Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
Описаны современные датчики ускорений (акселерометры), использующие новейшие принципы конструирования микромеханических и микроэлектронных приборов. Рассмотрены промышленные образцы датчиков, выпускаемых фирмой Analog Devices, приведены их параметры и даны рекомендации по их применению. Наряду с опи...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70827 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники / В.С. Голуб // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 31-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Датчики ускорений и силы инерции и тяготения
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2007)
Датчики приближения и положения на основе индуктивных балансных сенсоров
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
Датчики ускорений и силы инерции и тяготения
за авторством: Golub, V. S.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Golub, V. S.
Опубліковано: (2007)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Акустические датчики для дистанционного контроля давления
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Karapetyan, G. Ya., та інші
Опубліковано: (2008)
Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
за авторством: Адарчин, С.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Адарчин, С.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)
Оптоэлектронный люминесцентный газоанализатор
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
Преобразование низкочастотных флуктуаций электропроводности в датчиках с нелинейной ВАХ
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Silicon whisker pressure sensors for noise reduction in silencers: Датчики тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для зниження шумових параметрів автоглушників
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Druzhinin, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2021)
Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
за авторством: Шарапов, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Шарапов, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Дистанционный оптико-электронный датчик с растровой решеткой
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Нейросетевая аппроксимация термометрической характеристики диодного сенсора
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Генерирующие структуры в виде ГИС с элементами микромеханики
за авторством: Юрченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Юрченко, В.И., та інші
Опубліковано: (2004)
Двухволновой сенсор дистанционной селекции естественных поверхностей
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Исследование возможности создания газоанализатора с транзисторным чувствительным элементом
за авторством: Муршудли, М.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Муршудли, М.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)
О нагреве и ускорении дисперсных частиц импульсной плазмой
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2006)
К динамике твердого тела. Моменты центробежных ускорений
за авторством: Пироженко, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Пироженко, А.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Определение ускорений и сил инерции при вращении валков вибрационного классификатора
за авторством: Надутый, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Надутый, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)
Применение беспроводных систем мониторинга и связи в энергетике
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
за авторством: Перевертайло, В.Л.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Перевертайло, В.Л.
Опубліковано: (2007)
Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
за авторством: Перевертайло, В.Л.
Опубліковано: (2006)
за авторством: Перевертайло, В.Л.
Опубліковано: (2006)
Проблемы и задачи развития технологий микроэлектроники в Украине
за авторством: Perevertailo, V. L.
Опубліковано: (2007)
за авторством: Perevertailo, V. L.
Опубліковано: (2007)
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Новосядлый, С.П.
Опубліковано: (1998)
Программа развития конкурентоспособных направлений микроэлектроники в Украине
за авторством: Падалко, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)
за авторством: Падалко, В.Г., та інші
Опубліковано: (1999)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Белянин, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2006)
Волоконно-оптические датчики концентрации метана
за авторством: Сидоренко, В.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Сидоренко, В.Д., та інші
Опубліковано: (2001)
Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
за авторством: Иванова, Е.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Иванова, Е.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Задачи и роль физико-химической биологии и биотехнологии в ускорении научно-технического прогресса
Опубліковано: (1986)
Опубліковано: (1986)
Получение высокочистых галлия, цинка, кадмия и теллура для микроэлектроники
за авторством: Ковтун, Г.П., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Ковтун, Г.П., та інші
Опубліковано: (2001)
Современное сборочное оборудование для микроэлектроники из Беларуси
Опубліковано: (1998)
Опубліковано: (1998)
Радиоволновые датчики дымовых газов ТЭС
за авторством: Ivanova, P. E., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Ivanova, P. E., та інші
Опубліковано: (2009)
Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2006)