Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
Описаны современные датчики ускорений (акселерометры), использующие новейшие принципы конструирования микромеханических и микроэлектронных приборов. Рассмотрены промышленные образцы датчиков, выпускаемых фирмой Analog Devices, приведены их параметры и даны рекомендации по их применению. Наряду с опи...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Author: | Голуб, В.С. |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70827 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники / В.С. Голуб // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 31-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSimilar Items
Датчики ускорений и силы инерции и тяготения
by: Голуб, В.С.
Published: (2007)
by: Голуб, В.С.
Published: (2007)
Датчики приближения и положения на основе индуктивных балансных сенсоров
by: Негоденко, О.Н., et al.
Published: (2001)
by: Негоденко, О.Н., et al.
Published: (2001)
Датчики ускорений и силы инерции и тяготения
by: Golub, V. S.
Published: (2007)
by: Golub, V. S.
Published: (2007)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
by: Druzhinin, A. A., et al.
Published: (2012)
by: Druzhinin, A. A., et al.
Published: (2012)
Планарные взаимоиндуктивные сенсоры для датчиков положения и приближения
by: Негоденко, О.Н., et al.
Published: (2002)
by: Негоденко, О.Н., et al.
Published: (2002)
Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
by: Клюканов, А.А., et al.
Published: (2003)
by: Клюканов, А.А., et al.
Published: (2003)
Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС
by: Лепих, Я.И., et al.
Published: (2002)
by: Лепих, Я.И., et al.
Published: (2002)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
by: Karapetyan, G. Ya., et al.
Published: (2008)
by: Karapetyan, G. Ya., et al.
Published: (2008)
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
by: Агаев, Ф.Г.
Published: (2001)
by: Агаев, Ф.Г.
Published: (2001)
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
by: Адарчин, С.А., et al.
Published: (2002)
by: Адарчин, С.А., et al.
Published: (2002)
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
by: Касимов, Ф.Д., et al.
Published: (2001)
by: Касимов, Ф.Д., et al.
Published: (2001)
Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
by: Васильев, В.А.
Published: (2002)
by: Васильев, В.А.
Published: (2002)
Оптоэлектронный люминесцентный газоанализатор
by: Плавинский, Е.Б., et al.
Published: (2001)
by: Плавинский, Е.Б., et al.
Published: (2001)
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
by: Гусейнов, Я.Ю.
Published: (2001)
by: Гусейнов, Я.Ю.
Published: (2001)
Преобразование низкочастотных флуктуаций электропроводности в датчиках с нелинейной ВАХ
by: Головко, А.Г.
Published: (2003)
by: Головко, А.Г.
Published: (2003)
Многофункциональный датчик давления и температуры на основе твердых растворов SiGe
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2005)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2005)
Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2005)
by: Дружинин, А.А., et al.
Published: (2005)
Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
by: Шарапов, В.М., et al.
Published: (2005)
by: Шарапов, В.М., et al.
Published: (2005)
Нейросетевая аппроксимация термометрической характеристики диодного сенсора
by: Шварц, Ю.М., et al.
Published: (2005)
by: Шварц, Ю.М., et al.
Published: (2005)
Дистанционный оптико-электронный датчик с растровой решеткой
by: Иванченко, И.А., et al.
Published: (2005)
by: Иванченко, И.А., et al.
Published: (2005)
Исследование возможности создания газоанализатора с транзисторным чувствительным элементом
by: Муршудли, М.Н., et al.
Published: (2005)
by: Муршудли, М.Н., et al.
Published: (2005)
Двухволновой сенсор дистанционной селекции естественных поверхностей
by: Иванченко, И.А., et al.
Published: (2005)
by: Иванченко, И.А., et al.
Published: (2005)
Диодный сенсор температуры: анализ приборной погрешности измерения
by: Иващенко, А.Н., et al.
Published: (2005)
by: Иващенко, А.Н., et al.
Published: (2005)
Silicon whisker pressure sensors for noise reduction in silencers: Датчики тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для зниження шумових параметрів автоглушників
by: Druzhinin, Anatoliy, et al.
Published: (2021)
by: Druzhinin, Anatoliy, et al.
Published: (2021)
Генерирующие структуры в виде ГИС с элементами микромеханики
by: Юрченко, В.И., et al.
Published: (2004)
by: Юрченко, В.И., et al.
Published: (2004)
Генерирующие структуры в виде ГИС с элементами микромеханики
by: Yurchenko, V. I., et al.
Published: (2004)
by: Yurchenko, V. I., et al.
Published: (2004)
РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
by: SKOSAR, V., et al.
Published: (2023)
by: SKOSAR, V., et al.
Published: (2023)
О нагреве и ускорении дисперсных частиц импульсной плазмой
by: Жадкевич, М.Л., et al.
Published: (2006)
by: Жадкевич, М.Л., et al.
Published: (2006)
К динамике твердого тела. Моменты центробежных ускорений
by: Пироженко, А.В., et al.
Published: (2013)
by: Пироженко, А.В., et al.
Published: (2013)
Определение ускорений и сил инерции при вращении валков вибрационного классификатора
by: Надутый, В.П., et al.
Published: (2012)
by: Надутый, В.П., et al.
Published: (2012)
Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
by: Перевертайло, В.Л.
Published: (2007)
by: Перевертайло, В.Л.
Published: (2007)
Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
by: Перевертайло, В.Л.
Published: (2006)
by: Перевертайло, В.Л.
Published: (2006)
Система сбора и обработки полетной информации
by: Skubilin, M. D., et al.
Published: (2005)
by: Skubilin, M. D., et al.
Published: (2005)
Применение беспроводных систем мониторинга и связи в энергетике
by: Grechikhin, V. A., et al.
Published: (2012)
by: Grechikhin, V. A., et al.
Published: (2012)
Оптимизация уровня безотказности в сложных устройствах микроэлектроники
by: Креденцер, Б.П., et al.
Published: (2002)
by: Креденцер, Б.П., et al.
Published: (2002)
Программа развития конкурентоспособных направлений микроэлектроники в Украине
by: Падалко, В.Г., et al.
Published: (1999)
by: Падалко, В.Г., et al.
Published: (1999)
Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
by: Perevertailo, V. L.
Published: (2007)
by: Perevertailo, V. L.
Published: (2007)
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
by: Новосядлый, С.П.
Published: (1998)
by: Новосядлый, С.П.
Published: (1998)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)
by: Белянин, А.Ф., et al.
Published: (2006)
Волоконно-оптические датчики концентрации метана
by: Сидоренко, В.Д., et al.
Published: (2001)
by: Сидоренко, В.Д., et al.
Published: (2001)
Similar Items
-
Датчики ускорений и силы инерции и тяготения
by: Голуб, В.С.
Published: (2007) -
Датчики приближения и положения на основе индуктивных балансных сенсоров
by: Негоденко, О.Н., et al.
Published: (2001) -
Датчики ускорений и силы инерции и тяготения
by: Golub, V. S.
Published: (2007) -
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
by: Druzhinin, A. A., et al.
Published: (2012) -
Планарные взаимоиндуктивные сенсоры для датчиков положения и приближения
by: Негоденко, О.Н., et al.
Published: (2002)