Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние границы...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС
за авторством: Новосядлый, С.П., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Новосядлый, С.П., та інші
Опубліковано: (1999)
СВЧ-плазменная технология сжигания угольной пыли
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Плазменная конверсия этанола
за авторством: Черняк, В.Я., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Черняк, В.Я., та інші
Опубліковано: (2007)
Технология формирования гибридных документов
за авторством: Иванов, А.И., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Иванов, А.И., та інші
Опубліковано: (2014)
Плазменная электроника в электроядерной энергетике
за авторством: Хижняк, Н.А.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Хижняк, Н.А.
Опубліковано: (2000)
Плазменная теория смерча
за авторством: Боев, Г.В.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Боев, Г.В.
Опубліковано: (2008)
Плазменная нанопорошковая металлургия
за авторством: Цветков, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Цветков, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Спин-плазменная волна в одномерном металле
за авторством: Гохфельд, В.М.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Гохфельд, В.М.
Опубліковано: (2003)
Преобразование электромагнитного поля в нестационарном диэлектрическом волноводе
за авторством: Нерух, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Нерух, А.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Плазменные неоднородности в магнитогидродинамической интерпретации
за авторством: Александрова, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Александрова, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Преобразование электромагнитного поля нестационарным плазменным цилиндром резонансного радиуса
за авторством: Сахненко, Н.К., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Сахненко, Н.К., та інші
Опубліковано: (2004)
Плазменная очистка загрязненных вод
Опубліковано: (2012)
Опубліковано: (2012)
Плазменная конверсия углеродсодержащего сырья
за авторством: Мессерле, В.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Мессерле, В.Е., та інші
Опубліковано: (2012)
Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением рабочего торца и прецизион
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)
On an electron beam excitation of linear impedance antenna
за авторством: Priymenko, S.D., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Priymenko, S.D., та інші
Опубліковано: (2004)
Моделирование технологии изготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Глушко, А.А., та інші
Опубліковано: (2007)
Шумы фотоэмульсий А-600 РП, КН-4С и их фильтрация
за авторством: Лисовская, Т.П., та інші
Опубліковано: (1985)
за авторством: Лисовская, Т.П., та інші
Опубліковано: (1985)