Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2002 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859647644930932736 |
|---|---|
| author | Новосядлый, С.П. |
| author_facet | Новосядлый, С.П. |
| citation_txt | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы раздела Si—SiO₂ и создает благоприятные условия для осуществления низкотемпературной (<700°C) гомоэпитаксии монокремния и поликремния на Si-подложке любого типа ориентации.
In article experimental researches of high-frequency plasma processes of sedimentation and etching of functional layers are resulted at formation of submicronic structures the VLSI with the minimal topological sizes 0,5—0,8 mm with use of a zone of afterglow of reactors of a electron-cyclotron resonance. Such plasma technology provides minimally introduced deficiency of functional layers (<0,05 sm⁻²), do not influence a charging condition of border of unit Si—SiO₂ and creates favorable conditions for realization low temperature (<700°C) homo epitaxial monosilicon and polysilicon on a Si-substrate of any type of orientation.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:30:03Z |
| format | Article |
| fulltext |
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������� �
���
��
������������������
��������
��
�
���
������
�
��������
� !
���
�!"��!�#
����
�!
$������
��������������� ��
��
� �
%&'�(
)&*
�+!
,!
&!
-���.����
�!
)��/���0
�������������������������
*�������
�!
1����2'���������
3�������
����
��������
�
�+!
,!
4
�5�����
62789:;
<=>?>@!9A!@8
3BCDEF&&CG
�F)&$B$H1G
'$IE1I$,C&1G
4*JE1-I$&&K)
4�I*-�*I
J14
���������� ��� !"�#��� �$$!��%�#��&
��$%�%'#$�%���(�)!#������(�)�%*�$�
$%�� %$#+����,� ����#�!���,�� ��*�%�
�#!"��(� $!%��� )����%����%�#���� $ -�
����%���(�$�� �� ��. ��
4�L+�������
��������
J14
�
�������M����2
+�
���+�+�
����"��N
+�+
����O �� �
���P�
��2
L�����
�
���.+���+�M����+
��������+
���Q����
�
������� !
,
���
� R��
�
�
/�
��������
�
���.+���+�M�����
�������P�
��
��P�
��
������
�
����������P+
�����Q���� +
�
�����M����
��5��
���
�
%S<T2
U8V98W9T<2V878XYZ0
���
���Q�����
5���������/�P�
������
�
��Q�
�����M����
�
�
���������
�
�����+�
+�
���+�
[ �
�\�
�����
�����
/
�
���.�
������
/
���2
���� �
���P]�
���
�
�+
������
/
���Q����
�
���2
����
5���������/�P�
�����
�
�����/.������+
���2
��
����
�����2�����
�������
��.������
%^(I0
[_�
̀ \!
��������������������� !"�#$���������%&����
'����(��)��������(�&��)�!"�����*+
�
,
�
-
�
��
�+��/]���
������������2����+L��������P�
���������
��
+�Q5�.���
�������
��.����
a9"a9b
�
��.��L�
��
�������
�P����M��
�
����
+����
�������
����P����
���+������
+�]���
-�J2N�
�
���.+�
�.�
�!
̂
�
��.��� �
�5��+�����
/
��.��
�+����
��2
�P�
������
����P�
��
��
L�.
��������P�
�������2
���
a9"c�
�55��
����
��
������R��
.�� ���P�
��2
�
� ��
�
.�� �P
���
�
+�Q5�.���
������P�
��
�
�
�������
�
�+
��+P+
�L����M����
�
�P�����
��2
+��������
�
�L��/���
/
����
��M�����
����+�
���
��
�����/�P�
���+�
�
���Q����
��5��
���
�
��
5���2
������/�P�
�����!
^������+��
��/�P�
�����������
����������/
�
�����/.������+
�P����M��
�
����
+����
����
��
�2
�����
S$��
���
�Z
�
������
���
,dH2���2 _��!
,
��2
M��
��
���+������
+�]���
�����/.������/
����
��P
-�J2N�
% 0
+������+��
d�����/�����
%d0
�
��2
���Q����+
�.�������
���������
���+���
�������2
��
/b�
≥ ��e � �f+g_!
$������ �R�+
����+�
��+�
��
��
���+�
����������/
�55��
�����
/
�5��+������2
����
������
�������
��
����
���Q��
����.�
��/
���2
��+����
�
��������
0h ��N"�����
��
��P�
.�������
����M����
�������
���
�.�
���
���.+P
�
�����Q�2
���+
�.�������
���������
���+���
���������
�
���+����P�
����
����
d�����/�����!
4�����
/
���Q2
����
������
a91b2i3
�L����M������/
+�R���
/�
�P����M��
�
����
������
���
% _���
EH�0
�
���
��2
� ��
≥��
Åj+��!
,P����
�����+�����
/
��������
������
%k_l0
�L����M������/
�����
�����
���
�+��
��
������
S$��
��� 2�Z!
$�����
����P�
��
��
5��+�������
+������P+
����Q�����+
�
�+����
��P
#��m4
��
��+��
���
��
���
Q����
_��"`
M����!
^55��
�����
/
����
��
��
���
����������/
��
��
��P+
�
���
���+
�
����
�����
�
L���� �����
���.��
���
�
�������
425��2
���
������������2����+L��������P�
����������
��2
�55�����
�
�������
�����2β2
���.��
����
����M�2
�P
�
��+��������
�
�L��/���
�
����������
���� 2
Q���
∆56�
���� Q���
�������
.��
∆578!
3��������P+�
����������� +�
��
�������P
.�2
����+�����
�
5��+�������
�P����M��
�
����
���.2
+������
������
�������
��
���
�
�����Q���
�.�2
������
���������
���+���
���������
�
+������+2
���
%d0
-�J2N�
/b�
h ��e � �" �Ne � N
f+g_�
��
�2
�P�
�����
�����P
�
����
.�����+��
�
���55�����
�
�����+����
������
��
(��.�/
%+�R���
/
�.�
���
���.+P
���" ��
�,
�
�+����
���
���Q����
��"
���m40!
,P����
���5��+���
/
������
%≥��#�0
����2
��� ���/
��
�������+
�+�R���
��
���+������
���2
�
���
g��...g �
,!
*�
���������
M
�
������
����P�
��
���
�5��+�2
������P�
�����2���.+���P+
+����
����P+
���2
�P�����+
�
�.�
���
���.+�
���+������
+�]����
��2
.��� �
�+��/]�
/
425��
��
�
���" ��N
��
���"
����
���P��
/
���55�����
�������
�����2β2
���2
.��
���
��
_�"N�
P�!
�
�L����M�
/
�
�L��/���
/
∆56�
∆578
�
��������
����"��
,
��
�+����
��P
n ��m4!
I��!
!
D�����+��
/
���55�����
�
�����+��2
��
������
������
������
�
�����Q���
�.�2
������
���������
���+���
���������
�
+�]�2
��
+������+��
d�����/�����;
9o"
-�JN�2% ��0p
:
"
-F'`��2% ��0
0
��
�#
��
��
� �
� N
/
b�
;��+g_
�
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�N
�������� �
���
��
������������������
��������
0�($�(�1����� �����2(�(�1����'�� '����(�
!"�#$�)�$������$� �(�1"����$� �3(����4� ���
(�����(�$���1�)�!"�����
��
���Q���
��5��
���
�
5���������/�P�
���2
��
J14�
��
��P�
������� �
�P���
����P�
�
���2
���
��.��L�
���
��������
5��+�������
���
�2
�����������
��
���
��
P�/���
�
�����
a92����
���
�5��+����������
�P����M��
�
�P+
���.+���+�M��2
��+
��������+
�
���.+�
qr
`
nb
�
�.+������+
+�R2
���
�
���.+P�
��
���
������� �
���
���
������2
���
�
���+�� !
̂ ������+��
��/�P+�
����������� 2
+�
��
���������
M
�
�
����/
���
���������
������2
���
�
���+��
M���
��
��/��
�
�����������+�
���
���.+P
�
�
����M���
�.�������
���������
���+���
���������
�
a92����
����
%d0!
^55��
�����
/
�����
���
������������
��
���
����������/
��
��+�������+�
����5�
����������
���� Q���
E$32
���.��
�����
�5��+�������P�
�
����
��
��P�
�
���
���
�
�������
���+���
Q�.��
���2
�����P�
����
����
.�� ��!
*����M����
�����Q���
b
�
�
���.+�
qr
`
nb
�
�
N
��
#l
�����M����
���
�2
����������
/
���������
�
�
��"�
��.
�
.�����+��2
�
�
������
�����
���������
�
a92����
����
%d0
��2
�
��
�
����
�
��e � �
��
�Ne � N
f+g_!
���+�����2
���
����5
����������
���� Q���
�
���� Q���
����2
���
.��
∆56�
∆578
���
��� �
≤�� �
�
���N
,
��
�+2
����
��P
��m4�
���
��
�
������
�
���������
�
���
�2
��������P+�
��
���+��
�5��+�������P+�
��
����
Q�
a92����
����
��������+
�
�����
��+
�����
��2
��+
����
���
��
������
�����������
�����
P
cr;cib
_
;qc
_
qb$bch ;_;#
�
�
R���M��+
����
���
sbc;c
�
b
h
;�!
����5
��
���������
���
��� �
���
2
��
�
�����
∆56≤��_
,�
∆57�≤�� �
,
�
∆56≤_��
,�
∆57�≤ �N
,
%(��.�5�
���
�j�
�
"
�
��]����
�+���
�
�
�+���
�
�������
.��
�
���
��P
a9"a9b
�
0!
4�����
�
+�
�
/�
M
�
����
���
���������P�
��
2
��
�����M����
�
���
+���+�+�
��
��� ���
���+
Q�.2
��
��������P�
����
����
.�� ���
�
R���M���
���
�2
���������
���������
�
�
��M��
�
�M��/
L��/]��
��2
+��������
���
�L��/���
/�
����������
���� Q���
∆56
�
���� Q���
�������
.��
∆57�!
^
�
����
�.
�P����
��������M�P�
���]���
��
�����
��
��P�
+�Q��
���
����
������
/
��
���+
5��+�������
�
���
��
J14!
�"�#$�)�$��������!(�6��������%&���7����(�1
"���7�1� #����!��"��1�����7��38�$��)�(�����
(�1�9"���(���� 6��"��(����'��(�#������
4�R���
/
���������
�L��L�
��
���
.��P
���.+P
����
���
���
��
�
�+�
M
�
��L�M��
��.�
��
��P�
��2
���
�
�
.���
���.+P�
��.�����
�
�
���
��
��+�M����
��
���P�
M��
��P
%.�� Q���P�
"
���P
�
��.�� Q��2
�P�
"
�������P
0�
��
��P�
L�������
��55�.��
�
�����������+�
��.���+�
��
���
���
����
a92����2
��
���
.��P
���.+P
%�
.���
��������M��� 0
�
��
���2
�
�
��+�M�����
�������
��
��
���������
�
�
�L��2
.������+
��
�M��
��+�����
��!
I������P
�
.�� Q��2
�P�
M��
��P�
��
��P�
�������
��
�L��L�
P���+��
���������
/
a92����
���
�+��
���
�
�M���
�������
��
���Q����
���
���
�������
����
��
�Q�
����2
�
�
�M���
��
�������
����������P�
�����Q�����
�
��5��
���
�
�
���
��
J14!
-��+�
����
+�Q��
��2
��������
/
��
��2����
���
���
����������P+
����
2
��M����+
��
�������+
�
����������
/
��
���P�
M��2
��P
��
.�� Q���P�
�
��.�� Q���P��
�
��Q�
�����2
��
��/��
�����
/
��.��M�P�
����
���P�
��.P
�
��
���
��
��P�
�P����
�.
���.+P
[`\!
)�+�M�����
�������
�
��
��.��
�
��
���+
�
�2
+��
�
���������
��
������
���P�
M��
��P!
^
�
�����
�������P
���Q����
�
�������
�P������2
���� �+P+�
�
�P����
��������M�P+�!
)����
���2
�
���
���.+���+�M�����
���������
���Q����
�
���2
����
��
������
̂ (I2����
����
��������P
�
��3".�/���5!
��
�������+��
��/�P�
������������
�����/2
.������/
���
�P����M��
�
�P�
��
������
���
�N
3)$
���2����
2����
2����
2��N�
��
�
��
������
�
^(I2����
���+�
���
tuv2N��
C�
���
,�
��
��P�
��2
L�
��
��
M��
�
��
<
>
_���
wH�
�
��`�
�H��
�
��Q�
5
���P��
���+����P�
�
�����P�
��������� ;
qr
`
�
qcr
_
�
q
_
r
N
�
ar
�
�
a9q:
`
�
a9c
`
�
a9
�
c
�
�
qcq:
_
!
&�
(��.�:
�����
������
.�����+��
/
�����
����2
�
�
���.+���+�M������
�������
%=0
������
�����j
����2a9
�
�����Q���
5�����
�_
��
5�����
`
�
+�R���
�
���.+P
��
������
�N
3)$2 ���2��N!
�$#+������%�$��������%&�)!����� ������,�
3�����
������
����
���+�� �
���Q����P�
�
̂ (I2
����
���
���
��+��
���
�+����
����
�+��
�����
��
��
��� ���
��M]��
��Q���
�������
���Q����P�
��2
�j>
�
����
���
����
g56�
x
∆56h��_
x
∆56h_��
x
? -
I��!
�!
����5
����������
���� Q���
��
���+����P�
����
����
d�����/�����
-F'`��2% 0;
#
g
����
��/
��
������
�����������
�����
Pp
-
g
R���M���
����
��/
`�
��
��
��
qcr
�
j%qcr
_
nqr
`
0�
l
_�
��
�
�
=�
a
9b
�
j�
�
�
�
2a
9
�
_
I��!
_!
D�����+��
/
�����
�����
�
�������
������
��2
���j����2a9
�
�����Q���
5�����
�_
��
5�����
`
��
��.��M�P�
.��M����
+�R���
�
���.+P;
9�"
���
,
p� :�"
���
,
p� @�"
���
,
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�#
�������� �
���
��
������������������
��������
��L����
�!#�����%��%$#+������ )!��%�� ����A�BC����#��%�#(
������
��
����
��
��
������������
���������
���������
������
�������
�
�������
������
�������
������!�-
�������"�
�����#��
�����$�
���
SiO2 300 2,7⋅10–2 50 27 O2�%�����#��&�
Si2H6���'(-��������
— )������
SiH4����
Si2H6����
��$������
�������
�
��*���#�
500 10–2–0,1 150 68 ����� 2:1
350 1,2⋅10–1 250 75 " 2:1—1:1,5
Si3H4 250 2,7⋅10–2 100 23 N2�%�����#��&��
Si2H6 ��'(-��������
2:1
450 5,3⋅10–2 –1,6⋅10–1 150 14 N2�%�����#��&���
SiH4���'(-��������
2:1
����-Si 500 2,7⋅10–2 150 26 +,�%�����#��&��
Si2H6���'(-��������
2:1
+,�%�����#��&��
-./'���'(-��������
2:1
α-Si 500 6,7⋅10–1—20 150 68 +,�%�����#��&��
SiH4���'(-��������
4:1
SixNyOz 350 2,7⋅10–2 75 38 N2, O2�%�����#��&��
SiH4���'(-��������
3:1
��L����
�
�!#�����%����#�!����� ����A�BC����#��%�#(
��������
�� -
����
�
��
��������, ��
�������� 0
��#
�����1���
��� ���2���
�������
��������2,
������
3��#�����-
����
��������-
����
�����$�-
���
����-Si,
���������-
� 0 �
700 2,7⋅10–2 —0,13 Cl2+SF6 –75 (13,56 �41) 200—1200 1—0,75 10—12
(Si/SiO2)
����-Si,
���������-
� 0��
300 5⋅10–2—2⋅10–1 SF6+Ar –100 60—120 ~0,9 ~12
(Si/SiO2)
����
Si 200 6,5⋅10–2 Cl2 –20 20—50 0,7—0,9 18 (����
Si/SiO2)
����
Si,
���������-
� 0
1000 6,5⋅10–2—4⋅10–1 Cl2 –150 185—320 0,95 75—100
(����
Si/SiO2)
SiO2
(��"�0)
60 6,5⋅10–2 CF4 100 10—30 >0,95 1—4
(Si/SiO2)
SiO2
(����� 0)
700 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 SF6+Cl2 –75 (13,56 �41) 75—150 >0,85 3—9
(Si/SiO2)
5�����-
#���
400 5,3⋅10–2 O2 –250 200—900 — —
56
7 O2+HMDS –200 400—600 —
���"����
���1���
��������-
����2
��������
�89
400 5,3⋅10–2 :2 –300 50—200 — —
Si3N4,
SixOyNz
500 2,7⋅10–2—1,3⋅10–1 CF4+CHF3
CF4+SF6
–100 75—150 >0,95
4—12
(Si3N4/Si)
���
��������
62
�������
��������2
������
39
7
����1��
700
2,7⋅10–2
2⋅10–1 SiCl4+BCl3 –150 35—125 >0,85 5—8
(AK-1/SiO2)
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������� �
���
��
������������������
��������
�������
����������
�
����
����
����Q������
���2
���� �
!
�!
�
���
�+��
�
+���+��/���
����M��
��
��������!
3��
������������
������
a91b2i3
����
2
��+�
����
M�
��
��� �� �
�
����
�� .�
a9"i
%��������
M����
N`�
�+g 0
�
a9"b
%��������
M��2
��
��
�+g 0
�
������
/�
�
��
�
���
����
a9"c
%��������
M����
� N�
�+g 0�
i"c
%��������
M��2
��
_`��
�+g 0�
M
�
�L����M����
�
��
����������!
4��
��]���
a9jb�
a9ji
������� �
�
���
M��
�2
��
�
���+
����
4,d
����
��+����
����
���
���.2
+P�
��
�
��
+�R���
/��
M
�
�����M����
���
2
���
/
���.+P
��
����"���
��� ���
��������
�P2
��Q����
[_\
,p
G
VRKN x
x =
% 0
1.+������
���������
�
��������
_��" Nl
���
��.+�Q���
/
5��+�����
/
�P������M��
����P�
��
2
���P�
������
����P�
������
�
���55�����
�+
���2
��+����
��N"�� �
��
��P�
��
�55��
�����
�
���2
�
��
��
���
��M]�
������
����P�
�������
���Q2
����P�
,d
+����
����P+
����P�����+
���+������
+�]���
�
�5��+�������P�
+����.�� ����
�+����2
�����
���������
�
�.�
��
������/��
���������
��2
L��
�P����
�+����
������
�
Q���!
)����
����
���
��.� ��;
+�R���
/
���.+P
��"
_��
,
�
��������
���e �g�
3��
�+����
���
���Q����
��" ��m4�
������
/
���Q����
��"��
�+j+���
���2
���
/
�������
�
L�5����+
����
���
�5��+������2
���
������
≤
�+j+��!
D%�%E)��#�$�#!"��&� ��%$��)!��%���%�%����)%�
!�������,�
3��
���Q�����
+���2
�
�������+��
�.
������
%��������0
�
4,d2����
����
����
�����2�����
���2
����
��.������
�����
��
������
��M]�
�����
�
�2
���
Q�
�������
�5��+�������P�
��+�����P+
���Q2
�����+!
̂
�
�� .���
�
�+�
M
�
�
4,d
̂ (I2����
����
��
��
�����
��
�����Q��
L�.
��
���������
����L��2
���
���
��
���+
���
���/�P�
����������
������/��
�
���
�+
M��
�
P
���
�
�
����/
�����������
�
����2
.����
�
�+��
�
+������
������
��!
3��
�+�
����2
����
����� R���
�
�P����M��
�
���
���.+��
�����
��
������
�������
�
��������
%���
���
�M�����
���+���
�
+������+���0
���
�����
���Q�����+
����2
���
��
�
�
��������
��
���
�!
3��.+����
��+����
����
�+��
����+�R��
��
�����
��.����
�
�+�
M
�
���
���R��
�� �
�
���
.��2
M�
��/��
+��/]��
�+����
���
�
���
������/�P�
����
5��+����
�
��
��L��
����
�������5�M�����
����2
���
��
�����+��
% ��0�
L�.
������+�R���
�
��
���2
�������� �
���
�
�
�+��
+��
�
�
��.����
�P����
�+2
����
�����
���
�����!
^
�
������
�
�+�
M
�
���2
������/�P�
���
������
���������
��
��.�P+
+�2
����.+�+;
�
���.+�����
"
.�
�M�
L��/]��
������2
�
+�������
�����
�
���
���/�P�
M��
��
��
������2
���
��
�
�
��.����
�+��
+��
�
�������
�P�
+�����.+
5��+�������
���
������/���
������!
̂
�
�
��P���
L��/]��
��.+�Q���
�
��
�����/���
���
�����
�
���+���P�
�
���
����
��
L�.�
���+�R���P�
,�2-2
�2E$32
���������!
3������
���.+�����
��+����
�����
��L��
���/2
���]��
������������
+�����.+��
���
�
�
+�
����
����������
��.��
�+����
���P�
���
������/�P�
�����!
4�����
�
+�
�
/�
M
�
�������
�����M����
������
/
���
��
���
+���+�+�
�
���
��.�!
4�����2
���
����Q�
��/�P�
�����
��������
+�Q��
�����2
��
/
���
�
����
��/��+
�+�R�����
��
����
�����
2
�
��
��
��
�����
.����
��������M��� �
���
.�+�2
���
���������
�+���
��
a9q:
`
�
����������
��
���2
��
��
M��
�
�
��`�
�H�
���L��Q��
�
�
a9c
`
!
��
�����M���
������
�
���Q����
�����
+������+��
��
��"_�
�+j+��
��
a92�����Q��
�����
�+�R�2
���
≤g��
,!
,
�
�+
���M��
���.+�����
��+����
��2
���
���+��
+�Q��
���R��
��
/
��
a92�����Q��
��L��
�����
����
���
1-2�������
��
���"���m4!
&��L����+�
M��
�
�
���������
�
.����
�
���.2
+���+�M����+
��������+
�
�����/.������+
�����2
�
���
��������!
4��Q����
�+����
��P
���.+P
��
���m4
����
�
���Q�����
�������+�� �
�
���
_��m4
"
�
���Q�����
�+��5����
���+�� !
����
��������
5��+�������
��+����
������/2
����
���+��
%��
��.P���
�R�
���5����
������0
��2
.��� �
5��+�����
/
�P������M��
����P�
�
���
�2
�P
abu
%=9:9fT<"Ty9VY"9=T:8W9T<0
��
��L��
������
2
��M�����
�����Q��
���
�����/.������
LP�
����
5�2
������
�
Q���!
D����Q����
���+���
���.+����
��������
��2
+����
�����
��
5��+�������
����������
%����2
������0
��.�����!
^
�
���
����
�
����M��
�
����2
���
���+�
a9q:
`
�
�R�
�
�9q:
`
!
3��
��
�+��/�P�
��2
Q�+��
���
�
�
��������
≥��_e �g�
3�
����M���
��2
������
�������+��
/
%≤���e �g�
$+e�+0
���
�����2
�
�
���
�
`�"��
�+j+���
M���
�����+�
+�
���+�
���
�M/
����
�M����
����.+�Q��!
3��������P�
��2
���������
����.P���
�
M
�
����
+�
��
5��+�����2
��
��������P�
������
�
�������
��/���
����������
�����
���������
��.��� �
�P�
�
��
������/
��_"
��`
+�$+e�+
�
������
/�
�����M�
/
�.
��L+��������
���������
J14
������.������
�����
+�
����.����
���+����+
�
]���+
" ��
+�+
�
+�������������
��++�
����!
,P����
���5��+���
/
����P
�
���
�2
���
�
��
�������+
�+�R���
��
a92�����Q��
≤g��
,!
�!#��%(���'�$�%����#�!��������%��$%���F���,
����A�BC����#��%�#(�
4,d
̂ (I2+�
��
���L����
�������
����
��
��2
�������
J14�
������/��
��.��� �
���.�
�����
5��+�����
/
��L+������P�
��.+��P
%���"���
+�+0
L�������
�����������+�
��
���
�����
�
������2
���
��.���
�������
%≤��
�,0!
����
��.��
������
��.��� �
���
���
/
�P�����
�����
�����
�
���2
����
%≥�" �0!
D����Q����
���+���
�������
���.+���+�M������
�������
+�
��
���+�R���
�
+������+���
�
�����/.������+
�P����M��
�
���
���.+�����
���������!
��
�������
+�
��
�����/.������/
���.+�
ar
�
nzU
���
��������
�_e �g�
3��
�+�R����
g��
,
�
+�R���
�
���.+P
���
,
�
M
�
�L����M����
�P�����
������
/
�������
%���"_��
�+j+��0!
D���/
���2
���G1�
/1�"
H
"
I�"
J�"
�
"
������
/
���������
�
������
����
��
��2
�P�
M��
��
���.+P�
���
��
�
�����p
����
��
�
�������������
����
���p
�LO�+
���.+Pp
������
/
+������������p
�LR��
��������
�
����
���!
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�
�������� �
���
��
������������������
��������
.�
����
���L��Q��
�
�
��
�
������
/�
�����M��
L������
���
���!
*Q�
���
��������
≥`e �g�
3�
L���2
���
���
���
��.���
��
��
���.�
������
�
���"��#�
�
�����
�����
/
�������
a9"a9b
�
���
��� �
�"N!
F���
�
���.+�
����
�
��������P�
��L����
�
����
{�
xU�
q:
�
��������
�"Nl�
�
������
/
�������
+�2
�����+��
��.���
��
��
���"N��
�+j+��
���
���2
��M����
�����
�����
�
��
" ��
�
���.�
������
/
��.���
��
��
��!
����+
�L��.�+�
��M��
��
+�
��
���+�R���
������� �
�
���.�
����P+
���.+��P+
��������+
�
����M����
�P����M��
�
����
�+�R��� !
���������
������
��M�����
�����
%a9b
�
�
a9
_
i
`
�
a91b2i3�
'44�
J'440
�
^(I2����
����
����������/
�
���.+�
qr
`
���
ar�
���
������
�
�������
�
�����2
���
�"��
�+j+��!
��
�����M���
������
�
�����2
��
����
������
��M�����
�������
���
����.���
��]�
����������� �
���L����+�
�����M�
/
M��
�
�
���� 2
Q���
�+�R���
��
����M��P
<≥��
�H�
%<
>
_���
wH�0�
�
���� Q����
�+�R���
��
5
�
≥#�
,!
3��
�
�+
���2
���
/
�������
��.���
��
��
≥ ��
�+j+���
�����
+�R2
���
/
���.+P
�����M����
�
��
≥���
,
!
4�����
/
���2
����
+�Q��
��Q�
�����M�
/
��
N�"���
�+j+��
���
���.�
������
�
≥��#��
����
.�+���
/
ar
�
��
��2
������P�
�������P
���
q0r4
���
0h "`
%q
_
r
N
0!
4�����
�P����
/
���L�����
�
���.+������
�������
�����+�����
�.�� ���
�
���.+�
qr
`
nb
�
%N"��l
b
�
0
���
��������
���"���
3�
�
+�R���
�
_��
,
�
���
��
���+
������
/
�������
���
��� �
≥���
�+j+���
�
���
+�R���
�
���
,
������
/
��.2
���
��
�Q�
��
���
�+j+��
% _���
EH��
5
�
≥��
,0
�
�����
�����
/�
L��/]�
�
L�.
�����M���
��5��
2
���
�
5���������/�P�
�����!
����P�
�������
�55��2
����
��Q�
���
���5����������
���
��
�P�
����
�.2
+������+
���.�
������
�
���.+������
�������
���
���
��
5��+��������
����������
����������!
�%!���������#,�$)�&$���#,���(�%!%K�,��%����
�%�#��,�$ -����%���(��%��#��%��. ��
3��
��������
�
��L+������P�
�����.��
�����2
��M�����
���+
��
�����
����"��N
+�+
���L����
��
���/���
�
�����
�
.���M�
5��+�������
���2
5���������P�
���
��
��
�
+�������������
��.���2
��
��������
J14�
���
�
��M��
��
+�Q�������
�.�2
� ���
�����/.��
���
��.��
�+����
�����
L���5��2
5���������
���
�
����
%J'440�
��
�
�������.��2
R��
�����+���P�
��+��.����
[`�
�\!
$�����P+
��+�����
�+
������
���������
�� 2
�
�
��.��
�+����
�����
���Q�����
5���������/�P�
�����
%�������������
�
���������������
�������+�� �
������
���+�� �
J'440
��
������
���������
����2
�����
�
����
���
����Q������
�������
���
S1.�
2
���Z!
$���������
+�Q�������
�.�� ���
��
������
J'44
���R��
�� �
�
��+���+���������P+
����2
�����+
�
����
���
��
������
S���+���+Z!
D�����P�
���5��/
�
����
���
��
��
5��+����
�.+������+
+�R���
�
��.� ��
�
�������
�
�����������
��+���
�����
�������
���.+���+�M������
�������
�
.���
��������M���
[�\!
E��]��
5��+�������
����
���5���������P�
��L+������P�
���
��
��
����M��
�
��L ;
"
5��+��������
J'44
��
+�Q�������
�.�� 2
���
�
L�5���P+
�������+
������
%`��
Å0p
"
����������
+�Q�������
�.�� ���
J'44
��2
+���+���������P+
�������������+
���
�+����
�2
��
���m4
�
��������
_�
�
+!p
"���������
�����������
������
�������������2
��
�������+��
�
������
��������
a9b
�
��R����
≤��_
�
≤��
+�+�
���
��
�
�����p
"
���.�
������
���.+���+�M�����
��������
����2
�������
������
����2a9"a9b
�
�
+��
��
���
��
��p
"
���������
������
���������������
�������+��
��R����
≤��_
+�+
��
5��+�������
���������p
"
5��+��������
L����P�
���������
�P����M��2
�
�P+
���.+���P+
��������+
�������+��
�
+��2
��
���
��
��p
"
���.�
������
���.+���+�M�����
��������
�
���5����������
+�Q�������
�.�� ���
�
����
J'44
�
�LO�+��+
����
���
^(Ip
"
+�
����.���
���
��
��
���+�����P+
������+
|���+����"���+���"IDE|
���
����������+
�2
���
%}9a9
�
0�
�5��+�������P+
��
������
�+��5����
���+�� !
E�Q�������
�.�� ���
+�Q��
5��+�����
/
��.2
��
�+����
���P+
���Q�����+
�����+�����
��+��2
.����
���
31�
��
��������
�
�������
5�
���.��
�!
�����
�����M��
�
��������
5��+�������
J'44
�
���
��������� !
E����/
��.�5�.����
���Q����
�+��5�����
��2
�����������
�
���������������
�������+�� �
J'44�
a9b
�
�
}9a9
�
�
����
���
����Q������
�������
%I3�0
������� �
�
�����������
������
/�
���Q����
������
[�\;
V=ST(Px+Py)/(C0P∑(Dp
2—D2)), (2)
��
�L����M���
��55�.�������
����+�]�����
��+�����
��
�
��������
���Q����
������
5�����2
����/�P�
�����
�������
�
�+���/����
�����������
��.����
�+���
����+
�.
��+�����
��
%5��5���
���2
���
P�
5��5���
��L�����
������
P�
�
��0
�
�����/2
.������+
�������/����
�����
�
����
���
����Q��2
����
�������
��
������
S1.�
���Z
�
�������/�P�
�����
�
�L
���
�� +�!
*���
�������
�
����
���
��2
��
���
���5����������
5��+����
���
��+�R�
���2
.�
�������
���.+������
�������
�
̂ (I2����
����
��
��
�������
���
tuv2N��
%���0
�
��������
�
#�
��
��m
�.+������+
+�R���
�
��.� ��
�
�������
�
.���
��������M��� !
4���
���������������
����2
���+��
�����/.��
�
���
+����
��
5��+�������
���
��
�P�
���������!
��$%�%�%���#$��%�� )!#�����%�� )�%,�!����� �
%)��'�$�%&�)�%��*�%��%&�!��%K�#����
$�
�M����
��
����5�
�
�P�����
��.��]��]��
�����L���
/�
��
5��+�������
��������
J14
��2
������
��
����������P�
���
�+��
�
�P�������2
���
��+
��.��
�
[�\!
4��
�+�
�������������
���2
+�R���
�L����M����
�������
�������M�����
������
/
�
��M��
�
�+����
���
���Q����
��2
��
���
I3�p
��������
������
��
��55�.��
�
�
������
�� �
���
��
�
�����p
������
����
���������
�+���
�
������p
�LR��
��������
�
����
���p
���+�
�P
����
���
�
���+����P�
����
���
��2
�
��
�
�����!
���
=��6�L
M1�
M2�"
�
�
"
�∑ "
N
>
�
N�"
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
��
�������� �
���
��
������������������
��������
���+��
��
��
��N
+�+
�
���
��������
�
��.+���+
����"��N
+�+
������M����
�
������R�+�
5��
�2
��+�;
"
��������
�
��Q��R�
���������
/
���+���2
�P�
����
��
�
���������
J14
�������
�
���+
�52
5��
�+�
��
��P�
������M����
��.��]��R��
���2
��L���
/;
�LO�+�P�
�55��
�
��
��P�
���
��
�
����2
Q����
��������+���
�.�L��Q��� �
�P.�����+
��.2
���
��R����
��.��
�
�L��.�
��.����
�.+�����
���/2
�5�
���������
�p
+�������
���
�
��Q����
�������2
���R���
����R���
�
a92����
��P�
M
�
�������
�
�L��.������
�
� M��
����p
"
�
��
�
���+
�P������
γ2���
���
�
�
��.��
�
%≥`��0
�
�P�������
���
����
��� �����
��������2
�����������
�.�L��Q��� !
��
��
������
�
��
��
�M�����
������
��+�
��.2
��L�
��
��.�
���P�
�P�������
���
�P�
������+��2
���
�P�
��.��
�
��
��P�
�L����M����
γ2���
���
≥N��" ��
��.��� �R��
5��+�����
/
������������
��
����5���
�
�����/.������+
�P����M��
�
����
���.+������
������������
��� �����
�������M��2
���
��.+��P
���"��N
+�+!
�����
��� ������
�P��2
�����
���
����
��.��
�
�L����M����
���.�
������
/
���
������
��
������
��
���
�����
�����
�
�����2
��
���������������
�
�����������������
�L���
��
�
��������
N"�N!
�������
��/���
�������������
������������������
������
��.��
�
�����
��� ���2
���+
�
cw~a
%�����+�
��������.��0
�����M����
���
��.��]��R��
�����L���
/�
���
+���+�+�
�
��"
�
��.�
�
��.��� �
����M�
/
�������M�����
��.+�2
�P
���"���
+�+
[�\!
3��
�
�+
���.�
������
/
���2
�����
���������
�
+�R���
/�
���.+������
��.2
� ���
�
�����������
��� �������
�����������
�
.���
��������M���
�LO�+����
����
���
̂ (I�
�L����M����
�P�����
������
/
��� �����
%���"#��
�+j+��0
���
��
�������
�+�R���
g��÷g ��
,
�
��������
�e �g�
"
���e �g
3�
%+�R���
/
���.+P
���"_N�
,
0!
����+
�L��.�+�
�P����M��
�
���
���.+�����
���2
������
���
��.+�Q���
/
�+��
�
/
��
�M�����
���2
��.��
������������
��
����5��
��
�������.������
��.+����
����"��N
+�+!
���'�����(�1�����!"�#$�)�$������)�!(�6����1
3��
��������
�
��L+������P�
�����.��
��
���/2
�P+
�
�����
�
�������
��������
���.+���P�
���2
������
���
���Q���� �
��
�
��M��
�������
�����2
��
5���������/�P�
�����
�
�M���
5��������
����2
M���
��������
�������
[�"#\!
��
�
���
�����/2
.��
�
���P�
�������
��.��M�P�
5�.�M�����
+�
����!
&�+�
��.��L�
���
��+�/�
����
���
�+��
��
���
��.��� �
���
�
���������
�����
�������
���
���.2
+���P�
���������
%9<
=9W@0
�
�����/.������+
�+��2
��������
+���2�
�Q�2����
��������
�
��.�����
��2
��5���+�
����
��
��P�
�L����M����
�P�����
��2
5��+�
�����
/!
,�2����P��
�+�������P�
�����P
��2
��������P�
������
��
���
������
��
�������
+���
�����
������
/�
�
���/�
����������
+�+��
�
.�2
���]���
��������
������� !
����
��
�������
��2
�����+��
�
�P�����
�����
�����
/�
�����/.��
ar
�
�
qr
`
nb
�
�
��
��
��P�
����M����
��������
5��2
�����
�
��
���� +
r
���
������
�
�
������
����P
��`
�+
�
4$
���
������
�
�������
�
������
����P
�#N�
`N`�
���
�+�
�
��
�������
a_i`
���
a9($2i3
���
�����/.������
�������2� N
%q_rNnb�0
5
��
���
������
5�������
�
��
�����
����P
��`
�+�
qi
���
������
5�������
�
�Q�
��
�����
��`
�+
�
i
�
���
������
"
��
�����
_N�
�+!
,�2�
��P��
�+��2
�����P�
�����P
���
����
� �
�+g
�.�������2
���������
���+���
���������
�
+������+���
%d0
�
�L��Q��
��M��
������
���.+�����
����P
��
���2
��
��!
1.+������
�������
���
+�R���
�
�
+�+��
����2
M���
��������
�������
�
.���
��������M���
�� 2
.���
�
�.+������+
�+���������
�+���
��P
%����0
���+���
��
������
�����
�����
���P�
��
������
���
��
��P�
����
�
���
��
������!
̂
�
�� ./
��.��� �
�������
�����
/
����M����
��������
������� !
$��L����
�P�����
���� ����
/
���
+���2����
2
�����++P�
��
��P�
�55��
����
�
�L��Q��
������2
P
�������
���������
������� !
I�����
P
�
������2
P
�������
5�������
�
����M��
�����
�
��M��
���2
���
M
�
��.��� �
���
��������
/
���
������
��������
��
���+���!
����
���
��������
a9
_
i
`
�
���.+�
ar
�
��
+���2����
�����++�
��L�����
�
�.+�����
��2
���
%�+���
��0�
���
�
��
�
���
Q�
�������
���
���Q����
����
�.+������
��
��L�����
�
%�����2
+���
������
��
�������
i
�
n
�
a9r
_
n0!
,P�����
��5��+�
�����
/
���.+���P�
������2
���
���Q����
�
�������
�L����M����
��.��L�2
���P�
�������
�M�����
+�
��P
�
�����/.������+
��5���������
�
��.�����
��
��5���+�
����
�
��+�2
R/�
��
��P�
�����
������Q����
�
����
���
���
�
���
�������
5���������/�P�
�����
J14!
����P�
+�
��P
�55��
����
������ �
�Q�2����
2
������� !
4����+���P�
�Q�2����
��+�
�P
�#
1$42_
�
�#
1$4
�2���
��.��� �
�����.�����
/
������2
���
/
�
�P�����
M���
��
��/���
/�
�
��.��]����+
�
�M���
/�
"_l!
&�+�
�
�
+�
��
�����/.����
��
�������
���
���.+���+�M�����
���������
���2
����
+���2
�
�������+�� �
��������
���+�� �
��
2
����
�
������
�����
5��5���2
�
L���5��5�������2
��
����
�
�����
���������
�
����������
���+����2
�P�
�������
�
�����/.������+
�������
`
%qr`0�
�������
� N
%q_rN0
�
�������
�_
%qcr_0�
�����.�
ar�
��
��
�������
�N
3)$2 ���2����
2����
2����
2��N�
tuv
N��!
3��������P�
�������+��
��/�P�
�����2
������
����.P���
�
M
�
�.
�����/.����P�
������2
��
+����+��/���
M��
�
�
�
�����
�����
/
�����2
��
��������
���+��
�L����M����
������
�_
���
�����/.������
�LO�+����
^(I2����
���
��
������
tuv
N��!
-�����
�����
����
�����
�
���.+�
�
��
�+����2
���
������� �
����
��5�.�M����+
�������
�����2
���+
���
��+�R�
.����
B���+���
��������
�P��2
Q����
[#\
( ) ( )[ ] ( ),/exp/84/1 c
2/1
eeeee kTeUAmkTenI π=
%_0
���
0
Y
�
4
Y
�
O
"
P
"
Q�
"
�
"
5
f
"
���
���
/�
+����
�
.�� �
����
�����p
���
� ���
J��/�+���p
�+����
���
����
�����p
���R��/
.����
B���+���p
���� Q����
�+�R���
��
.����!
���������
�
����
����������
�
����
������
������
����
�����
�
�
�_
�������� �
���
��
������������������
��������
3�
������
���.+P
�� �
�
����+
�.
�����P�
��2
��+�
���
���
���.+����+
���������
���
����� �2
R��
���� Q����
��� �
���
��
���5��/�
��
�
��
�����
�����
/
������� !
1.+����� �
���������P�
���
��+�R�
.����
B���+����
����.����
M
�
�
��2
���/.������+
�����.�
ar
�
���
���
/
���.+P
���
��2
� �
� �" � �
�+g_�
�
��
������
���.+P
���
��� �
�"#
,
���
+�R���
�
_��
,
�
��"_�
,
�Q�
���
+�R���
�
���
,
!
-��+�
���
���
�
�������
����
��
������
/
�
�����
�����
/
������� �
���
����+�
���2
�
������
�����!
E���
����M���
��
�������
���.2
+P
%�"��
,0
�L����M����
��.���
��5��
��L��.������
"
+��/]�
����
�+g�!
^������
�����
+�Q��
�.+��
/
����M��
��
���2
��Q�����Q�
��/
���� Q���
�+�R���
%�...g ��
,0!
3��
���� Q����
�+�R���
�
��������
g��...g ��
,
���.�
����
���
����
.��M���
���
�
����P�
���
��
��P+
�L����M����
�
���������
���
��
������+
�.
����Q�
��/�P�
�����!
3��
�+��/]����
��
����2
���
��.���
��
����
�����
���
��� �R� �
��
���
�+��/]��
���
����/���
���
��� �R��
������
�
�������
�
ar
�
�
M
�
�� .���
�
�����M����+
������2
�
�����L���
r
��
���+����P�
����
��P!
���
����+
�L��.�+�
�P����M��
�
�P�
���.+���P�
���2
����P
���Q����
�
�������
�
�����/.������+
.��P
��������M���
�LO�+�P�
����
����
^(I
L�������
�
��
�
���
��������
����
��
�
����������P�
��2
���Q�����
���
��.+�Q���
/
�
��L+��������
��2
�������
J14
�����.���
/
�������M�����
��.+��P
����"��N
+�+�
���.�
/
��5��
���
/
5���������/�P�
�����
��
�����
≤����
�+g�
�
�����M�
/
.�� �����
�
�L��/���
/
+�Q5�.���
������P
��.����
a9"a9b
�
�
��
���
��������
�
���
�L��/���
/�
����������
���� Q���
�
���� Q���
�������
.��!
,��/��������
�������
�
+�R���
�
���.+������
�������
��.��� �
�.+��
/
���
���.�
������
/�
��
�
�����
�����
/
������� �
M
�
+�Q�
����]��
��2
���/.���
/�
�
����������
���������
5��+�����2
��
�
���5���������
���
��
�P�
����!
143$B�D$,C&&KF
14�$d&1-1
!
-�.�����
,!
1!�
4������
4!
C!
E������������
���2
��
��Q�+��
��������
��
������
/
�������
���
.��P
���.+P
��
'�.���
�
��+�
�L��L�
��
+�
�������!"
##�!"
�
�!"
4!
`" ��!
�!
~@U8<VYW
z!
~9=WU9�@WYV
Y:YfWUT<
f�f:TWUT<
UY=T<8<fY
UY8fWTU�;
�
�8�:Y
fT<fY>W
ATU
9<WYUXU8WYV
f9Uf@9W
YWf�9<X
��
w9fUTY:YfWUT<9f!
w8<@A8fW@U9<X
8<V
}Y=W9<X!"
#N#!"
i
�!"
�!
��"�N!
_!
&���� ��P�
4!
3!
3��.+���+�M�����
�������P
�
���
�+���
���������
J14
��
,��
�!
)��/����!
��2
�!
4��!
'�.�M���� !
G����
M��
��P�
��� !"
###!"
�
`�_�
�P�!
_!"
4!
� "�N!
`!
&���� ��P�
4!
3!
'�.���2
��������M�����
���2
L�����
�
���.+���+�M�����
���������
��L+��������
���
�+���
���������
J14
��
�����
�M����
����
��2
������!"
����!"
�
��!"
4!
� "��!
�!
&���� ����
4!
3!
3������+�����
���������
����2
����
5��+�����
��L+��������
���
��
��
�������
��
��2
���/���
���+
��
����P
�2�
E�Q�����!
���M!2����
!
���5!
S4����+���P�
��5��+������P�
�
����
����P�
����2
�����Z!"$�����!"
��� !"
4!
��_"��`!
�! &���� ��P�
4!
3!�
-�����
1!
,!
'�.���2��+�M��2
���
���L�����
�
��L+��������
��
�M�����
��
����2
5��
J14
��
,��
�!
&*
SB/������
����
������Z!
)�2
+� �
��������
��R��
�
�
��
���+������!"
����!"
�
_#�!"
4!
�N"N�!
�! r:87
~!
�!
}UY<V=
9<
>:8=78
=T@UfY=
8<V
YWf�9<X
��
aT:9V
aW8WY
}Yf�<T:TX�!"
## !"
�T:!
_`�
i
_!"
�!
̀ �"��!
N! &���� ��P�
4!�
1������
&!�
1������
,!
$��L����2
�
�
�
+�����
�������
�
��L+��������
���������
J14
��
,��
�!
&*
�B/������
����
������Z!
-�+�/�
���P�
���
�+P
�����
������� !
�����
�
����
���!"
����!g
�
̀ ``!"
4!
̀ N"��!
#! &���� ��P�
4!
3!
���������M�����
4C3I
��
����2
��
��
��P�
�
���
��
��
'�.���
�
��+�
�������
���!"
����!"�!
_�
�
�!"
4!
`N" �#!
��
�
���
������
�
��������
�`!�#
����
�!
$������
�������������������AR�
%,H�*�
�!
,������0
���������D�� ��D��� �S�;���������
���QT����;
���U��.�����AR�;�������A
A
�T
*�������
�!
,�������
&11
SH����Z
62789:;
fWYf?=�9WT<:9<Y!fT7
41B$,CG
E1-I$4)FEC
�BG
JB$-$,
*3IC,BF&1G
HCD$ICDIG�&KE1
14�$d&1-CE1
4,F�C
����!%+��#� $(��#� )�#�!���,� ��$%�%�
�%!"������������%�#��;�$%��#�#�$�!%�
�#,�����%$(��#��!,�E���K%$-���K#VF�&
��(����;� �#-%�#VF�&� �� $!%+��(��!��
�#��'�$��(� $!%��,(�
,
���
� R��
���+
�
�������L������R��
������
]�����
���+�� �
�
����
����P�
����L��.���
����
��L�
��R��
��
���+�
�
�P�������/
�P+�
�����
���2
+�
��
L�.�
E$32
���.��
����
[ \!
*��.����
���+�
����M��
�
��L
������
��
�
M��
�
��
��
��
�H�
�
�P�������/
�P�
%���
,0
��������
��
��P�
5��+���2
�
�P����P�
������P
�
���.��
��
��
+���
M
�
��.��2
� �
���/����M����
�� .�
/
���.��
��P
��������
�
�����P+�
���.��
���+�
�
�L����M�
/
��
��M����
5��2
�������������
����
�������
����L��.���
�� !
4�R��
���
���L��+�
�L����M���
����Q���
�
�
�������
����
����
����P�
����L��.���
����
�.2.�
��� �����
�55��
�
�.�R�������� �
�P����P�
���2
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70811 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:30:03Z |
| publishDate | 2002 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Новосядлый, С.П. 2014-11-13T19:54:52Z 2014-11-13T19:54:52Z 2002 Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811 621.382.8 Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы раздела Si—SiO₂ и создает благоприятные условия для осуществления низкотемпературной (<700°C) гомоэпитаксии монокремния и поликремния на Si-подложке любого типа ориентации. In article experimental researches of high-frequency plasma processes of sedimentation and etching of functional layers are resulted at formation of submicronic structures the VLSI with the minimal topological sizes 0,5—0,8 mm with use of a zone of afterglow of reactors of a electron-cyclotron resonance. Such plasma technology provides minimally introduced deficiency of functional layers (<0,05 sm⁻²), do not influence a charging condition of border of unit Si—SiO₂ and creates favorable conditions for realization low temperature (<700°C) homo epitaxial monosilicon and polysilicon on a Si-substrate of any type of orientation. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Интегральные схемы и полупроводниковые приборы Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС Plasma technology of formation of submicronic structures of the big integrated circuits Article published earlier |
| spellingShingle | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС Новосядлый, С.П. Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| title | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_alt | Plasma technology of formation of submicronic structures of the big integrated circuits |
| title_full | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_fullStr | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_full_unstemmed | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_short | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС |
| title_sort | плазменная технология формирования субмикронных структур бис |
| topic | Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| topic_facet | Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811 |
| work_keys_str_mv | AT novosâdlyisp plazmennaâtehnologiâformirovaniâsubmikronnyhstrukturbis AT novosâdlyisp plasmatechnologyofformationofsubmicronicstructuresofthebigintegratedcircuits |