Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызыва...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860264557392429056 |
|---|---|
| author | Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| author_facet | Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. |
| citation_txt | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:59:10Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 1
35
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈÅ ÌÅÕÀÍÈ×ÅÑÊÈÕ ÍÀÏÐßÆÅÍÈÉ
 ÝÏÈÒÀÊÑÈÀËÜÍÛÕ ÄÀÒ×ÈÊÀÕ ÕÎËËÀ
ÐÀÇËÈ×ÍÎÉ ÊÎÍÔÈÃÓÐÀÖÈÈ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
08.08 2000 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. Ð. Ì. ÐÀÃÈÌÎÂ
Ä. ô.-ì. í. Ô. Ä. ÊÀÑÈÌÎÂ, Ñ. À. ÈÑÌÀÉËÎÂÀ
Àçåðáàéäæàí, ã. Áàêó, Àçåðáàéäæàíñêîå íàöèîíàëüíîå
àýðîêîñìè÷åñêîå àãåíòñòâî
E-mail: jamaljav@yahoo.com
Ýêñïåðèìåíòàëüíî îïðåäåëåíû ìèíè-
ìàëüíûå òîïîëîãè÷åñêèå ðàçìåðû, íèæå
êîòîðûõ óðîâåíü ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿ-
æåíèé ñòàíîâèòñÿ íåäîïóñòèìî âûñîê.
Íà ïàðàìåòðû äàò÷èêîâ Õîëëà çíà÷èòåëüíîå âëè-
ÿíèå îêàçûâàþò óïðóãèå ìåõàíè÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ,
âîçíèêàþùèå â ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóðàõ âñëåä-
ñòâèå ðàçëè÷èÿ òåìïåðàòóðíûõ êîýôôèöèåíòîâ
îáúåìíîãî ðàñøèðåíèÿ âõîäÿùèõ â íèõ êîìïîíåí-
òîâ [1, 2]. Ýòî îñîáåííî àêòóàëüíî äëÿ ãåòåðîñòðóê-
òóð [3] è òðåõìåðíûõ ÈÑ [4, 5].
Íà ðàñïðåäåëåíèå ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé â
ìóëüòèñëîéíîé ïîëóïðîâîäíèêîâîé ñòðóêòóðå ìîãóò
îêàçûâàòü âëèÿíèå ñòðóêòóðíûå äåôåêòû, âîçíèêà-
þùèå â ïåðåõîäíîì ñëîå «ïëåíêà�ïîäëîæêà» [6]
èëè æå íà ãðàíèöå ìîíîîáëàñòè ñ äèýëåêòðèêîì ïðè
èçãîòîâëåíèè ýëåìåíòîâ ïî òåõíîëîãèè ñ ïîëíîé äè-
ýëåêòðè÷åñêîé èçîëÿöèåé. Ïîýòîìó ïðåäñòàâëÿåòñÿ
öåëåñîîáðàçíûì ïðîâåñòè èññëåäîâàíèå ìåõàíè÷åñ-
êèõ íàïðÿæåíèé â ñòðóêòóðàõ, â êîòîðûõ èìåþòñÿ â
íàëè÷èè îáà óêàçàííûõ âûøå ôàêòîðà. Òàêîâûìè
ÿâëÿþòñÿ ñòðóêòóðû ñ áîêîâîé äèýëåêòðè÷åñêîé èçî-
ëÿöèåé, â êîòîðûõ èìåþòñÿ ãðàíèöû ðàçäåëà êàê
ìåæäó ýïèòàêñèàëüíîé ïëåíêîé è ïîäëîæêîé, òàê è
ìåæäó ýïèòàêñèàëüíîé ïëåíêîé è äèýëåêòðèêîì.
Èçó÷åíèå òàêèõ ñòðóêòóð â ïåðâîì ïðèáëèæåíèè
ìîæåò äàòü ïðåäñòàâëåíèå î ðàñïðåäåëåíèè ìåõàíè-
÷åñêèõ íàïðÿæåíèé â çàâèñèìîñòè îò ãåîìåòðè÷åñ-
êèõ ðàçìåðîâ è ôîðìû îáðàçöà â îáîèõ òèïàõ äâóõ-
ñëîéíûõ ñòðóêòóð.
Èññëåäîâàíèå ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé σi
ïðîâîäèëîñü ìåòîäîì ëîêàëüíîãî èíäåíòè-
ðîâàíèÿ [7]. Èçâåñòíî, ÷òî ïðè èñïîëüçîâàíèè ëî-
êàëüíîãî èíäåíòèðîâàíèÿ ýêñïåðèìåíòàëüíî îïðåäå-
ëÿåìûé êîýôôèöèåíò òðåùèíîñòîéêîñòè äîëæåí çà-
âèñåòü îò âåëè÷èíû ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé. Ýô-
ôåêòèâíîå íàïðÿæåíèå â âåðøèíå ïîâåðõíîñòíîé
òðåùèíû, ðàñïðîñòðàíÿþùåéñÿ îò èíäåíòîðà â ñëîå
ñ îñòàòî÷íûìè íàïðÿæåíèÿìè, ìîæåò áûòü ïðåäñòàâ-
ëåíî â âèäå
σýô=σï�σi, (1)
ðàñòÿãèâàþùåå íàïðÿæåíèå, íåïîñðåäñòâåííî
ñîçäàâàåìîå íàãðóæåííûì òî÷å÷íûì èíäåíòî-
ðîì â ïîâåðõíîñòíîì ñëîå îáðàçöà;
îñòàòî÷íîå íàïðÿæåíèå, âîçíèêàþùåå â ñëîå ìà-
òåðèàëà â ïðîöåññå åãî èçãîòîâëåíèÿ.
Ïðåäïîëîæèâ, ÷òî íàãðóæåíèå òî÷å÷íûì èíäåí-
òîðîì ÿâëÿåòñÿ ñîñðåäîòî÷åííîé ñèëîé, íàïðÿæåíèå
â íåêîòîðîé òî÷êå âáëèçè ïîâåðõíîñòè îáðàçöà ìîæ-
íî çàïèñàòü â âèäå
σ ν
πï
í
,= −1 2
2
P
C (2)
êîýôôèöèåíò Ïóàññîíà;
íàãðóçêà íà èíäåíòîð;
äëèíà òðåùèíû ó èíäåíòîðà â íàïðÿæåííîì ñëîå
ìàòåðèàëà.
Èç (2) ñëåäóåò, ÷òî ÷åì ìåíüøåå ðàññòîÿíèå ïðî-
áåãàåò òðåùèíà îò òî÷êè ïðèëîæåíèÿ ñèëû, òåì áîëü-
øèå íàïðÿæåíèÿ ðàñòÿæåíèÿ äåéñòâóþò ñî ñòîðîíû
èíäåíòîðà â îáëàñòè êðèñòàëëà, ãäå îñòàíîâèëàñü òðå-
ùèíà. Îòñþäà, ó÷èòûâàÿ, ÷òî âåëè÷èíà ýôôåêòèâíî-
ãî íàïðÿæåíèÿ σýô, äåéñòâóþùåãî â îáëàñòè ìàòåðè-
àëà âáëèçè âåðøèíû òðåùèíû ïðè åå îñòàíîâêå â
íàðóøåííîì ñëîå, äîëæíà áûòü ðàâíà íàïðÿæåíèþ σ,
äåéñòâóþùåìó â ñòðóêòóðíî íåèñêàæåííîì ìàòåðè-
àëå â ìåñòå îñòàíîâêè òðåùèíû, ìîæíî çàïèñàòü âû-
ðàæåíèå, îïðåäåëÿþùåå âåëè÷èíó îñòàòî÷íûõ íàïðÿ-
æåíèé â âåðøèíå òðåùèíû:
σ ν
πi
P
C
P
C
= − −
1 2
2 2
í
, (3)
ãäå Ñ � äëèíà òðåùèíû ó èíäåíòîðà â íåèñêàæåí-
íîì ìàòåðèàëå.
Èç (3) ñëåäóåò, ÷òî ÷åì âûøå óðîâåíü îñòàòî÷-
íûõ íàïðÿæåíèé, äåéñòâóþùèõ â íåèñêàæåííîì ñëîå
ìàòåðèàëà, òåì â áîëüøåé ñòåïåíè äëèíà ðàäèàëüíûõ
òðåùèí
_
Cí, ðàñïðîñòðàíÿþùèõñÿ â ýòîì ñëîå ïîä
äåéñòâèåì îäíîé è òîé æå íàãðóçêè, áóäóò îòëè÷àòü-
ñÿ îò äëèíû òðåùèíû Ñ â ñîâåðøåííîì ìàòåðèàëå.
Îáðàçöû äëÿ èññëåäîâàíèÿ âëèÿíèÿ ãåîìåòðè÷åñ-
êèõ ôàêòîðîâ íà ðàñïðåäåëåíèå îñòàòî÷íûõ íàïðÿæå-
íèé â äâóõñëîéíîé ñòðóêòóðå áûëè ñôîðìèðîâàíû íà
òåñòîâîì êðèñòàëëå (ðèñ. 1) ïî òåõíîëîãèè ñ áîêîâîé
äèýëåêòðè÷åñêîé èçîëÿöèåé ïëåíêàìè ïîëèêðèñòàëëè-
÷åñêîãî êðåìíèÿ (ÏÊ), âûðàùåííûìè â åäèíîì ýïèòàê-
ñèàëüíîì ïðîöåññå ñ ïëåíêàìè ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî
êðåìíèÿ (ÌÊ), ñîãëàñíî [8]. Èññëåäîâàíèå òðåùèíî-
ñòîéêîñòè ïðîâîäèëîñü ñ ïîìîùüþ ïðèáîðà, ïðåäñòàâ-
ëÿþùåãî ñîáîé ìèêðîñêîï, ñíàáæåííûé ñïåöèàëüíûì
ïðåäìåòíûì ñòîëèêîì è ìåõàíèçìîì íàãðóæåíèÿ, â êî-
òîðîì çàêðåïëÿþòñÿ àëìàçíûå íàêîíå÷íèêè.
ãäå ν �
Ð �
Ñí �
ãäå σï �
σi �
5*
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 1
36
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Äëÿ èçìåðåíèÿ âåëè÷èíû îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé â
îáëàñòÿõ ÌÊ íà ïîâåðõíîñòü ïîñëåäíèõ íàíîñèëèñü îò-
ïå÷àòêè àëìàçíîé ïèðàìèäîé ïðè ñòàòè÷åñêèõ íàãðóç-
êàõ íà èíäåíòîð 50, 80 è 120 ãñ. Äëÿ îöåíêè ðàñïðåäåëå-
íèÿ óðîâíÿ îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé â ìîíîîáëàñòÿõ, îê-
ðóæåííûõ ïëåíêàìè ÏÊ, â ïðåäåëàõ îäíîãî ìîíîêðèñ-
òàëëè÷åñêîãî ýëåìåíòà îòïå÷àòêè íàíîñèëèñü â öåíòðå
åãî è âáëèçè ãðàíèöû.
Ïðè âû÷èñëåíèè σ ïî ôîðìóëå (3) â êà÷åñòâå íåèñ-
êàæåííîãî ìàòåðèàëà (ýòàëîíà) èñïîëüçîâàëñÿ ìîíîêðåì-
íèé ñî ñíÿòûì õèìè÷åñêîé ïîëèðîâêîé íàðóøåííûì
ñëîåì, èìåþùèé òó æå êðèñòàëëîãðàôè÷åñêóþ îðèåíòà-
öèþ, ÷òî è èññëåäóåìûé ìàòåðèàë.
Ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû ïðåäñòàâëåíû íà ðèñ. 1.
Àíàëèçèðóÿ äàííûå ðèñ. 1, ìîæíî ñäåëàòü âûâîä,
÷òî âåëè÷èíà îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé, âîçíèêàþùèõ
â ìîíîîáëàñòÿõ, ñðàâíèòåëüíî íåâåëèêà � â ñðåäíåì
äî 11 êãñ/ìì2. Îòíîñèòåëüíî âëèÿíèÿ ôîðìû è ðàç-
ìåðîâ íà âåëè÷èíó σ ìîæíî, ïî-âèäèìîìó, ñêàçàòü,
÷òî çíà÷åíèÿ îñòàòî÷íûõ íàïðÿæåíèé çàâèñÿò íå
ñòîëüêî îò ôîðìû ýëåìåíòà, ñêîëüêî îò åãî ðàçìå-
ðîâ. ×åì ìåíüøå ýëåìåíò, òåì áîëüøå óðîâåíü âîç-
íèêøèõ â íåì íàïðÿæåíèé. Òàê, äëÿ ýëåìåíòîâ ¹ 1 è
¹ 5, àíàëîãè÷íûõ ïî ôîðìå, íî îòëè÷àþùèõñÿ ïî
ðàçìåðó ñðåäíåé ÷àñòè, íàïðÿæåíèÿ áîëüøå â ýëåìåí-
òå ¹ 1 (9,91 êãñ/ìì2), èìåþùåì ìèíèìàëüíûé ðàç-
ìåð 30 ìêì, ÷åì â ýëåìåíòå ¹ 5 (7,34 êãñ/ìì2)
øèðèíîé 50 ìêì. Êàê âèäíî èç ðèñóíêà, ìèíèìàëüíîå
çíà÷åíèå ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé èìååò îáðàçåö
¹ 4 (3,1 êãñ/ìì2) ñ ðàçìåðàìè 330×220 ìêì. Ýòà
âåëè÷èíà ìåíüøå êðèòè÷åñêîãî çíà÷åíèÿ 4 êãñ/ìì2,
äîñòàòî÷íîãî, ñîãëàñíî [2], äëÿ âîçíèêíîâåíèÿ äèñ-
ëîêàöèé â ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïëåíêàõ êðåìíèÿ,
êîòîðûå ìîãóò ïåðåðàñïðåäåëÿòüñÿ ïðè ïîâûøåíèè
òåìïåðàòóðû è òåì ñàìûì ïðèâîäèòü ê äðåéôó îñòà-
òî÷íûõ íàïðÿæåíèé.
Êàê îòìå÷àëîñü â [9], â äàò÷èêàõ Õîëëà (ÄÕ)
ìàëûõ ðàçìåðîâ ïðè øèðèíå ðàáî÷åãî òåëà õîëëîâ-
ñêîãî ýëåìåíòà b=20lD (lD � äëèíà Äåáàÿ) èçìå-
ðÿåìîå íàïðÿæåíèå âñåãî íà 10% ìåíüøå ðàñ÷åòíîé
ýäñ Õîëëà, è ïîïðàâî÷íûì êîýôôèöèåíòîì ìîæíî
ïðåíåáðå÷ü. Äëÿ ïëåíîê êðåìíèÿ ñ êîíöåíòðàöèåé
1015 ñì�3 ýòî óñëîâèå âûïîëíÿåòñÿ óæå ïðè øèðèíå
ÄÕ ïîðÿäêà 10 ìêì. Îäíàêî íåñìîòðÿ íà ñòðåìëå-
íèå ê ïîâûøåíèþ ïëîòíîñòè óïàêîâêè, ïðîåêòèðî-
âàíèå ÄÕ ñ òàêîé ìàëîé øèðèíîé íå ïðåäñòàâëÿåòñÿ
âîçìîæíûì, ïîñêîëüêó ãîðàçäî áîëåå âàæíûì ïàðà-
ìåòðîì äëÿ èíòåãðàëüíûõ ÄÕ, èñïîëüçóåìûõ ñîâìå-
ñòíî ñ ÈÑ óñèëåíèÿ ñèãíàëîâ, ÿâëÿåòñÿ âåëè÷èíà
îñòàòî÷íîãî íàïðÿæåíèÿ è åå ñòàáèëüíîñòü, íà êîòî-
ðûå â ïåðâóþ î÷åðåäü îêàçûâàþò âëèÿíèå ìåõàíè-
÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ. Àâòîðû [9] ïðè ïðîâåäåíèè ñâî-
èõ ðàñ÷åòîâ íå ïðèíèìàëè âî âíèìàíèå ýòîò ôàê-
òîð. Ó÷åò æå âëèÿíèÿ ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé è
íåîáõîäèìîñòü ñâåäåíèÿ èõ ê ìèíèìóìó, êàê ïîêà-
çûâàåò ýêñïåðèìåíò, òðåáóåò ïðîåêòèðîâàíèÿ ÄÕ ñ
ãîðàçäî áîëüøèìè ãåîìåòðè÷åñêèìè ðàçìåðàìè. Êðè-
òåðèåì â âûáîðå øèðèíû ýëåìåíòà ïðè ýòîì ìîæåò
ñëóæèòü âåëè÷èíà ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé ïîðÿä-
êà 4 êãñ/ìì2, êîòîðóþ ìîæíî ïðèíÿòü çà ïðåäåëüíî
äîïóñòèìîå çíà÷åíèå ïðè ïðîåêòèðîâàíèè èíòåãðàëü-
íûõ ÄÕ.
Èñõîäÿ èç âûøåèçëîæåííîãî ïðè ðàçðàáîòêå
òîïîëîãèè ÄÕ íàìè áûëè âûáðàíû ñëåäó-
þùèå ãåîìåòðè÷åñêèå ðàçìåðû õîëëîâñêîãî ýëåìåí-
òà: øèðèíà b � 200 ìêì, äëèíà a � 300 ìêì, òîêî-
âûå ýëåêòðîäû â ôîðìå ïðÿìîóãîëüíèêà ðàçìåðàìè
260×30 ìêì, à õîëëîâñêèå êîíòàêòû � â ôîðìå êâàä-
ðàòîâ ñî ñòîðîíîé 20 ìêì, ðàñïîëîæåííûõ âíóòðè
âûñòóïîâ äëèíîé 60 ìêì (ðèñ. 2).
Íà îñíîâå âûáðàííîé ôèçè÷åñêîé ñòðóêòóðû è
òîïîëîãèè áûëè ðàññ÷èòàíû ýëåêòðè÷åñêèå ïàðà-
ìåòðû ÄÕ ïðè ïðèìåíåíèè ýïèòàêñèàëüíûõ ïëåíîê
13 ÊÝÔ-5, âûðàùåííûõ íà ïîäëîæêàõ 400 ÝÊÄÁ-10.
Âõîäíîå è âûõîäíîå ñîïðîòèâëåíèÿ ÄÕ, âû÷èñëåí-
íûå ïî ôîðìóëå R=ρa/bd (ρ � óäåëüíîå ñîïðî-
òèâëåíèå; d � òîëùèíà ýïèòàêñèàëüíîé ïëåíêè), îêà-
çàëèñü ðàâíûìè 4,4 è 2,5 êÎì, ñîîòâåòñòâåííî.
Ïîñòîÿííàÿ Õîëëà äëÿ âûáðàííîãî óäåëüíîãî ñî-
ïðîòèâëåíèÿ ýïèòàêñèàëüíîé ïëåíêè ñîñòàâëÿåò
6,2·10�3 ì3·Ê�1, à ÷óâñòâèòåëüíîñòü ðàâíà 4,9·10�2
ìÂ/ìÀ·Ãñ. Ýòî îçíà÷àåò, ÷òî ïðè òîêå 1 ìÀ è ìàã-
íèòíîé èíäóêöèè 100 Ãñ íà õîëëîâñêèõ êîíòàêòàõ
áóäåò âîçíèêàòü íàïðÿæåíèå ïîðÿäêà 5 ìÂ.
Ðèñ. 1. Òîïîëîãèÿ òåñòîâîãî êðèñòàëëà, ñîäåðæàùåãî ýëå-
ìåíòû Õîëëà ðàçëè÷íîé ãåîìåòðèè è ðàçìåðîâ, ñ áîêîâîé
äèýëåêòðè÷åñêîé èçîëÿöèåé ïëåíêàìè ïîëèêðèñòàëëè-
÷åñêîãî êðåìíèÿ
11,6 êãñ/ìì2
11,3 êãñ/ìì2
11,0 êãñ/ìì2
9,91 êãñ/ìì2
7,34 êãñ/ìì2
Si ìîíî
Si ïîëè 3,1 êãñ/ìì2
¹2 ¹3 ¹4
¹1 ¹5
Ðèñ. 2. Òîïîëîãèÿ èíòåãðàëüíîãî äàò÷èêà Õîëëà
20
60
300
26
0
20
0
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 1
37
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ãðóïïû ïëàòèíû îïèñûâàåòñÿ çàêîíîì Øòåðíà�
Ôîëüìåðà:
I0/I=1+Êqt[Î2]
(1)
Ó áîëüøèíñòâà ìåòàëëîîðãàíè÷åñêèõ êîìï-
ëåêñîâ ïîëîñû ïîãëîùåíèÿ è èçëó÷åíèÿ ëþìè-
íåñöåíöèè ëåæàò â âèäèìîé îáëàñòè îïòè÷åñêîãî
ñïåêòðà, íàïðèìåð, âîçáóæäåíèå ðóòåíèåâîãî êîì-
ïëåêñà ïðîèñõîäèò â ñèíåé (470 íì), à ëþìèíåñ-
öåíöèÿ � â îðàíæåâîé (620 íì) îáëàñòÿõ.
Ðàçâèòèå îïòîýëåêòðîíèêè è òåõíîëîãèé îðãà-
íè÷åñêîé õèìèè ïîçâîëÿåò ïðèìåíèòü â ãàçîàíà-
ëèçàòîðå òâåðäîòåëüíûå èñòî÷íèêè è ïðèåìíèêè
èçëó÷åíèÿ, à ÷óâñòâèòåëüíûé ýëåìåíò âûïîëíèòü
â âèäå ïîëèìåðíîé ìàòðèöû ñ âíåäðåííûì â íåå
ëþìèíåñöåíòíûì âåùåñòâîì.
Îñíîâîé ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà ìîãóò ñëó-
æèòü êîìïëåêñû ïðîèçâîäíûõ ôåíàíòðîëèíà ñ ðóòå-
Ïîëó÷åííîå âûõîäíîå íàïðÿæåíèå âïîëíå äîñ-
òàòî÷íî äëÿ ñòûêîâêè ÄÕ ñ èíòåãðàëüíûìè îïåðà-
öèîííûìè óñèëèòåëÿìè è ñîçäàíèÿ ïðåîáðàçîâàòåëÿ
ìàãíèòíîãî ïîëÿ ïîëíîñòüþ â èíòåãðàëüíîì èñïîë-
íåíèè.
***
Òàêèì îáðàçîì, èññëåäîâàíèå ðàñïðåäåëåíèÿ ìå-
õàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé â ýëåìåíòàõ ýïèòàêñèàëü-
íûõ ñòðóêòóð â çàâèñèìîñòè îò èõ ðàçìåðîâ è êîí-
ôèãóðàöèè ïîêàçàëî, ÷òî ñóùåñòâóþò ìèíèìàëüíûå
ðàçìåðû ýïèòàêñèàëüíûõ äàò÷èêîâ Õîëëà (330×220
ìêì), ïðè óìåíüøåíèè êîòîðûõ âîçíèêàþò äèñëîêà-
öèè, âûçûâàþùèå âðåìåííûå è òåìïåðàòóðíûå äðåé-
ôû èõ ïàðàìåòðîâ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ñîêîëîâ Â. È., Ôåäîðîâè÷ Í. À. Ðåëàêñàöèÿ ìå-
õàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé â îêèñíûõ ïëåíêàõ íà êðåì-
íèè // Ôèçèêà òâåðäîãî òåëà.� 1982.� Ò. 24, ¹ 5.�
Ñ. 1440�1441.
2. Ðîìàíîâ À. Ñ., Ùåãëîâà Â. Â. Ìåõàíè÷åñêèå íà-
ïðÿæåíèÿ â òîíêèõ ïëåíêàõ // Îáçîðû ïî ýëåêòðîííîé
òåõíèêå. Ñåð. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû.� 1981.�
Âûï. 6.
3. Ãóñåéíîâ ß. Þ., Êàñèìîâ Ô. Ä. Äàò÷èêè Õîëëà íà
îñíîâå ãåòåðîñòðóêòóð InSb1�xBix�i�GaAs // "Fizika",
Èí-ò ôèçèêè ÀÍ Àçåðáàéäæàíà.� 1999.� Ò. 5, ¹4.�
Ñ. 41�43.
4. Êîðîëåâ Ì. À., Øóìñêèé È. À. Èíòåëëåêòóàëüíûå
èçìåðèòåëüíûå ìèêðîñèñòåìû íà îñíîâå ñòðóêòóð êðåì-
íèé-íà-èçîëÿòîðå // Èçâ. âóçîâ. Ýëåêòðîíèêà.� 1998.�
¹ 5.� Ñ. 34�38.
5. Kasimov F. D., Guseinov Ya. Yu. Three-dimensional
intellectual sensors of magnetic field on the base of Hall
effect // Proceeding 5th Pan Pacific International Micro-
electronics Conference.� USA, Hawaii, January 25�27,
2000.� P. 299�301.
6. Ìèõàéëîâ È. Ô., Ôåäîðîâ À. Ã. Îïðåäåëåíèå êðè-
òè÷åñêîé òîëùèíû ñëîÿ è ãðàíèö îáëàñòè íàêîïëåíèÿ
äèñëîêàöèé â äèôôóçèîííî-ëåãèðîâàííûõ ìîíîêðèñòàë-
ëàõ // Ìèêðîýëåêòðîíèêà.� 1989.� Ò. 18, âûï. 1.�
Ñ. 56�60.
7. Àëåõèí Â. Ï., Áóëû÷åâ Ñ. È., Øîøîðîâ Ì. Õ.
Îïðåäåëåíèå ïîâåðõíîñòíîé ýíåðãèè ìåòîäîì ìèêðîâäàâ-
ëèâàíèÿ èíäåíòîðà // Ïðîáëåìû ïðî÷íîñòè.� 1979.�
¹ 1.� Ñ. 19�23.
8. Abdullajev A. G., Kasimov F. D. The simultaneous
growth of mono- and polycrystalline silicon films // Thin
Solid Films.� 1984.� Vol. 115, N 3.� P. 237�243.
9. Âàñèëüåâ Â. È., Ëîíãèíîâ Â. Â., Ñîëîâüåâ À. Ê.
Î äàò÷èêàõ Õîëëà ìàëûõ ðàçìåðîâ // Ðàäèîòåõíèêà è
ýëåêòðîíèêà.� 1978.� ¹ 2.� Ñ. 375�384.
Ðàçðàáîòàííûé ïðèáîð ïîçâîëÿåò êîí-
òðîëèðîâàòü ñîäåðæàíèå êèñëîðîäà â
âîçäóøíûõ ñìåñÿõ â äèàïàçîíå 0�25%
ñ ïîãðåøíîñòüþ àíàëèçà íå áîëåå 1%.
 ðàçëè÷íûõ îòðàñëÿõ íàðîäíîãî õîçÿéñòâà âîç-
íèêàþò çàäà÷è êîíòðîëÿ ñîäåðæàíèÿ êèñëîðîäà â
âîçäóõå è â âîçäóøíûõ ñìåñÿõ âíóòðè àïïàðàòîâ è
àãðåãàòîâ äëÿ îáåñïå÷åíèÿ æèçíåäåÿòåëüíîñòè ïåð-
ñîíàëà èëè ïðè ïðîâåäåíèè ðåìîíòíûõ ðàáîò.
Ñóùåñòâóþùèå êèñëîðîäíûå ãàçîàíàëèçàòîðû, îñ-
íîâàííûå íà ìàãíèòíîì ìåòîäå àíàëèçà, ìàëîïðèãîä-
íû èç-çà áîëüøèõ ãàáàðèòîâ è èíåðöèîííîñòè. Êðî-
ìå òîãî, èõ ñëîæíî ïðèìåíÿòü âî âçðûâî- è ïîæàðî-
îïàñíûõ óñëîâèÿõ.
Îäíèì èç ïåðñïåêòèâíûõ ìåòîäîâ àíàëèçà ñî-
äåðæàíèÿ êèñëîðîäà è êèñëîðîäîñîäåðæàùèõ ñîåäè-
íåíèé ÿâëÿåòñÿ ëþìèíåñöåíòíûé ìåòîä, ïîçâîëÿþ-
ùèé ñîçäàòü ìàëîãàáàðèòíûå ïðèáîðû è âîëîêîííî-
îïòè÷åñêèå ñèñòåìû ãàçîâîãî êîíòðîëÿ.
Èçâåñòíî, ÷òî êèíåòèêà òóøåíèÿ êèñëîðîäîì ýëåê-
òðîííî-âîçáóæäåííûõ ñîñòîÿíèé ìîëåêóë îðãàíè÷åñ-
êèõ êðàñèòåëåé è ìåòàëëîîðãàíè÷åñêèõ êîìïëåêñîâ
Ê. ò. í. Å. Á. ÏËÀÂÈÍÑÊÈÉ, ê. ò. í. Í. Á. ÊÎÏÛÒ×ÓÊ
Óêðàèíà, ã. Îäåññà, Ãîñ. ïîëèòåõíè÷åñêèé óí-ò
ÎÏÒÎÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÉ ËÞÌÈÍÅÑÖÅÍÒÍÛÉ
ÃÀÇÎÀÍÀËÈÇÀÒÎÐ
ãäå I0 è I �
Êq �
t �
[Î2] �
ñîîòâåòñòâåííî èíòåíñèâíîñòü ëþìèíåñöåí-
öèè â îòñóòñòâèè è ïðè íàëè÷èè êèñëîðîäà;
êîíñòàíòà ñêîðîñòè òóøåíèÿ;
âðåìÿ æèçíè âîçáóæäåííûõ ìîëåêóë â îò-
ñóòñòâèè êèñëîðîäà;
êîíöåíòðàöèÿ êèñëîðîäà.
Ïî ìàòåðèàëàì äîêëàäà íà ÌÍÏÊ
«Ñîâðåìåííûå èíôîðìàöèîííûå
è ýëåêòðîííûå òåõíîëîãèè»
(«ÑÈÝÒ�2000»).�
23�26 ìàÿ 2000 ã., Îäåññà
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70828 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:59:10Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. 2014-11-15T08:41:39Z 2014-11-15T08:41:39Z 2001 Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 621.315.592 Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызывающие временные и температурные дрейфы их параметров. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации Касимов, Ф.Д. Исмайлова, С.А. Датчики |
| title | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_fullStr | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_full_unstemmed | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_short | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации |
| title_sort | исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках холла различной конфигурации |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| work_keys_str_mv | AT kasimovfd issledovaniemehaničeskihnaprâženiivépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnoikonfiguracii AT ismailovasa issledovaniemehaničeskihnaprâženiivépitaksialʹnyhdatčikahhollarazličnoikonfiguracii |