Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и опре...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2001
Hauptverfasser:	Дудник, С.Ф., Залюбовский, И.И., Сагалович, А.В., Сагалович, В.В., Фареник, В.И.
Format:	Artikel
Sprache:	Russian
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Schlagworte:	Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70863
record_format	dspace
spelling	Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. 2014-11-15T14:32:08Z 2014-11-15T14:32:08Z 2001 Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 621.793.16:669.27 Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики. The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования The construction materials with coating in components of technological equipment Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
spellingShingle	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
title_short	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
title_full	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
title_fullStr	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
title_full_unstemmed	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
title_sort	конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
author	Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И.
author_facet	Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И.
topic	Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
topic_facet	Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
publishDate	2001
language	Russian
container_title	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format	Article
title_alt	The construction materials with coating in components of technological equipment
description	Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики. The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics.
issn	2225-5818
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863
citation_txt	Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT dudniksf konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT zalûbovskiiii konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT sagalovičav konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT sagalovičvv konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT farenikvi konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT dudniksf theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT zalûbovskiiii theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT sagalovičav theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT sagalovičvv theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT farenikvi theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment
first_indexed	2025-11-28T03:14:05Z
last_indexed	2025-11-28T03:14:05Z
_version_	1850853265070096384

Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

Institution

Ähnliche Einträge