Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников
Разработаны малогабаритные длинноволновые (λ=5–14 мкм) источники ИК-излучения, работающие при комнатной и более высоких температурах. Источники генерируют положительные и отрицательные световые потоки относительно уровня фонового излучения. Конструкция дает возможность работать с охлажденными фотопр...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70856 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников / С.С. Болгов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 15-18. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859597630564204544 |
|---|---|
| author | Болгов, С.С. |
| author_facet | Болгов, С.С. |
| citation_txt | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников / С.С. Болгов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 15-18. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработаны малогабаритные длинноволновые (λ=5–14 мкм) источники ИК-излучения, работающие при комнатной и более высоких температурах. Источники генерируют положительные и отрицательные световые потоки относительно уровня фонового излучения. Конструкция дает возможность работать с охлажденными фотоприемниками при температуре источника, равной окружающей среде, как с обычными люминесцентными светодиодами. Обсуждается область использования источников.
The small-outline (λ=5–14 mm) infrared sources operating at room and higher temperatures have been developed. The sources generate positive and negative light flows relative to level of background radiation. The design allows to operate with cooled light sensors at source temperature that is equal to the ambient temperature as with the ordinary luminescent light-emitting diodes. The fields of application of sources are discussed.
|
| first_indexed | 2025-11-27T22:19:15Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
15
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Ïðèâîäÿòñÿ êîíñòðóêöèÿ íîâîãî òèïà
äëèííîâîëíîâûõ èñòî÷íèêîâ ÈÊ-èçëó-
÷åíèÿ, ðåçóëüòàòû èññëåäîâàíèÿ èõ
îñíîâíûõ õàðàêòåðèñòèê è îáëàñòè
èñïîëüçîâàíèÿ.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ èíòåíñèâíî âåäóòñÿ ðàáîòû
ïî ñîçäàíèþ ñâåòîäèîäîâ äëÿ ñðåäíåãî è äàëüíåãî
ÈÊ-äèàïàçîíîâ ñïåêòðà, ðàáîòàþùèõ ïðè êîìíàò-
íûõ è áîëåå âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ. Â ïîñëåäíèå
ãîäû íàìåòèëñÿ ïðîãðåññ â ñîçäàíèè äëèííîâîëíî-
âûõ ëþìèíåñöåíòíûõ ñâåòîäèîäîâ íà îñíîâå ãåòå-
ðîñòðóêòóð èç óçêîçîííûõ ñîåäèíåíèé À3Â5. Â [1�
3] ñîîáùàëîñü, ÷òî óäàëîñü ðàñøèðèòü ñïåêòðàëü-
íûé äèàïàçîí ëþìèíåñöåíòíûõ ñâåòîäèîäîâ ïðè êîì-
íàòíûõ òåìïåðàòóðàõ äî äëèí âîëí λ ≤6 ìêì. Îäíà-
êî âíåøíÿÿ êâàíòîâàÿ ýôôåêòèâíîñòü òàêèõ ñâåòî-
äèîäîâ íå ïðåâûøàåò 10�3 % [1], è ïî ìåðå óâåëè÷å-
íèÿ äëèíû âîëíû èçëó÷åíèÿ îíà ðåçêî óìåíüøàåò-
ñÿ. Íèçêèå çíà÷åíèÿ âûõîäÿùåé ìîùíîñòè èçëó÷å-
íèÿ îáúÿñíÿþòñÿ ìàëîé ýôôåêòèâíîñòüþ áàðüåðíûõ
ìåòîäîâ ñîçäàíèÿ íåðàâíîâåñíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà
â óçêîçîííûõ ñîåäèíåíèÿõ ïðè âûñîêèõ òåìïåðàòó-
ðàõ è íåçíà÷èòåëüíûì êâàíòîâûì âûõîäîì èçëó÷à-
òåëüíîé ðåêîìáèíàöèè èç-çà äîìèíèðóþùåé â ýòèõ
óñëîâèÿõ áåçûçëó÷àòåëüíîé Îæå-ðåêîìáèíàöèè.
Òàêèì îáðàçîì, ñîçäàíèå íåîõëàæäàåìûõ ëþìè-
íåñöåíòíûõ ñâåòîäèîäîâ èç óçêîçîííûõ ñîåäèíå-
íèé íà äëèíû âîëí áîëåå 6 ìêì èìååò îãðàíè÷åíèå.
 òî æå âðåìÿ ñïåêòðàëüíûé äèàïàçîí 8�14 ìêì
ÿâëÿåòñÿ âåñüìà àêòóàëüíûì, ïîñêîëüêó ïðèõîäèò-
ñÿ íà øèðîêîå îêíî ïðîçðà÷íîñòè àòìîñôåðû. Êðîìå
òîãî, äëÿ ýòîé îáëàñòè ñïåêòðà ñóùåñòâóþò âûñîêî-
ýôôåêòèâíûå ïðèåìíèêè èçëó÷åíèÿ.  ñâÿçè ñ ýòèì
ïðèâëåêàòåëüíîé ÿâëÿåòñÿ ïåðñïåêòèâà ñîçäàíèÿ íåî-
õëàæäàåìûõ ìàëîãàáàðèòíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ èñ-
òî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ, êîòîðûå èìåëè áû ïðåèìóùå-
ñòâà èíæåêöèîííûõ ñâåòîäèîäîâ (âíóòðåííÿÿ ìîäó-
ëÿöèÿ, ýëåêòðè÷åñêîå óïðàâëåíèå) è ãåíåðèðîâàëè ÈÊ-
èçëó÷åíèå â äëèííîâîëíîâîé îáëàñòè ñïåêòðà.
 äàííîé ðàáîòå îïèñàíû èñòî÷íèêè ÈÊ-èçëó÷å-
íèÿ íîâîãî òèïà, ðàáîòà êîòîðûõ îñíîâàíà íà ìîäó-
ëÿöèè òåïëîâîãî èçëó÷åíèÿ çà êðàåì ôóíäàìåíòàëü-
íîãî ïîãëîùåíèÿ øèðîêîçîííûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ,
ïðîèñõîäÿùåé çà ñ÷åò èçìåíåíèÿ èõ ýôôåêòèâíîãî
êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ïðè èçìåíåíèè êîíöåíò-
ðàöèè ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé çàðÿäà. Ïðèâîäÿòñÿ êîí-
ñòðóêöèÿ, òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ è õàðàêòåðèñòè-
êè èñòî÷íèêîâ, ðàáîòàþùèõ íà ýôôåêòàõ èíæåêöèè
è ýêñêëþçèè.
Ôèçè÷åñêîå îáîñíîâàíèå
Ïîëóïðîâîäíèê, êàê è ëþáîå òåëî ïðè òåìïåðà-
òóðå Ò>0 Ê, èñïóñêàåò òåïëîâîå èçëó÷åíèå (ÒÈ),
ñïåêòð êîòîðîãî îïðåäåëÿåòñÿ çàêîíàìè Ïëàíêà è
Êèðõãîôà. Ïðè òåðìîäèíàìè÷åñêîì ðàâíîâåñèè êðè-
ñòàëëà ñ îêðóæàþùåé ñðåäîé ñóùåñòâóåò ðàâåíñòâî
ìåæäó ïîãëîùåíèåì è èñïóñêàíèåì ÒÈ. Â ñïåêò-
ðàëüíîé îáëàñòè ïîãëîùåíèÿ ñâîáîäíûìè íîñèòåëÿ-
ìè çàðÿäà êîýôôèöèåíò ïîãëîùåíèÿ çàâèñèò îò êîí-
öåíòðàöèè íîñèòåëåé çàðÿäà (n) â ïîëóïðîâîäíèêå.
Ïî ýòîé ïðè÷èíå ïðè èçìåíåíèè êîíöåíòðàöèè íîñè-
òåëåé èçìåíÿåòñÿ ïîãëîùàòåëüíàÿ ñïîñîáíîñòü êðè-
ñòàëëà è, ñîîòâåòñòâåííî, åãî èçëó÷àòåëüíàÿ ñïîñîá-
íîñòü, ò. å. âîçíèêàåò ìîäóëÿöèÿ ÒÈ ïðè ïîñòîÿííîé
òåìïåðàòóðå [4, 5].
Íàáëþäåíèå ìîäóëÿöèè ÒÈ âîçìîæíî, åñëè òåì-
ïåðàòóðà ïîëóïðîâîäíèêà îòëè÷àåòñÿ îò òåìïåðàòó-
ðû îêðóæàþùåé ñðåäû, ò. ê. â ïðîòèâíîì ñëó÷àå
èçìåíåíèå èíòåíñèâíîñòè ÒÈ ïîëóïðîâîäíèêà ïîë-
íîñòüþ êîìïåíñèðóåòñÿ ñîîòâåòñòâóþùèì èçìåíå-
íèåì èíòåíñèâíîñòè ïðîøåäøåãî è îòðàæåííîãî ôî-
íîâîãî èçëó÷åíèÿ. Îäíàêî ïðè êîíñòðóèðîâàíèè ìà-
ëîãàáàðèòíûõ èñòî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ ÷àñòî âîçíè-
êàåò ñèòóàöèÿ, êîãäà àêòèâíûé ïîëóïðîâîäíèêîâûé
ýëåìåíò íàõîäèòñÿ â òåïëîâîì ðàâíîâåñèè ñ íåïðîç-
ðà÷íîé ïîäëîæêîé (êîðïóñîì èñòî÷íèêà). Ïðè òà-
êîé êîíñòðóêöèè èñòî÷íèêà òîëüêî íà îäíîé ïîâåð-
õíîñòè êðèñòàëëà èìååò ìåñòî ñêà÷îê òåìïåðàòóðû
ôîíîâîãî èçëó÷åíèÿ.  ýòîì ñëó÷àå ìîäóëÿöèÿ ÒÈ
ñèñòåìû "ïîëóïðîâîäíèê�ïîäëîæêà" âîçìîæíà ïðè
èçìåíåíèè êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ñèñòåìû. Ïîñ-
ëåäíåå ìîæíî îñóùåñòâèòü èçìåíÿÿ ïðîçðà÷íîñòü
ïîëóïðîâîäíèêà, ìîäóëèðóÿ êîíöåíòðàöèþ íîñèòå-
ëåé çàðÿäà ñ ïîìîùüþ âíåøíèõ âîçäåéñòâèé.
Ïîÿñíèì ïðèíöèï äåéñòâèÿ èñòî÷íèêîâ äëÿ íàè-
áîëåå ïðîñòîãî ñëó÷àÿ, êîãäà àêòèâíûé ýëåìåíò èìå-
åò ôîðìó ïëàñòèíû. Ðàññìîòðèì ñèñòåìó, ñîñòîÿ-
ùóþ èç ïîëóïðîâîäíèêà (0≤x≤l) è íåïðîçðà÷íîé ïîä-
ëîæêè (õ>l) (ñì. âñòàâêó ê ðèñ. 1). Â îáëàñòè õ<0
íàõîäèòñÿ âàêóóì. Èíòåíñèâíîñòü ÒÈ ñ ïîâåðõíîñ-
òè õ=0 âî âñå óãëû â ïîëóñôåðå ñ ó÷åòîì ìàëîñòè
óãëà ïîëíîãî âíóòðåííåãî îòðàæåíèÿ íà ãðàíèöå
ðàçäåëà "ïîëóïðîâîäíèê�âàêóóì" îïðåäåëÿåòñÿ âû-
ðàæåíèåì [6]
ÄËÈÍÍÎÂÎËÍÎÂÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ ÈÊ-ÈÇËÓ×ÅÍÈß
ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ØÈÐÎÊÎÇÎÍÍÛÕ ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂ
Àâòîð áëàãîäàðåí Â. Ê. Ìàëþòåíêî è Ã. È. Òåñëåíêî çà
îáñóæäåíèå ðåçóëüòàòîâ ðàáîòû, à òàêæå À. Ê. Ìåëüíèêó çà
ïîìîùü ïðè ïðîâåäåíèè ñïåêòðàëüíûõ èçìåðåíèé.
Ê. ô.-ì. í. Ñ. Ñ. ÁÎËÃÎÂ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èí-ò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíèêîâ ÍÀÍÓ
E-mail: malyut@isp.kiev.ua
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
30. 01 2001 ã.
Îïïîíåíò ä. ô.-ì. í. À. Ì. ÊÀÌÓÇ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
16
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Ð=(1�R)I(Ò)+R I(Òô), (1)
ãäå
2
21
2
2
12
1
1
)1(
ϕ
ϕ−
−
+=
RR
RR
RR ; (2)
))(exp(
0
∫α−≡ϕ
l
dxx ; α=(σn+σp)n;
Ïåðâîå ñëàãàåìîå â (1) ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé òåï-
ëîâîå èçëó÷åíèå ñèñòåìû, îïðåäåëÿåìîå çàêîíîì Êèð-
õãîôà, âòîðîå� îòðàæåííîå ôîíîâîå èçëó÷åíèå.
Èç (1) ñëåäóåò, ÷òî èçìåíÿÿ R îò 0 äî 1 ìîæíî
êàê óâåëè÷èâàòü, òàê è óìåíüøàòü ñóììàðíûé òåïëî-
âîé ïîòîê Ð.
Îáîçíà÷èì ÷åðåç P0, R0 è ϕ0 âåëè÷èíû Ð, R è ϕ â
íà÷àëüíîì ñîñòîÿíèè. Òîãäà â óñëîâèÿõ âîçáóæäå-
íèÿ, èçìåíÿþùåãî ïðîçðà÷íîñòü ïîëóïðîâîäíèêà, äëÿ
ïðèðàùåíèÿ èíòåíñèâíîñòè ÒÈ ∆P(ϕ) = Ð(ϕ)�Ð(ϕ0)
èç (1)�(2) ïîëó÷àåì
[ ])()()()( ô0 TITIRRP −−=ϕ∆ , (3)
ãäå
)1)(1(
)()1(
21
2
021
2
22
0
2
12
0
RRRR
RR
RR
ϕ−ϕ−
ϕ−ϕ−
=− . (4)
Èç (4) ñëåäóåò, ÷òî ìîäóëÿöèÿ ÒÈ ñèñòåìû ïó-
òåì óïðàâëåíèÿ ïðîçðà÷íîñòüþ ïîëóïðîâîäíèêà
âîçìîæíà, åñëè R2≠0, è ìàêñèìàëüíà ïðè R2=1. Òîã-
äà ïðè T>Tô èíòåíñèâíîñòü ÒÈ ñèñòåìû óâåëè÷èâà-
åòñÿ (∆Ð(ϕ)>0) â ðåæèìå îáîãàùåíèÿ (èíæåêöèÿ)
ïîëóïðîâîäíèêà íîñèòåëÿìè òîêà (ϕ<ϕ0). Åñëè æå
âíåøíåå âîçáóæäåíèå ïðèâîäèò ê óìåíüøåíèþ (ýê-
ñêëþçèÿ) êîíöåíòðàöèè ñâîáîäíûõ íîñèòåëåé òîêà
â ïîëóïðîâîäíèêå (ϕ>ϕ0), òî èíòåíñèâíîñòü ÒÈ ñèñ-
òåìû óìåíüøàåòñÿ (∆Ð(ϕ)<0).
Íà ðèñ. 1 ïîêàçàíû ïðåäåëû èçìåíåíèÿ ýôôåê-
òèâíîãî êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ñèñòåìû ∆R=R0�
�R îò ϕ ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ ϕ0. Äëÿ èäåàëü-
íîãî ñëó÷àÿ, êîãäà R2=1 è R1=0, ∆R ìîæåò âîçðàñ-
òàòü â ðåæèìå îáîãàùåíèÿ îò 0 äî 1, åñëè ïîëóïðî-
âîäíèê áûë èñõîäíî ïðîçðà÷íûì ïðè ϕ0=1 (êðèâàÿ
1), è èçìåíÿòüñÿ îò 0 äî �1 ïðè ϕ0=0 â ðåæèìå
îáåäíåíèÿ (êðèâàÿ 2). Ïðè çíà÷åíèè R1=0,36 (êî-
ýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ ãåðìàíèÿ â ñïåêòðàëüíîì äè-
àïàçîíå 8�14 ìêì) ïðåäåëû èçìåíåíèÿ ∆R óìåíüøà-
þòñÿ (ñì. êðèâûå 1′, 2′). Òàêèì îáðàçîì, äëÿ ýô-
ôåêòèâíîé ðàáîòû èçëó÷àòåëÿ íåîáõîäèìî îáåñïå-
÷èòü çåðêàëüíîå îòðàæåíèå èçëó÷åíèÿ íà çàäíåé ãðàíè
è ïðîñâåòëåíèå èçëó÷àþùåé ãðàíè.
Ñëåäóåò òàêæå îòìåòèòü, ÷òî ïðè ðàáîòå ñ îõëàæ-
äàåìûìè ôîòîïðèåìíèêàìè, êîòîðûå ñàìè ÿâëÿþòñÿ
èñòî÷íèêàìè õîëîäíîãî ôîíà, ïîëóïðîâîäíèêîâûé
èçëó÷àòåëü ìîæåò íàõîäèòüñÿ ïðè òåìïåðàòóðå îê-
ðóæàþùåé ñðåäû.
Êîíñòðóêöèÿ èñòî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ
Íà ðèñ. 2 ñõåìàòè÷åñêè ïðåäñòàâëåíà êîíñòðóê-
öèÿ èñòî÷íèêà èçëó÷åíèÿ. Àêòèâíûé ýëåìåíò (1)
âûïîëíåí â ôîðìå ïðÿìîóãîëüíîé ïðèçìû òîëùè-
íîé 5 ìì è äëèíîé ãèïîòåíóçû òðåóãîëüíîé ãðàíè
5 ìì ñî ñïëîøíûìè êîíòàêòàìè íà äâóõ ïðîòèâîïî-
ëîæíûõ òðåóãîëüíûõ ãðàíÿõ. Íà äâóõ çàäíèõ âçà-
èìíî îðòîãîíàëüíûõ ïëîñêîñòÿõ íàíåñåíà äèýëåêò-
ðè÷åñêàÿ ïðîçðà÷íàÿ â ÈÊ-îáëàñòè ñïåêòðà ïëåíêà
ZnSe (2), íà êîòîðóþ íàíåñåíî îòðàæàþùåå ïîêðû-
òèå èç Al (3). Àêòèâíûé ýëåìåíò íàõîäèòñÿ â òåïëî-
âîì êîíòàêòå ñ íàãðåâàòåëÿìè (4), êîòîðûå îáåñïå-
÷èâàþò íåîáõîäèìóþ ðàáî÷óþ òåìïåðàòóðó â äèà-
ïàçîíå 20�140°Ñ. Òåìïåðàòóðà àêòèâíîãî ýëåìåíòà
êîíòðîëèðóåòñÿ äàò÷èêîì òåìïåðàòóðû (5). Âñå
Ðèñ. 1. Ðàñ÷åòíûå çàâèñèìîñòè èçìåíåíèÿ ýôôåêòèâíî-
ãî êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâîé ñòðóê-
òóðû îò âåëè÷èíû êîýôôèöèåíòà ïðîõîæäåíèÿ ïîëóïðî-
âîäíèêà
∆R
0,8
0,6
0,4
0,2
0,0
�0,2
�0,4
�0,6
�0,8
�1,0
0,0 0,2 0,4 0,6 0,8 1,0 ϕ
1′
2′
1
2
R1 R2
0 l x
hν
Ðèñ. 2. Êîíñòðóêöèÿ èñòî÷íèêà èçëó÷åíèÿ:
1 � àêòèâíûé ýëåìåíò; 2 � äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïëåíêà; 3 � îòðà-
æàþùèé ýêðàí; 4 � íàãðåâàòåëè; 5 � òåðìîäàò÷èê; 6 � äèýëåê-
òðè÷åñêàÿ òåïëîèçîëèðóþùàÿ ïîäñòàâêà; 7 � êîðïóñ; 8 � ýëåê-
òðè÷åñêèå âûâîäû; 9 � îêíî
1
2
3
4
5
6
7
8
9
ýôôåêòèâíûé êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ îò ïî-
âåðõíîñòè õ=0 ðàññìàòðèâàåìîé ñèñòåìû ïðè
íîðìàëüíîì ïàäåíèè;
êîýôôèöèåíòû îòðàæåíèÿ îò ãðàíèö ðàçäåëà
õ=0 è x=l;
èíòåíñèâíîñòü èçëó÷åíèÿ ÷åðíîãî òåëà;
òåìïåðàòóðà ñèñòåìû è ôîíîâîãî èçëó÷åíèÿ
â îáëàñòè õ<0;
êîýôôèöèåíò ïðîõîæäåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêà;
êîýôôèöèåíò ïîãëîùåíèÿ èçëó÷åíèÿ ñâîáîä-
íûìè íîñèòåëÿìè òîêà;
ñå÷åíèÿ ïîãëîùåíèÿ ýëåêòðîíàìè è äûðêàìè.
R �
R1 è R2 �
I�
Ò è Tô �
ϕ �
α �
σn, σp �
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
17
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ýëåìåíòû êðåïÿòñÿ íà äèýëåêòðè÷åñêîé òåïëîèçîëè-
ðóþùåé îñíîâå (6) è ðàñïîëàãàþòñÿ â êîðïóñå (7) ñ
ýëåêòðè÷åñêèìè âûâîäàìè (8). Èçëó÷åíèå âûâîäèòñÿ
÷åðåç âåðõíþþ ïðîñâåòëåííóþ ãðàíü ïðèçìû è ïðî-
çðà÷íîå îêíî èç ïðîñâåòëåííîãî ZnSe (9).
Ïðèçìàòè÷åñêàÿ ôîðìà àêòèâíîãî ýëåìåíòà â ñî-
÷åòàíèè ñ îðòîãîíàëüíûìè çåðêàëüíûìè íèæíèìè
ãðàíÿìè îáåñïå÷èâàåò âûâîä èçëó÷åíèÿ ÷åðåç îäíó
òîëüêî âåðõíþþ ãðàíü è ñïîñîáñòâóåò ñóæåíèþ äè-
àãðàììû íàïðàâëåííîñòè èçëó÷åíèÿ, ò. å. îáåñïå÷è-
âàåò ñóùåñòâåííîå óâåëè÷åíèå âíåøíåãî êâàíòîâî-
ãî âûõîäà èçëó÷åíèÿ.
Àêòèâíûå ýëåìåíòû èçëó÷àòåëåé èçãîòàâëèâàëèñü
íà áàçå ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî ãåðìàíèÿ. Íà îäíîé
èç òðåóãîëüíûõ ãðàíåé ôîðìèðîâàëñÿ ð�n-ïåðåõîä,
íà ïðîòèâîïîëîæíîé ãðàíè ñîçäàâàëñÿ îìè÷åñêèé
êîíòàêò. Êðîìå ñòðóêòóð ñ ð�n-ïåðåõîäîì, êîòîðûå
ðàáîòàþò íà ýôôåêòå èíæåêöèè, ñîçäàâàëèñü òàêæå
ñòðóêòóðû ñ ð+�ð-ïåðåõîäîì äëÿ ðåàëèçàöèè ýôôåê-
òà ýêñêëþçèè.
Àêòèâíûå ýëåìåíòû èíæåêöèîííîãî òèïà èçãî-
òàâëèâàëèñü èç ãåðìàíèÿ n-òèïà ïðîâîäèìîñòè ñ
óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì ïðè êîìíàòíîé òåìïåðà-
òóðå â äèàïàçîíå 0,2�3 Îì⋅ñì. Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ
ñòðóêòóð ñ àíòèçàïîðíûì ð+�ð-ïåðåõîäîì èñïîëü-
çîâàëñÿ ð-Ge ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì 45 Îì⋅ñì.
Äëÿ ïîëó÷åíèÿ ð+-êîíòàêòîâ âïëàâëÿëñÿ èíäèé ñ
ãàëëèåì (0,5%), äëÿ n+-êîíòàêòîâ � îëîâî ñ ñóðüìîé
(1%). Îìè÷åñêèé êîíòàêò ñîçäàâàëñÿ âïëàâëåíèåì
÷èñòîãî îëîâà â àòìîñôåðå âîäîðîäà â äèàïàçîíå
òåìïåðàòóð 450�550°Ñ ñ ïîñëåäóþùèì áûñòðûì
îõëàæäåíèåì.
Ïàðàìåòðû è õàðàêòåðèñòèêè
Äëÿ îïðåäåëåíèÿ îïòèìàëüíûõ ðåæèìîâ ðàáîòû
äëèííîâîëíîâûõ èíôðàêðàñíûõ èñòî÷íèêîâ èçëó-
÷åíèÿ ïðîâåäåíî ñðàâíèòåëüíîå èçó÷åíèå õàðàêòå-
ðèñòèê èñòî÷íèêîâ, îñíîâàííûõ íà äâóõ ðàçëè÷íûõ
ýôôåêòàõ � èíæåêöèè è ýêñêëþçèè. Èçìåðåíèå ïî-
ëåâûõ, òåìïåðàòóðíûõ è ïðîñòðàíñòâåííûõ õàðàêòå-
ðèñòèê ïðîâîäèëîñü â èìïóëüñíîì ðåæèìå ïèòàíèÿ.
 êà÷åñòâå ïðèåìíèêà èçëó÷åíèÿ èñïîëüçîâàëîñü îõ-
ëàæäàåìîå æèäêèì àçîòîì ôîòîñîïðîòèâëåíèå èç
CdHgTe ñ îêíîì èç ïðîñâåòëåííîãî Ge. Ñïåêòðàëü-
íûå çàâèñèìîñòè çàïèñûâàëèñü íà ðåøåòî÷íîì ìî-
íîõðîìàòîðå ñ ïèðîýëåêòðè÷åñêèì ôîòîïðèåìíèêîì.
Ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ èñòî÷íèêîâ èññëåäîâàëàñü ñ
ïîìîùüþ èíòåãðèðóþùåé ñôåðû.
Íà ðèñ. 3 ïðåäñòàâëåíû ïîëåâûå çàâèñèìîñòè
ìîùíîñòè ìîäóëèðîâàííîãî ÒÈ äëÿ èíæåêöèîííîãî
(à) è äëÿ ýêñêëþçèîííîãî (á) èñòî÷íèêîâ.  óñëî-
âèÿõ èíæåêöèè ïåðåìåííàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ ñèãíàëà
ÒÈ íà ôîòîïðèåìíèêå èìååò ïîëîæèòåëüíûé çíàê
(ñì. îñöèëëîãðàììó íà âñòàâêå ê ðèñ. 3, à, öåíà
äåëåíèÿ ïî ãîðèçîíòàëè 0,2 ìñ), à ïðè ýêñêëþçèè �
îòðèöàòåëüíûé (âñòàâêà ê ðèñ. 3, á). Ìîùíîñòü ÒÈ
ïðè èíæåêöèè äîñòèãàåò 6,4 ìÂò ïðè òåìïåðàòóðå
(t) 120°Ñ. Ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå èíæåêöèîí-
íûé èñòî÷íèê èçëó÷åíèÿ ïðè ðàáîòå ñ îõëàæäàåìûì
ôîòîïðèåìíèêîì òàêæå äàåò äîñòàòî÷íî ìîùíûé ñèã-
íàë. Ýòîò ðåçóëüòàò ïîêàçûâàåò, ÷òî òåïëîâûå èñ-
òî÷íèêè èçëó÷åíèÿ ìîãóò ðàáîòàòü ïðè òåìïåðàòóðå
îêðóæàþùåé ñðåäû êàê îáû÷íûå ëþìèíåñöåíòíûå
êîðîòêîâîëíîâûå ñâåòîäèîäû, âûïîëíåííûå èç øè-
ðîêîçîííûõ ìàòåðèàëîâ.
Áûñòðîäåéñòâèå òåïëîâûõ èñòî÷íèêîâ, òàê æå, êàê
è ó ëþìèíåñöåíòíûõ ñâåòîäèîäîâ, îïðåäåëÿåòñÿ, â
îñíîâíîì, âðåìåíåì æèçíè íåðàâíîâåñíûõ íîñèòå-
ëåé çàðÿäà è â âûáðàííûõ ìàðêàõ Ge íå ïðåâûøàåò
3·10�4 ñ.
Íà ðèñ. 4 ïðåäñòàâëåíû çàâèñèìîñòè ìîùíîñòè
ìîäóëèðîâàííîãî ÒÈ îò òåìïåðàòóðû èçëó÷àòåëÿ.
Âèäíî, ÷òî ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ ñèãíàëû ïðè
èíæåêöèè ñóùåñòâåííî âûøå, ÷åì ïðè ýêñêëþçèè.
Òåì íå ìåíåå ïðè âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ ýòà ðàçíè-
öà óìåíüøàåòñÿ, ïîñêîëüêó èç-çà ðîñòà êîíöåíòðà-
öèè íîñèòåëåé ñ òåìïåðàòóðîé âîçðàñòàåò îïòè÷åñ-
êàÿ òîëùèíà êðèñòàëëà. Íàñûùåíèå è ñïàä âåëè÷è-
íû ìîäóëèðîâàííîãî ñèãíàëà ÒÈ ñ óâåëè÷åíèåì òåì-
ïåðàòóðû â îáîèõ ñëó÷àÿõ ñâÿçàíû ñ óìåíüøåíèåì
ýôôåêòèâíîñòè p�n- è p+�p-ïåðåõîäîâ ïðè Ò>120°C.
Ðàáî÷èé òåìïåðàòóðíûé èíòåðâàë èñòî÷íèêîâ ìîæíî
ðàñøèðèòü èñïîëüçóÿ áîëåå øèðîêîçîííûå ïîëóïðî-
âîäíèêè, íàïðèìåð Si èëè GaAs, â êîòîðûõ èíæåêöèÿ
ýôôåêòèâíà ïðè áîëåå âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ.
Ñïåêòðàëüíûå õàðàêòåðèñòèêè èñòî÷íèêà íà ýô-
ôåêòå èíæåêöèè ïðåäñòàâëåíû íà ðèñ. 5. Çäåñü æå
èçîáðàæåí ñïåêòð èçëó÷åíèÿ èäåàëüíîãî ÷åðíîãî
òåëà. Âèäíî, ÷òî â ñïåêòðàëüíîì äèàïàçîíå 8�14 ìêì
ñïåêòð èçëó÷àòåëÿ ïîäîáåí ñïåêòðó ÷åðíîãî òåëà,
îäíàêî ìàêñèìóì ñïåêòðà èìååò íåçíà÷èòåëüíûé ñäâèã
â äëèííîâîëíîâóþ ñòîðîíó. Ñ ïîâûøåíèåì òåìïå-
ðàòóðû ìàêñèìóì ñïåêòðà èçëó÷åíèÿ ñìåùàåòñÿ, êàê
è ó ÷åðíîãî òåëà, â ñòîðîíó êîðîòêèõ äëèí âîëí.
Ñïåêòðû èñòî÷íèêîâ íà ýôôåêòå ýêñêëþçèè ïîäîá-
íû ïðèâåäåííûì âûøå è îòëè÷àþòñÿ òîëüêî àìïëè-
òóäîé ñèãíàëîâ.
Íà ðèñ. 6 ïðèâåäåíà äèàãðàììà íàïðàâëåííîñòè
èçëó÷åíèÿ èñòî÷íèêà â äâóõ îðòîãîíàëüíûõ ïëîñ-
êîñòÿõ.  îòëè÷èå îò ïëîñêîãî èçëó÷àòåëÿ, èìåþùå-
ãî øèðîêóþ äèàãðàììó íàïðàâëåííîñòè ñ ÷åòûðüìÿ
ëåïåñòêàìè, ñîîòâåòñòâóþùóþ âûõîäó èçëó÷åíèÿ
Ðèñ. 3. Ïîëåâûå çàâèñè-
ìîñòè ìîùíîñòè ìîäóëè-
ðîâàííîãî ÒÈ äëÿ èíæåê-
öèîííîãî (a) è ýêñ-
êëþçèîííîãî (á) èñòî÷-
íèêîâ:
1 � t =20°C; 2 � 100°C;
3 �120°C; 4 � t =70°C
à) á)
6
4
2
0
+20 ì 200 ìêñ
3
2
1
2 4 6 8 U, B
2
14
3
0,0
�0,5
�1,0
�1,5
�2,0
0 20 40 U, B
+20 ì 200 ìêñ
∆P
, ì
Â
ò
∆P
, ì
Â
ò
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
18
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
÷åðåç ÷åòûðå íåçàêðûòûå áîêîâûå ãðàíè ïëàñòèíû,
ïðèçìàòè÷åñêèé èçëó÷àòåëü ñ îòðàæàþùèìè çàäíè-
ìè ãðàíÿìè èìååò îäíîëåïåñòêîâóþ âûòÿíóòóþ äè-
àãðàììó, ÷òî ïîçâîëÿåò óâåëè÷èòü ìîùíîñòü èçëó÷å-
íèÿ â îäíîì íàïðàâëåíèè è ïîâûñèòü ê. ï. ä. óñò-
ðîéñòâà. Ê. ï. ä. èíæåêöèîííîãî èñòî÷íèêà èçëó÷å-
íèÿ â îïòèìàëüíîì äèàïàçîíå òåìïåðàòóð 80�100°Ñ
ñîñòàâëÿåò 3% ïðè íàïðÿæåíèè ïèòàíèÿ 1 Â.
Íåñìîòðÿ íà îòíîñèòåëüíóþ íèçêóþ ýôôåêòèâ-
íîñòü ýêñêëþçèîííûõ èñòî÷íèêîâ èçëó÷åíèÿ, îíè îêà-
çûâàþòñÿ íåçàìåíèìûìè, êîãäà âîçíèêàåò íåîáõî-
äèìîñòü ãåíåðàöèè îòðèöàòåëüíûõ ñèãíàëîâ íà óðîâíå
ôîíîâîãî èçëó÷åíèÿ. Òàêèå èñòî÷íèêè â ñî÷åòàíèè
ñ èíæåêöèîííûìè ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû äëÿ ñî-
çäàíèÿ ìàòðè÷íûõ ýêðàíîâ, ñïîñîáíûõ èìèòèðîâàòü
ÈÊ-êàðòèíó ïåðåìåííîãî êîíòðàñòà.
***
Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàíû ìàëîãàáàðèòíûå äëèí-
íîâîëíîâûå èñòî÷íèêè ÈÊ-èçëó÷åíèÿ, ðàáîòàþùèå
ïðè êîìíàòíîé è áîëåå âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ. Èñ-
òî÷íèêè èçãîòàâëèâàþòñÿ èç øèðîêîçîííûõ ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ è êîíñòðóêòèâíî ìàëî îòëè÷àþòñÿ îò
ñòàíäàðòíûõ êîðîòêîâîëíîâûõ ñâåòîäèîäîâ.
 îòëè÷èå îò òðàäèöèîííûõ ñâåòîäèîäîâ, êîòî-
ðûå èñïîëüçóþò õîðîøî èçâåñòíóþ ìåæçîííóþ ëþ-
ìèíåñöåíöèþ, èñòî÷íèêè íà ýôôåêòå êîíöåíòðàöè-
îííîé ìîäóëÿöèè êîýôôèöèåíòà îòðàæåíèÿ ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ ìîæíî ïðåäñòàâèòü êàê ãèáðèä òðàäè-
öèîííûõ ñâåòîäèîäîâ è èñòî÷íèêîâ òåïëîâîãî èç-
ëó÷åíèÿ òèïà ÷åðíîãî òåëà. Òåìïåðàòóðà, à íå çîí-
íàÿ ñòðóêòóðà, ÿâëÿåòñÿ ãëàâíûì ðåãóëèðóþùèì ïà-
ðàìåòðîì. Âñëåäñòâèå ýòîãî äàííûå ïðèáîðû ñâî-
áîäíû îò âëèÿíèÿ áåçûçëó÷àòåëüíîé Îæå-ðåêîìáè-
íàöèè, íå ñêëîííû ê äåãðàäàöèè, äàþò ïîëîæèòåëü-
íûé è îòðèöàòåëüíûé êîíòðàñò â ñïåêòðàëüíîì äè-
Ðèñ. 4. Òåìïåðàòóðíûå çàâèñèìîñòè ìîùíîñòè ìîäóëè-
ðîâàííîãî ÒÈ èñòî÷íèêîâ ïðè èíæåêöèè U=8  (1) è
ýêñêëþçèè U=40 Â (2)
àïàçîíå 5�14 ìêì è, â òî æå âðåìÿ, ðàáîòàþò ïðè
âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ ñî ñêîðîñòüþ, íà íåñêîëüêî
ïîðÿäêîâ ïðåâûøàþùåé ñêîðîñòü òåïëîâûõ èñòî÷-
íèêîâ ñ âíåøíåé ìîäóëÿöèåé èçëó÷åíèÿ. Áûñòðî-
äåéñòâèå îïðåäåëÿåòñÿ âðåìåíåì æèçíè íåðàâíîâåñ-
íûõ íîñèòåëåé çàðÿäà. Ìîùíîñòü èçëó÷åíèÿ ëèìè-
òèðóåòñÿ ìîùíîñòüþ èçëó÷åíèÿ ÷åðíîãî òåëà â ñî-
îòâåòñòâóþùåì ñïåêòðàëüíîì äèàïàçîíå. Äèàãðàì-
ìà íàïðàâëåííîñòè èçëó÷åíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ êîíñò-
ðóêöèåé àêòèâíîãî ýëåìåíòà. Ê. ï. ä. äîñòèãàåò 3%.
Òàêèå èñòî÷íèêè íàéäóò øèðîêîå ïðèìåíåíèå â
ìåòðîëîãèè, ãàçîàíàëèçàòîðàõ, òåïëîâèçèîííûõ ñèñ-
òåìàõ, ñèñòåìàõ êîíòðîëÿ ïàðàìåòðîâ ìàòåðèàëîâ è
áóäóò êà÷åñòâåííî îòëè÷àòüñÿ îò ñâîèõ àíàëîãîâ,
ðàáîòàþùèõ ïðè îõëàæäåíèè, âûñîêîé íàäåæíîñòüþ,
ìàëûìè ãàáàðèòàìè è ñòîèìîñòüþ. Ïåðñïåêòèâíûìè
äëÿ ìíîãèõ îáëàñòåé ÈÊ-òåõíèêè ÿâëÿþòñÿ òàêæå
íåîõëàæäàåìûå ëèíåéêè è ìàòðèöû èñòî÷íèêîâ èç-
ëó÷åíèÿ, ïîçâîëÿþùèå ìîäåëèðîâàòü ÈÊ-êàðòèíó ïå-
ðåìåííîãî êîíòðàñòà â ðàçëè÷íîãî ðîäà èìèòàòîðàõ
è ñèñòåìàõ òåñòèðîâàíèÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ashley T., Elliott C. T., Gordon N. T. et al. Uncooled
InSb/In1�xAlxSb mid-infrared emitter // Appl. Phys. Lett.�
1994.� Vol. 64, N18.� P. 2433�2435.
2. Tang P. J. P., Pullin M. J., Chung S. J. et al. 4�11
µm infrared emission and 300 K light emitting diodes from
arsenic-rich InAs1�xSbx strained layer superlattices //
Semicond. Sci. Technol.� 1995.� Vol. 10.� P. 1177�1180.
3. Matveev B. A., Gavrilov G. A., Evstropov V. V. et
al. Mid-infrared (3�5 µm) LEDs as sources for gas and
liquid sensors // Sensors and Actuators.� 1997.� Vol. B
38�39.� P. 339�343.
4. Óëüìåð Ý. A., Ôðåíêë Ä. Ð. Ýìèññèÿ èíôðàêðàñ-
íîãî èçëó÷åíèÿ ñâîáîäíûìè íîñèòåëÿìè çàðÿäà â ãåðìà-
íèè // Òð. IX Ìåæäóíàð. êîíô. ïî ôèçèêå ïîëóïðîâîä-
íèêîâ.� Ì., 1968, ñ.179�183.
5. Ìàëþòåíêî Â. Ê., Áîòòå Â. À., ßáëîíîâñêèé Å. È.
è äð. Òåïëîâîå èçëó÷åíèå íåðàâíîâåñíîé ïîëóïðîâîäíè-
êîâîé ïëàçìû // Ôèçèêà è òåõíèêà ïîëóïðîâîäíèêîâ.�
1987.� Ò. 21, âûï. 1.� Ñ. 173�175.
6. Áîëãîâ Ñ. Ñ., Ìàëþòåíêî Â. Ê., Ïèïà Â. È. è äð.
Ìîäóëÿöèÿ òåïëîâîãî èçëó÷åíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâ â óñ-
ëîâèÿõ íåîäíîðîäíîãî òåìïåðàòóðíîãî ïîëÿ ôîíà // Æóð-
íàë ïðèêëàäíîé ñïåêòðîñêîïèè.�1990.� Ò. 52, ¹ 2.�
Ñ. 276�279.
2
1
1
0,1
0 40 80 120 Ò, °Ñ
∆
P
,
ì
Â
ò
Ðèñ. 6. Äèàãðàììà
íàïðàâëåííîñòè èçëó-
÷åíèÿ:
1 � ïëîñêîñòü èçëó÷å-
íèÿ îðòîãîíàëüíà ïëîñ-
êîñòè êîíòàêòîâ; 2 �
ïëîñêîñòü èçëó÷åíèÿ
êîëëèíåàðíà ïëîñêîñòè
êîíòàêòîâ
Ò=80°Ñ
∆P
, î
òí
. å
ä.
0,7
0,5
0,3
0,1
6 8 10 12 14 λ, ìêì
1
2 3
4 5
Ðèñ. 5. Ñïåêòðàëüíûå õàðàêòåðèñòèêè èíæåêöèîííîãî
èçëó÷àòåëÿ ïðè ðàçëè÷íûõ çíà÷åíèÿõ ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ:
1 � ñïåêòð èçëó÷åíèÿ ÷åðíîãî òåëà; 2 � I=1,2 A; 3 � 1,0 À;
4 � 0,7 À; 5 � I=0,5 A
1
2
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70856 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T22:19:15Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Болгов, С.С. 2014-11-15T14:18:37Z 2014-11-15T14:18:37Z 2001 Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников / С.С. Болгов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 15-18. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70856 621.315.592 Разработаны малогабаритные длинноволновые (λ=5–14 мкм) источники ИК-излучения, работающие при комнатной и более высоких температурах. Источники генерируют положительные и отрицательные световые потоки относительно уровня фонового излучения. Конструкция дает возможность работать с охлажденными фотоприемниками при температуре источника, равной окружающей среде, как с обычными люминесцентными светодиодами. Обсуждается область использования источников. The small-outline (λ=5–14 mm) infrared sources operating at room and higher temperatures have been developed. The sources generate positive and negative light flows relative to level of background radiation. The design allows to operate with cooled light sensors at source temperature that is equal to the ambient temperature as with the ordinary luminescent light-emitting diodes. The fields of application of sources are discussed. Автор благодарен В. К. Малютенко и Г. И. Тесленко за обсуждение результатов работы, а также А. К. Мельнику за помощь при проведении спектральных измерений. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микроэлектроника Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников The long-wave infrared sources based on wide-bandgep semiconductors Article published earlier |
| spellingShingle | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников Болгов, С.С. Функциональная микроэлектроника |
| title | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников |
| title_alt | The long-wave infrared sources based on wide-bandgep semiconductors |
| title_full | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников |
| title_fullStr | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников |
| title_full_unstemmed | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников |
| title_short | Длинноволновые источники ИК-излучения на основе широкозонных полупроводников |
| title_sort | длинноволновые источники ик-излучения на основе широкозонных полупроводников |
| topic | Функциональная микроэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микроэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70856 |
| work_keys_str_mv | AT bolgovss dlinnovolnovyeistočnikiikizlučeniânaosnoveširokozonnyhpoluprovodnikov AT bolgovss thelongwaveinfraredsourcesbasedonwidebandgepsemiconductors |