Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации
Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызыва...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Преобразование низкочастотных флуктуаций электропроводности в датчиках с нелинейной ВАХ
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
Расчет упругих механических напряжений в неоднородных полупроводниковых структурах
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Касимов, Ф.Д., та інші
Опубліковано: (2002)
Один из механизмов деградации микроэлектромеханических структур датчиков давления
за авторством: Адарчин, С.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Адарчин, С.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование возможности создания газоанализатора с транзисторным чувствительным элементом
за авторством: Муршудли, М.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Муршудли, М.Н., та інші
Опубліковано: (2005)
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агаев, Ф.Г.
Опубліковано: (2001)
Датчики ускорений на базе микромеханики и микроэлектроники
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Голуб, В.С.
Опубліковано: (2001)
Функциональные возможности фотоприемников на основе низкоомных полупроводниковых пленок
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Клюканов, А.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Датчики приближения и положения на основе индуктивных балансных сенсоров
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Негоденко, О.Н., та інші
Опубліковано: (2001)
Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Гусейнов, Я.Ю.
Опубліковано: (2001)
Оптоэлектронный люминесцентный газоанализатор
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Плавинский, Е.Б., та інші
Опубліковано: (2001)
Методы уменьшения температурной погрешности датчиков давления
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
Особенности разработки датчиков давления на ПАВ для АЭС
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Лепих, Я.И., та інші
Опубліковано: (2002)
Эффективность сбора зарядов в датчиках γ-излучения с различной конфигурацией электродов
за авторством: Кондрик, А.И.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Кондрик, А.И.
Опубліковано: (2012)
Эффективность сбора зарядов в датчиках γ-излучения с различной конфигурацией электродов
за авторством: Kondrik, A. I.
Опубліковано: (2012)
за авторством: Kondrik, A. I.
Опубліковано: (2012)
Исследование механических напряжений в приводном валу вакуумного выключателя средних напряжений
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Байда, Е.И., та інші
Опубліковано: (2017)
Двухволновой сенсор дистанционной селекции естественных поверхностей
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Датчик для измерения криогенных температур на основе нитевидных кристаллов Si-Ge
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Дружинин, А.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Новое поколение пьезокерамических датчиков физических величин
за авторством: Шарапов, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Шарапов, В.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Дистанционный оптико-электронный датчик с растровой решеткой
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Иванченко, И.А., та інші
Опубліковано: (2005)
Нейросетевая аппроксимация термометрической характеристики диодного сенсора
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Шварц, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2005)
Оценка механических напряжений в металле контактно-резистивным методом
за авторством: Кислицын, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Кислицын, В.М., та інші
Опубліковано: (2017)
Физический принцип преобразования флуктуаций в датчиках
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Головко, А.Г.
Опубліковано: (2003)
Влияние конфигурации очистных камер на формирование напряжений в разномодульном массиве
за авторством: Петлеваный, М.
Опубліковано: (2016)
за авторством: Петлеваный, М.
Опубліковано: (2016)
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
РОЗРОБКА ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРИ НА РІДКИХ КРИСТАЛАХ
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: SKOSAR, V., та інші
Опубліковано: (2023)
Возбуждение кильватерных волн последовательностью сгустков релятивистских электронов в диэлектрических волноводах прямоугольного сечения различной конфигурации
за авторством: Киселев, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Киселев, В.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Использование низкоразмерных гетероструктур соединений А³В⁵ в датчиках давления
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2002)
Учет механических напряжений в комбинированных диэлектриках для конденсаторов СБИС
за авторством: Пилипенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Пилипенко, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Обработка монокристаллов Сd–Zn–Te для применения в датчиках γ-излучения
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)
К гипотезе Холла
за авторством: Тютянов, В.Н.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Тютянов, В.Н.
Опубліковано: (2002)
Автономная система мониторинга механических напряжений магистральных трубопроводов с использованием возможностей GSM-связи
за авторством: Фомичев, С.К., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Фомичев, С.К., та інші
Опубліковано: (2008)
Нелинейные СВЧ свойства эпитаксиальных пленок ВТСП
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1997)
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1997)
Плазмохимическое травление эпитаксиальных структур нитрида галлия
за авторством: Борисенко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Борисенко, А.Г., та інші
Опубліковано: (2005)
Применение беспроводных систем мониторинга и связи в энергетике
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Grechikhin, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Микроволновый импеданс эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1995)
за авторством: Мелков, Г.А., та інші
Опубліковано: (1995)
Исследование различной природы незаконных трансакций в Украине
за авторством: Полезе, А.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Полезе, А.
Опубліковано: (2010)
Оптимизация распределения концентрации носителей по толщине эпитаксиальных слоев
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2012)
Влияние исходных дефектов на распределение механических напряжений и деформаций при окислении кремния
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Kulinich, O. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Влияние механических напряжений и температуры на фотолюминесценцию фуллерита С₆₀ в низкотемпературной фазе
за авторством: Авдеенко, А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Авдеенко, А., та інші
Опубліковано: (2004)