Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862738023818461184 |
|---|---|
| author | Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. |
| author_facet | Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. |
| citation_txt | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:02:41Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70840 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:02:41Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. 2014-11-15T10:50:58Z 2014-11-15T10:50:58Z 2001 Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 621.382 Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Article published earlier |
| spellingShingle | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. Технология производства |
| title | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_full | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_fullStr | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_full_unstemmed | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_short | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_sort | получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| topic | Технология производства |
| topic_facet | Технология производства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 |
| work_keys_str_mv | AT golovâškinan polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume AT ležnevdv polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume |