Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода
Улучшение основных характеристик варикапа достигается с помощью изменения профиля легирующей примеси на металлургической границе p — n перехода.
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70826 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода / А.Н. Головяшкин, В.А. Соловьев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 28-30. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860057327696084992 |
|---|---|
| author | Головяшкин, А.Н. Соловьев, В.А. |
| author_facet | Головяшкин, А.Н. Соловьев, В.А. |
| citation_txt | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода / А.Н. Головяшкин, В.А. Соловьев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 28-30. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Улучшение основных характеристик варикапа достигается с помощью изменения профиля легирующей примеси на металлургической границе p — n перехода.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:01:58Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 1
28
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ÂÀÐÈÊÀÏ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÑÂÅÐÕÐÅÇÊÎÃÎ
p�n-ÏÅÐÅÕÎÄÀ
Ê. ò. í. À. Í. ÃÎËÎÂßØÊÈÍ, Â. À. ÑÎËÎÂÜÅÂ
Ðîññèÿ, Ïåíçåíñêèé ãîñóäàðñòâåííûé óíèâåðñèòåò
E-mail: micro@diamond.stup.ac.ru
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
25.10 2000 ã.
Îïïîíåíòû ê. ò. í. À. È. ÂÎÐÎÆÁÈÒÎÂ,
ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ
Óëó÷øåíèå îñíîâíûõ õàðàêòåðèñòèê
âàðèêàïà äîñòèãàåòñÿ ñ ïîìîùüþ èç-
ìåíåíèÿ ïðîôèëÿ ëåãèðóþùåé ïðèìåñè
íà ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöå p�n-ïå-
ðåõîäà.
Íåëèíåéíûå åìêîñòè íàõîäÿò øèðîêîå ïðèìåíå-
íèå â ñõåìàõ àâòîìàòè÷åñêè íàñòðàèâàåìûõ êîíòó-
ðîâ â ïðèåìíèêàõ ÷àñòîòíî-ìîäóëèðóåìîãî ñèãíàëà,
â ýëåêòðîñòàòè÷åñêèõ èçìåðèòåëüíûõ ïðåîáðàçîâà-
òåëÿõ è ò. ä. Ñîîòâåòñòâåííî âåëèêà ïîòðåáíîñòü â
íåëèíåéíûõ åìêîñòÿõ ñ âûñîêèìè çíà÷åíèÿìè îñíîâ-
íûõ ïàðàìåòðîâ â ðàáî÷åì äèàïàçîíå íàïðÿæåíèé.
Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ óëó÷øåíèå õà-
ðàêòåðèñòèê ïîëóïðîâîäíèêîâîãî âàðèêàïà íà îñíî-
âå p�n-ïåðåõîäà çà ñ÷åò îïòèìèçàöèè ïðîôèëÿ
ïðèìåñè âáëèçè ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû p�n-
ïåðåõîäà.
Ïðåäëàãàåòñÿ êîíñòðóêöèÿ âàðèêàïà íà îñíî-
âå ñâåðõðåçêîãî p�n-ïåðåõîäà. Ðàñïðåäå-
ëåíèå ïðèìåñè â áàçå âàðèêàïà ñ ñâåðõðåçêèì p�n-
ïåðåõîäîì ïðèâåäåíî íà ðèñ. 1.
Êàê âèäíî èç ðèñóíêà, ðàáî÷àÿ îáëàñòü âàðèêàïà
îòëè÷àåòñÿ îò ðàíåå ïðåäëàãàåìûõ êîíñòðóêöèé òåì,
÷òî èìååò "ñòóïåíüêó" (îáëàñòü 1). Ýòî íåîáõîäèìî
äëÿ ïîâûøåíèÿ íà÷àëüíîé óäåëüíîé åìêîñòè, ò. ê.
î÷åíü ìàëåíüêàÿ íà÷àëüíàÿ óäåëüíàÿ åìêîñòü ñîîò-
âåòñòâóåò è ìàëîìó äèàïàçîíó èçìåíåíèÿ åìêîñòè, è
íåáîëüøîìó êîýôôèöèåíòó íåëèíåéíîñòè. (Ýòî ïðî-
èñõîäèò èç-çà ðàñïîëçàíèÿ ïðèìåñè âãëóáü ïîëóïðî-
âîäíèêà, âñëåäñòâèå ÷åãî è ïðîèñõîäèò óõóäøåíèå
îñíîâíûõ õàðàêòåðèñòèê âàðèêàïà [1, 2].)
Ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà â p�n-ïåðåõîäå äëÿ
çàäàííîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ïðèìåñè (ïðè îòñóòñòâèè
òîêîâ) îïðåäåëèì ñ ïîìîùüþ óðàâíåíèÿ Ïóàññîíà:
),(
0
ad NNnp
q −+−
εε
−=ϕ∆
êîí (1)
çàðÿä ýëåêòðîíà;
äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü êðåìíèÿ;
äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü â âàêóóìå;
ïîëíûå êîíöåíòðàöèè ñîîòâåòñòâåííî äûðîê è
ýëåêòðîíîâ â ïîëóïðîâîäíèêå;
êîíöåíòðàöèÿ äîíîðíîé ïðèìåñè;
êîíöåíòðàöèÿ àêöåïòîðíîé ïðèìåñè.
Îäíàêî äàæå äëÿ îäíîìåðíîé ñèñòåìû ðåøåíèå
òàêîãî óðàâíåíèÿ çàòðóäíåíî. Ïîýòîìó îáû÷íî âëè-
ÿíèåì íîñèòåëåé çàðÿäà íà ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèà-
ëà ïðåíåáðåãàþò, ñ÷èòàÿ, ÷òî â p�n-ïåðåõîäå îíè
îòñóòñòâóþò, â òî âðåìÿ êàê ïðèëåãàþùèå ê p�n-
ïåðåõîäó îáëàñòè ïîëóïðîâîäíèêà îñòàþòñÿ ýëåêò-
ðè÷åñêè íåéòðàëüíûìè. Òàêèå äîïóùåíèÿ ñîîòâåò-
ñòâóþò îáðàòíîìó è ìàëîìó ïðÿìîìó íàïðÿæåíèÿì
íà p�n-ïåðåõîäå ïðè ìàëûõ òîêàõ ÷åðåç íåãî.
Òîãäà äëÿ ïëîñêîãî îäíîìåðíîãî p�n-ïåðåõîäà ðàñ-
ïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà îïðåäåëÿåòñÿ óðàâíåíèåì [3,
ñ. 569; 4, êí. 1, ñ. 252]
),(
0
xN
q
εε
−=ϕ∆
êîí (2)
ãäå N(x)=Nd�Na � ðàçíîñòü êîíöåíòðàöèé äîíîðîâ
è àêöåïòîðîâ.
Íåîáõîäèìûå äëÿ ðåøåíèÿ óðàâíåíèÿ ãðàíè÷íûå
óñëîâèÿ ìîæíî çàïèñàòü ñ ó÷åòîì ñëåäóþùèõ ñîîá-
ðàæåíèé. Íà îäíîé ãðàíèöå p�n-ïåðåõîäà, ãäå x=�δp
(δ � òîëùèíà ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà), ïîòåíöèàë p-
îáëàñòè ïðèìåì çà íóëü, ò. ê. îäíî çíà÷åíèå ïîòåí-
öèàëà ìîæåò áûòü ïðîèçâîëüíûì. Â ñâÿçè ñ òåì, ÷òî
íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ ïðè îòñóòñòâèè
çàðÿæåííûõ ïîâåðõíîñòåé èçìåíÿåòñÿ íåïðåðûâíî,
íà ãðàíèöå p�n-ïåðåõîäà îíà äîëæíà áûòü òàêîé
æå, êàê è âíå åãî. Ïðàêòè÷åñêè â íåéòðàëüíûõ îáëà-
ñòÿõ ïîëóïðîâîäíèêà íàïðÿæåííîñòü ïîëÿ âñåãäà
çíà÷èòåëüíî ìåíüøå, ÷åì â p�n-ïåðåõîäå, è ìîæåò
áûòü ïðèíÿòà ðàâíîé íóëþ. Íà äðóãîé ãðàíèöå
p�n-ïåðåõîäà ïðè x=δn çíà÷åíèå ïîòåíöèàëà ïðåä-
ñòàâëÿåò ñîáîé àëãåáðàè÷åñêóþ ñóììó êîíòàêòíîé
ðàçíîñòè ïîòåíöèàëîâ è âíåøíåãî íàïðÿæåíèÿ u.
Òàê êàê ïðÿìîå íàïðÿæåíèå âû÷èòàåòñÿ èç êîíòàêò-
ãäå q �
ε �
ε0 �
p, n �
Nd �
Na �
Ðèñ. 1. Ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñè â áàçå âàðèêàïà
N(x)
Nd
�δp
δn0 δn
δn
�Na
x
1 2
δ0
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 1
29
ÄÀÒ×ÈÊÈ
íîé ðàçíîñòè ïîòåíöèàëîâ, à îáðàòíîå � ñêëàäûâàåò-
ñÿ, òî ïîòåíöèàë ϕ íà ãðàíèöå p�n-ïåðåõîäà ïðè
õ=δn (ñì. ðèñ. 1) îïðåäåëÿåòñÿ êàê ϕ(δn)=ϕêîí�u.
Òàêèì îáðàçîì, ãðàíè÷íûå óñëîâèÿ äëÿ óðàâíåíèÿ
(2) ïðèìóò ñëåäóþùèé âèä:
.
0,
;0,0
=ϕ−ϕ=ϕδ=
=ϕ=ϕδ−=
dx
d
ux
dx
d
x
n
p
êîí
ïðè
ïðè
(3)
Ñ ó÷åòîì ïðèíÿòûõ äîïóùåíèé è ãðàíè÷íûõ óñ-
ëîâèé îïðåäåëèì ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà â îáëà-
ñòè ðàñïðåäåëåíèÿ ïðèìåñè äëÿ ñâåðõðåçêîãî p�n-
ïåðåõîäà. Äëÿ ýòîãî ðàçîáüåì p�n-ïåðåõîä íà äâå
îáëàñòè.
Ïåðâàÿ îáëàñòü ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ðåçêèé p�n-
ïåðåõîä. Îïðåäåëèì äëÿ íåãî ðàñïðåäåëåíèå ïîòåí-
öèàëà è òîëùèíó ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà δ0, ãäå
δ0=δn0+δp; δn0 � òîëùèíà "ñòóïåíüêè" íà ðèñ. 1 â
n-îáëàñòè âàðèêàïà.
Ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà îïðåäåëèì ïî ñëåäó-
þùåé ôîðìóëå:
.)(
0
0
∫
δ
δ−εε
=ϕ
n
p
dxxxN
q
êîí (4)
Áóäåì ñ÷èòàòü, ÷òî p�n-ïåðåõîä ðåçêèé, ñèììåò-
ðè÷íûé. Òîãäà
.
0
2
0
εε
δ
=ϕ
qN
êîí (5)
Âòîðàÿ îáëàñòü ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ó÷àñòîê
p�n-ïåðåõîäà, ãäå êîíöåíòðàöèÿ N(x) ñ óâåëè÷åíè-
åì òîëùèíû ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà δn ýêñïîíåíöè-
àëüíî óìåíüøàåòñÿ. Äëÿ îïðåäåëåíèÿ ðàñïðåäåëå-
íèÿ ïîòåíöèàëà âî âòîðîé îáëàñòè ïðèìåì ñëåäóþ-
ùèå äîïóùåíèÿ:
à) Ïðåäñòàâèì p�n-ïåðåõîä â âèäå äâóõ ïîñëå-
äîâàòåëüíî ñîåäèíåííûõ ðåçèñòîðîâ è áóäåì ñ÷è-
òàòü, ÷òî âñå íàïðÿæåíèå, ïðèëîæåííîå ê p�n-ïåðå-
õîäó, áóäåò ïàäàòü íà âòîðîì ðåçèñòîðå, ò. å. âî
âòîðîé îáëàñòè, òîãäà ϕêîí<<u.
á) Èñõîäÿ èç ïåðâîãî óñëîâèÿ áóäåì ñ÷èòàòü,
÷òî òîëùèíà ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà ïåðâîé îáëàñòè
δ0 âî ìíîãî ðàç ìåíüøå òîëùèíû ñëîÿ îáúåìíîãî
çàðÿäà âòîðîé îáëàñòè δn.
Îïðåäåëèì ðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà âî âòîðîé
îáëàñòè ïî ñëåäóþùåé ôîðìóëå:
,
00 5,05,00
∫∫
δ
−
δ
δεε
=−
x
axdxNedx
q
u
n
(6)
ãäå à � ãðàäèåíòíûé êîýôôèöèåíò, îïðåäåëÿþùèé
êðóòèçíó ðàñïðåäåëåíèÿ ïðèìåñè â áàçå âàðèêàïà.
Âçÿâ äâîéíîé èíòåãðàë îò (6), ïîëó÷èì:
−δδ⋅−−
δ−
εε
=− n
nn a
a
a
a
qN
u
1
)5,0exp()exp(
0
.
2
)5,0exp()5,0exp(
0
00
δ
δ⋅−
+
δ⋅−
−
a
a
a
(7)
Ïðîàíàëèçèðóåì ïîëó÷åííîå âûðàæåíèå. Ïîëíàÿ
òîëùèíà p�n-ïåðåõîäà δ ñîñòîèò èç äâóõ îáëàñòåé:
� δ0 � òîëùèíà ïåðâîé îáëàñòè; îíà íåîáõîäè-
ìà, ÷òîáû çàäàòü íà÷àëüíóþ åìêîñòü, ò. å. ïðè íàïðÿ-
æåíèè, ïðèëîæåííîì ê p�n-ïåðåõîäó, ðàâíîì íóëþ
(u=0), ïîëíàÿ òîëùèíà δ=δ0;
�ïðè u>0 ïîëíàÿ òîëùèíà p�n-ïåðåõîäà δ=δn+δ0,
ãäå δn � òîëùèíà âòîðîé îáëàñòè.
Áóäåì ñ÷èòàòü, ÷òî âñå ïðèëîæåííîå ê p�n-ïåðå-
õîäó íàïðÿæåíèå ïàäàåò íà âòîðîé îáëàñòè (δ0<< δn),
òîãäà ïåðâîå ñëàãàåìîå â êâàäðàòíîé ñêîáêå ïðè
óâåëè÷åíèè ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà �a ñòðåìèòñÿ
ê íóëþ. Âòîðîå ñëàãàåìîå ñòðåìèòñÿ ê δn, ò. ê. ìíî-
æèòåëü ñòðåìèòñÿ ê åäèíèöå. Òðåòüå è ÷åòâåðòîå
ñëàãàåìûå òàêæå áóäóò ñòðåìèòüñÿ ê íóëþ, è âûðà-
æåíèå (7) ïðåîáðàçóåòñÿ ê ñëåäóþùåìó âèäó:
.
0
na
qN
u δ
εε
= (8)
Èç ïîëó÷åííûõ âûøå âûðàæåíèé (5) è (8) âû-
âåäåì îñíîâíûå ñòàòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè âàðè-
êàïà.
1) Çàâèñèìîñòü óäåëüíîé åìêîñòè Cóä îò ïðèëî-
æåííîãî îáðàòíîãî íàïðÿæåíèÿ äëÿ ïëîñêîãî êîí-
äåíñàòîðà îïðåäåëÿåòñÿ ïî ôîðìóëå
.0
δ
εε=óäC (9)
Òîãäà
.
0
00
0
au
qN
qN
u
qN
a
qN
C
+
εε
ϕ
=
εε+ϕεε
εε=
êîíêîí
óä
(10)
2) ×òîáû îïðåäåëèòü ñêîðîñòü èçìåíåíèÿ óäåëü-
íîé åìêîñòè îò ïðèëîæåííîãî îáðàòíîãî íàïðÿæå-
íèÿ, âîçüìåì ïåðâóþ ïðîèçâîäíóþ îò âûðàæåíèÿ (10)
è ïîëó÷èì ñëåäóþùóþ õàðàêòåðèñòèêó âàðèêàïà:
.2
00
2
0
2
εε+ϕεε
εε=
u
qN
a
qN
qN
a
du
dC
êîí
óä (11)
3) Íåëèíåéíîñòü åìêîñòè âàðèêàïà õàðàêòåðèçó-
åòñÿ êðàòíîñòüþ åå èçìåíåíèÿ â ðàáî÷åì èíòåðâàëå
íàïðÿæåíèé � êîýôôèöèåíòîì ïåðåêðûòèÿ Êï:
Êï=Ñìàêñ/Ñìèí, (12)
ãäå Ñìàêñ, Ñìèí � ñîîòâåòñòâåííî ìàêñèìàëüíîå è
ìèíèìàëüíîå çíà÷åíèÿ åìêîñòè.
Äëÿ ðÿäà ñõåì ñ âàðèêàïàìè âàæíà îòíîñèòåëü-
íàÿ êðóòèçíà âîëüò-ôàðàäíîé õàðàêòåðèñòèêè � êî-
ýôôèöèåíò íåëèíåéíîñòè Êí, êîòîðûé îïðåäåëÿåòñÿ
ïî ôîðìóëå
.
1
0
u
qN
a
du
dC
C
K
+ϕ
εε
−==
êîí
óä
óä
í
(13)
Ðàññìîòðèì âëèÿíèå ãðàäèåíòà ïðèìåñè íà êî-
ýôôèöèåíò íåëèíåéíîñòè è îïðåäåëèì çíà÷å-
íèå ãðàäèåíòà, ïðè êîòîðîì êîýôôèöèåíò íåëèíåé-
íîñòè áóäåò áîëüøå åäèíèöû. Äëÿ ýòîãî ïîñòðîèì
çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà íåëèíåéíîñòè îò ãðàäè-
åíòà ïðèìåñè, êîòîðàÿ îïðåäåëÿåòñÿ ïî ôîðìóëå
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 1
30
ÄÀÒ×ÈÊÈ
.)(
0
u
qN
a
aK
+ϕ
εε
=
êîí
(14)
Êàê âèäíî èç ðèñ. 2, êîýôôèöèåíò íåëèíåéíîñòè
âàðèêàïà, èçãîòîâëåííîãî íà îñíîâå ñâåðõðåçêîãî
p�n-ïåðåõîäà, ïðåâûøàåò êîýôôèöèåíò íåëèíåéíî-
ñòè âàðèêàïà ñ ðåçêèì p�n-ïåðåõîäîì ïðè çíà÷å-
íèè ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà à=107 ì�1. Òàêèì
îáðàçîì, èçãîòàâëèâàòü âàðèêàï ñ ñâåðõðåçêèì p�n-
ïåðåõîäîì ñî çíà÷åíèåì ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåí-
òà ìåíåå 107 ì�1 íåöåëåñîîáðàçíî.
Ñ ó÷åòîì âûøåèçëîæåííîãî ðàññ÷èòàåì è ïîñò-
ðîèì îñíîâíûå ñòàòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè âàðèêà-
ïà ñî ñëåäóþùèìè òåõíîëîãè÷åñêèìè ïàðàìåòðàìè:
òåìïåðàòóðà äèôôóçèè T=1050°Ñ, êîýôôèöèåíò äèô-
ôóçèè D=2,5·1017 ì2/ñ, âðåìÿ äèôôóçèè t=30 ñ, êîí-
öåíòðàöèÿ ïðèìåñè N=1024 ì�3, ãðàäèåíòíûé êîýô-
ôèöèåíò à=107...108 ì�1. (Èçãîòîâèòü âàðèêàï íà îñ-
íîâå ñâåðõðåçêîãî p�n-ïåðåõîäà ñî çíà÷åíèåì ãðà-
äèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà áîëåå 108 ì�1 ïðè èñïîëü-
çîâàíèè ñòàíäàðòíûõ ðåæèìîâ ïðîâåäåíèÿ äèôôó-
çèè íåâîçìîæíî, ïîñêîëüêó ïðè âðåìåíè äèôôóçèè
ìåíåå ÷åì 30 ñ ïðîöåññ ïðîâåäåíèÿ äèôôóçèè ñòà-
íîâèòñÿ íåêîíòðîëèðóåìûì.)
Ðàñ÷åò îñíîâíûõ õàðàêòåðèñòèê ïðîèçâåäåí ïî
ôîðìóëàì (11)�(14). Çàâèñèìîñòè óäåëüíîé åìêîñ-
òè, ñêîðîñòè èçìåíåíèÿ óäåëüíîé åìêîñòè è êîýôôè-
öèåíòà íåëèíåéíîñòè îò îáðàòíîãî íàïðÿæåíèÿ ïðè
ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà äëÿ
N=1024 ì�3 ïðèâåäåíû íà ðèñ. 3.
***
Òàêèì îáðàçîì, èçãîòîâëåíèå âàðèêàïà íà îñíîâå
ñâåðõðåçêîãî p�n-ïåðåõîäà öåëåñîîáðàçíî òîëüêî
ïðè çíà÷åíèÿõ ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà à, ëåæà-
ùåãî â äèàïàçîíå 107...108 ì�1. Ïðè äàííûõ çíà÷å-
íèÿõ ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà òîëùèíà áàçû âà-
ðèêàïà δ ëåæèò â ïðåäåëàõ 0,5...2,5 ìêì. Ïîýòîìó
ìîæíî ñäåëàòü âûâîä, ÷òî äàííûé âàðèêàï èìååò
ëó÷øèå õàðàêòåðèñòèêè ïî ñðàâíåíèþ ñ èìåþùèìè-
ñÿ êîíñòðóêöèÿìè äî çíà÷åíèÿ îáðàòíîãî íàïðÿæå-
íèÿ, ðàâíîãî �5 B. Íàèáîëåå âûñîêèå çíà÷åíèÿ êî-
ýôôèöèåíòà íåëèíåéíîñòè ìîæíî ïîëó÷èòü, åñëè
èñïîëüçîâàòü ðàáî÷èé äèàïàçîí íàïðÿæåíèÿ ∆u=1 B,
÷òî õîðîøî âèäíî íà ðèñ. 3, â. Òàêèå âûñîêèå çíà-
÷åíèÿ êîýôôèöèåíòà íåëèíåéíîñòè â êîíñòðóêöèÿõ
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ âàðèêàïîâ, èñïîëüçóåìûõ â íà-
ñòîÿùåå âðåìÿ, ìîæíî ïîëó÷èòü òîëüêî ïðè ïðÿìûõ
ñìåùåíèÿõ p�n-ïåðåõîäà, ÷òî íåæåëàòåëüíî, ò. ê.
ïðè ýòîì ðåçêî ïàäàåò äîáðîòíîñòü âàðèêàïà.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Áåðìàí Ë. Ñ. Ââåäåíèå â ôèçèêó âàðèêàïîâ.�
Ì. : Íàóêà, 1968.
2. Ãîòðà Ç. Þ. Òåõíîëîãèÿ ìèêðîýëåêòðîííûõ óñò-
ðîéñòâ: Ñïðàâî÷íèê.� Ì. : Ðàäèî è ñâÿçü, 1991.
3. Áðîíøòåéí È. À., Ñåìåíäÿåâ Ê. À. Ñïðàâî÷íèê ïî
ìàòåìàòèêå.� Ì. : Íàóêà, 1967.
4. Çè Ñ. Ôèçèêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ: Â 2
êí.� Ì. : Ìèð, 1984.
105 106 107 108 a, ì�1
Kí(à),
�1
10
1
0
1
2
Ðèñ. 2. Çàâèñèìîñòü êîýôôèöèåíòà íåëèíåéíîñòè îò
ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà:
1 � âàðèêàï íà îñíîâå ñâåðõðåçêîãî p�n-ïåðåõîäà, íàïðÿæå-
íèå ñìåùåíèÿ ðàâíî íóëþ; 2 � âàðèêàï íà îñíîâå ðåçêîãî
p�n-ïåðåõîäà (Êí ìàêñ=0,5ϕêîí)
Ðèñ. 3. Çàâèñèìîñòü óäåëüíîé åìêîñòè (à), ñêîðîñòè èç-
ìåíåíèÿ óäåëüíîé åìêîñòè (á) è êîýôôèöèåíòà íåëè-
íåéíîñòè (â) îò îáðàòíîãî íàïðÿæåíèÿ äëÿ ðàçëè÷íûõ
çíà÷åíèé ãðàäèåíòíîãî êîýôôèöèåíòà:
1 � 108 ì�1; 2 � 5·107 ì�1; 3 � 107 ì�1
Kí, Â
�1
10
1
0,1
�u, B �3 �2 �1 0
à)
á)
â)
Ñóä,
ìêÔ
ìì2
1500
1000
500
0u, B �3 �2 �1
dÑóä,
ìêÔ
ìì2
10000
1000
100
0u, B �3 �2 �1
3 2
1
3
2
1
3
2
1
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70826 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:01:58Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Головяшкин, А.Н. Соловьев, В.А. 2014-11-15T08:38:51Z 2014-11-15T08:38:51Z 2001 Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода / А.Н. Головяшкин, В.А. Соловьев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 28-30. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70826 Улучшение основных характеристик варикапа достигается с помощью изменения профиля легирующей примеси на металлургической границе p — n перехода. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Компоненты для электронной аппаратуры Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода Article published earlier |
| spellingShingle | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода Головяшкин, А.Н. Соловьев, В.А. Компоненты для электронной аппаратуры |
| title | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода |
| title_full | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода |
| title_fullStr | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода |
| title_full_unstemmed | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода |
| title_short | Варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода |
| title_sort | варикап на основе сверхрезкого p—n-перехода |
| topic | Компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet | Компоненты для электронной аппаратуры |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70826 |
| work_keys_str_mv | AT golovâškinan varikapnaosnovesverhrezkogopnperehoda AT solovʹevva varikapnaosnovesverhrezkogopnperehoda |