Новосядлый, С. (2002). Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Новосядлый, С.П. "Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2002.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Новосядлый, С.П. "Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.