Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах

Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2002
Main Authors: Иванов, В.Н., Конакова, Р.В., Миленин, В.В., Стовповой, М.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859584239957180416
author Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
author_facet Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
citation_txt Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики. Discussion of the thermal stability of ohmic and rectifying AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au contacts to n-type GaAs epitaxial layer structures 3—5 mm thick with carrier concentration ranged between (5...6)·10¹⁵ cm⁻³. It is shown that parameters of contacts which included TiNх, TaNх, TiBrх layers changed slightly after annealing at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers showed abrupt changes in their characteristics when annealed at 550°C.
first_indexed 2025-11-27T09:10:20Z
format Article
fulltext �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �������������� �������� � � �� !�� ����� "����������������������� �� � �� � #$%�����&' ��$�� � ( ��) ����������������������������� ��� ���� ������������������ �������� ����� �������� * �� ���� �( ����+,,�-"� ��.��,/0�+1+* 2&34567�839:5 ;5<= >4 ("+�1(�""?@1A*BC,D 0ED+(,�?"@,�"F�,�+,�@,�"F��,�1+1 F�1@%D+,�G1EE,DFHI�%FJ&0@,?"@1I ��������������������� !"����"��� � #��� $� �%&'�(�!()* $���������&$�� � �����+,-./01/+,��+,-./012$/+,� +,-./034$/+,��+,-./034$/56/+,� 03/+,��032$/+,��034$/+,���7' ���� �!"� �&�����8��8��������� ��� 9�!! (� +��K���������L�� ��������M�������� �����& � � ��� ��L��� � ����L��%FJ&�� N����� � ��� ���M& �L�����K������ ���������������K���� ������O�� K ���N��K�K ���P������������������� O�� ��Q���O� ���Q���L����R��K ����� �K��K O�� �� �N��M���L� ���� ���� �S4T9�������U�� �� ����L��Q�� ���� �O�& ����� �����V����M����K�������N�QL�������N������& ��N����M��� ����LU��������K��������� ���� ����& K��M�L������� ���� �������� �G������� Q�� ��W �������� ��K������������� �R�Q��N��Q���� �����K & O�� �� �N��M���L�� ���� �������N���� ���N�O ����K& ��������%FJ&�� N����#���O���K��� ��M�� ������ ��& ������ �� �- ���O �.���O ���� � �����K���������K�V�� ��!��X����Q������LU��M���N�O��) �@�U�� �������Q�& ��O ������P������Q��O ���M���� �� O������R Q �& ������� O�� �� ��������� �� � ������� O�� � ��Q��N��� ���N�NP���L����������NQ�����Y!WZ[ (� � Q���������������� ���� ���O��� ���� ���N��& Q��P ��K���� ��L�� � ����� ���������������� � & ����� O�� K �����������K���� QK��� ����� �����& �� ���� �����N���������Q���� ��� O����� RR�Q & ���W���KLK�NL���LK���������K���� ����P K� ���Q& ��U�� ���� N��� �?��MU���O���M���N������ ���� & ��K����������������������� ����� ��K���� QK� �"�& �� ��� �Q����M��O������������M������V�����������& O�� ���Q���O��� ��������M�������� �M���V������M& �L���RR� �L������LK �K�����K ����������� ��� �� �& ���MQ���� ���� �O������ ���� �����K��R�L��K����& ����� ��� O ������������ ���M���� Q �����K������& ����R�Q��� ����������\��� K���� ����� � ����� � R& R�Q ���� �������� ��� �� ��#���� K���]5^ � )����& N�����L�� �����O���� �������� O�� � ����������� ��Q�����P� ����Q�����M��O��M���� ��#≤���Å)�����& ����L����� �]5^ � \���Q��� �� ���� ��L��� ���K�����& K�PM��� � � ��L�� �� �� ��L��R�Q��� ����� � K���������� V�����N�����L�� ���O�L��������� O��& ������������R��K ����� ����������L����������& ��� ����� ���������� F�������P�K����NP�� �����Q���O����U����������& K�PM���K��R�L������� �N�� ���� �� �� ����� ���� F� �O������ ������ ��K���� ��������R��K ��& ��� ���K O�� �� �N��M���L�� ���� ���� �& ���MQ���� �M� �� �� � ��M�L�� ���� ���L� ����� �� ��� �����P ����_���W`�K K�:&� ����� ��������� & ������ ������ #� �)a!�!��KX` �b� ����� ���L��L��& P ��� �M�����������P �� ����� Q�� ���P �����& ��V �� '����� O�� �� ���� �L������ � �M�K�����K�K� & �������� ������L��� ������K��R������ �������K�& ���� Q ��������� ������� �� *F+&Z�@� � F� ��N�O�� �K��������������� �� ���� ����NL���������������� K� �������� ���������������� K���M�����R������� �O �� �#,/")����������� ��N��Q��� "N��Q�L��������L��� �� ��� � �M�������� �� �& ���L���������� ���������� ������M��� �K��� �#+�� �& �����M�K�V����������� ���M���������� �� )�(���& ���M���Q�������R � �����M����� �������������M& ���������NLK�K� �������LK� ���� ����K� ������& � ��,/" +��L��� �� ���� ��������N��Q������ Q��� ���M ������������M�����K� �������L�� ���� ����������& ������Q��������������������M���� ���������� ���M& �����O �� ������������� �,/"�������K�������� & O�� �K�� ���N�Q�����U�� ���� ��K� @�N�O��� �K����������� ���M����� ��K �������M �L�� ��� ��K�LK� K��� �����LK� ������K� ��� ���& ��� �������V���a!�XZKK��� ��� ��� ���� ����������c% A���K� �K��������V�����M���� �K���������K������& �L����� Q��� ��������� �Td���������� ���a!�X`�KK �� ��� � ���� Q��� ���M����L��� �� ���� ��� ,��������� �M�������P �� ���� ��L��� ���KL7 ���� �K O�� �� ���� ����T>S<We4WT>�� T>S<W e�f$WT>��T>S<We5g$WT>��T>S<We5g$WhiWT>� ����L�����L��� �M������ �� � ��M�L������ ���L��� ���� Q�� ���P��������V � ����P ���T>� �S<�!j�� �̀ ���Å����������������\����P ���e4��e�f$��e5g$����& ���!����Å��hiW����Å��T>W�����Å �@�V K�����L& ��� ��e�f$��e5g$�NL���LN������ ��O���R��K �������M �K��R�������� � �0������������ �� ���� �����N��Q& �L������� �� �M����K��N��N�� ���� ����c%�����O�& � ��!�K ������������ �'�����K�R���� �� ��R � Q& ������� �M�������L���N��Q�L����� QK���� �� ���� & ��� �������� ���� ��K�����K��������P���� � 0����� QK���� �K� ���� ��L�������� ���� �������& ��� �� �������M� �� KK��� O����M�F1I �"N��Q�L�� �K O�� K � ���� ��K ������� �� �M����K O�� �� �N��N�� ����� ���K������������������� ����c%�����O�& � ��O��� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ����R��K ����� ��N��M���L�� ���� �����LN ��& � �M��� �� � ��M�L������ ���L�S4T9�����������P�� �����V � �F� �O�������L���K���P �� ���� ���� �& ���MQ���� �M��� ���KL�e5WT>��e5f;WT>��e5g k WT> �e5g;WhiWT>�� ����L������� � �M��������������M �� �� � ��M�������� ����P �������� �e5��e5f;� e5g;���������M�!����Å��hiW����Å��T>W�����Å %��������L������V� ����L�������K O�� �� ��& �� ��T>S<We5g$WT>�� ����L�������� ��������K�& �N��N�� �����������������O�� ��!�K � 0�����R��K ����� �� ���� ���� Q ����� ��� �M K�Q����� ���L�� �K����K�!���K K� � ��N ������K K K�����K�R���� �� ��R � �������� � �0�� Q��� ���M QK���� ��F1I� �lWm&���� ��� �� �� Q� ����L� ��������� �M��L�����N��M����n��� � �R� ���� ��& ��M���� � � �� QK���� �������K�������L����K��N��& N�� �����O�� ��!�O��� F� ������ �� �� �����L� ��Q��M���L� QK���� � ����M�� �������� ���� ���K O�� �� ���� & ���� �:&S4T9���R��K ������L�����������L������ ��& �������� ����������K��N��N�� ����� ��K���� ���K& ������������������� ����c%�����O�� ��!�O��� �,Q��� & ������L������L��� �����O�������M���������� ���& � ���K O�� �� ���� ����� �R��K ������L�� T>S<� ��� � O�� ��� �� ������������� �����L������ ��� "�V ��� ��o���c%���� QK��������� O �L�ρ �"��� � ���K��N��N�� ���� ��o���c%������������� ������ & O �����ρ� ���� ��L������ ������N�R���LK�����K��� ���������� � ����� O�� ������� ������������������& K�� � ��K��R�L����� �e4f;� �e5g;�����������������& � ����� �����K���Q������ Q������������� ������ K����� Q�� �� ��NM� ���� ��������� ���L� ��� ��& �� ��L�������S4T9 "�V ��� ��o���c%�����U��������K���L������ ��& �� ��L������ ��� �0� ����K����N��Q������N�R���LK ����K �e4f;� �e5g;���N������������� ��� ���������& � ��K���� O�� �������V�� ����������V���P���� ������� ��� �K�K����� Q�� ��O����������V������ QK���� �K ���� ���� � � Q�L�<� �����L�� ����& ��� ���L�����K��N��N�� ���� ��o����c%� ���� ��L� ���� ������N�R���LK �����K �e4f;� �e5g; �" �Q�& ���M��O������ ��� � � Q�L������VV���L�� ���� ��L� ���� ����NL��`�W`��K�������Q�L���N��Q���\������ ���K��N��N�� ����� �Q���������LK���WZ��K b� ���Q��M���L������������� V�������������� �� ���M�&�K����LK ����� ��� �� �K �� �����G������� ����������K��N��N�� �� � O����F1I�� ����G���� ���K O�� K � ���� ��K �����������T>We4WT>S<W S4T9&���� ������� ���������V ���� ��o����c%�� ��O�� ��!�O������ ����������� �� � �F �����O���� ��Q��M������� ����� � ���� ����F1I������ ���f&�N& ��Q�L���O���� �F����V�����K��F1I�� �����G������ K����� Q�� ����� ��O��P���N�R���L����� �e4f;� � e5g;������������f&�N��Q�L��� ���� ���Q��O ���M��K �K��MU�� ��� ����� ���Q�������KL���K�P�� ��!W��F F����������� �����L���Q��M���L� QK���� ���L& ���L�N��M����n��� � �R� ����� ����M���� � ���L������ ����T>We5WS4T9��T>We5f;WS4T9� T>We5g;WS4T9� �T>WhiWe5g;WS4T9���� ������ ���K��N��N�� �������V������� �� �F �����O���N��M& ���L���������������Q��M��������K��N��N�� ������& �������������� �������KL������ ��� �"��� ��N��M�& �L� n��� �� �R��K ������L�� �K��R�LK � ����K e5f;� �e5g;��� �QL�������N��������K����� K ��O�K ���� �L�T>We5WS4T9��O�������� ���������������� ������LK �����������"V�&��� ����������� ���� �& � ������O���LK ��� ���� ����T>We5g;WS4T9� e5f;W#e5g;)WS4T9�����N�����Yj��p[ 0� ������L������N� �������L����Q�������������M Q� ��O�� �����������O����L�� ������N �M���� � ��& � �L���Q�����$K�����WS4T9$� ������� � ����� � �& ���MQ���� ������N�L�� ���� ��L������ ����������& Q��� �����K����N �M�L���� N�������N��M���K�n��& � �+�N�����K������� ��� ���������� ��K���� O��& �������V�� ����N��M���L������ ��������� ����& P�����������V ���� ��o���c%� �������� ��� � K����� Q�� ������LQL���������� �����P��������� �� ����� �����K������N��M����n��� qqq �� K��N��Q�K�� � ��� �Q�� ���U � ��������� �� K�� ������L���K O�� �� ���� �L�T>We�f;#e5g$)W T>S<WS4T9� � �L���K���P �� ���� �L� T>W e5f;#e5g;)WS4T9�K� ������N �M�����N����M��� ���K& ����������������c%�N�Q� QK���� ����� �� O�� ����& ��K����� ��N� ���! =��!"������'��� %!�� ��ρ��� #��� $���������%���:�-1+> ρ,����� 2 ���� �� ��� �� ������ ��� �- � � 500°� 550°� 600°� Au—Ta—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–3 7·10–3 Au—T�Nx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5 Au—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 3·10–5 Au—Mo—TiBx—AuGe—GaAs 10–5 10–5 10–5 2·10–5 ��N� ���� �&��������"���� ϕ � � �������� ���!"���� �:�� ���&$ ���8��8�� ��� � '��!��������������� ��� �- ��� 500º� 550º� 600º� ������������� � ����� � ��, �� n ��, �� n ��, �� n ��, �� n Au—Ti—GaAs 0,70 1,18 0,75 1,10 0,72 1,22 0,57 2,45 Au—TiNx—GaAs 0,60 1,08 0,60 1,08 0,67 1,15 0,68 1,37 Au—TiBx—GaAs 0,78 1,23 0,78 1,23 0,78 1,25 0,76 1,30 Au—Mo—TiBx—GaAs 0,78 1,20 0,78 1,20 0,78 1,23 0,76 1,30 ?��T ��j ��� � X��� X! ������ �����! ���������������`���������������������@��g F1I�� ���� G����� �� �K O�� K � ���� ��K � T>We4W T>S<WS4T97 AW�������K��N��N�� \�BW����������K��N��N�� ��� ��o���c% �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� �� � ������ ����� ������� ����������������������������� ,%0"ErA"F1++HD�,%�"J+,(, ! �1���� �� ��� ����K ����� ���� ����0������ �+ �1����& �� ���* �* ��K��� W�' 7�' ���!pjj � �n���' �%����K���L���� N��L���������������� ��� ��& � � W�' 7�' ���!pp! ` �G��M�N�� �B �1 �"K O�� �� ���� ��K�����W����������& � �1`F� �'�������Q��� �� �������������/�0 W!pp� W�� ��j� ��!� W�% �!�j!W!�pj � �G��M�N�� �B �1��0�����D �1 �"N��Q���� ���K O�� � �� ��& �� ��������������������L��� ���� ����� ��� �����n��� ��� �������S4T9� �S4s������K�V� W�!ppj W�� �`������ W�% ����W ��� � �ht8>du�S ��T>d<v�w �x ��h<t<d�y �2 ��zi>{�l �y �]>334dt�i| ]}~ivv;t�84dd5<d�~<5u~v��4v4�i��<�5v4k5466t�udi{��:&�4���C&S4T9��� e~5��]i65��w5639 W�!ppj W�mi6 �`�� W�s �!j!W!j� � �T~3<��h �h �2||<}v�i|�95�v<d5�u�i��T>�e5WS4T9�]}~ivv;t 84dd5<d� 9>835}di�� 3<v46&9<35}i��>}vid� |5<6�&<||<}v� vd4�959vid9 }~4d4}v<d59v5}9����� �m4} �]}5 �e<}~�i6 �g W�!ppj W�mi6 !���f�� W s � ��`�W��`Z Z � '�VR�Q�L�� �Q� K������� �� � K���� QKL� �� ����� � � ���� ������K�����W��s� �K�����WS4T9���0������ �@ �F �(��� �& ���� �G �% �(����O�� ��� W�( ��7�,,"�,/0�+1+*��!pp� j �gi6vi=<v9�f �] ���i�4;i=4�� �m ��h56<�5��m �m �<v�46 �si{<d ]}~ivv;t�84dd5<d��5i�<9�T>We5g;X:W:�WS4T9����l~<359vdt�|id ]>9v45�486<�x<=<6i�3<�v W����! Wmi6 �p W�s �Z�WZZ p �h56<�5��m �m ��2d3i6i=5}~�� �g ���i�4;i=4�� �m �<v �46 ��<4}v5i�9 8<v{<<���~49<9�4���<6<}vdi�5}��di}<99<9�4v� v~<�e5g;#e5f;)WS4T9 ~<v<di9vd>}v>d<9� 5�v<d|4}<9� ��� � � �id<4�� s~t9 � ]i} W� !ppp W mi6 �`���f�� W�s �9��ZW9��� ����������� ����������� ��������� ������ ������������ ���������� �� � ���� ���� ��� ������� �� ������� �������� ���� ������� � ��������� ������� ���� ��� � ������� ������� ������ �� � �� ����� ���� ��!� � �� ����� �������" �� ������ ��� � �������� � ! ���� ������ ��� ������ � �� ������� ������# $�� ������ �� � ���� �� ��� ����� ��� ������ � �� � � ���� �� � �� ���� �������� �� ! ���� � �������� �� ���� ��"!���� ��% ��� ����������# & � ��� �� ����� � ������� � ��� ' �� ������ �� � ��� � ����� ���������� ����� � ����� ����������� � ! ��� � ������������� ������� ��� � � �������� �������� ��� ��� ���� � � ������ � ����� � ��� � ������ # (����� �������� ���������� � � ���� ������� ��������# )� ! ��� �� � ����� � ���� �� ��� ��� � ���� ���� ������ �� ������ �� ���� �� ������� �� ���� � � ������ ���� ���� � ������ ��� *� ���� �� ���� � ���������� � �������� ���� ���� ���������� � �������� ��� ��� ������ � ���������# &���� �� �������� ����� +$��� �� ��� �������� � �� ������� + ,# -# , �������� ���� ���� ���� �� ���� ��� ������������ ��* � �� � ������� ���� � ���� ���� ������� ��������� �������� ���������� �������� � �� ����� ����� ���� ����� ������������� .$) � ����� �� ��� �������� �� ��������� �� ���� ���������� ������ � � ,# -# , �������# ������������� �� ����� �� ���������#' /� �0 1& 23 ��4� 5665#' 789 �# :���# 5;� ���# ;;<� ����# ;<8 ����# ��� ���� �������� � ������� �� ��������� ����� ������� � �������� ����� ���# , ���� �� ������ �� ���� * �� ������ � ����* ��� � ������� ����� � ������ ���� ������� � ! ��� � ��������� ���� � ����� ����� ��� ����� � � ������ ������ � ����� � ��� ������ � ����� � ������ �������� � ������ ����� � �� ���� ������# &��� � �� �������� �� ������ ����� � � � �� ��� ���� �� ������ ��� � ������� ������ ����� � � � ������������� � ��� ���� ���"� ��������� ��*�� � �� ��������� ������ ��� ! � �� � ��� �����* ��� ����� ��� ����� � �� ���� � �� � �� �� ����� # , � � ������ �� ���� ���� ������ � ���� ����� �� �� ����* �� ��� ����� � �� ���������" ���������� ����� � �# =������� � ����� ���� �������� �� ������� ������ �� ������ ' +�� ���� ��� ��� � ����! ��" � � �������� ���� � �������� � ����������� + ' ������� � �������� �� ��� � � ��� ����������� ��� � ���* ���� ������������# >����� ��������� �����0 ���� � ���� �� � �������� ���� � ����� ������ ����������� �� ���� � ������� ������� �� ����� � �� ����"��� � �������� ��� ��� � �� ����� ��� ��� ������ � �� � ���� � ������ �� �� ��������� � � ����� �� �� ��� ����� �� ���� � ���� ����� � � � ��� ���� # )� �� � ��� ����� ��� ��� ������ � ������� �� ������ ������" ����� � ����� ������� �� �� ����� �� � �� � ������� ��� ����� � � ��# /���� ,# -# , �������� ���� ��� � ���� �� ������� �� � ������� ��������� ��� �� ��� ��� ! �� ���� � � � � �����* ��� � ������� �� ��� �������� ����������� � �� � ������ � �� � � ������ ����� � � �� � ���� �� ����� �� �� � ��� ?7,<� ��� � �� � ��* � � ������� � � � �� ����� � �� �������������� ��� ������# /���� � ����� ������ ��� �� ��! ����"!�� ����� � ����� ��� ��� �����# @ �� �� � ��� � �� ������� � ����� � ��� �� ������ ���� � ����� ����� ��� � �������� ��� ��� ����� ������# 1�*�� � ��� ������� �� ���� ����� �������� �� �� � ��� ����� � � ��� �� �� ���� ����� � ���� ��� � �� ���� � ��" � ����� ��������# /���� ,# -# , �������� �� � � ����� ��*�� ��� �����*� ��� �� � ��� ���� ������� �� ������ ���� �� ������ � �� � � ��� ��� ��� ��* � ��� �� �������� � ������ ������� ��� � ���� ���� �� ������ �� ���������� ���� � ������� ������ ��� � �� ��������� �� � ���* ���� ����� ���������� � ��* � ���� ����� �����"� � �������� ��"� � �������� �� ���� ��������� ��� ���� � ��� ��� �����"� �� � � � � ��� ����������� � �� ����# ����������������� ���� �� A(:>> +/� ����� ����� ��� � ���� ��������+� �# /� �B
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70810
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-27T09:10:20Z
publishDate 2002
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
2014-11-13T19:53:31Z
2014-11-13T19:53:31Z
2002
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810
621.382.2.029.64
Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями TiNх, TaNх, TiBrх мало изменяют параметры после термообработки при 550°C в течение 1 часа. Контакты со слоями Ti и Ta при термообработке 550°C резко изменяют свои характеристики.
Discussion of the thermal stability of ohmic and rectifying AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au contacts to n-type GaAs epitaxial layer structures 3—5 mm thick with carrier concentration ranged between (5...6)·10¹⁵ cm⁻³. It is shown that parameters of contacts which included TiNх, TaNх, TiBrх layers changed slightly after annealing at 550°C for 1 hour. Contacts with Ti and Ta layers showed abrupt changes in their characteristics when annealed at 550°C.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium-arsenide microwave devices
Article
published earlier
spellingShingle Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
Иванов, В.Н.
Конакова, Р.В.
Миленин, В.В.
Стовповой, М.А.
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
title Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_alt Contact-forming films of titanium borides and nitrides in gallium-arsenide microwave devices
title_full Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_fullStr Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_full_unstemmed Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_short Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
title_sort контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых свч-приборах
topic Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
topic_facet Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810
work_keys_str_mv AT ivanovvn kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT konakovarv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT mileninvv kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT stovpovoima kontaktoobrazuûŝieplenkiboridovinitridovtitanavarsenidgallievyhsvčpriborah
AT ivanovvn contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT konakovarv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT mileninvv contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices
AT stovpovoima contactformingfilmsoftitaniumboridesandnitridesingalliumarsenidemicrowavedevices