Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2001
• Main Authors: Стерхова, А.В., Ушаков, П.А., Жарков, П.Н.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Subjects: Материалы электроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70830
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Методика определения параметров структурной и кластерной моделей толстых резистивных пленок / А.В. Стерхова, П.А. Ушаков, П.Н. Жарков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 1. — С. 39-43. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Применение современных средств компьютерной обработки изображения позволило создать физическую структурную и кластерную модели толстой серебропалладиевой резистивной пленки с учетом как топологических, так и метрических характеристик. Использование Оже-метода сделало возможным идентифицировать харак...