Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2002
• Main Authors: Иванов, В.Н., Конакова, Р.В., Миленин, В.В., Стовповой, М.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
• Subjects: Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями...