Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния - Агаев, Ф.Г. (Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляемый полем адсорбционный эффект.