Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызыва...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862726641500815360 |
|---|---|
| author | Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| author_facet | Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| citation_txt | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:59:10Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70828 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:59:10Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. 2014-11-15T08:41:39Z 2014-11-15T08:41:39Z 2001 Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 621.315.592 Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. Датчики |
| title | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_fullStr | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full_unstemmed | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_short | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_sort | исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках холла различной конфигурации |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| work_keys_str_mv | AT kasimovfd issledovaniemehaničeskihnaprâženiivépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnoikonfiguracii AT ismailovasa issledovaniemehaničeskihnaprâženiivépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnoikonfiguracii |