Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
Рассмотрена термостабильность омических и выпрямляющих контактных систем AuGe—Ta—Au, AuGe—TaNх—Au, AuGe—TiBх—Au, AuGe—TiBх—Mo—Au и Ti—Au, TiNх—Au, TiBх—Au к эпитаксиальным структурам арсенида галлия n-типа толщиной 3–5 мкм и концентрацией носителей (5...6)·10¹⁵ cм⁻³. Показано, что контакты со слоями...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70810 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах / В.Н. Иванов, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, М.А. Стовповой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 54-56. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (2002)
Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
Эстафетное взаимодействие в приборах СВЧ
за авторством: Алексеев, Г.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Алексеев, Г.А., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование свойств арсенидгаллиевых ПТШ подвергнутых облучению γ-квантами ⁶⁰Со
за авторством: Ильин, И.Ю., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Ильин, И.Ю., та інші
Опубліковано: (2001)
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
за авторством: Часнык, В.И.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Часнык, В.И.
Опубліковано: (2013)
Исследование закономерностей смачивания боридов циркония, титана, хрома и карбида титана самофлюсующимся сплавом на никелевой основе
за авторством: Терентьев, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Терентьев, А.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
Применение высокотеплопроводной керамики из нитрида алюминия в вакуумных электронных приборах СВЧ
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2013)
за авторством: Chasnyk, V. I.
Опубліковано: (2013)
Пленки диоксида титана для фотокатализа и медицины
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Хороших, В.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Синтез алмаза в СВЧ плазме: оборудование, пленки, применение
за авторством: Волков, Ю.Я., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Волков, Ю.Я., та інші
Опубліковано: (2013)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
Структура и механические свойства вакуумно-дуговых многослойных конденсатов нитридов титана и его сплавов
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Демчишин, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)
Фотокаталитическое разложение поливинилхлоридной пленки, наполненной индивидуальным и модифицированным диоксидом титана
за авторством: Мищенко, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Мищенко, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
Преобразование электромагнитного поля в нестационарном диэлектрическом волноводе
за авторством: Нерух, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Нерух, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Елементарний механізм збудження коливань в приборах типу монотрон
за авторством: Буц, В.О., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Буц, В.О., та інші
Опубліковано: (2000)
Исследование оптических характеристик объективов астрографа ГАО АН УССР. Уравнение блеска и измерение комообразных изображений
за авторством: Иванов, Г.А.
Опубліковано: (1985)
за авторством: Иванов, Г.А.
Опубліковано: (1985)
Влияние боридов на структуру и жаростойкость мартенситно-стареющей стали
за авторством: Еремин, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Еремин, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2013)
Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением рабочего торца и прецизион
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)
Плазменные неоднородности в магнитогидродинамической интерпретации
за авторством: Александрова, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Александрова, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Преобразование электромагнитного поля нестационарным плазменным цилиндром резонансного радиуса
за авторством: Сахненко, Н.К., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Сахненко, Н.К., та інші
Опубліковано: (2004)
On an electron beam excitation of linear impedance antenna
за авторством: Priymenko, S.D., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Priymenko, S.D., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние фазового состава на физико-механические свойства композитов на основе нитридов кремния, бора и титана, спеченных под высоким давлением
за авторством: Урбанович, В.С., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Урбанович, В.С., та інші
Опубліковано: (2017)
СИНТЕЗ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ВО ВРЕМЕННОЙ ОБЛАСТИ МЕТОДОМ ПОИСКОВОЙ ОПТИМИЗАЦИИ
за авторством: Ягуп, В.Г., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Ягуп, В.Г., та інші
Опубліковано: (2015)
Нанокомпозитные покрытия на основе нитридов переходных металлов
за авторством: Дробышевская, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Дробышевская, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Вакуумно-плазменные покрытия на основе многоэлементных нитридов
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Азаренков, Н.А., та інші
Опубліковано: (2013)