Cover Image

Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме

Рассмотрен метод электрического взрыва в вакууме для получения тонких пленок медно-цинковых сплавов. Приводится описание технологического оборудования и оснастки для автоматизации процесса вакуумного напыления. Приведены технологические режимы получения тонких пленок, результаты исследования химичес...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2001
Main Authors: Головяшкин, А.Н., Лежнев, Д.В.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Subjects:
Технология производства
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70840
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Получение тонких пленок медно-цинковых сплавов методом электрического взрыва в вакууме / А.Н. Головяшкин, Д.В. Лежнев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 42-44. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items