Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС

Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2002
Автор: Новосядлый, С.П.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859647644930932736
author Новосядлый, С.П.
author_facet Новосядлый, С.П.
citation_txt Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы раздела Si—SiO₂ и создает благоприятные условия для осуществления низкотемпературной (<700°C) гомоэпитаксии монокремния и поликремния на Si-подложке любого типа ориентации. In article experimental researches of high-frequency plasma processes of sedimentation and etching of functional layers are resulted at formation of submicronic structures the VLSI with the minimal topological sizes 0,5—0,8 mm with use of a zone of afterglow of reactors of a electron-cyclotron resonance. Such plasma technology provides minimally introduced deficiency of functional layers (<0,05 sm⁻²), do not influence a charging condition of border of unit Si—SiO₂ and creates favorable conditions for realization low temperature (<700°C) homo epitaxial monosilicon and polysilicon on a Si-substrate of any type of orientation.
first_indexed 2025-12-07T13:30:03Z
format Article
fulltext ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� �� � ��� ������ � �������� � ! ��� �!"��!�# ���� �! $������ ��������������� �� �� � � %&'�( )&* �+! ,! &! -���.���� �! )��/���0 ������������������������� *������� �! 1����2'��������� 3������� ���� �������� � �+! ,! 4 �5����� 62789:; <=>?>@!9A!@8 3BCDEF&&CG �F)&$B$H1G '$IE1I$,C&1G 4*JE1-I$&&K) 4�I*-�*I J14 ���������� ��� !"�#��� �$$!��%�#��& ��$%�%'#$�%���(�)!#������(�)�%*�$� $%�� %$#+����,� ����#�!���,�� ��*�%� �#!"��(� $!%��� )����%����%�#���� $ -� ����%���(�$�� �� ��. �� 4�L+������� �������� J14 � �������M����2 +� ���+�+� ����"��N +�+ ����O �� � ���P� ��2 L����� � ���.+���+�M����+ ��������+ ���Q���� � ������� ! , ��� � R�� � � /� �������� � ���.+���+�M����� �������P� �� ��P� �� ������ � ����������P+ �����Q���� + � �����M���� ��5�� ��� � %S<T2 U8V98W9T<2V878XYZ0 ��� ���Q����� 5���������/�P� ������ � ��Q� �����M���� � � ��������� � �����+� +� ���+� [ � �\� ����� ����� / � ���.� ������ / ���2 ���� � ���P]� ��� � �+ ������ / ���Q���� � ���2 ���� 5���������/�P� ����� � �����/.������+ ���2 �� ���� �����2����� ������� ��.������ %^(I0 [_� ̀ \! ��������������������� !"�#$���������%&���� '����(��)��������(�&��)�!"�����*+ � , � - � �� �+��/]��� ������������2����+L��������P� ��������� �� +�Q5�.��� ������� ��.���� a9"a9b � ��.��L� �� ������� �P����M�� � ���� +���� ������� ����P���� ���+������ +�]��� -�J2N� � ���.+� �.� �! ̂ � ��.��� � �5��+����� / ��.�� �+���� ��2 �P� ������ ����P� �� �� L�. ��������P� �������2 ��� a9"c� �55�� ���� �� ������R�� .�� ���P� ��2 � � �� � .�� �P ��� � +�Q5�.��� ������P� �� � � ������� � �+ ��+P+ �L����M���� � �P����� ��2 +�������� � �L��/��� / ���� ��M����� ����+� ��� �� �����/�P� ���+� � ���Q���� ��5�� ��� � �� 5���2 ������/�P� �����! ^������+�� ��/�P� ����������� ����������/ � �����/.������+ �P����M�� � ���� +���� ���� �� �2 ����� S$�� ��� �Z � ������ ��� ,dH2���2 _��! , ��2 M�� �� ���+������ +�]��� �����/.������/ ���� ��P -�J2N� % 0 +������+�� d�����/����� %d0 � ��2 ���Q����+ �.������� ��������� ���+��� �������2 �� /b� ≥ ��e � �f+g_! $������ �R�+ ����+� ��+� �� �� ���+� ����������/ �55�� ����� / �5��+������2 ���� ������ ������� �� ���� ���Q�� ����.� ��/ ���2 ��+���� � �������� 0h ��N"����� �� ��P� .������� ����M���� ������� ��� �.� ��� ���.+P � �����Q�2 ���+ �.������� ��������� ���+��� ��������� � ���+����P� ���� ���� d�����/�����! 4����� / ���Q2 ���� ������ a91b2i3 �L����M������/ +�R��� /� �P����M�� � ���� ������ ��� % _��� EH�0 � ��� ��2 � �� ≥�� Åj+��! ,P���� �����+����� / �������� ������ %k_l0 �L����M������/ ����� ����� ��� �+�� �� ������ S$�� ��� 2�Z! $����� ����P� �� �� 5��+������� +������P+ ����Q�����+ � �+���� ��P #��m4 �� ��+�� ��� �� ��� Q���� _��"` M����! ^55�� ����� / ���� �� �� ��� ����������/ �� �� ��P+ � ��� ���+ � ���� ����� � L���� ����� ���.�� ��� � ������� 425��2 ��� ������������2����+L��������P� ���������� ��2 �55����� � ������� �����2β2 ���.�� ���� ����M�2 �P � ��+�������� � �L��/��� � ���������� ���� 2 Q��� ∆56� ���� Q��� ������� .�� ∆578! 3��������P+� ����������� +� �� �������P .�2 ����+����� � 5��+������� �P����M�� � ���� ���.2 +������ ������ ������� �� ��� � �����Q��� �.�2 ������ ��������� ���+��� ��������� � +������+2 ��� %d0 -�J2N� /b� h ��e � �" �Ne � N f+g_� �� �2 �P� ����� �����P � ���� .�����+�� � ���55����� � �����+���� ������ �� (��.�/ %+�R��� / �.� ��� ���.+P ���" �� �, � �+���� ��� ���Q���� ��" ���m40! ,P���� ���5��+��� / ������ %≥��#�0 ����2 ��� ���/ �� �������+ �+�R��� �� ���+������ ���2 � ��� g��...g � ,! *� ��������� M � ������ ����P� �� ��� �5��+�2 ������P� �����2���.+���P+ +���� ����P+ ���2 �P�����+ � �.� ��� ���.+� ���+������ +�]���� ��2 .��� � �+��/]� / 425�� �� � ���" ��N �� ���" ���� ���P�� / ���55����� ������� �����2β2 ���2 .�� ��� �� _�"N� P�! � �L����M� / � �L��/��� / ∆56� ∆578 � �������� ����"�� , �� �+���� ��P n ��m4! I��! ! D�����+�� / ���55����� � �����+��2 �� ������ ������ ������ � �����Q��� �.�2 ������ ��������� ���+��� ��������� � +�]�2 �� +������+�� d�����/�����; 9o" -�JN�2% ��0p : " -F'`��2% ��0 0 �� �# �� �� � � � N / b� ;��+g_ � ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �N �������� � ��� �� ������������������ �������� 0�($�(�1����� �����2(�(�1����'�� '����(� !"�#$�)�$������$� �(�1"����$� �3(����4� ��� (�����(�$���1�)�!"����� �� ���Q��� ��5�� ��� � 5���������/�P� ���2 �� J14� �� ��P� ������� � �P��� ����P� � ���2 ��� ��.��L� ��� �������� 5��+������� ��� �2 ����������� �� ��� �� P�/��� � ����� a92���� ��� �5��+���������� �P����M�� � �P+ ���.+���+�M��2 ��+ ��������+ � ���.+� qr ` nb � �.+������+ +�R2 ��� � ���.+P� �� ��� ������� � ��� ��� ������2 ��� � ���+�� ! ̂ ������+�� ��/�P+� ����������� 2 +� �� ��������� M � � ����/ ��� ��������� ������2 ��� � ���+�� M��� �� ��/�� � �����������+� ��� ���.+P � � ����M��� �.������� ��������� ���+��� ��������� � a92���� ���� %d0! ^55�� ����� / ����� ��� ������������ �� ��� ����������/ �� ��+�������+� ����5� ���������� ���� Q��� E$32 ���.�� ����� �5��+�������P� � ���� �� ��P� � ��� ��� � ������� ���+��� Q�.�� ���2 �����P� ���� ���� .�� ��! *����M���� �����Q��� b � � ���.+� qr ` nb � � N �� #l �����M���� ��� �2 ���������� / ��������� � � ��"� ��. � .�����+��2 � � ������ ����� ��������� � a92���� ���� %d0 ��2 � �� � ���� � ��e � � �� �Ne � N f+g_! ���+�����2 ��� ����5 ���������� ���� Q��� � ���� Q��� ����2 ��� .�� ∆56� ∆578 ��� ��� � ≤�� � � ���N , �� �+2 ���� ��P ��m4� ��� �� � ������ � ��������� � ��� �2 ��������P+� �� ���+�� �5��+�������P+� �� ���� Q� a92���� ���� ��������+ � ����� ��+ ����� ��2 ��+ ���� ��� �� ������ ����������� ����� P cr;cib _ ;qc _ qb$bch ;_;# � � R���M��+ ���� ��� sbc;c � b h ;�! ����5 �� ��������� ��� ��� � ��� 2 �� � ����� ∆56≤��_ ,� ∆57�≤�� � , � ∆56≤_�� ,� ∆57�≤ �N , %(��.�5� ��� �j� � " � ��]���� �+��� � � �+��� � ������� .�� � ��� ��P a9"a9b � 0! 4����� � +� � /� M � ���� ��� ���������P� �� 2 �� �����M���� � ��� +���+�+� �� ��� ��� ���+ Q�.2 �� ��������P� ���� ���� .�� ��� � R���M��� ��� �2 ��������� ��������� � � ��M�� � �M��/ L��/]�� ��2 +�������� ��� �L��/��� /� ���������� ���� Q��� ∆56 � ���� Q��� ������� .�� ∆57�! ^ � ���� �. �P���� ��������M�P� ���]��� �� ����� �� ��P� +�Q�� ��� ���� ������ / �� ���+ 5��+������� � ��� �� J14! �"�#$�)�$��������!(�6��������%&���7����(�1 "���7�1� #����!��"��1�����7��38�$��)�(����� (�1�9"���(���� 6��"��(����'��(�#������ 4�R��� / ��������� �L��L� �� ��� .��P ���.+P ���� ��� ��� �� � �+� M � ��L�M�� ��.� �� ��P� ��2 ��� � � .��� ���.+P� ��.����� � � ��� �� ��+�M���� �� ���P� M�� ��P %.�� Q���P� " ���P � ��.�� Q��2 �P� " �������P 0� �� ��P� L������� ��55�.�� � �����������+� ��.���+� �� ��� ��� ���� a92����2 �� ��� .��P ���.+P %� .��� ��������M��� 0 � �� ���2 � � ��+�M����� ������� �� �� ��������� � � �L��2 .������+ �� �M�� ��+����� ��! I������P � .�� Q��2 �P� M�� ��P� �� ��P� ������� �� �L��L� P���+�� ��������� / a92���� ��� �+�� ��� � �M��� ������� �� ���Q���� ��� ��� ������� ���� �� �Q� ����2 � � �M��� �� ������� ����������P� �����Q����� � ��5�� ��� � � ��� �� J14! -��+� ���� +�Q�� ��2 �������� / �� ��2���� ��� ��� ����������P+ ���� 2 ��M����+ �� �������+ � ���������� / �� ���P� M��2 ��P �� .�� Q���P� � ��.�� Q���P�� � ��Q� �����2 �� ��/�� ����� / ��.��M�P� ���� ���P� ��.P � �� ��� �� ��P� �P���� �. ���.+P [`\! )�+�M����� ������� � �� ��.�� � �� ���+ � �2 +�� � ��������� �� ������ ���P� M�� ��P! ^ � ����� �������P ���Q���� � ������� �P������2 ���� �+P+� � �P���� ��������M�P+�! )���� ���2 � ��� ���.+���+�M����� ��������� ���Q���� � ���2 ���� �� ������ ̂ (I2���� ���� ��������P � ��3".�/���5! �� �������+�� ��/�P� ������������ �����/2 .������/ ��� �P����M�� � �P� �� ������ ��� �N 3)$ ���2���� 2���� 2���� 2��N� �� � �� ������ � ^(I2���� ���+� ��� tuv2N�� C� ��� ,� �� ��P� ��2 L� �� �� M�� � �� < > _��� wH� � ��`� �H�� � ��Q� 5 ���P�� ���+����P� � �����P� ��������� ; qr ` � qcr _ � q _ r N � ar � � a9q: ` � a9c ` � a9 � c � � qcq: _ ! &� (��.�: ����� ������ .�����+�� / ����� ����2 � � ���.+���+�M������ ������� %=0 ������ �����j ����2a9 � �����Q��� 5����� �_ �� 5����� ` � +�R��� � ���.+P �� ������ �N 3)$2 ���2��N! �$#+������%�$��������%&�)!����� ������,� 3����� ������ ���� ���+�� � ���Q����P� � ̂ (I2 ���� ��� ��� ��+�� ��� �+���� ���� �+�� ����� �� �� ��� ��� ��M]�� ��Q��� ������� ���Q����P� ��2 �j> � ���� ��� ���� g56� x ∆56h��_ x ∆56h_�� x ? - I��! �! ����5 ���������� ���� Q��� �� ���+����P� ���� ���� d�����/����� -F'`��2% 0; # g ���� ��/ �� ������ ����������� ����� Pp - g R���M��� ���� ��/ `� �� �� �� qcr � j%qcr _ nqr ` 0� l _� �� � � =� a 9b � j� � � � 2a 9 � _ I��! _! D�����+�� / ����� ����� � ������� ������ ��2 ���j����2a9 � �����Q��� 5����� �_ �� 5����� ` �� ��.��M�P� .��M���� +�R��� � ���.+P; 9�" ��� , p� :�" ��� , p� @�" ��� , ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �# �������� � ��� �� ������������������ �������� ��L���� �!#�����%��%$#+������ )!��%�� ����A�BC����#��%�#( ������ �� ���� �� �� ������������ ��������� ��������� ������ ������� � ������� ������ ������� ������!�- �������"� �����#�� �����$� ��� SiO2 300 2,7⋅10–2 50 27 O2�%�����#��&� Si2H6���'(-�������� — )������ SiH4���� Si2H6���� ��$������ ������� � ��*���#� 500 10–2–0,1 150 68 ����� 2:1 350 1,2⋅10–1 250 75 " 2:1—1:1,5 Si3H4 250 2,7⋅10–2 100 23 N2�%�����#��&�� Si2H6 ��'(-�������� 2:1 450 5,3⋅10–2 –1,6⋅10–1 150 14 N2�%�����#��&��� SiH4���'(-�������� 2:1 ����-Si 500 2,7⋅10–2 150 26 +,�%�����#��&�� Si2H6���'(-�������� 2:1 +,�%�����#��&�� -./'���'(-�������� 2:1 α-Si 500 6,7⋅10–1—20 150 68 +,�%�����#��&�� SiH4���'(-�������� 4:1 SixNyOz 350 2,7⋅10–2 75 38 N2, O2�%�����#��&�� SiH4���'(-�������� 3:1 ��L���� � �!#�����%����#�!����� ����A�BC����#��%�#( �������� �� - ���� � �� ��������, �� �������� 0 ��# �����1��� ��� ���2��� ������� ��������2, ������ 3��#�����- ���� ��������- ���� �����$�- ��� ����-Si, ���������- � 0 � 700 2,7⋅10–2 —0,13 Cl2+SF6 –75 (13,56 �41) 200—1200 1—0,75 10—12 (Si/SiO2) ����-Si, ���������- � 0�� 300 5⋅10–2—2⋅10–1 SF6+Ar –100 60—120 ~0,9 ~12 (Si/SiO2) ���� Si 200 6,5⋅10–2 Cl2 –20 20—50 0,7—0,9 18 (���� Si/SiO2) ���� Si, ���������- � 0 1000 6,5⋅10–2—4⋅10–1 Cl2 –150 185—320 0,95 75—100 (���� Si/SiO2) SiO2 (��"�0) 60 6,5⋅10–2 CF4 100 10—30 >0,95 1—4 (Si/SiO2) SiO2 (����� 0) 700 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 SF6+Cl2 –75 (13,56 �41) 75—150 >0,85 3—9 (Si/SiO2) 5�����- #��� 400 5,3⋅10–2 O2 –250 200—900 — — 56 7 O2+HMDS –200 400—600 — ���"���� ���1��� ��������- ����2 �������� �89 400 5,3⋅10–2 :2 –300 50—200 — — Si3N4, SixOyNz 500 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 CF4+CHF3 CF4+SF6 –100 75—150 >0,95 4—12 (Si3N4/Si) ��� �������� 62 ������� ��������2 ������ 39 7 ����1�� 700 2,7⋅10–2 2⋅10–1 SiCl4+BCl3 –150 35—125 >0,85 5—8 (AK-1/SiO2) ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ������� ���������� � ���� ���� ����Q������ ���2 ���� � ! �! � ��� �+�� � +���+��/��� ����M�� �� ��������! 3�� ������������ ������ a91b2i3 ���� 2 ��+� ���� M� �� ��� �� � � ���� �� .� a9"i %�������� M���� N`� �+g 0 � a9"b %�������� M��2 �� �� �+g 0 � ������ /� � �� � ��� ���� a9"c %�������� M���� � N� �+g 0� i"c %�������� M��2 �� _`�� �+g 0� M � �L����M���� � �� ����������! 4�� ��]��� a9jb� a9ji ������� � � ��� M�� �2 �� � ���+ ���� 4,d ���� ��+���� ���� ��� ���.2 +P� �� � �� +�R��� /�� M � �����M���� ��� 2 ��� / ���.+P �� ����"��� ��� ��� �������� �P2 ��Q���� [_\ ,p G VRKN x x = % 0 1.+������ ��������� � �������� _��" Nl ��� ��.+�Q��� / 5��+����� / �P������M�� ����P� �� 2 ���P� ������ ����P� ������ � ���55����� �+ ���2 ��+���� ��N"�� � �� ��P� �� �55�� ����� � ���2 � �� �� ��� ��M]� ������ ����P� ������� ���Q2 ����P� ,d +���� ����P+ ����P�����+ ���+������ +�]��� � �5��+�������P� +����.�� ���� �+����2 ����� ��������� � �.� �� ������/�� ��������� ��2 L�� �P���� �+���� ������ � Q���! )���� ���� ��� ��.� ��; +�R��� / ���.+P ��" _�� , � �������� ���e �g� 3�� �+���� ��� ���Q���� ��" ��m4� ������ / ���Q���� ��"�� �+j+��� ���2 ��� / ������� � L�5����+ ���� ��� �5��+������2 ��� ������ ≤ �+j+��! D%�%E)��#�$�#!"��&� ��%$��)!��%���%�%����)%� !�������,� 3�� ���Q����� +���2 � �������+�� �. ������ %��������0 � 4,d2���� ���� ���� �����2����� ���2 ���� ��.������ ����� �� ������ ��M]� ����� � �2 ��� Q� ������� �5��+�������P� ��+�����P+ ���Q2 �����+! ̂ � �� .��� � �+� M � � 4,d ̂ (I2���� ���� �� �� ����� �� �����Q�� L�. �� ��������� ����L��2 ��� ��� �� ���+ ��� ���/�P� ���������� ������/�� � ��� �+ M�� � P ��� � � ����/ ����������� � ����2 .���� � �+�� � +������ ������ ��! 3�� �+� ����2 ���� ����� R��� � �P����M�� � ��� ���.+�� ����� �� ������ ������� � �������� %��� ��� �M����� ���+��� � +������+���0 ��� ����� ���Q�����+ ����2 ��� �� � � �������� �� ��� �! 3��.+���� ��+���� ���� �+�� ����+�R�� �� ����� ��.���� � �+� M � ��� ���R�� �� � � ��� .��2 M� ��/�� +��/]�� �+���� ��� � ��� ������/�P� ���� 5��+���� � �� ��L�� ���� �������5�M����� ����2 ��� �� �����+�� % ��0� L�. ������+�R��� � �� ���2 �������� � ��� � � �+�� +�� � � ��.���� �P���� �+2 ���� ����� ��� �����! ^ � ������ � �+� M � ���2 ������/�P� ��� ������ ��������� �� ��.�P+ +�2 ����.+�+; � ���.+����� " .� �M� L��/]�� ������2 � +������� ����� � ��� ���/�P� M�� �� �� ������2 ��� �� � � ��.���� �+�� +�� � ������� �P� +�����.+ 5��+������� ��� ������/��� ������! ̂ � � ��P��� L��/]�� ��.+�Q��� � �� �����/��� ��� ����� � ���+���P� � ��� ���� �� L�.� ���+�R���P� ,�2-2 �2E$32 ���������! 3������ ���.+����� ��+���� ����� ��L�� ���/2 ���]�� ������������ +�����.+�� ��� � � +� ���� ���������� ��.�� �+���� ���P� ��� ������/�P� �����! 4����� � +� � /� M � ������� �����M���� ������ / ��� �� ��� +���+�+� � ��� ��.�! 4�����2 ��� ����Q� ��/�P� ����� �������� +�Q�� �����2 �� / ��� � ���� ��/��+ �+�R����� �� ���� ����� 2 � �� �� �� ����� .���� ��������M��� � ��� .�+�2 ��� ��������� �+��� �� a9q: ` � ���������� �� ���2 �� �� M�� � � ��`� �H� ���L��Q�� � � a9c ` ! �� �����M��� ������ � ���Q���� ����� +������+�� �� ��"_� �+j+�� �� a92�����Q�� ����� �+�R�2 ��� ≤g�� ,! , � �+ ���M�� ���.+����� ��+���� ��2 ��� ���+�� +�Q�� ���R�� �� / �� a92�����Q�� ��L�� ����� ���� ��� 1-2������� �� ���"���m4! &��L����+� M�� � � ��������� � .���� � ���.2 +���+�M����+ ��������+ � �����/.������+ �����2 � ��� ��������! 4��Q���� �+���� ��P ���.+P �� ���m4 ���� � ���Q����� �������+�� � � ��� _��m4 " � ���Q����� �+��5���� ���+�� ! ���� �������� 5��+������� ��+���� ������/2 ���� ���+�� %�� ��.P��� �R� ���5���� ������0 ��2 .��� � 5��+����� / �P������M�� ����P� � ��� �2 �P abu %=9:9fT<"Ty9VY"9=T:8W9T<0 �� ��L�� ������ 2 ��M����� �����Q�� ��� �����/.������ LP� ���� 5�2 ������ � Q���! D����Q���� ���+��� ���.+���� �������� ��2 +���� ����� �� 5��+������� ���������� %����2 ������0 ��.�����! ^ � ��� ���� � ����M�� � ����2 ��� ���+� a9q: ` � �R� � �9q: ` ! 3�� �� �+��/�P� ��2 Q�+�� ��� � � �������� ≥��_e �g� 3� ����M��� ��2 ������ �������+�� / %≤���e �g� $+e�+0 ��� �����2 � � ��� � `�"�� �+j+��� M��� �����+� +� ���+� ��� �M/ ���� �M���� ����.+�Q��! 3��������P� ��2 ��������� ����.P��� � M � ���� +� �� 5��+�����2 �� ��������P� ������ � ������� ��/��� ���������� ����� ��������� ��.��� � �P� � �� ������/ ��_" ��` +�$+e�+ � ������ /� �����M� / �. ��L+�������� ��������� J14 ������.������ ����� +� ����.���� ���+����+ � ]���+ " �� +�+ � +������������� ��++� ����! ,P���� ���5��+��� / ����P � ��� �2 ��� � �� �������+ �+�R��� �� a92�����Q�� ≤g�� ,! �!#��%(���'�$�%����#�!��������%��$%���F���, ����A�BC����#��%�#(� 4,d ̂ (I2+� �� ���L���� ������� ���� �� ��2 ������� J14� ������/�� ��.��� � ���.� ����� 5��+����� / ��L+������P� ��.+��P %���"��� +�+0 L������� �����������+� �� ��� ����� � ������2 ��� ��.��� ������� %≤�� �,0! ���� ��.�� ������ ��.��� � ��� ��� / �P����� ����� ����� � ���2 ���� %≥�" �0! D����Q���� ���+��� ������� ���.+���+�M������ ������� +� �� ���+�R��� � +������+��� � �����/.������+ �P����M�� � ��� ���.+����� ���������! �� ������� +� �� �����/.������/ ���.+� ar � nzU ��� �������� �_e �g� 3�� �+�R���� g�� , � +�R��� � ���.+P ��� , � M � �L����M���� �P����� ������ / ������� %���"_�� �+j+��0! D���/ ���2 ���G1� /1�" H " I�" J�" � " ������ / ��������� � ������ ���� �� ��2 �P� M�� �� ���.+P� ��� �� � �����p ���� �� � ������������� ���� ���p �LO�+ ���.+Pp ������ / +������������p �LR�� �������� � ���� ���! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � � �������� � ��� �� ������������������ �������� .� ���� ���L��Q�� � � �� � ������ /� �����M�� L������ ��� ���! *Q� ��� �������� ≥`e �g� 3� L���2 ��� ��� ��� ��.��� �� �� ���.� ������ � ���"��#� � ����� ����� / ������� a9"a9b � ��� ��� � �"N! F��� � ���.+� ���� � ��������P� ��L���� � ���� {� xU� q: � �������� �"Nl� � ������ / ������� +�2 �����+�� ��.��� �� �� ���"N�� �+j+�� ��� ���2 ��M���� ����� ����� � �� " �� � ���.� ������ / ��.��� �� �� ��! ����+ �L��.�+� ��M�� �� +� �� ���+�R��� ������� � � ���.� ����P+ ���.+��P+ ��������+ � ����M���� �P����M�� � ���� �+�R��� ! ��������� ������ ��M����� ����� %a9b � � a9 _ i ` � a91b2i3� '44� J'440 � ^(I2���� ���� ����������/ � ���.+� qr ` ��� ar� ��� ������ � ������� � �����2 ��� �"�� �+j+��! �� �����M��� ������ � �����2 �� ���� ������ ��M����� ������� ��� ����.��� ��]� ����������� � ���L����+� �����M� / M�� � � ���� 2 Q��� �+�R��� �� ����M��P <≥�� �H� %< > _��� wH�0� � ���� Q���� �+�R��� �� 5 � ≥#� ,! 3�� � �+ ���2 ��� / ������� ��.��� �� �� ≥ �� �+j+��� ����� +�R2 ��� / ���.+P �����M���� � �� ≥��� , ! 4����� / ���2 ���� +�Q�� ��Q� �����M� / �� N�"��� �+j+�� ��� ���.� ������ � ≥��#�� ���� .�+��� / ar � �� ��2 ������P� �������P ��� q0r4 ��� 0h "` %q _ r N 0! 4����� �P���� / ���L����� � ���.+������ ������� �����+����� �.�� ��� � ���.+� qr ` nb � %N"��l b � 0 ��� �������� ���"��� 3� � +�R��� � _�� , � ��� �� ���+ ������ / ������� ��� ��� � ≥��� �+j+��� � ��� +�R��� � ��� , ������ / ��.2 ��� �� �Q� �� ��� �+j+�� % _��� EH�� 5 � ≥�� ,0 � ����� ����� /� L��/]� � L�. �����M��� ��5�� 2 ��� � 5���������/�P� �����! ����P� ������� �55��2 ���� ��Q� ��� ���5���������� ��� �� �P� ���� �.2 +������+ ���.� ������ � ���.+������ ������� ��� ��� �� 5��+�������� ���������� ����������! �%!���������#,�$)�&$���#,���(�%!%K�,��%���� �%�#��,�$ -����%���(��%��#��%��. �� 3�� �������� � ��L+������P� �����.�� �����2 ��M����� ���+ �� ����� ����"��N +�+ ���L���� �� ���/��� � ����� � .���M� 5��+������� ���2 5���������P� ��� �� �� � +������������� ��.���2 �� �������� J14� ��� � ��M�� �� +�Q������� �.�2 � ��� �����/.�� ��� ��.�� �+���� ����� L���5��2 5��������� ��� � ���� %J'440� �� � �������.��2 R�� �����+���P� ��+��.���� [`� �\! $�����P+ ��+����� �+ ������ ��������� �� 2 � � ��.�� �+���� ����� ���Q����� 5���������/�P� ����� %������������� � ��������������� �������+�� � ������ ���+�� � J'440 �� ������ ��������� ����2 ����� � ���� ��� ����Q������ ������� ��� S1.� 2 ���Z! $��������� +�Q������� �.�� ��� �� ������ J'44 ���R�� �� � � ��+���+���������P+ ����2 �����+ � ���� ��� �� ������ S���+���+Z! D�����P� ���5��/ � ���� ��� �� �� 5��+���� �.+������+ +�R��� � ��.� �� � ������� � ����������� ��+��� ����� ������� ���.+���+�M������ ������� � .��� ��������M��� [�\! E��]�� 5��+������� ���� ���5���������P� ��L+������P� ��� �� �� ����M�� � ��L ; " 5��+�������� J'44 �� +�Q������� �.�� 2 ��� � L�5���P+ �������+ ������ %`�� Å0p " ���������� +�Q������� �.�� ��� J'44 ��2 +���+���������P+ �������������+ ��� �+���� �2 �� ���m4 � �������� _� � +!p "��������� ����������� ������ �������������2 �� �������+�� � ������ �������� a9b � ��R���� ≤��_ � ≤�� +�+� ��� �� � �����p " ���.� ������ ���.+���+�M����� �������� ����2 ������� ������ ����2a9"a9b � � +�� �� ��� �� ��p " ��������� ������ ��������������� �������+�� ��R���� ≤��_ +�+ �� 5��+������� ���������p " 5��+�������� L����P� ��������� �P����M��2 � �P+ ���.+���P+ ��������+ �������+�� � +��2 �� ��� �� ��p " ���.� ������ ���.+���+�M����� �������� � ���5���������� +�Q������� �.�� ��� � ���� J'44 � �LO�+��+ ���� ��� ^(Ip " +� ����.��� ��� �� �� ���+�����P+ ������+ |���+����"���+���"IDE| ��� ����������+ �2 ��� %}9a9 � 0� �5��+�������P+ �� ������ �+��5���� ���+�� ! E�Q������� �.�� ��� +�Q�� 5��+����� / ��.2 �� �+���� ���P+ ���Q�����+ �����+����� ��+��2 .���� ��� 31� �� �������� � ������� 5� ���.�� �! ����� �����M�� � �������� 5��+������� J'44 � ��� ��������� ! E����/ ��.�5�.���� ���Q���� �+��5����� ��2 ����������� � ��������������� �������+�� � J'44� a9b � � }9a9 � � ���� ��� ����Q������ ������� %I3�0 ������� � � ����������� ������ /� ���Q���� ������ [�\; V=ST(Px+Py)/(C0P∑(Dp 2—D2)), (2) �� �L����M��� ��55�.������� ����+�]����� ��+����� �� � �������� ���Q���� ������ 5�����2 ����/�P� ����� ������� � �+���/���� ����������� ��.���� �+��� ����+ �. ��+����� �� %5��5��� ���2 ��� P� 5��5��� ��L����� ������ P� � ��0 � �����/2 .������+ �������/���� ����� � ���� ��� ����Q��2 ���� ������� �� ������ S1.� ���Z � �������/�P� ����� � �L ��� �� +�! *��� ������� � ���� ��� ��2 �� ��� ���5���������� 5��+���� ��� ��+�R� ���2 .� ������� ���.+������ ������� � ̂ (I2���� ���� �� �� ������� ��� tuv2N�� %���0 � �������� � #� �� ��m �.+������+ +�R��� � ��.� �� � ������� � .��� ��������M��� ! 4��� ��������������� ����2 ���+�� �����/.�� � ��� +���� �� 5��+������� ��� �� �P� ���������! ��$%�%�%���#$��%�� )!#�����%�� )�%,�!����� � %)��'�$�%&�)�%��*�%��%&�!��%K�#���� $� �M���� �� ����5� � �P����� ��.��]��]�� �����L��� /� �� 5��+������� �������� J14 ��2 ������ �� ����������P� ��� �+�� � �P�������2 ��� ��+ ��.�� � [�\! 4�� �+� ������������� ���2 +�R��� �L����M���� ������� �������M����� ������ / � ��M�� � �+���� ��� ���Q���� ��2 �� ��� I3�p �������� ������ �� ��55�.�� � � ������ �� � ��� �� � �����p ������ ���� ��������� �+��� � ������p �LR�� �������� � ���� ���p ���+� �P ���� ��� � ���+����P� ���� ��� ��2 � �� � �����! ��� =��6�L M1� M2�" � � " �∑ " N > � N�" ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �� �������� � ��� �� ������������������ �������� ���+�� �� �� ��N +�+ � ��� �������� � ��.+���+ ����"��N +�+ ������M���� � ������R�+� 5�� �2 ��+�; " �������� � ��Q��R� ��������� / ���+���2 �P� ���� �� � ��������� J14 ������� � ���+ �52 5�� �+� �� ��P� ������M���� ��.��]��R�� ���2 ��L��� /; �LO�+�P� �55�� � �� ��P� ��� �� � ����2 Q���� ��������+��� �.�L��Q��� � �P.�����+ ��.2 ��� ��R���� ��.�� � �L��.� ��.���� �.+����� ���/2 �5� ��������� �p +������� ��� � ��Q���� �������2 ���R��� ����R��� � a92���� ��P� M � ������� � �L��.������ � � M�� ����p " � �� � ���+ �P������ γ2��� ��� � � ��.�� � %≥`��0 � �P������� ��� ���� ��� ����� ��������2 ����������� �.�L��Q��� ! �� �� ������ � �� �� �M����� ������ ��+� ��.2 ��L� �� ��.� ���P� �P������� ��� �P� ������+��2 ��� �P� ��.�� � �� ��P� �L����M���� γ2��� ��� ≥N��" �� ��.��� �R�� 5��+����� / ������������ �� ����5��� � �����/.������+ �P����M�� � ���� ���.+������ ������������ ��� ����� �������M��2 ��� ��.+��P ���"��N +�+! ����� ��� ������ �P��2 ����� ��� ���� ��.�� � �L����M���� ���.� ������ / ��� ������ �� ������ �� ��� ����� ����� � �����2 �� ��������������� � ����������������� �L��� �� � �������� N"�N! ������� ��/��� ������������� ������������������ ������ ��.�� � ����� ��� ���2 ���+ � cw~a %�����+� ��������.��0 �����M���� ��� ��.��]��R�� �����L��� /� ��� +���+�+� � ��" � ��.� � ��.��� � ����M� / �������M����� ��.+�2 �P ���"��� +�+ [�\! 3�� � �+ ���.� ������ / ���2 ����� ��������� � +�R��� /� ���.+������ ��.2 � ��� � ����������� ��� ������� ����������� � .��� ��������M��� �LO�+���� ���� ��� ̂ (I� �L����M���� �P����� ������ / ��� ����� %���"#�� �+j+��0 ��� �� ������� �+�R��� g��÷g �� , � �������� �e �g� " ���e �g 3� %+�R��� / ���.+P ���"_N� , 0! ����+ �L��.�+� �P����M�� � ��� ���.+����� ���2 ������ ��� ��.+�Q��� / �+�� � / �� �M����� ���2 ��.�� ������������ �� ����5�� �� �������.������ ��.+���� ����"��N +�+! ���'�����(�1�����!"�#$�)�$������)�!(�6����1 3�� �������� � ��L+������P� �����.�� �� ���/2 �P+ � ����� � ������� �������� ���.+���P� ���2 ������ ��� ���Q���� � �� � ��M�� ������� �����2 �� 5���������/�P� ����� � �M��� 5�������� ����2 M��� �������� ������� [�"#\! �� � ��� �����/2 .�� � ���P� ������� ��.��M�P� 5�.�M����� +� ����! &�+� ��.��L� ��� ��+�/� ���� ��� �+�� �� ��� ��.��� � ��� � ��������� ����� ������� ��� ���.2 +���P� ��������� %9< =9W@0 � �����/.������+ �+��2 �������� +���2� �Q�2���� �������� � ��.����� ��2 ��5���+� ���� �� ��P� �L����M���� �P����� ��2 5��+� ����� /! ,�2����P�� �+�������P� �����P ��2 ��������P� ������ �� ��� ������ �� ������� +��� ����� ������ /� � ���/� ���������� +�+�� � .�2 ���]��� �������� ������� ! ���� �� ������� ��2 �����+�� � �P����� ����� ����� /� �����/.�� ar � � qr ` nb � � �� �� ��P� ����M���� �������� 5��2 ����� � �� ���� + r ��� ������ � � ������ ����P ��` �+ � 4$ ��� ������ � ������� � ������ ����P �#N� `N`� ��� �+� � �� ������� a_i` ��� a9($2i3 ��� �����/.������ �������2� N %q_rNnb�0 5 �� ��� ������ 5������� � �� ����� ����P ��` �+� qi ��� ������ 5������� � �Q� �� ����� ��` �+ � i � ��� ������ " �� ����� _N� �+! ,�2� ��P�� �+��2 �����P� �����P ��� ���� � � �+g �.�������2 ��������� ���+��� ��������� � +������+��� %d0 � �L��Q�� ��M�� ������ ���.+����� ����P �� ���2 �� ��! 1.+������ ������� ��� +�R��� � � +�+�� ����2 M��� �������� ������� � .��� ��������M��� �� 2 .��� � �.+������+ �+��������� �+��� ��P %����0 ���+��� �� ������ ����� ����� ���P� �� ������ ��� �� ��P� ���� � ��� �� ������! ̂ � �� ./ ��.��� � ������� ����� / ����M���� �������� ������� ! $��L���� �P����� ���� ���� / ��� +���2���� 2 �����++P� �� ��P� �55�� ���� � �L��Q�� ������2 P ������� ��������� ������� ! I����� P � ������2 P ������� 5������� � ����M�� ����� � ��M�� ���2 ��� M � ��.��� � ��� �������� / ��� ������ �������� �� ���+���! ���� ��� �������� a9 _ i ` � ���.+� ar � �� +���2���� �����++� ��L����� � �.+����� ��2 ��� %�+��� ��0� ��� � �� � ��� Q� ������� ��� ���Q���� ���� �.+������ �� ��L����� � %�����2 +��� ������ �� ������� i � n � a9r _ n0! ,P����� ��5��+� ����� / ���.+���P� ������2 ��� ���Q���� � ������� �L����M���� ��.��L�2 ���P� ������� �M����� +� ��P � �����/.������+ ��5��������� � ��.����� �� ��5���+� ���� � ��+�2 R/� �� ��P� ����� ������Q���� � ���� ��� ��� � ��� ������� 5���������/�P� ����� J14! ����P� +� ��P �55�� ���� ������ � �Q�2���� 2 ������� ! 4����+���P� �Q�2���� ��+� �P �# 1$42_ � �# 1$4 �2��� ��.��� � �����.����� / ������2 ��� / � �P����� M��� �� ��/��� /� � ��.��]����+ � �M��� /� "_l! &�+� � � +� �� �����/.���� �� ������� ��� ���.+���+�M����� ��������� ���2 ���� +���2 � �������+�� � �������� ���+�� � �� 2 ���� � ������ ����� 5��5���2 � L���5��5�������2 �� ���� � ����� ��������� � ���������� ���+����2 �P� ������� � �����/.������+ ������� ` %qr`0� ������� � N %q_rN0 � ������� �_ %qcr_0� �����.� ar� �� �� ������� �N 3)$2 ���2���� 2���� 2���� 2��N� tuv N��! 3��������P� �������+�� ��/�P� �����2 ������ ����.P��� � M � �. �����/.����P� ������2 �� +����+��/��� M�� � � � ����� ����� / �����2 �� �������� ���+�� �L����M���� ������ �_ ��� �����/.������ �LO�+���� ^(I2���� ��� �� ������ tuv N��! -����� ����� ���� ����� � ���.+� � �� �+����2 ��� ������� � ���� ��5�.�M����+ ������� �����2 ���+ ��� ��+�R� .���� B���+��� �������� �P��2 Q���� [#\ ( ) ( )[ ] ( ),/exp/84/1 c 2/1 eeeee kTeUAmkTenI π= %_0 ��� 0 Y � 4 Y � O " P " Q� " � " 5 f " ��� ��� /� +���� � .�� � ���� �����p ��� � ��� J��/�+���p �+���� ��� ���� �����p ���R��/ .���� B���+���p ���� Q���� �+�R��� �� .����! ��������� � ���� ���������� � ���� ������ ������ ���� ����� � � �_ �������� � ��� �� ������������������ �������� 3� ������ ���.+P �� � � ����+ �. �����P� ��2 ��+� ��� ��� ���.+����+ ��������� ��� ����� �2 R�� ���� Q���� ��� � ��� �� ���5��/� �� � �� ����� ����� / ������� ! 1.+����� � ���������P� ��� ��+�R� .���� B���+���� ����.���� M � � ��2 ���/.������+ �����.� ar � ��� ��� / ���.+P ��� ��2 � � � �" � � �+g_� � �� ������ ���.+P ��� ��� � �"# , ��� +�R��� � _�� , � ��"_� , �Q� ��� +�R��� � ��� , ! -��+� ��� ��� � ������� ���� �� ������ / � ����� ����� / ������� � ��� ����+� ���2 � ������ �����! E��� ����M��� �� ������� ���.2 +P %�"�� ,0 �L����M���� ��.��� ��5�� ��L��.������ " +��/]� ���� �+g�! ^������ ����� +�Q�� �.+�� / ����M�� �� ���2 ��Q�����Q� ��/ ���� Q��� �+�R��� %�...g �� ,0! 3�� ���� Q���� �+�R��� � �������� g��...g �� , ���.� ���� ��� ���� .��M��� ��� � ����P� ��� �� ��P+ �L����M���� � ��������� ��� �� ������+ �. ����Q� ��/�P� �����! 3�� �+��/]���� �� ����2 ��� ��.��� �� ���� ����� ��� ��� �R� � �� ��� �+��/]�� ��� ����/��� ��� ��� �R�� ������ � ������� � ar � � M � �� .��� � �����M����+ ������2 � �����L��� r �� ���+����P� ���� ��P! ��� ����+ �L��.�+� �P����M�� � �P� ���.+���P� ���2 ����P ���Q���� � ������� � �����/.������+ .��P ��������M��� �LO�+�P� ���� ���� ^(I L������� � �� � ��� �������� ���� �� � ����������P� ��2 ���Q����� ��� ��.+�Q��� / � ��L+�������� ��2 ������� J14 �����.��� / �������M����� ��.+��P ����"��N +�+� ���.� / ��5�� ��� / 5���������/�P� ����� �� ����� ≤���� �+g� � �����M� / .�� ����� � �L��/��� / +�Q5�.��� ������P ��.���� a9"a9b � � �� ��� �������� � ��� �L��/��� /� ���������� ���� Q��� � ���� Q��� ������� .��! ,��/�������� ������� � +�R��� � ���.+������ ������� ��.��� � �.+�� / ��� ���.� ������ /� �� � ����� ����� / ������� � M � +�Q� ����]�� ��2 ���/.��� /� � ���������� ��������� 5��+�����2 �� � ���5��������� ��� �� �P� ����! 143$B�D$,C&&KF 14�$d&1-1 ! -�.����� ,! 1!� 4������ 4! C! E������������ ���2 �� ��Q�+�� �������� �� ������ / ������� ��� .��P ���.+P �� '�.��� � ��+� �L��L� �� +� �������!" ##�!" � �!" 4! `" ��! �! ~@U8<VYW z! ~9=WU9�@WYV Y:YfWUT< f�f:TWUT< UY=T<8<fY UY8fWTU�; � �8�:Y fT<fY>W ATU 9<WYUXU8WYV f9Uf@9W YWf�9<X �� w9fUTY:YfWUT<9f! w8<@A8fW@U9<X 8<V }Y=W9<X!" #N#!" i �!" �! ��"�N! _! &���� ��P� 4! 3! 3��.+���+�M����� �������P � ��� �+��� ��������� J14 �� ,�� �! )��/����! ��2 �! 4��! '�.�M���� ! G���� M�� ��P� ��� !" ###!" � `�_� �P�! _!" 4! � "�N! `! &���� ��P� 4! 3! '�.���2 ��������M����� ���2 L����� � ���.+���+�M����� ��������� ��L+�������� ��� �+��� ��������� J14 �� ����� �M���� ���� ��2 ������!" ����!" � ��!" 4! � "��! �! &���� ���� 4! 3! 3������+����� ��������� ����2 ���� 5��+����� ��L+�������� ��� �� �� ������� �� ��2 ���/��� ���+ �� ����P �2� E�Q�����! ���M!2���� ! ���5! S4����+���P� ��5��+������P� � ���� ����P� ����2 �����Z!"$�����!" ��� !" 4! ��_"��`! �! &���� ��P� 4! 3!� -����� 1! ,! '�.���2��+�M��2 ��� ���L����� � ��L+�������� �� �M����� �� ����2 5�� J14 �� ,�� �! &* SB/������ ���� ������Z! )�2 +� � �������� ��R�� � � �� ���+������!" ����!" � _#�!" 4! �N"N�! �! r:87 ~! �! }UY<V= 9< >:8=78 =T@UfY= 8<V YWf�9<X �� aT:9V aW8WY }Yf�<T:TX�!" ## !" �T:! _`� i _!" �! ̀ �"��! N! &���� ��P� 4!� 1������ &!� 1������ ,! $��L����2 � � � +����� ������� � ��L+�������� ��������� J14 �� ,�� �! &* �B/������ ���� ������Z! -�+�/� ���P� ��� �+P ����� ������� ! ����� � ���� ���!" ����!g � ̀ ``!" 4! ̀ N"��! #! &���� ��P� 4! 3! ���������M����� 4C3I �� ����2 �� �� ��P� � ��� �� �� '�.��� � ��+� ������� ���!" ����!"�! _� � �!" 4! `N" �#! �� � ��� ������ � �������� �`!�# ���� �! $������ �������������������AR� %,H�*� �! ,������0 ���������D�� ��D��� �S�;��������� ���QT����; ���U��.�����AR�;�������A A �T *������� �! ,������� &11 SH����Z 62789:; fWYf?=�9WT<:9<Y!fT7 41B$,CG E1-I$4)FEC �BG JB$-$, *3IC,BF&1G HCD$ICDIG�&KE1 14�$d&1-CE1 4,F�C ����!%+��#� $(��#� )�#�!���,� ��$%�%� �%!"������������%�#��;�$%��#�#�$�!%� �#,�����%$(��#��!,�E���K%$-���K#VF�& ��(����;� �#-%�#VF�&� �� $!%+��(��!�� �#��'�$��(� $!%��,(� , ��� � R�� ���+ � �������L������R�� ������ ]����� ���+�� � � ���� ����P� ����L��.��� ���� ��L� ��R�� �� ���+� � �P�������/ �P+� ����� ���2 +� �� L�.� E$32 ���.�� ���� [ \! *��.���� ���+� ����M�� � ��L ������ �� � M�� � �� �� �� �H� � �P�������/ �P� %��� ,0 �������� �� ��P� 5��+���2 � �P����P� ������P � ���.�� �� �� +��� M � ��.��2 � � ���/����M���� �� .� / ���.�� ��P �������� � �����P+� ���.�� ���+� � �L����M� / �� ��M���� 5��2 ������������� ���� ������� ����L��.��� �� ! 4�R�� ��� ���L��+� �L����M��� ����Q��� � � ������� ���� ���� ����P� ����L��.��� ���� �.2.� ��� ����� �55�� � �.�R�������� � �P����P� ���2
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70811
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T13:30:03Z
publishDate 2002
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Новосядлый, С.П.
2014-11-13T19:54:52Z
2014-11-13T19:54:52Z
2002
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811
621.382.8
Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы раздела Si—SiO₂ и создает благоприятные условия для осуществления низкотемпературной (<700°C) гомоэпитаксии монокремния и поликремния на Si-подложке любого типа ориентации.
In article experimental researches of high-frequency plasma processes of sedimentation and etching of functional layers are resulted at formation of submicronic structures the VLSI with the minimal topological sizes 0,5—0,8 mm with use of a zone of afterglow of reactors of a electron-cyclotron resonance. Such plasma technology provides minimally introduced deficiency of functional layers (<0,05 sm⁻²), do not influence a charging condition of border of unit Si—SiO₂ and creates favorable conditions for realization low temperature (<700°C) homo epitaxial monosilicon and polysilicon on a Si-substrate of any type of orientation.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
Plasma technology of formation of submicronic structures of the big integrated circuits
Article
published earlier
spellingShingle Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
Новосядлый, С.П.
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
title Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_alt Plasma technology of formation of submicronic structures of the big integrated circuits
title_full Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_fullStr Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_full_unstemmed Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_short Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
title_sort плазменная технология формирования субмикронных структур бис
topic Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
topic_facet Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811
work_keys_str_mv AT novosâdlyisp plazmennaâtehnologiâformirovaniâsubmikronnyhstrukturbis
AT novosâdlyisp plasmatechnologyofformationofsubmicronicstructuresofthebigintegratedcircuits