Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния
Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляем...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860157050263175168 |
|---|---|
| author | Агаев, Ф.Г. |
| author_facet | Агаев, Ф.Г. |
| citation_txt | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:53:09Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
49
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ïðîâåäåíî èññëåäîâàíèå ýëåêòðè÷åñêèõ
õàðàêòåðèñòèê ïëåíîê ïîëèêðèñòàë-
ëè÷åñêîãî êðåìíèÿ êðåñòîîáðàçíîé êîí-
ôèãóðàöèè ïîä âëèÿíèåì óãëåêèñëîãî
ãàçà.
 ñâÿçè ñ óõóäøåíèåì ýêîëîãè÷åñêîé îáñòàíîâêè
âñå áîëåå àêòóàëüíîé ñòàíîâèòñÿ çàäà÷à èññëåäîâà-
íèÿ ãàçîâîãî ñîñòàâà îêðóæàþùåé ñðåäû. Â ïîñëå-
äíèå ãîäû øèðîêîå ðàñïðîñòðàíåíèå ïîëó÷èëè ìåòî-
äû ãàçîâîãî àíàëèçà, îñíîâàííûå íà èçìåíåíèè ýëåêò-
ðîôèçè÷åñêèõ ñâîéñòâ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèà-
ëîâ ïîä âëèÿíèåì ðàçëè÷íûõ ãàçîâ, àäñîðáèðóþùèõ-
ñÿ íà èõ ïîâåðõíîñòè. Ïðè èñïîëüçîâàíèè äàò÷èêîâ,
îñíîâàííûõ íà àäñîðáöèîííûõ ýôôåêòàõ, íåîáõîäè-
ìî èìåòü âîçìîæíî áîëüøóþ ïëîùàäü ïîâåðõíîñòè,
íà êîòîðîé ïðîèñõîäèò êîíòàêò ñ ãàçîâîé ñðåäîé.
Ïîýòîìó â êà÷åñòâå ãàçîâûõ ñåíñîðîâ ïðèìåíÿþòñÿ
ïîðèñòàÿ êåðàìèêà èëè ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïîëèêðè-
ñòàëëè÷åñêèå ïëåíêè, íàïðèìåð, SnO2 èëè ZnO [1, 2].
Áîëåå ïåðñïåêòèâíûìè ÿâëÿþòñÿ ïëåíêè ïîëè-
êðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ (ÏÊ), ïîñêîëüêó òåõíî-
ëîãèÿ îäíîâðåìåííîãî âûðàùèâàíèÿ èõ ñîâìåñòíî
ñ ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèìè â ýïèòàêñèàëüíîì ïðîöåñ-
ñå [3] ïîçâîëÿåò ôîðìèðîâàòü íà èõ îñíîâå ÷óâ-
ñòâèòåëüíûå ýëåìåíòû, ñèãíàëû ñ êîòîðûõ ìîãóò óñè-
ëèâàòüñÿ è îáðàáàòûâàòüñÿ èíòåãðàëüíûìè ñõåìàìè
ïðåîáðàçîâàíèÿ ñèãíàëîâ, ðàñïîëîæåííûìè íà ìî-
íîêðèñòàëëè÷åñêèõ ó÷àñòêàõ òîãî æå êðèñòàëëà [4].
 äàííîé ðàáîòå ïðèâîäÿòñÿ ðåçóëüòàòû èññëåäî-
âàíèÿ èçìåíåíèÿ ýëåêòðè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ ïëåíîê
ÏÊ ïðè âîçäåéñòâèè íà íèõ óãëåêèñëîãî ãàçà, îáíàðó-
æåíèå è àâòîìàòè÷åñêèé êîíòðîëü êîíöåíòðàöèè êîòî-
ðîãî èìåþò âàæíîå çíà÷åíèå äëÿ çàêðûòûõ ïîìåùå-
íèé ñ áîëüøèì ñêîïëåíèåì ëþäåé (íàïðèìåð, ìåòðî).
Ïëåíêè ÏÊ ïîëó÷àëèñü íà ëîêàëüíî ñôîðìèðî-
âàííûõ çàòðàâî÷íûõ ñëîÿõ â ïðîöåññå ýïèòàêñèàëü-
íîãî íàðàùèâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïëåíîê êðåì-
íèÿ íà êðåìíèåâûõ ïîäëîæêàõ ÊÄÁ-10 ïî òåõíîëî-
ãèè, îïèñàííîé â [3]. Â ïðîöåññå íàðàùèâàíèÿ ïëåí-
êè n-òèïà ïðîâîäèìîñòè ïðîèçâîäèëîñü ëåãèðîâà-
íèå ôîñôîðîì äî êîíöåíòðàöèè 8⋅1015 ñì�3, òîëùèíà
èõ íå ïðåâûøàëà 5 ìêì, à ñðåäíèé ðàçìåð çåðíà â
ïëåíêàõ ÏÊ ñîñòàâëÿë 0,5 ìêì. Íà ïîâåðõíîñòü ãî-
òîâîé ñòðóêòóðû ïëàçìîõèìè÷åñêèì ìåòîäîì íàíî-
ñèëàñü ïëåíêà äâóîêèñè êðåìíèÿ òîëùèíîé 0,3 ìêì è
ñ ïîìîùüþ îïåðàöèé ôîòîëèòîãðàôèè è äèôôóçèè
ôîñôîðà ñîçäàâàëèñü n+-ó÷àñòêè, íà êîòîðûõ ïîñëå
íàïûëåíèÿ àëþìèíèÿ ôîðìèðîâàëèñü îìè÷åñêèå êîí-
òàêòû ê ïëåíêå ÏÊ. Èññëåäóåìûå îáðàçöû èìåëè êðåñ-
òîîáðàçíóþ ôîðìó ñ øèðèíîé ïëå÷ 100 ìêì, ðàçìà-
õîì äëèííîãî ïëå÷à 400 è êîðîòêîãî � 200 ìêì
(ðèñ. 1). Îáðàçöû ïîìåùàëèñü â çàìêíóòûé îáúåì
åìêîñòüþ 10�3 ì3, â êîòîðûé ïðè ïîñòîÿííîì íîð-
ìàëüíîì äàâëåíèè íàïóñêàëèñü ïàðû ÑÎ2 ïîðöèÿìè
ïî 10�4 ì3.
Íà ðèñ. 2 ïðèâåäåíû âîëüòàìïåðíûå õàðàêòåðèñ-
òèêè (ÂÀÕ) êîðîòêîãî ïëå÷à èññëåäóåìîãî ýëåìåíòà
ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå ïðè ïðîòèâîïîëîæíûõ
ïîëÿðíîñòÿõ ïðèëîæåííîãî ñìåùåíèÿ â íîðìàëüíîé
àòìîñôåðå è ñ ïîâûøåííîé êîíöåíòðàöèåé ïàðîâ ÑÎ2
(200 ìëí�1). Êàê âèäíî èç ðèñ. 2, â îáîèõ ñëó÷àÿõ
ÂÀÕ ïëåíêè íåñèììåòðè÷íà îòíîñèòåëüíî ïîëÿðíîñ-
òè ïðèëîæåííîãî íàïðÿæåíèÿ, ò. å. èìååò äèîäíûé
õàðàêòåð. Ïðè ýòîì âëèÿíèå ïàðîâ ÑÎ2 çàâèñèò îò
ïîëÿðíîñòè ïðèëîæåííîãî ñìåùåíèÿ: åñëè íà îáðàò-
íîé âåòâè (êðèâûå 2 è 4) òîê èçìåíÿåòñÿ ïî÷òè íà
ïîðÿäîê, òî íà ïðÿìîé âåòâè (1 è 3) � âñåãî â òðè
ðàçà. Íà÷èíàÿ ïðèìåðíî ñ 12  òîê ðåçêî âîçðàñòàåò,
è âîçäåéñòâèå ÑÎ2 íà ïðÿìóþ âåòâü ÂÀÕ ïðåêðàùà-
åòñÿ, â òî âðåìÿ êàê íà îáðàòíîé âåòâè îíî ìåäëåííî
óáûâàåò ñ óâåëè÷åíèåì íàïðÿæåíèÿ. Ïðè ïðîäóâêå
âîçäóõîì ÂÀÕ ïëåíêè âîçâðàùàëàñü ê ïåðâîíà÷àëü-
íîìó âèäó ÷åðåç 3�4 ìèí.
Êàê ïîêàçàíî â [5], ÂÀÕ ïëåíêè ÏÊ èìååò áàðü-
åðíûé õàðàêòåð, îáóñëîâëåííûé íàëè÷èåì íà ãðàíè-
öàõ çåðåí îáåäíåííûõ ñëîåâ, âîçíèêàþùèõ âñëåä-
ñòâèå çàõâàòà ýëåêòðîíîâ íà ãëóáîêèå ëîâóøêè ãðà-
íèö çåðåí. Íàáëþäàåìàÿ àñèììåòðèÿ ÂÀÕ â îòñóò-
ñòâèå ÑÎ2 îáúÿñíÿåòñÿ áîëüøèì ðàçáðîñîì óäåëü-
íîãî ñîïðîòèâëåíèÿ ïëåíîê ÏÊ, îáóñëîâëåííûì íåî-
Ê. ò. í. Ô. Ã. ÀÃÀÅÂ
Àçåðáàéäæàí, ã. Áàêó, ÎÊÁ êîñìè÷åñ-
êîãî ïðèáîðîñòðîåíèÿ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
28. 12 2000 ã.�22. 03 2001 ã.
Îïïîíåíò ê. ò. í. À. Á. ÃÓËßÅÍÊÎ
ÄÀÒ×ÈÊ ÓÃËÅÊÈÑËÎÃÎ ÃÀÇÀ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ
ÏËÅÍÊÈ ÏÎËÈÊÐÈÑÒÀËËÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÊÐÅÌÍÈß
Ðèñ. 1. Êîíñò-
ðóêöèÿ äàò÷è-
êà ÑÎ2 íà îñ-
íîâå ëîêàëüíî
âûðàùåííîé
ïëåíêè ÏÊ
Al SiO2
n-Si
p-Si
400 ìêì
20
0
ìê
ì
10
0
ìê
ì
ÏÊ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 2
50
ÄÀÒ×ÈÊÈ
äíîðîäíîñòüþ ðàçìåðà çåðåí è âûñîòû ïîòåíöèàëü-
íûõ áàðüåðîâ íà èõ ãðàíèöàõ.
Êàê èçâåñòíî [6, c. 80], àäñîðáèðîâàííûå íà ïî-
âåðõíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâ ìîëåêóëû ãàçîâ ìîãóò
èãðàòü ðîëü ëèáî äîíîðîâ, ëèáî àêöåïòîðîâ, îòäàâàÿ
èëè çàõâàòûâàÿ ñâîáîäíûå íîñèòåëè. Ïîñêîëüêó èñ-
ñëåäóåìàÿ ïëåíêà ÏÊ èìååò n-òèï ïðîâîäèìîñòè, à
åå ñîïðîòèâëåíèå â ïðèñóòñòâèè ìîëåêóë ÑÎ2 óìåíü-
øàåòñÿ, òî, ïî-âèäèìîìó, ïîñëåäíèå îáðàçóþò íà ïî-
âåðõíîñòè ÏÊ «ïðî÷íóþ» äîíîðíóþ ôîðìó. Ñ óâå-
ëè÷åíèåì íàïðÿæåíèÿ ïðîâîäèìîñòü ïëåíêè ÏÊ ðà-
ñòåò çà ñ÷åò ïðåîäîëåíèÿ ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ
íà ãðàíèöàõ çåðåí, ïðè÷åì âêëàä â ïðîâîäèìîñòü,
âíîñèìûé àäñîðáèðóåìûìè ìîëåêóëàìè, âïîëíå îï-
ðåäåëåííûé, ïîñêîëüêó èçìåðåíèÿ ÂÀÕ ïðîâîäèëèñü
ïðè ïîñòîÿííîé êîíöåíòðàöèè ÑÎ2 . Ïîýòîìó ïðè
êàêîì-òî íàïðÿæåíèè ïðîâîäèìîñòü, îáóñëîâëåííàÿ
âêëàäîì íîñèòåëåé ñ àäñîðáèðîâàííûõ ìîëåêóë, ñòà-
íîâèòñÿ ïðåíåáðåæèìî ìàëîé ïî ñðàâíåíèþ ñ ïîë-
íîé ïðîâîäèìîñòüþ, è êðèâûå â íîðìàëüíîé àòìîñ-
ôåðå è â ñðåäå ÑÎ2 ñëèâàþòñÿ. Àíàëîãè÷íàÿ êàðòè-
íà íàáëþäàåòñÿ è íà îáðàòíîé âåòâè ÂÀÕ (êðèâûå
2 è 4), òîëüêî ââèäó áîëüøåé âûñîòû ïîòåíöèàëü-
íûõ áàðüåðîâ íàñûùåíèå ìîæåò ïðîèçîéòè ïðè ïî-
äà÷å áîëåå âûñîêîãî íàïðÿæåíèÿ ñìåùåíèÿ.
Èññëåäóåìûé íàìè îáðàçåö êðåñòîîáðàçíîé ôîðìû
ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ÷åòûðåõïîëþñíèê, êîòîðûé îáëà-
äàåò èçâåñòíûìè ïðåèìóùåñòâàìè ñ òî÷êè çðåíèÿ ñî-
ãëàñîâàíèÿ âûõîäíûõ ñèãíàëîâ ñî ñõåìàìè èõ îáðà-
áîòêè è óñèëåíèÿ. Äèôôåðåíöèàëüíûé âûõîä îáðàç-
öîâ ïîäîáíîé ôîðìû ïîçâîëÿåò èõ íåïîñðåäñòâåííóþ
ñòûêîâêó ñ âõîäíûìè êàñêàäàìè äèôôåðåíöèàëü-
íûõ è îïåðàöèîííûõ óñèëèòåëåé, êîòîðûå áëàãîäà-
ðÿ òåõíîëîãèè îäíîâðåìåííîãî âûðàùèâàíèÿ ëîêàëü-
íûõ ïëåíîê ìîíî- è ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ
ìîæíî èçãîòàâëèâàòü íà îäíîì è òîì æå êðèñòàëëå
â åäèíîì èíòåãðàëüíîì èñïîëíåíèè ñ äàò÷èêîì.
Ïðè ïîäà÷å íà îäíî èç ïëå÷ ýëåìåíòà îïðåäåëåí-
íîãî íàïðÿæåíèÿ íà äðóãîì åãî ïëå÷å âîçíèêàåò íåêî-
òîðàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ, îáóñëîâëåííàÿ íåýêâèïî-
òåíöèàëüíîñòüþ ñèëîâûõ ëèíèé, à òàêæå ðàçáðîñîì
âûñîòû ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ íà ãðàíèöàõ çåðåí.
Íà ðèñ. 3 ïîêàçàíà çàâèñèìîñòü íàïðÿæåíèÿ, âîç-
íèêàþùåãî íà êîðîòêîì ïëå÷å îáðàçöà, îò êîíöåíò-
ðàöèè ÑÎ2 ïðè ðàçëè÷íûõ íàïðÿæåíèÿõ íà äëèííîì
ïëå÷å. ×óâñòâèòåëüíîñòü äàò÷èêà ñóùåñòâåííî âîç-
ðàñòàåò ñ óâåëè÷åíèåì íàïðÿæåíèÿ íà äëèííîì ïëå-
÷å äî 5 Â. Äàëüíåéøåå ïîâûøåíèå íàïðÿæåíèÿ ñëà-
áî âëèÿåò íà ÷óâñòâèòåëüíîñòü.
Óâåëè÷åíèå âûõîäíîãî íàïðÿæåíèÿ äàò÷èêà ñ ðî-
ñòîì êîíöåíòðàöèè ãàçà âïîëíå îáúÿñíèìî â ðàìêàõ
ðàññìîòðåííîãî âûøå ìåõàíèçìà ïîâûøåíèÿ ïðè-
ìåñíîé ïðîâîäèìîñòè, ñîçäàâàåìîé àäñîðáèðóåìûìè
ìîëåêóëàìè ÑÎ2 äîíîðíîãî òèïà. Ïîâûøåíèå ÷óâ-
ñòâèòåëüíîñòè ýòîãî ïðîöåññà ïðè ïðèëîæåíèè ïî-
ñòîÿííîãî ñìåùåíèÿ ê ïåðïåíäèêóëÿðíîìó ïëå÷ó
ïðîèñõîäèò, êàê è ïðè èçìåðåíèè äâóõïîëþñíèêà, çà
ñ÷åò ïîíèæåíèÿ âûñîòû ïîòåíöèàëüíûõ áàðüåðîâ
ãðàíèö çåðåí.
Òàêèì îáðàçîì, â ïðåäëîæåííîé ñòðóêòóðå íà îñ-
íîâå ïëåíêè ÏÊ èìååò ìåñòî ìîäóëÿöèÿ âûõîäíîãî
ñèãíàëà ñ îäíîãî ïëå÷à äàò÷èêà ïóòåì èçìåíåíèÿ
ïîñòîÿííîãî ñìåùåíèÿ, ïîäàâàåìîãî íà äðóãîå ïëå-
÷î, ÷òî, ïî èçâåñòíîé àíàëîãèè, ìîæíî ñ÷èòàòü ïîëå-
âûì àäñîðáöèîííûì ýôôåêòîì.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Cooper R. B., Advani J. W. Gas sensing mechanism in
SnO2, thin films // J. Electron. Materials.� 1981.� Vol. 10,
N 3.� P. 455�472.
2. Áóòóðëèí À. È., Çàèêèí Â. À., Èâàíîâ À. Å. è äð.
Õèìè÷åñêèé ñåíñîð íà îñíîâå îêñèäà öèíêà äëÿ îáíàðóæåíèÿ
àýðîçîëåé // Ìàòåðèàëû 3-ãî íàó÷.-òåõí. ñåìèíàðà ïî ýëåêò-
ðîííûì äàò÷èêàì.� Óæãîðîä («Ñåíñîð-89», ñåíòÿáðü 1989),
1989.� Ñ. 89.
3. Abdullayev A. G., Kasimov F. D. The simultaneous growth
of monocrystalline and polycrystalline silicon films with con-
trolled parameters // Thin Solid Films.� 1984. � Vol. 115,
N 3.� P. 237�243.
4. Êàñèìîâ Ô. Ä. Ôèçè÷åñêèå ñâîéñòâà è ôóíêöèîíàëü-
íûå âîçìîæíîñòè ëîêàëüíî âûðàùåííûõ ïëåíîê ìîíî- è ïîëè-
êðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ // Òåçèñû äîêë. 12-é Âñåñîþç. êîíô.
ïî ìèêðîýëåêòðîíèêå, Òáèëèñè, 1987. ×. 2.� Ñ. 175�176.
5. Êàñèìîâà Ô. Ô. Îñîáåííîñòè òîêîïåðåíîñà â ïëåíêàõ
ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ // Òåçèñû äîêë. Âñåðîññèéñê.
ÍÒÊ ñ ìåæäóíàð. ó÷àñòèåì «Àêòóàëüíûå ïðîáëåìû òâåðäî-
òåëüíîé ýëåêòðîíèêè è ìèêðîýëåêòðîíèêè».� Òàãàíðîã, 1994.
×. 1.� Ñ. 9.
6. Âîëüêåíøòåéí Ô. Ô. Ôèçèêî-õèìèÿ ïîâåðõíîñòè ïî-
ëóïðîâîäíèêîâ.� Ì.: Íàóêà, 1973.
10 Â
7 Â
5 Â
3 Â
1 Â
0 Â
0 0,2 0,4 C
Ðèñ. 3. Ãðàôèê çà-
âèñèìîñòè íàïðÿ-
æåíèÿ, âîçíèêàþ-
ùåãî íà êîðîòêîì
ïëå÷å ÷óâñòâèòåëü-
íîãî ýëåìåíòà, îò
îòíîñèòåëüíîé êîí-
öåíòðàöèè ÑÎ2
(C) ïðè ðàçëè÷-
íûõ íàïðÿæåíèÿõ
íà äëèííîì ïëå÷å
200
160
120
80
40
U
âû
õ,
ì
Â
2
1
I,
ìêA
104
103
102
3 6 12 21 U, B
Ðèñ. 2. Âîëüòàì-
ïåðíûå õàðàêòåðè-
ñòèêè ÷óâñòâèòåëü-
íîãî ýëåìåíòà:
1 � â íîðìàëüíîé àò-
ìîñôåðå; 3 � â ñðåäå
ÑÎ2 (ïðÿìîå ñìåùå-
íèå); 2 è 4 � òî æå
ïðè ïðîòèâîïîëîæ-
íîé ïîëÿðíîñòè (îá-
ðàòíîå ñìåùåíèå)
3
4
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70843 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:53:09Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Агаев, Ф.Г. 2014-11-15T10:54:10Z 2014-11-15T10:54:10Z 2001 Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843 621.315.592 Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния Article published earlier |
| spellingShingle | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния Агаев, Ф.Г. Датчики |
| title | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния |
| title_full | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния |
| title_fullStr | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния |
| title_full_unstemmed | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния |
| title_short | Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния |
| title_sort | датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843 |
| work_keys_str_mv | AT agaevfg datčikuglekislogogazanaosnoveplenkipolikristalličeskogokremniâ |