Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызыва...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70828 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. 2014-11-15T08:41:39Z 2014-11-15T08:41:39Z 2001 Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 621.315.592 Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| spellingShingle |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. Датчики |
| title_short |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_fullStr |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full_unstemmed |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_sort |
исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках холла различной конфигурации |
| author |
Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| author_facet |
Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| topic |
Датчики |
| topic_facet |
Датчики |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| citation_txt |
Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT kasimovfd issledovaniemehaničeskihnaprâženiivépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnoikonfiguracii AT ismailovasa issledovaniemehaničeskihnaprâženiivépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnoikonfiguracii |
| first_indexed |
2025-12-07T18:59:10Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:59:10Z |
| _version_ |
1850877096926117888 |