Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов
Исследованы оптические характеристики тонких пленок нового широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄. Область прозрачности пленок составляет 0,3—25 мкм, показатель преломления при λ=0,63 мкм равен 2,2. Оптические характеристики после термообработки (473 К), естественного старения (два года), а также обра...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70857 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов / Н.И. Попович, Н.И. Довгошей, И.Э. Качер // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 19-20. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1860244858637123584 |
|---|---|
| author | Попович, Н.И. Довгошей, Н.И. Качер, И.Э. |
| author_facet | Попович, Н.И. Довгошей, Н.И. Качер, И.Э. |
| citation_txt | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов / Н.И. Попович, Н.И. Довгошей, И.Э. Качер // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 19-20. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследованы оптические характеристики тонких пленок нового широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄. Область прозрачности пленок составляет 0,3—25 мкм, показатель преломления при λ=0,63 мкм равен 2,2. Оптические характеристики после термообработки (473 К), естественного старения (два года), а также обработки лазерным излучением (10⁶ Вт/см²) остаются неизменными. Изучена возможность применения ZnGa₂S₄ в качестве просветляющих и защитных покрытий для оптических кристаллов в диапазоне длин волн 0,3—25 мкм.
The optical characteristics of new widezone ZnGa₂S₄ semiconductor thin films have been investigated. The transparance range of films is 0,3— 25 mm, the refraction index for λ=0,63 mm equels 2,2. The optical characteristics after thermal processing (473 K), natural ageing (two years) as well as treatment by laser beam (10⁶ W/sm²) are remained without changes. The possibility of ZnGa₂S₄ application as antirefrection coating and protective coats for optical crystals in range of 0,3—20 mm long waves has been studied.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:35:04Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
19
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ÏÐÈÌÅÍÅÍÈÅ ÏËÅÍÎÊ
ØÈÐÎÊÎÇÎÍÍÎÃÎ ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÀ ZnGa2S4
ÄËß ÏÐÎÑÂÅÒËÅÍÈß ÎÏÒÈ×ÅÑÊÈÕ ÝËÅÌÅÍÒÎÂ
Ê. ô.-ì. í. Í. È. ÏÎÏÎÂÈ×,
ä. ô.-ì. í. Í. È. ÄÎÂÃÎØÅÉ, ê. ô.-ì. í. È. Ý. ÊÀ×ÅÐ
Óêðàèíà, Óæãîðîäñêèé íàö. óíèâåðñèòåò
E-mail: pmm@univ.uzhgorod.ua
Òèîãàëëàò öèíêà ìîæåò ïðèìåíÿòüñÿ
â êà÷åñòâå ïðîñâåòëÿþùèõ è çàùèòíûõ
ïîêðûòèé îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ, ðàáî-
òàþùèõ â ñïåêòðå îò 0,2 äî 25 ìêì.
Îäíîé èç îñíîâíûõ çàäà÷ ñîâðåìåííîãî îïòè-
÷åñêîãî ïðèáîðîñòðîåíèÿ ÿâëÿåòñÿ ïîâûøåíèå êî-
ýôôèöèåíòà ïîëåçíîãî äåéñòâèÿ êàæäîãî àêòèâíî-
ãî ýëåìåíòà, ïðèìåíÿåìîãî â îïòîýëåêòðîííûõ óñò-
ðîéñòâàõ. Äëÿ ïðîìûøëåííîãî ïðîèçâîäñòâà ýôôåê-
òèâíûõ ïðîñâåòëÿþùèõ è çàùèòíûõ ïîêðûòèé íå-
îáõîäèìû ìàòåðèàëû ñ îïðåäåëåííûìè ñâîéñòâàìè
è õàðàêòåðèñòèêàìè, êîòîðûå äîëæíû îáëàäàòü òà-
êèìè ñâîéñòâàìè, êàê âûñîêîå ïðîïóñêàíèå, õîðî-
øàÿ àäãåçèÿ è íèçêèå ìåõàíè÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ, îï-
ðåäåëåííîå çíà÷åíèå ïîêàçàòåëÿ ïðåëîìëåíèÿ, õèìè-
÷åñêàÿ ñòàáèëüíîñòü, óñòîé÷èâîñòü ê äåéñòâèþ ðàç-
ðóøàþùèõ ôàêòîðîâ îêðóæàþùåé ñðåäû.
 ëèòåðàòóðå ïî÷òè íå îïèñàíû ïëåíî÷íûå ìàòå-
ðèàëû, ïðîçðà÷íûå â îáëàñòè áëèæíåãî óëüòðàôèî-
ëåòà. Èññëåäóåìûå íàìè òîíêèå ïëåíêè òèîãàëëàòà
öèíêà îòâå÷àþò ïåðå÷èñëåííûì òðåáîâàíèÿì è ïî-
ýòîìó ìîãóò áûòü ïðåäëîæåíû äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ â
êà÷åñòâå ïðîñâåòëÿþùèõ è çàùèòíûõ ïîêðûòèé îï-
òè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ íà îñíîâå êðèñòàëëîâ ïàðàòåë-
ëóðèòà TeO2, íèîáàòà ëèòèÿ L³NbO3, à òàêæå ñàïôè-
ðà Al2O3.
Îïòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè òîíêèõ ñëîåâ
ZnGa2S4
Òîíêèå ïëåíêè òèîãàëëàòà öèíêà ZnGa2S4 áûëè
ïîëó÷åíû ìåòîäîì èìïóëüñíîãî ëàçåðíîãî íàïûëå-
íèÿ â ðåæèìàõ ñâîáîäíîé ãåíåðàöèè è ãèãàíòñêèõ
èìïóëüñîâ. Ñïåêòðû ïðîïóñêàíèÿ ïëåíîê òèîãàëëà-
òà öèíêà èçìåðÿëèñü â îáëàñòè äëèí âîëí îò 0,2 äî
25 ìêì. Â ðåçóëüòàòå ïðîâåäåííûõ èññëåäîâàíèé
óñòàíîâëåíî [1, 2], ÷òî îáëàñòü ïðîçðà÷íîñòè ïëåíîê
ZnGa2S4 ñîñòàâëÿåò 0,3�25 ìêì (ñì. ðèñóíîê). Àíà-
ëèçèðóÿ ñïåêòðû ïðîïóñêàíèÿ, íóæíî îòìåòèòü, ÷òî
óâåëè÷åíèå îïòè÷åñêîãî ïðîïóñêàíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ
óñëîâèÿìè ïîëó÷åíèÿ äàííûõ òîíêèõ ñëîåâ. Òàê, â
ñïåêòðàõ ïðîïóñêàíèÿ ïëåíîê, ïîëó÷åííûõ èìïóëüñ-
íûì ëàçåðíûì íàïûëåíèåì â ðåæèìå ñâîáîäíîé ãå-
íåðàöèè, íàáëþäàåòñÿ çíà÷èòåëüíîå óâåëè÷åíèå îï-
òè÷åñêîãî ïðîïóñêàíèÿ è êîíòðàñòíîñòè èíòåðôå-
ðåíöèîííîé êàðòèíû ïî ñðàâíåíèþ ñ ïëåíêàìè, ïîëó-
÷åííûìè èìïóëüñíûì ëàçåðíûì íàïûëåíèåì â ðå-
æèìå ãèãàíòñêèõ èìïóëüñîâ. Ýòîò ôàêò ìîæíî îáúÿñ-
íèòü íàëè÷èåì ïåðåõîäíîãî ñëîÿ â ñòðóêòóðå "ïëåí-
êà�ïîäëîæêà". Çíà÷åíèå ïîêàçàòåëÿ ïðåëîìëåíèÿ
ïëåíîê ZnGa2S4 ñîñòàâëÿåò n=2,2 íà äëèíå âîëíû
λ=0,63 ìêì.
Êðîìå òîãî, óñòàíîâëåíî, ÷òî òåðìè÷åñêîå íàïû-
ëåíèå íåïðèãîäíî äëÿ ïîëó÷åíèÿ îïòè÷åñêèõ ïîêðû-
òèé ZnGa2S4.
Èçâåñòíî [3, 4], ÷òî îïòè÷åñêèå ñâîéñòâà èíòåðôå-
ðåíöèîííûõ ïîêðûòèé ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ,
ïîëó÷åííûõ èñïàðåíèåì â âàêóóìå òåðìè÷åñêèìè èëè
ýëåêòðîííî-ëó÷åâûìè ìåòîäàìè, ñî âðåìåíåì èçìåíÿ-
þòñÿ. Ïîýòîìó èññëåäîâàëîñü âëèÿíèå åñòåñòâåííîãî
ñòàðåíèÿ, à òàêæå òåðìè÷åñêîé è ëàçåðíîé îáðàáîòêè
íà îïòè÷åñêèå ñâîéñòâà òîíêèõ ñëîåâ òèîãàëëàòà öèíêà.
Òîíêàÿ ïëåíêà ÿâëÿåòñÿ íåóñòîé÷èâîé ñèñòåìîé
è ïîýòîìó ïðè òåìïåðàòóðå, îòëè÷íîé îò íóëÿ, ñòðå-
ìèòñÿ ê áîëåå ðàâíîâåñíîìó ñîñòîÿíèþ, ò. å. êîëè-
÷åñòâî äåôåêòîâ â ïëåíêå äîëæíî óìåíüøàòüñÿ. Ýê-
ñïåðèìåíòàëüíî óñòàíîâëåíî [5, 6], ÷òî ñ óâåëè÷åíè-
åì òåìïåðàòóðû óâåëè÷èâàåòñÿ ñêîðîñòü òàêèõ èçìå-
íåíèé. Ýòîò ôàêò ïîëîæåí â îñíîâó èññëåäîâàíèÿ
ïðîöåññîâ îòæèãà òîíêèõ ïëåíîê ñ öåëüþ îïðåäåëå-
íèÿ òèïà äåôåêòîâ è ðåàêöèé, êîòîðûå ïðèâîäÿò ê
âîçîáíîâëåíèþ â ïëåíêàõ ñâîéñòâ òâåðäîãî òåëà.
Êàê åñòåñòâåííîå, òàê è ñòèìóëèðîâàííîå ñòàðåíèå
ñâîäèòñÿ ê ðàçëè÷íûì ôîðìàì óïîðÿäî÷èâàíèÿ
ñòðóêòóðû ìàòåðèàëà.
Ïëåíî÷íûå ýëåìåíòû ZnGa2S4 ïîäâåðãàëèñü îá-
ðàáîòêå ïðè òåìïåðàòóðàõ 323, 373 è 473 Ê â âàêó-
óìíîé êàìåðå âàêóóìíîãî ïîñòà ÂÓÏ-5Ì ïðè äàâ-
ëåíèè 1,3·10�4 Ïà íà ïðîòÿæåíèè 2 ÷. Â ðåçóëüòàòå
èññëåäîâàíèÿ îïòè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê óñòàíîâëå-
íî, ÷òî äëÿ ïëåíîê, êîòîðûå ïðîøëè òåðìîîáðàáîòêó,
T, %
50
0 0,5 1,0 5,0 10 15 20 λ, ìêì
2
1
Ñïåêòðû ïðîïóñêàíèÿ ïëåíêè òèîãàëëàòà öèíêà, ïîëó-
÷åííîé èìïóëüñíûì ëàçåðíûì íàïûëåíèåì â ðåæèìå
ãèãàíòñêèõ èìïóëüñîâ (1) è ñâîáîäíîé ãåíåðàöèè (2).
Ò�êîýôôèöèåíò ïðîïóñêàíèÿ
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
30.01 2001 ã.
Îïïîíåíò ä. ô.-ì. í. Ï. Ï. ÏÓÃÀ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
20
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ñïåêòðû ïðîïóñêàíèÿ è çíà÷åíèå ïîêàçàòåëÿ ïðå-
ëîìëåíèÿ íå èçìåíÿþòñÿ, ò. å. èññëåäóåìûå îïòè÷åñ-
êèå ñëîè ÿâëÿþòñÿ óñòîé÷èâûìè ê âîçäåéñòâèþ
âûñîêèõ òåìïåðàòóð äî 473 Ê.
Òàêæå óñòàíîâëåíî, ÷òî â ðåçóëüòàòå åñòåñòâåí-
íîãî ñòàðåíèÿ òîíêèõ ïëåíîê òèîãàëëàòà öèíêà íà
ïðîòÿæåíèè äâóõ ëåò èõ îïòè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè
îñòàþòñÿ íåèçìåííûìè.
Îäíèì èç òðåáîâàíèé ê îïòè÷åñêèì ïîêðûòèÿì
ýëåìåíòîâ îïòè÷åñêèõ ñèñòåì ÿâëÿåòñÿ óñòîé÷èâîñòü
ìàòåðèàëà ïîêðûòèÿ ê äåéñòâèþ ëàçåðíîãî èçëó÷å-
íèÿ, ïîñêîëüêó èìåííî ðàçðóøåíèå îïòè÷åñêèõ ìàòå-
ðèàëîâ ïîä äåéñòâèåì ñîáñòâåííîãî èçëó÷åíèÿ ëàçå-
ðîâ îãðàíè÷èâàåò èõ ìîùíîñòü è ÿâëÿåòñÿ îäíîé èç
ïðè÷èí, êîòîðûå óñëîæíÿþò ñîçäàíèå ìîùíûõ ëàçåð-
íûõ ñèñòåì. Òîíêèå ïëåíêè ZnGa2S4 íå èçìåíÿþò
ñâîèõ îïòè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê ïîñëå îáðàáîòêè
ëàçåðíûì èçëó÷åíèåì ìîùíîñòüþ äî 106 Âò/ñì2, ÷òî
äàåò âîçìîæíîñòü èñïîëüçîâàòü èõ â ëàçåðíûõ îï-
òè÷åñêèõ ñèñòåìàõ.
Ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà ïðîñâåòëÿþùèõ ïîêðûòèé
íà îñíîâå ñëîåâ òèîãàëëàòà öèíêà
Äëÿ ïðîèçâîäñòâà îïòè÷åñêèõ ýëåìåíòîâ ìèêðî-
ýëåêòðîíèêè øèðîêî ïðèìåíÿþòñÿ êðèñòàëëû ïàðà-
òåëëóðèòà, íèîáàòà ëèòèÿ è ñàïôèðà. Êîýôôèöèåíò
îòðàæåíèÿ ýòèõ êðèñòàëëîâ áåç ïðîñâåòëåíèÿ ñî-
ñòàâëÿåò R=17�19%, êîýôôèöèåíò ïðîïóñêàíèÿ
Ò=80�82%. Ñîãëàñíî ðåçóëüòàòàì ïðîâåäåííûõ ðàñ-
÷åòîâ, ïðèìåíåíèå ïëåíîê òèîãàëëàòà öèíêà â êà÷å-
ñòâå îäíîñëîéíîãî îïòè÷åñêîãî ïîêðûòèÿ äëÿ òà-
êèõ îïòè÷åñêèõ êðèñòàëëîâ äàåò âîçìîæíîñòü óìåíü-
øèòü êîýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ äî 10�11% (òàáë. 1),
íî ýòîãî íåäîñòàòî÷íî äëÿ ýôôåêòèâíîé ðàáîòû îï-
òè÷åñêîãî ýëåìåíòà.
Òàáëèöà 1
Ïàðàìåòðû êðèñòàëëîâ TeO2 è LiNbO3, ïðîñâåòëåí-
íûõ òîíêèì ñëîåì ZnGa2S4, íà äëèíå âîëíû λ=0,4 ìêì
×òîáû ìàêñèìàëüíî ïðèáëèçèòü îòðàæåíèå îò ïî-
âåðõíîñòè êðèñòàëëîâ ê íóëåâîìó è ðàñøèðèòü ñïåê-
òðàëüíóþ îáëàñòü èõ ïðèìåíåíèÿ, íåîáõîäèìî èñ-
ïîëüçîâàòü äâóõñëîéíûå ïðîñâåòëÿþùèå ïîêðûòèÿ.
Âûáîð ìàòåðèàëîâ äëÿ ñîçäàíèÿ òàêîãî ïðîñâåòëÿ-
þùåãî ïîêðûòèÿ îñóùåñòâëÿëñÿ ïðè ïîìîùè äèàã-
ðàììû Øóñòåðà.  êà÷åñòâå ìàòåðèàëà äëÿ âíóòðåí-
íåãî íèçêîïðåëîìëÿþùåãî ñëîÿ ïðèìåíÿëñÿ ôòî-
ðèä êàëüöèÿ (CaF2) ñ ïîêàçàòåëåì ïðåëîìëåíèÿ
n=1,437 [7], êîòîðûé îòíîñèòñÿ ê êëàññó ìàòåðèàëîâ,
øèðîêî èñïîëüçóåìûõ â îïòîýëåêòðîíèêå áëàãîäà-
ðÿ ñâîåìó íèçêîìó îïòè÷åñêîìó ïîãëîùåíèþ â øè-
ðîêîì äèàïàçîíå äëèí âîëí. Äâóõñëîéíûå ïðîñâåò-
ëÿþùèå ïîêðûòèÿ äàþò âîçìîæíîñòü óìåíüøèòü êî-
ýôôèöèåíò îòðàæåíèÿ îò ïîâåðõíîñòè ïðîñâåòëÿå-
ìûõ êðèñòàëëîâ äî 1�6%. Íî ôòîðèä êàëüöèÿ ÿâ-
ëÿåòñÿ ãèãðîñêîïè÷åñêèì ìàòåðèàëîì, ïîãëîùåíèå èì
âîäÿíîãî ïàðà ïðèâîäèò ê óâåëè÷åíèþ îïòè÷åñêîé
ïîãëîùàþùåé ñïîñîáíîñòè è ê ìåõàíè÷åñêîìó ðàç-
ðóøåíèþ ýëåìåíòà íà åãî îñíîâå.
Òàêèì îáðàçîì, ïðè èñïîëüçîâàíèè ìàòåðèàëîâ òèïà
CaF2 â îïòèêå âàæíîå çíà÷åíèå èìååò çàùèòà èõ
ïîâåðõíîñòè îò âëàãè, à òàêæå îò äðóãèõ õèìè÷åñêèõ
ðåàãåíòîâ. Ïëåíêè òèîãàëëàòà öèíêà (ZnGa2S4) íå
ðàçðóøàþòñÿ ïîä âîçäåéñòâèåì âëàãè, ïîýòîìó îíè
ìîãóò ïðèìåíÿòüñÿ â êà÷åñòâå âíåøíåãî ïðîñâåòëÿþ-
ùåãî è çàùèòíîãî ïîêðûòèÿ îäíîâðåìåííî. Ïàðàìåò-
ðû ïðåäëàãàåìûõ äâóõñëîéíûõ ïðîñâåòëÿþùèõ ïî-
êðûòèé äëÿ îïòè÷åñêèõ êðèñòàëëîâ ïàðàòåëëóðèòà,
íèîáàòà ëèòèÿ è ñàïôèðà ïðèâåäåíû â òàáë. 2.
Âûâîäû
Òîíêèå ïëåíêè øèðîêîçîííîãî ïîëóïðîâîäíèêà
òèîãàëëàòà öèíêà ZnGa2S4 õàðàêòåðèçóþòñÿ øèðîêîé
îáëàñòüþ ïðîçðà÷íîñòè, âûñîêèì êîýôôèöèåíòîì ïðî-
ïóñêàíèÿ, óñòîé÷èâîñòüþ ê âîçäåéñòâèþ ôàêòîðîâ
îêðóæàþùåé ñðåäû è îòâå÷àþò òðåáîâàíèÿì, ïðåäúÿâ-
ëÿåìûì ê ïðîñâåòëÿþùèì ïîêðûòèÿì îïòè÷åñêèõ
ýëåìåíòîâ. Ïðèìåíåíèå èõ â êà÷åñòâå ïðîñâåòëÿþ-
ùèõ ïîêðûòèé äëÿ êðèñòàëëîâ ïàðàòåëëóðèòà, íèîáà-
òà ëèòèÿ è ñàïôèðà ïîçâîëÿåò óìåíüøèòü êîýôôèöè-
åíò îòðàæåíèÿ ïîëó÷åííîé ñòðóêòóðû íà 10�15%.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Äîâãîøåé Í. È., Êà÷åð È. Ý., Ïîïîâè÷ Í. È. Òîí-
êèå ïëåíêè íîâûõ ïîëóïðîâîäíèêîâ ZnGa2S4 // Ìàò-ëû
VI Ìåæäóíàð. ñèìïîç. «Òîíêèå ïëåíêè â ýëåêòðîíè-
êå».� Õåðñîí, 1995.� Ò. 1.� Ñ. 230�231.
2. Peculiarities of preparation and main optical pro-
perties of zinctetratiogallates films / N. Popovich, I. Kacher,
N. Dovgoshey, Yu.Tomashpolskij // Proceedings of SPIE.�
1998.� Vol. 3890.� P. 479�482.
3. Ñóåòèí Â. Ì., ×åðåïàíîâà Ì. Í., Ïåðâååâ À. Ô.
Ñâåòîôèëüòðû ñ êîðîòêîâîëíîâîé ãðàíèöåé ïðîïóñêàíèÿ
0,4�10 ìêì // Îïòèêî-ìåõàíè÷åñêàÿ ïðîìûøëåí-
íîñòü.� 1963.� ¹ 6.� Ñ. 15�20.
4. Ôóðìàí Ø. À. Òîíêîïëåíî÷íûå îïòè÷åñêèå ïî-
êðûòèÿ.� Ë.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1973.
5. Ðàäàóöàí Ñ. È., Æèòàðü Â. Ô., Ðàéëÿí Â. ß. Îï-
òè÷åñêîå ïîãëîùåíèå ìîíîêðèñòàëëîâ CdIn2S4 // Ôèçè-
êà è òåõíèêà ïîëóïðîâîäíèêîâ.� 1975.� Ò. 9, âûï. 12.�
Ñ. 2278�2283.
6. Ìàê Â. Ò., Èáðàãèì À. À. Èññëåäîâàíèå ïðèðîäû
ñîáñòâåííûõ äåôåêòîâ â ïîëèêðèñòàëëè÷åñêèõ ïëåíêàõ
CdGa2S4 // Èçâåñòèÿ ÀÍ Ðîññèè. Ñåð. Íåîðã. ìàòåðèà-
ëû.� 1995.� Ò. 31.� Ñ. 524�527.
7. Àêóñòè÷åñêèå êðèñòàëëû / Ïîä ðåä. Ì. Ï. Øàñ-
êîëüñêîé.� Ì.: Íàóêà, 1982.
Ïðîñâåò-
ëÿåìûé
êðèñòàëë
Òîëùèíà
ïîêðû-
òèÿ, ìêì
Êîýôôèöèåíò
îòðàæåíèÿ áåç
ïðîñâåòëåíèÿ,
%
Êîýôôèöèåíò
îòðàæåíèÿ
ïðîñâåòëåííîãî
êðèñòàëëà, %
TeO2 0,18 17 10
L³NbO3 0,18 17 11
Îïòè-
÷åñêèé
êðèñ-
òàëë
Ñîñòàâ
ïîêðûòèÿ
.âíåøí
.âíóòð
λ,
ìêì
Òîëùèíà
ñëîÿ, ìêì
.âíåøí
.âíóòð
Êîýôôèöè-
åíò îòðàæå-
íèÿ ñòðóê-
òóðû R, %
TeO
2
0,400
×
×
010,04
042,04 6,0
LiNbO
3
0,400
×
×
011,04
040,04 4,0
Al
2
O
3
42
2
SZnGa
CaF
0,694
×
×
022,04
078,04 0,8
Òàáëèöà 2
Ïàðàìåòðû äâóõñëîéíûõ ïðîñâåòëÿþùèõ ïîêðûòèé
äëÿ ðÿäà îïòè÷åñêèõ êðèñòàëëîâ
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70857 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:35:04Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Попович, Н.И. Довгошей, Н.И. Качер, И.Э. 2014-11-15T14:20:38Z 2014-11-15T14:20:38Z 2001 Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов / Н.И. Попович, Н.И. Довгошей, И.Э. Качер // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 19-20. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70857 535.3:535.51 Исследованы оптические характеристики тонких пленок нового широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄. Область прозрачности пленок составляет 0,3—25 мкм, показатель преломления при λ=0,63 мкм равен 2,2. Оптические характеристики после термообработки (473 К), естественного старения (два года), а также обработки лазерным излучением (10⁶ Вт/см²) остаются неизменными. Изучена возможность применения ZnGa₂S₄ в качестве просветляющих и защитных покрытий для оптических кристаллов в диапазоне длин волн 0,3—25 мкм. The optical characteristics of new widezone ZnGa₂S₄ semiconductor thin films have been investigated. The transparance range of films is 0,3— 25 mm, the refraction index for λ=0,63 mm equels 2,2. The optical characteristics after thermal processing (473 K), natural ageing (two years) as well as treatment by laser beam (10⁶ W/sm²) are remained without changes. The possibility of ZnGa₂S₄ application as antirefrection coating and protective coats for optical crystals in range of 0,3—20 mm long waves has been studied. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микроэлектроника Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов Application of the ZnGa₂S₄ widezone semiconductor films for antireflection coating of optical elements Article published earlier |
| spellingShingle | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов Попович, Н.И. Довгошей, Н.И. Качер, И.Э. Функциональная микроэлектроника |
| title | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов |
| title_alt | Application of the ZnGa₂S₄ widezone semiconductor films for antireflection coating of optical elements |
| title_full | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов |
| title_fullStr | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов |
| title_full_unstemmed | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов |
| title_short | Применение пленок широкозонного полупроводника ZnGa₂S₄ для просветления оптических элементов |
| title_sort | применение пленок широкозонного полупроводника znga₂s₄ для просветления оптических элементов |
| topic | Функциональная микроэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микроэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70857 |
| work_keys_str_mv | AT popovični primenenieplenokširokozonnogopoluprovodnikaznga2s4dlâprosvetleniâoptičeskihélementov AT dovgošeini primenenieplenokširokozonnogopoluprovodnikaznga2s4dlâprosvetleniâoptičeskihélementov AT kačerié primenenieplenokširokozonnogopoluprovodnikaznga2s4dlâprosvetleniâoptičeskihélementov AT popovični applicationoftheznga2s4widezonesemiconductorfilmsforantireflectioncoatingofopticalelements AT dovgošeini applicationoftheznga2s4widezonesemiconductorfilmsforantireflectioncoatingofopticalelements AT kačerié applicationoftheznga2s4widezonesemiconductorfilmsforantireflectioncoatingofopticalelements |