Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70840 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. 2014-11-15T10:50:58Z 2014-11-15T10:50:58Z 2001 Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 621.382 Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| spellingShingle |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. Технология производства |
| title_short |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_full |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_fullStr |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_full_unstemmed |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| title_sort |
получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме |
| author |
Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. |
| author_facet |
Головяшкин, А.Н. Лежнев, Д.В. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химического состава сплава в напыляемых пленках и их адгезионных свойств. Дан анализ полученных результатов, а также основные достоинства и недостатки метода электрического взрыва.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 |
| citation_txt |
Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT golovâškinan polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume AT ležnevdv polučenietonkihplenokmednocinkovyhsplavovmetodomélektričeskogovzryvavvakuume |
| first_indexed |
2025-12-07T20:02:41Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:02:41Z |
| _version_ |
1850881093768577024 |