Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2001
• Main Authors: Касимов, Ф.Д., Исмайлова, С.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Subjects: Датчики
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70828
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Исследование механических напряжений в эпитаксиальных датчиках Холла различной конфигурации / Ф.Д. Касимов, С.А. Исмайлова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 35-37. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Локальным идентированием экспериментально исследовано распределение механических напряжений в элементах эпитаксиальных структур в зависимости от их размеров и конфигурации. Определены минимальные размеры эпитаксиальных датчиков Холла (330×220 мкм), при уменьшении которых возникают дислокации, вызыва...