Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния

Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляем...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2001
Main Author:	Агаев, Ф.Г.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Subjects:	Датчики
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70843
record_format	dspace
spelling	Агаев, Ф.Г. 2014-11-15T10:54:10Z 2014-11-15T10:54:10Z 2001 Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843 621.315.592 Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
spellingShingle	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния Агаев, Ф.Г. Датчики
title_short	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_full	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_fullStr	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_full_unstemmed	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
title_sort	датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
author	Агаев, Ф.Г.
author_facet	Агаев, Ф.Г.
topic	Датчики
topic_facet	Датчики
publishDate	2001
language	Russian
container_title	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format	Article
description	Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект.
issn	2225-5818
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843
citation_txt	Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT agaevfg datčikuglekislogogazanaosnoveplenkipolikristalličeskogokremniâ
first_indexed	2025-12-07T17:53:09Z
last_indexed	2025-12-07T17:53:09Z
_version_	1850872943586836481

Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния

Institution

Similar Items