Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме
Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автори: | Головяшкин, А.Н., Лежнев, Д.В. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001)
Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2003)
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003)
Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
за авторством: Панфилов, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Панфилов, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2005)
Нанесение тонких пленок в вакууме на подложки из синтетического опала
за авторством: Panfilov, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Panfilov, Yu. V., та інші
Опубліковано: (2005)
Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Костановский, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Получение быстрозакаленных сплавов при плазменно-дуговом плавлении
за авторством: Никитенко, Ю.А.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Никитенко, Ю.А.
Опубліковано: (2010)
Особенности электрофизических свойств тонких пленок NaBiTe₂
за авторством: Авотин, С.С., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Авотин, С.С., та інші
Опубліковано: (2007)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Venger, E. F., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)
Получение и характеристики тонких пленок металлополимера с координационными комплексами редкоземельных элементов
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Денисова, З.Л., та інші
Опубліковано: (2013)
Исследование элементного состава и диффузии компонент тонких пленок железоиттриевого граната
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Кириченко, В.Г., та інші
Опубліковано: (2014)
Технология изготовления лазерных красителей для диапазона 472-600 нм
за авторством: Кругленко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Кругленко, В.П., та інші
Опубліковано: (2002)
Особенности применения напыленной фольги для алюминиевых электролитических конденсаторов
за авторством: Гордиенко, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Гордиенко, Г.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
за авторством: Агеев, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Агеев, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)
Резистивные элементы, полученные на анодном оксиде алюминия имплантацией ионов Ti и Мо
за авторством: Литвинович, Г.В., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Литвинович, Г.В., та інші
Опубліковано: (2000)
Проблемы ресурсосбережения и экологической безопасности в гальванотехнологии
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Скубилин, М.Д., та інші
Опубліковано: (2004)
Численное моделирование лазерных фотоионизационных технологий очистки вещества на атомном уровне
за авторством: Амбросов, С.В.
Опубліковано: (2003)
за авторством: Амбросов, С.В.
Опубліковано: (2003)
Информационно-измерительный комплекс для оптоемкостной спектроскопии полупроводников
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Васильев, В.А.
Опубліковано: (2002)
Измеритель параметров роторных машин
за авторством: Дмитриев, Э.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Дмитриев, Э.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Тепловые режимы формирования омических контактов к арсениду галлия
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Иващук, А.В.
Опубліковано: (2000)
Итоги и перспективы развития технологии микроволнового нагрева диэлектрических материалов
за авторством: Демьянчук, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Демьянчук, Б.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Технологические средства изготовления микрополосковых линий для ГИС КВЧ-диапазона
за авторством: Кренделев, А.Е.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Кренделев, А.Е.
Опубліковано: (2002)
Темпленовые изоляторы для фидера сечением 70/30 мм
за авторством: Кирюкова, Е.В.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Кирюкова, Е.В.
Опубліковано: (2004)
Осаждение ЭДТА из комплексных растворов тяжелых металлов и его регенерирование
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гилене, О., та інші
Опубліковано: (2004)
Алгоритм управления для нечеткого регулятора
за авторством: Вершинина, Л.П.
Опубліковано: (2001)
за авторством: Вершинина, Л.П.
Опубліковано: (2001)
Моделирование процессов бесконтактного химикомеханического изготовления подложек полупроводников
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Григорьев, Н.Н., та інші
Опубліковано: (2003)
Многокристальные модули на анодированной алюминиевой подложке
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2002)
Исследование процесса монтажа кристаллов мощных транзисторов вибрационной пайкой
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2000)
Исследование MOSFET-транзисторов в различных герметичных корпусах для поверхностного монтажа
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2004)
Обработка данных при автоматизации дефектоскопического контроля материалов электронной техники
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Крылов, В.Н., та інші
Опубліковано: (2000)
Действие радиации на чувствительность магнитотранзисторов из высокоомного кремния
за авторством: Викулина, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Викулина, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2000)
Математическая модель технологического процесса по результатам пассивного эксперимента
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2000)
за авторством: Долгов, Ю.А., та інші
Опубліковано: (2000)
Оценка производственных погрешностей тонкопленочных элементов
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Спирин, В.Г.
Опубліковано: (2004)
Управление импульсным режимом в гальванотехнике
за авторством: Стевич, З., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Стевич, З., та інші
Опубліковано: (2003)
Микроволновый нагрев: особенности модернизации технологии
за авторством: Демьянчук, Б.А.
Опубліковано: (2004)
за авторством: Демьянчук, Б.А.
Опубліковано: (2004)
Установка толстослойного анодирования алюминия
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Сокол, В.А., та інші
Опубліковано: (2003)
Схожі ресурси
-
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
за авторством: Светличный, А.М., та інші
Опубліковано: (2001) -
Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004) -
Получение кремния электродным восстановлением продуктов пиролиза рисовой лузги
за авторством: Марончук, И.Е., та інші
Опубліковано: (2003) -
Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003) -
Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)