Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70842 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859724663013244928 |
|---|---|
| author | Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. |
| author_facet | Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. |
| citation_txt | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле.
|
| first_indexed | 2025-12-01T11:03:20Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
47
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
07.04 2000 ã.�12.02 2001 ã.
Îïïîíåíòû ä. ò. í. Ë. Ô. ÏÎËÈÒÀÍÑÊÈÉ,
Ñ. È. ÊÓËÀÃÈÍÀ
ÌÀËÎÈÍÅÐÖÈÎÍÍÛÉ ËÈÍÅÉÍÛÉ
ÒÅÐÌÎÏÐÅÎÁÐÀÇÎÂÀÒÅËÜ ÑÎÏÐÎÒÈÂËÅÍÈß
Ê. ô.-ì. í. Â. Â. ÁÐÀÉËÎÂÑÊÈÉ, Î. Å. ÈËÀÐÈÎÍÎÂ
Óêðàèíà, ×åðíîâèöêèé ãîñ. óíèâåðñèòåò èì. Þ. Ôåäüêîâè÷à
E-mail: rt-dpt@phys.chdu.cv.ua
Ïðåäëîæåíà òåõíîëîãèÿ ìèíèàòþðè-
çàöèè ìåäíûõ òåðìîïðåîáðàçîâàòåëåé
ñîïðîòèâëåíèÿ ñ íàïûëåíèåì àäãåçèîí-
íîãî è çàùèòíîãî ñëîåâ â åäèíîì òåõ-
íîëîãè÷åñêîì öèêëå.
Ïî äàííûì îòå÷åñòâåííûõ è èíîñòðàííûõ ñïåöè-
àëèñòîâ, òåõíè÷åñêèå èçìåðåíèÿ òåìïåðàòóðû ñîñòàâ-
ëÿþò 40�50% îáùåãî ÷èñëà ðàçëè÷íûõ èçìåðåíèé.
Ïîýòîìó êà÷åñòâî òåìïåðàòóðíîãî êîíòðîëÿ ÷àñòî
îáóñëîâëèâàåò óñïåõ ïðîèçâîäñòâà.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ äëÿ ïðîìûøëåííûõ èçìåðå-
íèé òåìïåðàòóðû èñïîëüçóþò òåðìîïðåîáðàçîâàòåëè
ñîïðîòèâëåíèÿ (ÒÏÑ) êîíòàêòíîãî òèïà ñ àêòèâ-
íûì ýëåìåíòîì èç ìåäíîé èëè ïëàòèíîâîé ïðîâî-
ëîê. Ïðåîáðàçîâàòåëÿì òàêîãî òèïà ïðèñóùè ñëåäó-
þùèå íåäîñòàòêè: áîëüøàÿ ìàññà, à îòñþäà è çíà÷è-
òåëüíàÿ ïðîäîëæèòåëüíîñòü ïðîöåññà èçìåðåíèÿ; èñ-
ïîëüçîâàíèå äåôèöèòíûõ è äîðîãîñòîÿùèõ ìàòåðè-
àëîâ; ïðèìåíåíèå ðó÷íûõ îïåðàöèé ïðè èçãîòîâëå-
íèè; áîëüøèå ðàçìåðû è, ñîîòâåòñòâåííî, îãðàíè÷åí-
íàÿ âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ äëÿ èçìåðåíèÿ òåì-
ïåðàòóðû âíóòðè íåáîëüøèõ îáúåêòîâ [1].
Èñïîëüçîâàíèå â êà÷åñòâå ÒÏÑ ìåíåå èíåðöèîí-
íîãî p�n-ïåðåõîäà îãðàíè÷åíî â ñèëó ñëîæíîñòè
âîñïðîèçâåäåíèÿ âåëè÷èíû ñîïðîòèâëåíèÿ R0 è, êàê
ñëåäñòâèå, íåîáõîäèìîñòü íàñòðîéêè óñòðîéñòâà ïðè
çàìåíå ÒÏÑ [2].
 íàñòîÿùåé ðàáîòå ïðåäëàãàåòñÿ èçãîòîâëåíèå
ìàëîèíåðöèîííîãî ìåäíîãî òåðìîïðåîáðàçîâàòåëÿ
ñîïðîòèâëåíèÿ íà áàçå òîíêîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè.
Ñ öåëüþ óìåíüøåíèÿ èíåðöèîííîñòè ÒÏÑ [3]
áûëî ðåøåíî îòêàçàòüñÿ îò êîðïóñèðîâàíèÿ òåðìî-
÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà. Òåðìî÷óâñòâèòåëüíûé
ñëîé ôîðìèðîâàëñÿ íà æåñòêîé ïîäëîæêå.  êà÷å-
ñòâå ïîäëîæêè èñïîëüçîâàëèñü ñèòàëëîâûå ïëàñòè-
íû ìàðêè ÑÒ-50-1-2-0,6 ÒÕ0735062ÒÓ. Äëÿ î÷èñòêè
îò ìåõàíè÷åñêèõ çàãðÿçíåíèé ïîäëîæêè ïðåäâàðè-
òåëüíî îáðàáàòûâàëèñü â õðîìîâîé ñìåñè ñ ïðîìûâ-
êîé â äåèîíèçèðîâàííîé âîäå ñ ïîñëåäóþùåé ãèäðî-
ìåõàíè÷åñêîé îáðàáîòêîé è ïîâòîðíîé ïðîìûâêîé â
ïðîòî÷íîé äåèîíèçèðîâàííîé âîäå. Çàòåì ïîäëîæêè
ñóøèëèñü, îáðàáàòûâàëèñü â 98%-íîé àçîòíîé êèñëî-
òå è ñíîâà ïðîìûâàëèñü â ïðîòî÷íîé äåèîíèçèðî-
âàííîé âîäå. Êà÷åñòâî î÷èñòêè êîíòðîëèðîâàëîñü
ïî ñìà÷èâàåìîñòè ïîäëîæåê.  ñëó÷àå ïëîõîé ñìà-
÷èâàåìîñòè ïîäëîæêè î÷èùàëèñü ïîâòîðíî.
Íåïîñðåäñòâåííîå íàíåñåíèå òåðìî÷óâñòâèòåëü-
íîãî ñëîÿ ìåäè íà ñèòàëëîâóþ ïîäëîæêó íå îáåñïå-
÷èâàëî íàäëåæàùåãî óðîâíÿ àäãåçèè (÷òî ñîãëàñó-
åòñÿ ñ ðåçóëüòàòàìè àâòîðîâ [4]). Ïðè òåðìîöèêëè-
ðîâàíèè ñôîðìèðîâàííûõ âïîñëåäñòâèè òåðìî÷óâ-
ñòâèòåëüíûõ ñòðóêòóð â îòäåëüíûõ ìåñòàõ íàáëþ-
äàëîñü øåëóøåíèå è äàæå ðàçðûâû ïëåíîê.
Áîëåå âûñîêóþ àäãåçèþ òåðìî÷óâñòâèòåëüíîãî
ñëîÿ ìåäè ê ñèòàëëó íàì óäàëîñü îáåñïå÷èòü ïóòåì
ñîçäàíèÿ ïðîìåæóòî÷íîãî àäãåçèîííîãî ñëîÿ Ti�
W. Íàíåñåíèå ïëåíîê Ti�W è Cu ïðîèçâîäèëîñü
ìåòîäîì ìàãíåòðîííîãî ðàñïûëåíèÿ íà óñòàíîâêå
01ÍÈ�006�007(«Îðàòîðèÿ-5»). Àäãåçèîííûé ñëîé
Ti�W è òåðìî÷óâñòâèòåëüíûé ñëîé íàíîñèëè ïðè
íàïðÿæåíèè 400 Â è òîêàõ 9 è 10 À, ñîîòâåòñòâåííî,
ïðè ýòîì âðåìÿ íàïûëåíèÿ àäãåçèîííîãî ñëîÿ ñî-
ñòàâèëî 40 ñ, òåðìî÷óâñòâèòåëüíîãî � 80�100 ñ.
Èñïîëüçîâàíèå äàííîé óñòàíîâêè ïîçâîëÿëî áåç ðàç-
ãåðìåòèçàöèè ïðîèçâîäèòü èîííóþ î÷èñòêó ïîäëî-
æåê òëåþùèì ðàçðÿäîì â àòìîñôåðå àðãîíà íåïîñ-
ðåäñòâåííî ïåðåä íàïûëåíèåì. Âðåìÿ î÷èñòêè ñî-
ñòàâëÿëî 2�5 ñ ïðè íàïðÿæåíèè 100 Â.
 ïåðâûõ ýêñïåðèìåíòàëüíûõ îáðàçöàõ â êà÷å-
ñòâå çàùèòíîãî ñëîÿ èñïîëüçîâàëñÿ òîíêèé ñëîé äâó-
îêèñè êðåìíèÿ. Îäíàêî íàíåñåíèå çàùèòíîãî ñëîÿ
äâóîêèñè êðåìíèÿ íåïîñðåäñòâåííî íà ïîâåðõíîñòü
òåðìî÷óâñòâèòåëüíîãî ñëîÿ íå îáåñïå÷èâàëî íàäëå-
æàùåé âðåìåííîé ñòàáèëüíîñòè õàðàêòåðèñòèê ÒÏÑ.
Îêàçàëîñü, ÷òî íàíåñåíèå äîïîëíèòåëüíîãî çàùèòíî-
ãî ñëîÿ Ti�W ìåæäó òåðìî÷óâñòâèòåëüíûì è èçî-
ëèðóþùèì ñëîåì äâóîêèñè êðåìíèÿ ñóùåñòâåííî óâå-
ëè÷èâàëî ñòàáèëüíîñòü R0. Òîëùèíà àäãåçèîííîãî è
çàùèòíîãî ñëîåâ Ti�W âûáèðàëàñü èñõîäÿ èç ñî-
îáðàæåíèé îáåñïå÷åíèÿ íàäëåæàùåé àäãåçèè è ïðå-
äîòâðàùåíèè îêèñëåíèÿ, ñ îäíîé ñòîðîíû, à ñ äðóãîé
� èç ñîîáðàæåíèé îáåñïå÷åíèÿ íàèìåíüøåãî øóí-
òèðîâàíèÿ òåðìîðåçèñòèâíîãî ñëîÿ. Ýêñïåðèìåíòàëü-
íûì ïóòåì áûëî óñòàíîâëåíî, ÷òî òîëùèíà çàùèòíî-
ãî ñëîÿ ñîñòàâëÿåò 400�600 Å, à àäãåçèîííîãî 600�
800 Å ïðè òîëùèíå òåðìîðåçèñòèâíîãî ñëîÿ 1,2�
1,5 ìêì.
Ñ öåëüþ ñíèæåíèÿ ðàñïðåäåëåííîé èíäóêòèâíîñ-
òè â êà÷åñòâå áàçîâîé òîïîëîãèè èçáðàíà ïëîñêàÿ
áèôèëÿðíàÿ ñòðóêòóðà (ðèñ. 1). Äëÿ ôîðìèðîâà-
íèÿ ðèñóíêà èñïîëüçîâàëàñü ôîòîëèòîãðàôèÿ íà
ïðîìûøëåííîé óñòàíîâêå Ëàäà-125. Ôîòîðåçèñò ÔÏ-
383 íàíîñèëè íà ïîäëîæêè ìåòîäîì öåíòðèôóãèðî-
âàíèÿ â ñëåäóþùåì ðåæèìå: äîçà íàíåñåíèÿ ôîòî-
ðåçèñòà 0,3�1,0 ñ; âðåìÿ ðàñòåêàíèÿ ôîòîðåçèñòà
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
48
ÒÅÕÍÎËÎÃÈß ÏÐÎÈÇÂÎÄÑÒÂÀ
1,0�2,0 ñ; ñêîðîñòü âðàùåíèÿ 2500�3000 îá/ìèí;
âðåìÿ ñóøêè 2,0�4,0 ñ. Îïåðàöèÿ ýêñïîíèðîâàíèÿ
îñóùåñòâëÿëàñü íà óñòàíîâêå ÝÌ�576À.
Ïîñëå ïðîÿâëåíèÿ è çàäóáëèâàíèÿ ïðåäâàðèòåëüíî
íàíåñåííîãî ôîòîðåçèñòà òðàâèëèñü ñëîè òðåõñëîéíîé
ñòðóêòóðû, íå çàùèùåííûå ìàñêîé ôîòîðåçèñòà. Ñïëàâ
Ti�W òðàâèëñÿ â ñìåñè H2O2+H2O ïðè òåìïåðàòóðå
êèïåíèÿ â òå÷åíèå 20�60 ñ, Cu � â òðàâèòåëå
CrO3+(NH4)2SO4+H2O ïðè òåìïåðàòóðå 45�50°Ñ â
òå÷åíèå 1�3 ìèí. Ïîñëå ôîðìèðîâàíèÿ òîïîëîãèè
òåðìîäàò÷èêà óäàëÿëàñü ôîòîðåçèñòèâíàÿ ìàñêà.
Äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïëåíêà äâóîêèñè êðåìíèÿ íà-
ðàùèâàëàñü ïóòåì ïëàçìîõèìè÷åñêîãî îêèñëåíèÿ
êðåìíèéîðãàíè÷åñêîãî ñîåäèíåíèÿ ãåêñàìåòèëäèàìîê-
ñàíà. Âñêðûòèå îêîí äëÿ êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê â
çàùèòíîé ïëåíêå èç äâóîêèñè êðåìíèÿ ïðîèçâîäè-
ëîñü ïóòåì âòîðîé ôîòîëèòîãðàôèè. Íåçàùèùåííûå
ôîòîðåçèñòîì ó÷àñòêè äâóîêèñè êðåìíèÿ óäàëÿëèñü
ìåòîäîì ïëàçìîõèìè÷åñêîãî òðàâëåíèÿ â àòìîñôåðå
CF4 è O2 íà óñòàíîâêå ÏÕÎ 100Ò�001. Îòêðûòóþ
â îêíàõ ïîâåðõíîñòü Ti�W ñòðàâëèâàëè äî ðàáî÷å-
ãî ñëîÿ ìåäè â ñìåñè H2O2+H2O.
 ïåðâûõ ýêñïåðèìåíòàëüíûõ îáðàçöàõ âûâîäû
ïðèïàèâàëèñü íåïîñðåäñòâåííî ê êîíòàêòíûì ïëî-
ùàäêàì ïðåäâàðèòåëüíî ïðîëóæåííîãî òåðìîðåçèñ-
òèâíîãî ñëîÿ. Â ïðîöåññå ïðîëóæèâàíèÿ è ïîäïàé-
êè âûâîäîâ íàáëþäàëîñü ïîäòåêàíèå ïðèïîÿ ïîä
çàùèòíûé ñëîé äâóîêèñè êðåìíèÿ, ÷òî ïðèâîäèëî ê
ñóùåñòâåííîìó èçìåíåíèþ âåëè÷èíû R0 òåðìîðåçèñ-
òîðà è íàðóøåíèþ öåëîñòíîñòè çàùèòíîãî ñëîÿ SiO2.
Íàäëåæàùåé ñòàáèëüíîñòè êîíòàêòíûõ ïëîùàäîê
è ñîõðàíåíèÿ öåëîñòíîñòè çàùèòíîãî ñëîÿ óäàëîñü
äîñòè÷ü ôîðìèðîâàíèåì äîïîëíèòåëüíîãî êîíòàêò-
íîãî ñëîÿ ìåäè òîëùèíîé 2�2,5 ìêì (ðèñ. 2). Ïîñ-
ëå íàíåñåíèÿ ñëîÿ ìåäè íà êîíòàêòíûå ïëîùàäêè
ïðîèçâîäèëîñü èõ îáëóæèâàíèå ïðèïîåì ÏÎÑÌ-05.
Ñêðàéáèðîâàíèå ïëàñòèí ñ ïîñëåäóþùèì ðàçäåëå-
íèåì íà ýëåìåíòû ïðîèçâîäèëîñü íà ïîëóàâòîìàòå
«Àëìàç-Ì». Ïîñëå ïîäïàéêè òîêîïðîâîäÿùèõ ïðî-
âîäíèêîâ âñÿ ïîâåðõíîñòü ÒÏÑ ñ ÷àñòüþ ïðîâîäíè-
êîâ ïîêðûâàëàñü íåñêîëüêèìè ñëîÿìè òåðìîóñòîé-
÷èâîé ýìàëè ÝÏ-91.
Òîïîëîãèÿ ÒÏÑ ïîçâîëÿåò ýôôåêòèâíî èñïîëü-
çîâàòü åãî íå òîëüêî ïðè ïîñòîÿííîì, íî è ïðè ïåðå-
ìåííîì (äî 250�300 êÃö) òîêå. Ïîñëåäíåå îáñòîÿ-
òåëüñòâî ïîçâîëÿåò ýôôåêòèâíî óñòðàíèòü âëèÿíèå
ïàðàçèòíûõ òåðìî-ýäñ.
Ïðåäâàðèòåëüíî ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ñâè-
äåòåëüñòâóþò î äîñòàòî÷íî âûñîêîé âîñïðîèçâî-
äèìîñòè òåìïåðàòóðíûõ õàðàêòåðèñòèê òîíêîïëå-
íî÷íîãî ÒÏÑ ïî ñðàâíåíèþ ñ îáúåìíûì îáðàç-
öîì. Íàáëþäàëîñü ëèøü óìåíüøåíèå âåëè÷èíû òåì-
ïåðàòóðíîãî êîýôôèöèåíòà ñîïðîòèâëåíèÿ äî
3,22·10�3 1/°Ñ. Âåëè÷èíà ñîïðîòèâëåíèÿ ÒÏÑ ïðè
0°Ñ ñóùåñòâåííî çàâèñåëà îò âðåìåíè íàïûëåíèÿ
òåðìî÷óâñòâèòåëüíîãî ñëîÿ è ïðè ñîáëþäåíèè âû-
øåïðèâåäåííûõ ðåæèìîâ ñîñòàâëÿëà R0=166,8±1,83
Îì. Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü ñîïðîòèâëåíèÿ òåð-
ìîäàò÷èêà ïðèâåäåíà íà ðèñ. 3.
Èñêóññòâåííîå ñòàðåíèå, à èìåííî, îòæèã â òå÷å-
íèå 30 ìèí ïðè òåìïåðàòóðå 200°Ñ, îáåñïå÷èâàåò
äîñòàòî÷íóþ ñòàáèëüíîñòü: â ïðîöåññå äâóõëåòíåé
ýêñïëóàòàöèè âåëè÷èíà ñîïðîòèâëåíèÿ R0 èçìåíè-
ëàñü íå áîëåå ÷åì íà 0,01 Îì.  ñðàâíåíèè ñ îáúåì-
íûì îáðàçöîì [1, ñ. 86] ïîñòîÿííàÿ âðåìåíè èçãî-
òîâëåííîãî òåðìîïðåîáðàçîâàòåëÿ ñîïðîòèâëåíèÿ íà-
ìíîãî ìåíüøå è ñîñòàâëÿåò 1,4 ñ.
***
Òàêèì îáðàçîì, ïðåäëîæåííàÿ òåõíîëîãèÿ ïîçâî-
ëÿåò ïîëó÷èòü êà÷åñòâåííî íîâûå òåðìîïðåîáðàçî-
âàòåëè ñîïðîòèâëåíèÿ ñ óäîâëåòâîðèòåëüíûìè ñòî-
èìîñòíûìè è ýêñïëóàòàöèîííûìè õàðàêòåðèñòèêàìè.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Äàò÷èêè: Ñïðàâî÷íèê / Ç. Þ. Ãîòðà, Ë. ß. Èëü-
íèöêèé, Å. Ñ. Ïîëèùóê è äð. � Ëüâîâ: «Êàìåíÿð», 1995.
2. Ôîãåëüñîí Á. È. Òðàíçèñòîðíûå òåðìîäàò÷èêè.�
Ì.: Ñîâ. ðàäèî, 1972.
3. Ñóñîë Ï. È., Íàáèòîâè÷ É. Â., Ëàõ Â. È., Áîðèñ
ß. Â. Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå ïðîáëåìû èçãîòîâëåíèÿ òîí-
êîïëåíî÷íûõ òåðìîïðåîáðàçîâàòåëåé ñîïðîòèâëåíèÿ â
ìèêðîñõåìíîì èñïîëíåíèè // Èçìåðèòåëüíàÿ òåõíèêà.�
1990.� ¹ 1.� Ñ. 39�40.
4. Áºëºâñüêèé Â. Ï., Áîðèíåöü ². Ä., Ïðèùåïà Ì. Ì.
Äîñë³äæåííÿ åëåêòðîïðîâ³äíîñò³ òà êîðîç³éíî¿ ñò³éêîñò³
ì³äíèõ ïë³âîê, íàíåñåíèõ òåðìî³îííèì íàïèëåííÿì //
Íàóêîâèé â³ñíèê Êϲ. Ðàä³îòåõí³êà.� 1998.� ¹ 32.�
Ñ. 117�119.
Ñèòàëë
Ti�W
SiO2
Cu
Ðèñ. 2
Âûâîäû
4
ì
ì
6 ìì
Ðèñ. 1
R, Îì
260
220
180
140
�50 0 50 100 150 t, °C
Ðèñ. 3. Òåìïåðàòóðíàÿ çàâèñèìîñòü òåðìîäàò÷èêà
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70842 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-01T11:03:20Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. 2014-11-15T10:53:12Z 2014-11-15T10:53:12Z 2001 Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70842 621.793.184:621.3.049.76 Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления Article published earlier |
| spellingShingle | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. Технология производства |
| title | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_full | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_fullStr | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_full_unstemmed | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_short | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_sort | малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| topic | Технология производства |
| topic_facet | Технология производства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70842 |
| work_keys_str_mv | AT brailovskiivv maloinercionnyilineinyitermopreobrazovatelʹsoprotivleniâ AT ilarionovoe maloinercionnyilineinyitermopreobrazovatelʹsoprotivleniâ |