Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70842 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70842 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. 2014-11-15T10:53:12Z 2014-11-15T10:53:12Z 2001 Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70842 621.793.184:621.3.049.76 Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| spellingShingle |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. Технология производства |
| title_short |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_full |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_fullStr |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_full_unstemmed |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| title_sort |
малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления |
| author |
Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. |
| author_facet |
Брайловский, В.В. Иларионов, О.Е. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Предложена тонкопленочная технология миниатюризации объемных медных термопреобразователей сопротивления. Термочувствительный слой формировался на жесткой подложке. Формирование бифилярной структуры осуществлялось с использованием процессов фотолитографии. Механическая прочность слоев и их временная стабильность обеспечивалась использованием адгезионного и трехслойного защитного слоя. Напыление адгезионного и защитного слоев Ti–W осуществлялось в едином технологическом цикле.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70842 |
| citation_txt |
Малоинерционный линейный термопреобразователь сопротивления / В.В. Брайловский, О.Е. Иларионов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 47-48. — Бібліогр.: 4 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT brailovskiivv maloinercionnyilineinyitermopreobrazovatelʹsoprotivleniâ AT ilarionovoe maloinercionnyilineinyitermopreobrazovatelʹsoprotivleniâ |
| first_indexed |
2025-12-01T11:03:20Z |
| last_indexed |
2025-12-01T11:03:20Z |
| _version_ |
1850859978519216128 |