Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС
Исследованы высокочастотные плазменные процессы осаждения и травления функциональных слоев при формировании структур БИС с топологическими размерами 0,5—0,8 мкм. Технология обеспечивает минимально привносимую дефектность функциональных слоев (<0,05 см⁻²), не влияет на зарядовое состояние гран...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2002 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2002
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70811 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Плазменная технология формирования субмикронных структур БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2002. — № 6. — С. 57-63. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
БИС электронных пластиковых карт с предварительной оплатой
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Конструктивно-технологические ограничения при проектировании высоковольтных КМОП БИС
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Энергонезависимая память на элементах FLOTOX для БИС электронных карт
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
КМОП БИС 16-разрядного микропроцессора, устойчивого к воздействию γ-радиации
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2004)
Экспресс-метод контроля качества полупроводниковых диодных кристаллов
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Павлюк, С.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Использование КНИ-транзистора в качестве генератора колебаний напряжения
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Нинидзе, Г.К., та інші
Опубліковано: (2005)
Оптимизация уровня безотказности в сложных устройствах микроэлектроники
за авторством: Креденцер, Б.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Креденцер, Б.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Малосигнальная модель транзистора в разработке СВЧ малошумящих усилителей
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Емцев, П.А.
Опубліковано: (2004)
Однокристальная микро-ЭВМ с аналого-цифровым преобразователем
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
Однокристальная микро-ЭВМ для систем с высокоразвитыми локальными сетями
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2002)
Проектирование схемы считывания для матриц ИК-фотодиодов среднего диапазона длин волн
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рева, В.П., та інші
Опубліковано: (2004)
Кинетика десорбционной очистки поверхности кремниевых пластин в перекисно-аммиачных растворах
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Полтавцев, Ю.Г., та інші
Опубліковано: (2003)
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сидоренко, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Активное термостатирование полупроводниковых СВЧ-генераторов
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Кравченко, А.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Разработка конструкции и технологии изготовления диодов Ганна для КВЧ-терапии
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2004)
Проектирование высоковольтных КМОП ИС ключей и коммутаторов на основе объемного кремния
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вербицкий, В.Г., та інші
Опубліковано: (2001)
КМОП ИС задающего генератора с кварцевой стабилизацией частоты
за авторством: Золотаревский, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Золотаревский, В.И., та інші
Опубліковано: (2003)
Контактообразующие пленки боридов и нитридов титана в арсенидгаллиевых СВЧ-приборах
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Иванов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2002)
Силовая микросхема для блоков управления газоразрядными источниками света
за авторством: Гаврилюк, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Гаврилюк, Г.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Механизм возникновения шумовых максимумов в элементах с нелинейными вольт-амперными характеристиками
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2004)
Особенности разработки термостабилизированных германиевых фотодиодов
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рюхтин, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Схемотехническое моделирование и синтез активных СВЧ-фильтров на полевых транзисторах Шоттки
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Филинюк, Н.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Схемное решение построения каскадного регистра сдвига
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2004)
Слаботочные диоды Ганна на основе арсенида галлия для КВЧ-аппаратов
за авторством: Яцуненко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Яцуненко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
Схемное решение построения матричного регистра
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2005)
за авторством: Куценко, Г.В.
Опубліковано: (2005)
Исследование воспроизводимости электрофизических параметров толстопленочных структур "RuO2-стекло"
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Kurmashev, Sh. D., та інші
Опубліковано: (2005)
Технология формирования высококачественных кремниевых эпитаксиальных структур
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Устройства считывания информации с крупноформатных матриц ИК-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2011)
Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A3B5
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Aleksandrov, S. B., та інші
Опубліковано: (2011)
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Дружинин, А.A., та інші
Опубліковано: (2007)
Технология изготовления автоэмиссионных кремниевых катодов субмикронных размеров
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Druzhynin, A. A., та інші
Опубліковано: (2007)
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Юстировка пороговых напряжений в технологии БИС
за авторством: Новосядлый, С.П., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Новосядлый, С.П., та інші
Опубліковано: (1999)
СВЧ-плазменная технология сжигания угольной пыли
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Ваврив, Д.М., та інші
Опубліковано: (2002)
Усовершенствованный метод выявления «горячих точек» в изделиях микроэлектроники
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2008)
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Нанометровые электронные приборы. Перспективные версии
за авторством: Drozdov, V. A., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Drozdov, V. A., та інші
Опубліковано: (2003)
Плазменная конверсия этанола
за авторством: Черняк, В.Я., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Черняк, В.Я., та інші
Опубліковано: (2007)
Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
за авторством: Klyukanov, A. A., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Klyukanov, A. A., та інші
Опубліковано: (2003)
Ионно-плазменная модификация титановых сплавов
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)
за авторством: Братушка, С.Н., та інші
Опубліковано: (2011)