Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния

Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляем...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2001
Автор: Агаев, Ф.Г.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862714795050926080
author Агаев, Ф.Г.
author_facet Агаев, Ф.Г.
citation_txt Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект.
first_indexed 2025-12-07T17:53:09Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70843
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:53:09Z
publishDate 2001
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Агаев, Ф.Г.
2014-11-15T10:54:10Z
2014-11-15T10:54:10Z
2001
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843
621.315.592
Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Датчики
Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
Article
published earlier
spellingShingle Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
Агаев, Ф.Г.
Датчики
title Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_full Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_fullStr Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_full_unstemmed Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_short Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_sort датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
topic Датчики
topic_facet Датчики
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843
work_keys_str_mv AT agaevfg datčikuglekislogogazanaosnoveplenkipolikristalličeskogokremniâ