����
Q
��������� �������
�� *F+&Z�@� � F� ��N�O��
�K���������������
��
����
����NL����������������
K� ��������
����������������
K���M�����R�������
�O
��
�#,/")�����������
��N��Q���
"N��Q�L��������L���
��
���
�
�M��������
��
�&
���L����������
����������
������M���
�K��� �#+��
�&
�����M�K�V�����������
���M����������
�� )�(���&
���M���Q�������R
�
�����M�����
�������������M&
���������NLK�K� �������LK�
����
����K�
������&
�
��,/"
+��L���
��
����
��������N��Q������
Q���
���M
������������M�����K� �������L��
����
����������&
������Q��������������������M����
����������
���M&
�����O
��
�������������
�,/"�������K��������
&
O��
�K��
���N�Q�����U��
����
��K�
@�N�O���
�K�����������
���M�����
��K
�������M
�L��
���
��K�LK� K���
�����LK� ������K� ��� ���&
���
�������V���a!�XZKK��� ��� ���
���� ����������c%
A���K�
�K��������V�����M����
�K���������K������&
�L�����
Q���
���������
�Td����������
���a!�X`�KK
�� ��� �
����
Q���
���M����L���
��
����
���
,���������
�M�������P
��
����
��L���
���KL7
���� �K
O��
��
����
����T>S<We4WT>�� T>S<W
e�f$WT>��T>S<We5g$WT>��T>S<We5g$WhiWT>�
����L�����L���
�M������
��
�
��M�L������
���L���
����
Q��
���P��������V
� ����P
���T>�
�S<�!j��
�̀ ���Å����������������\����P
���e4��e�f$��e5g$����&
���!������hiW������T>W������@�V
K�����L&
���
��e�f$��e5g$�NL���LN������
��O���R��K
�������M
�K��R��������
� �0������������
��
����
�����N��Q&
�L������� ��
�M����K��N��N��
����
����c%�����O�&
�
��!�K
������������ �'�����K�R����
�� ��R
�
Q&
�������
�M�������L���N��Q�L�����
QK����
��
����
&
��� ��������
����
��K�����K��������P����
�
0�����
QK����
�K�
����
��L��������
����
�������&
���
��
�������M�
��
KK���
O����M�F1I �"N��Q�L��
�K
O��
K
�
����
��K
������� ��
�M����K
O��
��
�N��N��
�����
���K�������������������
����c%�����O�&
�
��O���
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
��
�������� �
���
��
������������������
��������
����R��K
�����
��N��M���L��
����
�����LN
��&
�
�M���
��
�
��M�L������
���L�S4T9�����������P��
�����V
� �F�
�O�������L���K���P
��
����
����
�&
���MQ����
�M���
���KL�e5WT>��e5f;WT>��e5g
k
WT>
�e5g;WhiWT>��
����L�������
�
�M��������������M
��
��
�
��M��������
����P
��������
�e5��e5f;�
e5g;���������M�!����Å��hiW����Å��T>W�����Å
%��������L������V�
����L�������K
O��
��
��&
��
��T>S<We5g$WT>��
����L�������� ��������K�&
�N��N��
�����������������O��
��!�K
�
0�����R��K
�����
��
����
����
Q �����
���
�M
K�Q�����
���L��
�K����K�!���K
K�
� ��N
������K
K
K�����K�R����
�� ��R
�
��������
� �0��
Q���
���M
QK����
��F1I�
�lWm&����
���
��
��
Q�
����L�
���������
�M��L�����N��M����n���
�
�R�
����
��&
��M����
�
�
��
QK����
�������K�������L����K��N��&
N��
�����O��
��!�O���
F� ������ �� ��
�����L� ��Q��M���L�
QK����
�
����M�� ��������
����
���K
O��
��
����
&
����
�:&S4T9���R��K
������L�����������L������
��&
��������
����������K��N��N��
�����
��K����
���K&
�������������������
����c%�����O��
��!�O��� �,Q���
&
������L������L���
�����O�������M����������
���&
�
���K
O��
��
����
����� �R��K
������L�� T>S<�
���
�
O��
���
��
�������������
�����L������
���
"�V
���
��o���c%����
QK���������
O
�L�ρ �"���
�
���K��N��N��
����
��o���c%�������������
������
&
O
�����ρ�
����
��L������
������N�R���LK�����K���
����������
�
�����
O��
�������
������������������&
K��
�
��K��R�L�����
�e4f;�
�e5g;�����������������&
�
�����
�����K���Q������
Q������������� ������
K�����
Q��
�� ��NM�
����
���������
���L�
���
��&
��
��L�������S4T9
"�V
���
��o���c%�����U��������K���L������
��&
��
��L������
��� �0�
����K����N��Q������N�R���LK
����K
�e4f;�
�e5g;���N�������������
���
���������&
�
��K����
O��
�������V��
����������V���P����
�������
���
�K�K�����
Q��
��O����������V������
QK����
�K
����
����
�
�
Q�L�<�
�����L��
����&
��� ���L�����K��N��N��
����
��o����c%�
����
��L�
����
������N�R���LK
�����K
�e4f;�
�e5g; �"
�Q�&
���M��O������
���
�
�
Q�L������VV���L��
����
��L�
����
����NL��`�W`��K�������Q�L���N��Q���\������
���K��N��N��
�����
�Q���������LK���WZ��K
b�
���Q��M���L�������������
V��������������
��
���M�&�K����LK
�����
���
��
�K
��
�����G�������
����������K��N��N��
��
�
O����F1I��
����G����
���K
O��
K
�
����
��K
�����������T>We4WT>S<W
S4T9&����
�������
���������V
����
��o����c%��
��O��
��!�O������
�����������
��
� �F
�����O����
��Q��M������� �����
�
����
����F1I������
���f&�N&
��Q�L���O����
�F����V�����K��F1I��
�����G������
K�����
Q��
�����
��O��P���N�R���L�����
�e4f;�
�
e5g;������������f&�N��Q�L���
����
���Q��O
���M��K
�K��MU��
���
�����
���Q�������KL���K�P��
��!W��F
F�����������
�����L���Q��M���L�
QK����
���L&
���L�N��M����n���
�
�R�
�����
����M����
�
���L������
����T>We5WS4T9��T>We5f;WS4T9�
T>We5g;WS4T9�
�T>WhiWe5g;WS4T9����
������
���K��N��N��
�������V�������
�� �F
�����O���N��M&
���L���������������Q��M��������K��N��N��
������&
��������������
�������KL������
��� �"���
��N��M�&
�L� n���
�� �R��K
������L�� �K��R�LK
� ����K
e5f;�
�e5g;���
�QL�������N��������K�����
K
��O�K
����
�L�T>We5WS4T9��O��������
����������������
������LK
�����������"V�&���
�����������
����
�&
�
������O���LK
���
����
����T>We5g;WS4T9�
e5f;W#e5g;)WS4T9�����N�����Yj��p[
0�
������L������N�
�������L����Q�������������M
Q�
��O��
�����������O����L��
������N
�M����
� ��&
�
�L���Q�����$K�����WS4T9$�
�������
�
�����
�
�&
���MQ����
������N�L��
����
��L������
����������&
Q���
�����K����N
�M�L����
N�������N��M���K�n��&
�
�+�N�����K�������
���
����������
��K����
O��&
�������V��
����N��M���L������
���������
����&
P�����������V
����
��o���c%�
��������
���
�
K�����
Q��
������LQL����������
�����P���������
�� �����
�����K������N��M����n���
qqq
��
K��N��Q�K��
�
���
�Q��
���U
�
���������
��
K�� ������L���K
O��
��
����
�L�T>We�f;#e5g$)W
T>S<WS4T9�
� �L���K���P
��
����
�L� T>W
e5f;#e5g;)WS4T9�K� ������N
�M�����N����M���
���K&
����������������c%�N�Q�
QK����
�����
��
O��
����&
��K�����
��N�
���!
=��!"������'��� %!�� ��� #��� $���������%���:�-1+>
ρ,�����
2
���� ��
���
�� ������ ��� �-
� �
500°� 550°� 600°�
Au—Ta—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–3 7·10–3
Au—T�Nx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5
Au—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5
Au—Mo—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 2·10–5
��N�
����
�&��������"���� ϕ
�
� �������� ���!"���� �:�� ���&$
���8��8�� ��� � '��!���������������
��� �-
���
500º� 550º� 600º�
�������������
� ����� � ��,
��
n ��,
��
n ��,
��
n ��,
��
n
Au—Ti—GaAs 0,70 1,18 0,75 1,10 0,72 1,22 0,57 2,45
Au—TiNx—GaAs 0,60 1,08 0,60 1,08 0,67 1,15 0,68 1,37
Au—TiBx—GaAs 0,78 1,23 0,78 1,23 0,78 1,25 0,76 1,30
Au—Mo—TiBx—GaAs 0,78 1,20 0,78 1,20 0,78 1,23 0,76 1,30
?��T
��j
���
�
X���
X! ������ �����! ���������������`���������������������@��g
F1I��
���� G����� �� �K
O��
K
�
����
��K
� T>We4W
T>S<WS4T97
AW�������K��N��N��
\�BW����������K��N��N��
���
��o���c%
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
��
�
������
�����
�������
�����������������������������
,%0"ErA"F1++HD�,%�"J+,(,
! �1����
�� ���
����K
�����
����
����0������ �+ �1����&
��
���* �*
��K��� W�' 7�'
���!pjj
� �n���' �%����K���L����
N��L����������������
��� ��&
�
� W�' 7�'
���!pp!
` �G��M�N�� �B �1 �"K
O��
��
����
��K�����W����������&
�
�1`F� �'�������Q���
��
�������������/�0 W!pp� W�� ��j�
��!� W�% �!�j!W!�pj
� �G��M�N�� �B �1��0�����D �1 �"N��Q����
���K
O��
� ��
��&
��
��������������������L��� ���� �����
���
�����n���
���
�������S4T9�
�S4s������K�V� W�!ppj W�� �`������ W�% ����W
���
� �ht8>du�S ��T>d<v�w �x ��h<t<d�y �2 ��zi>{�l �y �]>334dt�i|
]}~ivv;t�84dd5<d�~<5u~v��4v4�i��<�5v4k5466t�udi{��:&�4���C&S4T9���
e~5��]i65��w5639 W�!ppj W�mi6 �`�� W�s �!j!W!j�
� �T~3<��h �h �2||<}v�i|�95�v<d5�u�i��T>�e5WS4T9�]}~ivv;t
84dd5<d� 9>835}di�� 3<v46&9<35}i��>}vid� |5<6�&<||<}v� vd4�959vid9
}~4d4}v<d59v5}9����� �m4} �]}5 �e<}~�i6 �g W�!ppj W�mi6 !���f�� W
s � ��`�W��`Z
Z � '�VR�Q�L�� �Q�
K�������
��
� K����
QKL� �� �����
� �
����
������K�����W��s�
�K�����WS4T9���0������ �@ �F �(���
�&
����
�G �% �(����O��
��� W�(
��7�,,"�,/0�+1+*��!pp�
j �gi6vi=<v9�f �] ���i�4;i=4�� �m ��h56<�5��m �m �<v�46 �si{<d
]}~ivv;t�84dd5<d��5i�<9�T>We5g;X:W:�WS4T9����l~<359vdt�|id
]>9v45�486<�x<=<6i�3<�v W����! Wmi6 �p W�s �Z�WZZ
p �h56<�5��m �m ��2d3i6i=5}~�� �g ���i�4;i=4�� �m �<v �46 ��<4}v5i�9
8<v{<<���~49<9�4���<6<}vdi�5}��di}<99<9�4v� v~<�e5g;#e5f;)WS4T9
~<v<di9vd>}v>d<9� 5�v<d|4}<9� ��� � � �id<4�� s~t9 � ]i} W� !ppp W
mi6 �`���f�� W�s �9��ZW9���
�����������
�����������
���������
������
������������
����������
��
� ���� ����
���
������� ��
�������
��������
����
�������
� ���������
�������
���� ���
�
�������
�������
������
��
� �� �����
����
��!� �
��
�����
�������"
�� ������ ���
�
��������
� ! ����
������
���
������
�
��
������� ������#
$�� ������
�� � ����
��
���
�����
��� ������ �
�� �
�
���� �� �
��
���� ��������
��
! ����
�
��������
�� ����
��"!����
��% ���
����������#
& � ���
��
�����
�
�������
� ���
'
�� ������
�� � ���
� �����
����������
����� �
�����
�����������
� ! ���
�
�������������
�������
��� �
� ��������
�������� ���
���
���� �
�
������ � �����
�
���
�
������ #
(����� ��������
����������
�
� ����
������� ��������#
)�
! ��� �� �
�����
�
���� ��
��� ���
�
���� ����
������ ��
������
�� ����
�� �������
��
���� � �
������
���� ����
� ������
��� *� ����
��
����
� ����������
� �������� ����
����
����������
�
�������� ���
��� ������ �
���������#
&����
��
��������
�����
+$���
��
��� ��������
�
�� ������� +
,#
-#
, ��������
���� ����
����
��
���� ���
������������
��* � ��
� �������
���� �
���� ����
������� ���������
��������
����������
��������
� ��
����� �����
���� �����
�������������
.$)
�
�����
��
��� ��������
��
��������� ��
����
����������
������
� �
,#
-#
, �������#
������������� ��
�����
��
���������#'
/� �0
1&
23 ��4�
5665#'
789
�#
:���#
5;�
���#
;;<�
����#
;<8
����#
��� ����
��������
�
�������
�� ���������
�����
�������
�
��������
����� ���#
,
����
�� ������ ��
����
* ��
������ �
����* ���
�
������� ����� �
������
����
�������
� ! ���
�
���������
����
� �����
����� ���
�����
� �
������ ������
�
����� �
���
������ � �����
� ������
�������� �
������
����� �
��
���� ������#
&��� � ��
�������� ��
������ �����
� �
� �� ��� ����
�� ������
���
�
������� ������
�����
�
� � �������������
�
��� ����
���"�
���������
��*��
�
��
���������
������
��� ! �
��
� ���
�����* ���
����� ���
�����
�
��
���� � ��
�
�� ��
����� #
,
� �
������
�� ����
����
������
�
���� ����� ��
��
����* ��
��� �����
�
��
���������"
����������
�����
� �#
=�������
� ����� ����
��������
��
�������
������
��
������
'
+��
���� ��� ���
�
����! ��"
�
� �������� ����
� ��������
�
����������� +
'
������� �
��������
��
��� �
�
���
�����������
���
�
���*
����
������������#
>�����
���������
�����0
���� �
����
��
� �������� ����
� �����
������
�����������
�� ����
�
�������
�������
��
����� �
��
����"���
� �������� ���
���
� ��
����� ���
��� ������ �
�� � ����
�
������ �� ��
���������
�
� ����� ��
��
��� �����
��
���� � ����
�����
�
�
� ��� ���� #
)� �� �
��� �����
���
���
������ �
�������
��
������
������"
�����
�
����� �������
��
��
�����
�� � ��
�
�������
��� �����
�
� ��#
/����
,#
-#
, ��������
���� ���
� ����
��
������� ��
�
�������
���������
��� �� ���
��� ! ��
���� � �
� �
�����* ���
�
�������
��
��� ��������
����������� �
��
� ������ �
�� �
�
������ �����
� �
�� � ����
��
�����
�� ��
� ���
?7,<�
���
� �� �
��*
� �
�������
�
� � ��
����� �
��
��������������
��� ������#
/����
� �����
������ ���
��
��! ����"!��
����� �
�����
���
��� �����#
@
�� ��
�
���
� ��
������� �
�����
�
���
�� ������
���� �
����� �����
���
�
��������
���
��� �����
������#
1�*��
� ���
�������
�� ����
�����
��������
�� ��
� ��� ����� �
�
���
�� ��
���� ����� �
���� ���
�
��
���� � ��"
�
����� ��������#
/����
,#
-#
, ��������
�� �
� �����
��*��
���
�����*�
���
�� � ��� ����
������� ��
������
���� �� ������
�
��
� �
��� ���
���
��* � ���
�� ��������
� ������
�������
���
�
���� ����
�� ������ ��
���������� ����
�
�������
������ ��� �
�� ��������� ��
�
���*
���� �����
����������
�
��* � ����
�����
�����"�
�
�������� ��"�
� ��������
��
���� ���������
��� ����
� ���
���
�����"� �� �
�
� � ���
����������� �
�� ����#
�����������������
����
��
A(:>>
+/� �����
����� ���
� ����
��������+�
�#
/� �B
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70810 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T09:10:20Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. 2014-11-13T19:53:31Z 2014-11-13T19:53:31Z 2002 Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810 621.382.2.029.64 Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. Discussion of the thermal stability of ohmic and rectifying AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au contacts to n-type GaAs epitaxial layer structures 3—5 mm thick with carrier concentration ranged between (5...6)·10¹⁵ cm⁻³. It is shown that parameters of contacts which included TiNх, TaNх, TiBrх layers changed slightly after annealing at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers showed abrupt changes in their characteristics when annealed at 550°C. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium-arsenide microwave devices Article published earlier |
| spellingShingle | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах Иванов, В.Н. Конакова, Р.В. Миленин, В.В. Стовповой, М.А. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| title | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_alt | Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium-arsenide microwave devices |
| title_full | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_fullStr | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_full_unstemmed | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_short | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах |
| title_sort | контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых свч-приборах |
| topic | Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| topic_facet | Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810 |
| work_keys_str_mv | AT ivanovvn kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT konakovarv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT mileninvv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT stovpovoima kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah AT ivanovvn contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT konakovarv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT mileninvv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices AT stovpovoima contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices |