Buchumschlag

Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС

Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние гран...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2002
1. Verfasser:	Новосядлый, С.П.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2002
Schlagworte:	Интегральные схемы и полупроводниковые приборы
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2002)

КМОП БИС 16-разрядного микропроцессора, устойчивого к воздействию γ-радиации
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Экспресс-метод контроля качества полупроводниковых диодных кристаллов
von: Павлюк, С.П., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
von: Нинидзе, Г.К., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Оптимизация уровня безотказности в сложных устройствах микроэлектроники
von: Креденцер, Б.П., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
von: Емцев, П.А.
Veröffentlicht: (2004)

Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
von: Рева, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
von: Полтавцев, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
von: Кравченко, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Разработка конструкции и технологии изготовления диодов Ганна для КВЧ-терапии
von: Иванов, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
von: Вербицкий, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)

КМОП ИС задающего генератора с кварцевой стабилизацией частоты
von: Золотаревский, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
von: Иванов, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Силовая микросхема для блоков управления газоразрядными источниками света
von: Гаврилюк, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
von: Головко, А.Г.
Veröffentlicht: (2004)

Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
von: Рюхтин, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
von: Филинюк, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Схемное решение построения каскадного регистра сдвига
von: Куценко, Г.В.
Veröffentlicht: (2004)

Слаботочные диоды Ганна на основе арсенида галлия для КВЧ-аппаратов
von: Яцуненко, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Схемное решение построения матричного регистра
von: Куценко, Г.В.
Veröffentlicht: (2005)

Исследование воспроизводимости электрофизических параметров толстопленочных структур "RuO2-стекло"
von: Kurmashev, Sh. D., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Технология формирования высококачественных кремниевых эпитаксиальных структур
von: Новосядлый, С.П.
Veröffentlicht: (1998)

Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
von: Reva, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
von: Aleksandrov, S. B., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
von: Дружинин, А.A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
von: Druzhynin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
von: Новосядлый, С.П.
Veröffentlicht: (1998)

Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС
von: Новосядлый, С.П., et al.
Veröffentlicht: (1999)

СВЧ-плазменная технология сжигания угольной пыли
von: Ваврив, Д.М., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
von: Новосядлый, С.П.
Veröffentlicht: (1998)

Плазменная конверсия этанола
von: Черняк, В.Я., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Ионно-плазменная модификация титановых сплавов
von: Братушка, С.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Плазменная нанопорошковая металлургия
von: Цветков, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Плазменная теория смерча
von: Боев, Г.В.
Veröffentlicht: (2008)