Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
Описаны современные датчики ускорений (акселерометры), использующие новейшие принципы конструирования микромеханических и микроэлектронных приборов. Рассмотрены промышленные образцы датчиков, выпускаемых фирмой Analog Devices, приведены их параметры и даны рекомендации по их применению. Наряду с опи...
Saved in:
| Date: | 2001 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Series: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70827 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники / В.С. Голуб // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 31-34. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |