Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2001
• Main Author: Агаев, Ф.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Subjects: Датчики
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70843
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Датчик углекислого газа на основе пленки поликристаллического кремния / Ф.Г. Агаев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 2. — С. 49-50. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Проведено исследование электрических характеристик пленок поликристаллического кремния крестообразной конфигурации под влиянием углекислого газа. Показано, что приложение напряжения смещения к одному из плеч элемента приводит к модуляции выходного сигнала с другого плеча, т. е. имеет место управляем...