Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и опре...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859605373563961344 |
|---|---|
| author | Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. |
| author_facet | Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. |
| citation_txt | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики.
The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics.
|
| first_indexed | 2025-11-28T03:14:05Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
49
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Îáîñíîâàíî ïðèìåíåíèå êîìïîçèöèîí-
íûõ ìàòåðèàëîâ òèïà «îñíîâà�ïîêðû-
òèå» â êà÷åñòâå êîíñòðóêöèîííûõ
ìàòåðèàëîâ äëÿ óçëîâ òåõíîëîãè÷åñ-
êîãî îáîðóäîâàíèÿ ìèêðîýëåêòðîíèêè.
Âñåâîçðàñòàþùèå â ìèêðîýëåêòðîíèêå òðåáîâà-
íèÿ ê ÷èñòîòå ìàòåðèàëîâ, ñîâåðøåíñòâó âûðàùèâà-
åìûõ ìîíîêðèñòàëëîâ ïîáóæäàþò ê ðàçðàáîòêå è
èñïîëüçîâàíèþ êîíñòðóêöèîííûõ ìàòåðèàëîâ, êîòî-
ðûå ñîçäàâàëè áû ìåíüøèé ïðèìåñíûé ôîí â ðàáî-
÷åé ñðåäå ðîñòîâûõ óñòàíîâîê, ïå÷åé îòæèãà è äèô-
ôóçèîííîãî íàñûùåíèÿ, äðóãîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî
îáîðóäîâàíèÿ. Ýòî äîñòèãàåòñÿ çà ñ÷åò áîëåå áûñò-
ðîãî è ãëóáîêîãî îáåçãàæèâàíèÿ ïðè âûõîäå íà
ðàáî÷èå òåìïåðàòóðû, áîëåå íèçêîé óïðóãîñòè ñîá-
ñòâåííûõ ïàðîâ, ñâåäåíèÿ ê ìèíèìóìó âçàèìîäåé-
ñòâèÿ ñ àêòèâíûìè êîìïîíåíòàìè ñðåäû èëè êîíòàê-
òèðóþùèìè ñ íèìè ìàòåðèàëàìè. Â òî æå âðåìÿ
êîíñòðóêöèîííûå ìàòåðèàëû äîëæíû îáëàäàòü êîì-
ïëåêñîì îïðåäåëåííûõ ìåõàíè÷åñêèõ, ýëåêòðîôèçè-
÷åñêèõ è òåïëîôèçè÷åñêèõ ñâîéñòâ, êîòîðûå îáåñïå-
÷èâàëè áû âîçìîæíîñòü èõ ïðèìåíåíèÿ â ýíåðãîåì-
êèõ è, çà÷àñòóþ, äîñòàòî÷íî ñëîæíûõ ïî êîíñòðóê-
öèè óçëàõ ýëåêòðîâàêóóìíîãî îáîðóäîâàíèÿ.
Îäíèì èç ðàñïðîñòðàíåííûõ êîíñòðóêöèîííûõ
ìàòåðèàëîâ, êîòîðûå èñïîëüçóþòñÿ â ýíåðãîíàïðÿ-
æåííûõ óçëàõ ýëåêòðîâàêóóìíîãî îáîðóäîâàíèÿ
ðàçëè÷íîãî íàçíà÷åíèÿ, â òîì ÷èñëå è â îáîðóäîâà-
íèè äëÿ ïðîèçâîäñòâà, îáðàáîòêè ìàòåðèàëîâ è èç-
äåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè, ÿâëÿåòñÿ ãðàôèò. Ýòî îáóñ-
ëîâëåíî åãî ýëåêòðîôèçè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè, ëåã-
êîñòüþ îáðàáîòêè, îòíîñèòåëüíîé äåøåâèçíîé. Âìå-
ñòå ñ òåì âûñîêàÿ ñòåïåíü ãàçîâûäåëåíèÿ, äîñòàòî÷-
íî âûñîêèé óãëåðîäíûé ôîí, ÿâëÿþùèéñÿ îñíîâ-
íûì èñòî÷íèêîì çàãðÿçíåíèÿ óãëåðîäîì îáðàáàòû-
âàåìûõ èëè ïîëó÷àåìûõ ìàòåðèàëîâ, îãðàíè÷èâàþò
åãî ïðèìåíåíèå â ñîâðåìåííûõ òåõíîëîãèÿõ è îáî-
ðóäîâàíèè ìèêðîýëåêòðîíèêè. Âûñîêî÷èñòûå æå
òóãîïëàâêèå ìåòàëëû è ñîåäèíåíèÿ (BN, AlN è äð.),
êîòîðûå èñïîëüçóþòñÿ äëÿ âûøåóïîìÿíóòûõ öåëåé,
äîñòàòî÷íî äîðîãè è ñëîæíû â îáðàáîòêå.
Îäíèì èç íàïðàâëåíèé, êîòîðîå ïîçâîëÿåò íàè-
áîëåå ïîëíî è îïòèìàëüíî ðåàëèçîâàòü âîçìîæíîñ-
òè ðàçëè÷íûõ ìàòåðèàëîâ, ÿâëÿåòñÿ ðàçðàáîòêà êîì-
ïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ, â ÷àñòíîñòè, ñ èñïîëüçî-
âàíèåì òåõíîëîãèé íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé. Â äàííîé
ðàáîòå ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ, öåëüþ êîòîðûõ áûëî
èçó÷åíèå âîçìîæíîñòè ñîçäàíèÿ è ïðèìåíåíèÿ êîì-
ïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ íà îñíîâå ãðàôèòà è äðó-
ãèõ ìàòåðèàëîâ ñ ïîêðûòèÿìè äëÿ ýíåðãîíàïðÿæåí-
íûõ óçëîâ ðîñòîâîãî è äðóãîãî îáîðóäîâàíèÿ.
Äëÿ öåëåé íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé íà ãðàôèò áûë
âûáðàí ìåòîä îñàæäåíèÿ òóãîïëàâêèõ ìàòå-
ðèàëîâ èç ãàçîâîé ôàçû, ñîïðîâîæäàþùèéñÿ õèìè-
÷åñêîé ðåàêöèåé (CVD) [1, 2].
Ôîðìèðîâàíèå ïîêðûòèé CVD-ìåòîäîì ïðîèñõîäèò
çà ñ÷åò ïðîòåêàíèÿ íà íàãðåòîé ïîâåðõíîñòè èçäåëèé ãå-
òåðîãåííûõ ïðîöåññîâ ðàçëîæåíèÿ (âîäîðîäíîãî âîññòà-
íîâëåíèÿ) ìåòàëëñîäåðæàùèõ õèìè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé,
íàõîäÿùèõñÿ â ðåàêöèîííîì îáúåìå â ãàçîîáðàçíîì ñî-
ñòîÿíèè.
Áëàãîäàðÿ âûñîêîé ïîäâèæíîñòè è èíòåíñèâíîñòè
ïðîöåññîâ ìàññîïåðåíîñà, ïðèñóùèõ ãàçîîáðàçíûì ñðå-
äàì, ìåòîä CVD-ïîêðûòèé îáëàäàåò èñêëþ÷èòåëüíîé
«êðîþùåé» ñïîñîáíîñòüþ. Âîçìîæíîñòè ïåðåìåùåíèÿ ìå-
òàëëñîäåðæàùåãî ñîåäèíåíèÿ â ãàçîîáðàçíîì ñîñòîÿíèè
ê ïîêðûâàåìîé ïîâåðõíîñòè ïîçâîëÿþò ðåàëèçîâàòü âû-
ñîêóþ ïðîèçâîäèòåëüíîñòü ïðîöåññîâ íàíåñåíèÿ ïîêðû-
òèÿ, â êîòîðûõ ñêîðîñòü ðîñòà ìîæåò äîñòèãàòü îò íåñêîëü-
êèõ ñîòåí ìèêðîí äî íåñêîëüêèõ ìèëëèìåòðîâ â ÷àñ.
Âûñîêàÿ ïîâåðõíîñòíàÿ ïîäâèæíîñòü àäñîðáèðîâàí-
íûõ ìåòàëëñîäåðæàùèõ ñîåäèíåíèé ïîçâîëÿåò â CVD-
ïðîöåññàõ ïîëó÷àòü ïîêðûòèÿ ñ ïëîòíîñòüþ, áëèçêîé ê
òåîðåòè÷åñêîé, ïðè òåìïåðàòóðàõ ~0,15�0,3 îò òåìïåðà-
òóðû ïëàâëåíèÿ ìàòåðèàëà (÷òî íåäîñòóïíî äëÿ äðóãèõ
ìåòîäîâ íàíåñåíèÿ ïîêðûòèé), à òàêæå ôîðìèðîâàòü ñî-
âåðøåííûå ýïèòàêñèàëüíûå ïîêðûòèÿ.
Îòíîñèòåëüíàÿ ïðîñòîòà î÷èñòêè îò áîëüøèíñòâà
ïðèìåñíûõ ýëåìåíòîâ íà ñòàäèè ïîëó÷åíèÿ ìåòàëëñî-
äåðæàùèõ ñîåäèíåíèé áëàãîäàðÿ èçáèðàòåëüíîñòè ïðî-
öåññîâ õèìè÷åñêîãî âçàèìîäåéñòâèÿ èñõîäíûõ ïðîäóê-
òîâ íà íàãðåòîé ïîâåðõíîñòè, äîïîëíèòåëüíàÿ äèñòèëëÿ-
öèÿ â ïðîöåññå åãî èñïàðåíèÿ îáóñëîâëèâàþò âûñîêóþ
ñòåïåíü ÷èñòîòû ïîëó÷àåìûõ ïîêðûòèé. Âî ìíîãèõ ñëó-
÷àÿõ ïîâåðõíîñòü ïîêðûâàåìûõ èçäåëèé ìîæåò áûòü î÷è-
ùåíà îò çàãðÿçíåíèé íåïîñðåäñòâåííî â ïðîöåññå îñàæ-
äåíèÿ ìàòåðèàëà, íàïðèìåð, ïóòåì òåðìîîáðàáîòêè â ïðè-
ñóòñòâèè âîäîðîäà.
 êà÷åñòâå ìàòåðèàëà ïîêðûòèÿ áûë âûáðàí âîëü-
ôðàì. Âîëüôðàì îñàæäàëè èç ìåòàëëñîäåðæàùåãî
ñîåäèíåíèÿ W(CO)6 íà ãîðÿ÷åé ïîâåðõíîñòè. Òåõ-
íîëîãè÷åñêèå ïàðàìåòðû ïðîöåññà îñàæäåíèÿ âîëü-
ÊÎÍÑÒÐÓÊÖÈÎÍÍÛÅ ÌÀÒÅÐÈÀËÛ Ñ ÏÎÊÐÛÒÈßÌÈ
 ÓÇËÀÕ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈß
Ê. ò. í. Ñ. Ô. ÄÓÄÍÈÊ, ä. ô.-ì. í. È. È. ÇÀËÞÁÎÂÑÊÈÉ,
À. Â. ÑÀÃÀËÎÂÈ×, ä. ò. í. Â. Â. ÑÀÃÀËÎÂÈ×,
ê. ô.-ì. í. Â. È. ÔÀÐÅÍÈÊ
Óêðàèíà, ã. Õàðüêîâ, Íàö. óíèâåðñèòåò, Íàó÷. ôèç.-òåõíîëîã. öåíòð
E-mail: root@sptca.kharkov.ua
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
30. 01 2001 ã.
Îïïîíåíò ä. ò. í. Â. À. ÌÎÊÐÈÖÊÈÉ
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
50
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ôðàìà íà ãðàôèò âûáèðàëè èñõîäÿ èç òðåáîâàíèé
îáåñïå÷åíèÿ âûñîêîé àäãåçèè, ïëîòíîñòè è ÷èñòîòû
ìàòåðèàëà ïîêðûòèÿ. Òåðìîîáðàáîòêó ìàòåðèàëîâ
ïðè òåìïåðàòóðàõ 1300�2000°Ñ ïðîâîäèëè â âàêóó-
ìå íå õóæå 5·10�5 òîðð, íàãðåâ îáðàçöîâ îñóùåñòâ-
ëÿëè ïðÿìûì ïðîïóñêàíèåì òîêà.
Ïðî÷íîñòíûå ñâîéñòâà ìàòåðèàëîâ îïðåäåëÿëè ñ
ïîìîùüþ òðåõòî÷å÷íîé ìåòîäèêè èñïûòàíèÿ íà èç-
ãèá. Îá àäãåçèè ñóäèëè ïî ïðî÷íîñòíûì ñâîéñòâàì
ñëîèñòûõ ìàòåðèàëîâ íà îòðûâ ïðè ðàñòÿæåíèè.
Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî âîëü-
ôðàìîâûå ïîêðûòèÿ îáëàäàþò ñòîëá÷àòîé
ñòðóêòóðîé. Ìèêðîòâåðäîñòü ïîêðûòèé ðàâíÿåòñÿ
Hì = 4509�4809 ÌÏà, à ïëîòíîñòü è ïðî÷íîñòü ñî-
îòâåòñòâåííî ðàâíû ρ=19,1�19,2 êã/ñì3 è σâ= 300�
400 ÌÏà.
Îòæèã îáðàçöîâ èç ìàòåðèàëà W�Ñ ïðè òåìïå-
ðàòóðàõ 1300�2000°Ñ â òå÷åíèå 1�10 ÷ ïðèâîäèò ê
ðîñòó ñðåäíåãî äèàìåòðà çåðíà â âîëüôðàìîâîì ïî-
êðûòèè è îáðàçîâàíèþ íà ãðàíèöå ðàçäåëà W�C ïðî-
ìåæóòî÷íîé êàðáèäíîé ïðîñëîéêè ñ ìèêðîòâåðäîñ-
òüþ íà óðîâíå 20000 ÌÏà. Òîëùèíà ïðîñëîéêè çà-
âèñèò îò òåìïåðàòóðû è âðåìåíè îòæèãà (òàáë. 1).
Äàííûå î ñîäåðæàíèè îñíîâíûõ ïðèìåñåé â âîëüô-
ðàìå ïðèâåäåíû â òàáë. 2.
Âåëè÷èíà ýôôåêòèâíîé ýíåðãèè àêòèâàöèè ïðî-
öåññà âçàèìîäèôôóçèè â ñèñòåìå "ãðàôèò�âîëüô-
ðàì" ðàâíÿåòñÿ Q≈170 êÄæ/ìîëü, à ïðåäýêñïîíåíöè-
àëüíûé ìíîæèòåëü D0 = 10�2 ñì2/ñ. Ýòè äàííûå ñâè-
äåòåëüñòâóþò î òîì, ÷òî â èññëåäóåìîé ñèñòåìå W�
C, â îñíîâíîì, ïðîèñõîäèò äèôôóçèÿ óãëåðîäà â
âîëüôðàì [3, ñ. 125]. Áîëåå âûñîêèå, ïî ñðàâíåíèþ ñ
ëèòåðàòóðíûìè äàííûìè, çíà÷åíèÿ ïàðàìåòðîâ, ïî-
âèäèìîìó, îáóñëîâëåíû íàëè÷èåì ïîâûøåííîé êîí-
öåíòðàöèè âàêàíñèé â ãàçîôàçíîì âîëüôðàìå ïî ñðàâ-
íåíèþ ñ âîëüôðàìîì, ïîëó÷åííûì òðàäèöèîííûìè
ìåòàëëóðãè÷åñêèìè ìåòîäàìè.
Ïðî÷íîñòü ñöåïëåíèÿ âîëüôðàìà ñ ãðàôèòîì îï-
ðåäåëÿåòñÿ ïðî÷íîñòüþ ñàìîãî ãðàôèòà è ïðåâîñõî-
äèò 6 ÌÏà. Ðàññëîåíèé è ìèêðîòðåùèí â âîëüôðàìî-
âîì ïîêðûòèè è íà ãðàíèöå ðàçäåëà íå îáíàðóæåíî.
Ïðî÷íîñòíûå ñâîéñòâà âîëüôðàìîâîãî ïîêðû-
òèÿ ïîñëå òåðìîîáðàáîòêè ïðè òåìïåðàòóðàõ 1300�
1800°Ñ ïðàêòè÷åñêè íå èçìåíÿþòñÿ, àäãåçèîííûå
ñâîéñòâà ïîñëå îáðàçîâàíèÿ ïðîìåæóòî÷íîé ïðî-
ñëîéêè òîëùèíîé áîëåå 20 ìêì ïàäàþò äî çíà÷åíèé
σâ≈1 ÌÏà.
Òåðìîöèêëèðîâàíèå ìàòåðèàëà â ðåæèìå 200�
1350°Ñ (10 öèêëîâ) íå ïðèâîäèò ê îáðàçîâàíèþ
õðóïêèõ çîí, ìèêðîòðåùèí è ðàññëîåíèé íà ãðàíèöå
ðàçäåëà W�C; ïðî÷íîñòü ñöåïëåíèÿ ïîñëå äàííîé
òåðìîîáðàáîòêè íå èçìåíÿåòñÿ.
Òî åñòü ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîêàçàëè, ÷òî
îñàæäåíèåì èç ãàçîâîé ôàçû âîçìîæíî ïîëó÷åíèå
êîìïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ "ãðàôèòîâàÿ îñíîâà+
âîëüôðàì" ñ äîñòàòî÷íî âûñîêèìè àäãåçèîííûìè
ñâîéñòâàìè ïðè òåìïåðàòóðàõ, õàðàêòåðíûõ äëÿ ïðî-
öåññîâ ñèíòåçà è âûðàùèâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëà GaAs
(ÌÀÃ).
Ïî îòðàáîòàííûì ðåæèìàì áûëè íàíåñåíû ïî-
êðûòèÿ âîëüôðàìà íà êîìïëåêòû òåïëîâûõ
óçëîâ èç ãðàôèòà äëÿ ïå÷è ñèíòåçà àðñåíèäà ãàëëèÿ
è âûðàùèâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëîâ àðñåíèäà ãàëëèÿ
(ðèñ. 1).
Èñïûòàíèÿ òåïëîâûõ óçëîâ ïðîâîäèëè íà ïðî-
ìûøëåííîé óñòàíîâêå òèïà Ñ33-01. Ýôôåêòèâíîñòü
çàùèòíîãî ñëîÿ ïîêðûòèÿ îïðåäåëÿëè ïî êà÷åñòâó
ñèíòåçèðîâàííîãî è çàòåì âûðàùåííîãî ÌÀÃ. Ñ ýòîé
öåëüþ èç îäíîé è òîé æå ïàðòèè ãàëëèÿ è ìûøüÿêà
ïðîâîäèëè ñèíòåç â ãðàôèòîâîì ðåàêòîðå è â ðåàê-
òîðå, ïîêðûòîì ñëîåì âîëüôðàìà òîëùèíîé 30�
70 ìêì. Äàëåå èç ñèíòåçèðîâàííûõ ìàòåðèàëîâ âû-
ðàùèâàëè ìîíîêðèñòàëëû â óñòàíîâêå «Àðñåíèä-1»
ñ ãðàôèòîâûì óçëîì è òåïëîâûì óçëîì ñ ïîêðûòè-
åì èç âîëüôðàìà è îïðåäåëÿëè ýëåêòðîôèçè÷åñêèå
ïàðàìåòðû ÌÀÃ.
Ñðàâíèòåëüíûå äàííûå ïî ïðèìåñÿì è ýëåêòðîôèçè-
÷åñêèì õàðàêòåðèñòèêàì ïðèâåäåíû â òàáë. 3�6.
 âûðàùåííûõ ìîíîêðèñòàëëàõ ýëåêòðîôèçè÷åñ-
êèå õàðàêòåðèñòèêè è ïðèìåñè îïðåäåëÿëè ìåòîäîì
âòîðè÷íîé èîííîé ýìèññèè. Ñðàâíèòåëüíûå äàííûå
ïî ïðèìåñÿì â ìîíîêðèñòàëëàõ GaAs ïðèâåäåíû â
òàáë. 3. Çäåñü æå ïðåäñòàâëåíû è äàííûå î ïðèìå-
ñÿõ èñõîäíîãî ñèíòåçèðîâàííîãî GaAs. Ýëåêòðîôè-
çè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè ïðèâåäåíû â òàáë. 5.
Òàáëèöà 2
Ñîäåðæàíèå îñíîâíûõ ïðèìåñåé â âîëüôðàìå
Ïðèìåñü Si Al Fe Mg Co Cu F
Ñîäåðæàíèå ïðèìåñè,
% âåñ.
0,0007 0,0005 0,0012 0,0006 0,0003 0,007 0,0015
Òàáëèöà 1
Òîëùèíà êàðáèäíîé çîíû íà ãðàíèöå ðàçäåëà
ãðàôèò�W ïîñëå òåðìîîáðàáîòêè, ìêì
Âðåìÿ òåðìîîáðàáîòêè, ÷
Ò, ºÑ
1 3 5 10
1550 – 4,5 6,82 8,45
1600 6 – 11,7 33,5 – 35,1 35,1 – 46,8 70,2 – 81,9
1700 40,4 69,6 135,2 156,76
1800 35,1 – 46,8 68,5 – 70,2 152,7 – 164 197,5
2000 216 – 234 333,5 – –
Ðèñ. 1. Ýëåìåíòû
òåïëîâîãî óçëà ñ
ïîêðûòèÿìè
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
51
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Ñðàâíèâàÿ ïîëó÷åííûå äàííûå ïî ïðèìåñÿì
(òàáë. 3, 4) è ýëåêòðîôèçè÷åñêèì õàðàêòåðèñòèêàì
(òàáë. 5, 6) GaAs, ìîæíî âèäåòü, ÷òî ãðàôèòîâàÿ îñ-
íàñòêà çàãðÿçíÿåò GaAs è óõóäøàåò åãî ýëåêòðîôè-
çè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè.
Êàê ñëåäóåò èç ïðèâåäåííûõ äàííûõ, çàùèòíûå
ïîêðûòèÿ èç âîëüôðàìà íà ãðàôèòå ñíèæàþò êîí-
öåíòðàöèþ ïðèìåñåé â GaAs ïî óãëåðîäó â ~1,7 ðàçà,
æåëåçó è êîáàëüòó � â ~2,1 ðàçà, ìåäè è õðîìó � â
~1,4 ðàçà, êðåìíèÿ � â ~1,5 ðàçà. Ñëåäóåò îòìå-
òèòü, ÷òî âîëüôðàì â âèäå ïðèìåñè íå îáíàðóæåí â
GaAs (ïðèìåñü âîëüôðàìà íå îáíàðóæåíà â ìîíî-
êðèñòàëëå äàæå êîãäà ÌÀÃ âûðàùèâàëè íåïîñðåä-
ñòâåííî â âîëüôðàìîâîì òèãëå). Èñòî÷íèêîì ïðè-
ìåñåé ùåëî÷íûõ ìåòàëëîâ (Na, K) ìîæåò áûòü áîð-
íûé àíãèäðèä. Ýòè ïðèìåñè îáíàðóæåíû è â ñëó÷àå
âûðàùèâàíèÿ ÌÀÃ, êîãäà òåïëîâîé óçåë íå áûë çà-
ùèùåí âîëüôðàìîâûì ïîêðûòèåì. Ïðè ñèíòåçå GaAs
â ðåàêòîðå ñ ïîêðûòèåì ïðèìåñíûé ôîí ùåëî÷íûõ
ìåòàëëîâ îêàçàëñÿ íåçíà÷èòåëüíûì.
Ñíèæåíèå ïðèìåñíîãî ôîíà ïóòåì çàùèòû ãðà-
ôèòà âîëüôðàìîì ïîëîæèòåëüíûì îáðàçîì ñêàçà-
ëîñü íà ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèêàõ ïîëó-
ïðîâîäíèêîâ. Â ðîñòîâûõ óñòàíîâêàõ ýòî ïðèâåëî
ê âîçðàñòàíèþ ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèÿ ÌÀÃ â ~2 ðàçà.
Ïîäâèæíîñòü ýëåêòðîíîâ íå ñíèçèëàñü.
 ðåçóëüòàòå èñïûòàíèé óñòàíîâëåíî,
÷òî ýêñïëóàòàöèÿ òèãåëüíîé îñíàñòêè ñ
âîëüôðàìîâûì ïîêðûòèåì ïðè òåìïåðà-
òóðå äî 1400°Ñ â ïðîöåññàõ ñèíòåçà è
âûðàùèâàíèÿ ÌÀÃ íå ïðèâîäèò ê îáðà-
çîâàíèþ õðóïêèõ çîí, ìèêðîòðåùèí è ðàñ-
ñëîåíèé íà ãðàíèöå ðàçäåëà, ïðî÷íîñòü
ñöåïëåíèÿ íå èçìåíÿåòñÿ. Ïðè òåìïåðà-
òóðàõ ~1700°Ñ (íà îñíîâíîì ãðàôèòîâîì
íàãðåâàòåëå) íàáëþäàëè îòñëîåíèÿ âîëü-
ôðàìà íà 2�3% ïëîùàäè.
Êàê ïîêàçàëè ëàáîðàòîðíûå èññëåäîâàíèÿ, ïîâû-
øåíèå íàäåæíîñòè ãðàôèòîâîãî íàãðåâàòåëÿ ñ âîëü-
ôðàìîâûì ïîêðûòèåì ìîæåò áûòü äîñòèãíóòî óâå-
ëè÷åíèåì òåìïåðàòóðû îòæèãà èñõîäíîãî ãðàôèòî-
âîãî íàãðåâàòåëÿ ïåðåä íàíåñåíèåì ïîêðûòèÿ ñ 1350
äî 2000°Ñ ïðè äàâëåíèè 10�5 ìì ðò. ñò. Çàùèòíîå
ïîêðûòèå íà ôîíîâîì íàãðåâàòåëå íå íàðóøèëîñü â
ïðîöåññå åãî ýêñïëóàòàöèè. Êðîìå òîãî, íà ýòîì íà-
ãðåâàòåëå íå áûëî íàñëîåíèé èç áîðíîãî àíãèäðèäà,
êàê ýòî èìååò ìåñòî â ñëó÷àå ýêñïëóàòàöèè íàãðåâà-
òåëÿ áåç ïîêðûòèÿ. Ïîýòîìó ôîíîâûå íàãðåâàòåëè
ñ ïîêðûòèåì ìîãóò èñïîëüçîâàòüñÿ â ïðîöåññàõ âû-
ðàùèâàíèÿ ÌÀÃ ìíîãîêðàòíî áåç äîðàáîòêè.
Ïî ðàçðàáîòàíííîé ìåòîäèêå íàíåñåíèÿ ïîêðû-
òèé áûëè èçãîòîâëåíû è èñïûòàíû â ïðîèçâîäñòâåí-
íûõ óñëîâèÿõ äâà ïîëíûõ êîìïëåêòà òåïëîâîãî óçëà
ñ ïîêðûòèåì 20Í61ÑÁ è ðåàêòîð 20Â235ÑÁ (âñåãî
îêîëî 150 äåòàëåé).
Ïðîâåäåííûå èññëåäîâàíèÿ ïîñëóæèëè îñíî-
âîé äëÿ ïðèìåíåíèÿ ïîäîáíîãî ïîäõîäà ôîð-
ìèðîâàíèÿ êîìïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ è äëÿ äðó-
ãèõ ïðèëîæåíèé. Òàê, íàíåñåíèå âîëüôðàìîâîãî ïî-
êðûòèÿ íà ãðàôèòîâûé êîðïóñ ðàçðÿäíîé êàìåðû
èîííîãî èñòî÷íèêà óñòàíîâêè èîííîé èìïëàíòàöèè
ïîçâîëèëî ïîëó÷àòü ñòàáèëüíûå ðåæèìû ðàáîòû èîí-
íîãî èñòî÷íèêà ïðàêòè÷åñêè ñðàçó ïîñëå åãî óñòà-
íîâêè áåç äëèòåëüíîãî, â òå÷åíèå íåñêîëüêèõ äíåé,
îòæèãà â àðãîíîâîé ïëàçìå, êàê ýòî òðåáîâàëîñü ðàíüøå
äëÿ ãðàôèòîâîãî êîðïóñà. Íàëè÷èå âîëüôðàìîâîãî
ïîêðûòèÿ íå òîëüêî ïðåäîòâðàòèëî âûõîä ãàçîîá-
ðàçíûõ ïðèìåñåé èç ãðàôèòà ïðè ðàçîãðåâå êîðïóñà
èîííîãî èñòî÷íèêà, íî è èñêëþ÷èëî äîñòàòî÷íî áû-
ñòðîå çàãðÿçíåíèå ïîâåðõíîñòè èçîëÿòîðîâ óãëåðî-
äîì èç-çà ïðîöåññîâ ðàñïûëåíèÿ ñòåíîê êàìåðû. Ýòî
òàêæå ïîëîæèòåëüíî ñêàçàëîñü íà ðàáîòå èîííîãî
èñòî÷íèêà, ïîñêîëüêó ðåçêî ñíèçèëàñü âåðîÿòíîñòü
âûñîêîâîëüòíûõ ïðîáîåâ ïî ïîâåðõíîñòè èçîëÿòî-
Òàáëèöà 3
Ñðàâíèòåëüíûå äàííûå ïî ïðèìåñÿì â ÌÀÃ (â îòí. åä.)
Ïðèìåñü W Cu Ñ Ñr Fe Ño AlO Si K Na H2
Ñèíòåçèðîâàííûé GaAs — 3 8 2 2,5 3 7 5 3 1,5 170
Ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèé GaAs,
âûðàùåííûé â ãðàôèòîâîì
òåïëîâîì óçëå
— 10 12 9 30 43 8 13 6,5 20 20
Ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèé GaAs,
âûðàùåííûé â ãðàôèòîâîì
òåïëîâîì óçëå ñ âîëüôðàìîâûì
ïîêðûòèåì
— 7 7 6,5 17 20 2 8 18 20 130
Òàáëèöà 4
Ñðàâíèòåëüíûå äàííûå ïî ïðèìåñÿì â GaAs (â îòí. åä.)
Ïðèìåñü W Ñ Fe AlO K Na H2
ÌÀÃ, ñèíòåçèðîâàí-
íûé â ãðàôèòîâîì
ðåàêòîðå
— 10 3 8 2 1,5 130
ÌÀÃ, ñèíòåçèðîâàí-
íûé â ðåàêòîðå ñ
âîëüôðàìîâûì ïî-
êðûòèåì
— 7 2 2 2 1,5 160
ÌÀÃ GaAsW GaAsC
3036 3666 Ïîäâèæíîñòü
ýëåêòðîíîâ,
ñì
2
/(·ñ) 2900 2620
7,84·108 4·108 Ýëåêòðîñîïðîòèâ-
ëåíèå, Îì·ñì 5,26·108 3,1·108
Òàáëèöà 5
Ñðàâíåíèå ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê ÌÀÃ,
âûðàùåííîãî â òåïëîâîì óçëå ñ âîëüôðàìîâûì ïîêðû-
òèåì (GaAsW) è áåç ïîêðûòèÿ (GaAsC)
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 3
52
ÍÎÂÎÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈ×ÅÑÊÎÅ ÎÁÎÐÓÄÎÂÀÍÈÅ ÄËß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
ðîâ, êîòîðûå âûçûâàëè ëèáî íàðóøåíèå òåõíîëîãè-
÷åñêîãî ïðîöåññà, ëèáî âûõîä èç ñòðîÿ âûñîêîâîëü-
òíûõ áëîêîâ ïèòàíèÿ èîííîãî èñòî÷íèêà.
 êà÷åñòâå îñíîâû êîìïîçèöèîííûõ ìàòåðèàëîâ
äëÿ ýíåðãîíàïðÿæåííûõ óçëîâ ýëåêòðîâàêóóìíîãî
îáîðóäîâàíèÿ áûëè îïðîáîâàíû, êðîìå ãðàôèòà, è
äðóãèå ìàòåðèàëû, â ÷àñòíîñòè, ðàçëè÷íûå òóãî-
ïëàâêèå ìåòàëëû è ñïëàâû â ñî÷åòàíèè ñ ïîêðûòèÿ-
ìè èç ìîëèáäåíà, âîëüôðàìà, äèñèëèöèäà ìîëèáäåíà,
íèòðèäà áîðà è äð.
Ðàçðàáîòàííûå ìàòåðèàëû îòêðûâàþò íîâûå âîç-
ìîæíîñòè äëÿ ñîçäàíèÿ áîëåå ñîâåðøåííûõ òåïëî-
òåõíè÷åñêèõ óñòðîéñòâ, â ÷àñòíîñòè, òåïëîâûõ óçëîâ
ñ èñïîëüçîâàíèåì ñâåðõâûñîêîòåìïåðàòóðíûõ òåï-
ëîâûõ òðóá (ÑÂÒÒ) ñ ëèòèåâûì òåïëîíîñèòåëåì,
ñïîñîáíûõ äëèòåëüíîå âðåìÿ ðàáîòàòü ïðè òåìïåðà-
òóðàõ âûøå 1300°Ñ â àãðåññèâíûõ ñðåäàõ (íàïðè-
ìåð, â ðîñòîâûõ óñòàíîâêàõ ïîëó÷åíèÿ ìîíîêðèñ-
òàëëîâ àðñåíèäà ãàëëèÿ, äðóãèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
ìàòåðèàëîâ).
Òàêèå òåïëîâûå òðóáû ïîçâîëÿþò ñâåñòè äî ìèíèìóìà
òåìïåðàòóðíûå ãðàäèåíòû çîíû âûòÿãèâàíèÿ ìîíîêðèñòàë-
ëîâ, ÷òî èñêëþ÷èòåëüíî âàæíî äëÿ ðåøåíèÿ àêòóàëüíîé
ïðîáëåìû ñíèæåíèÿ ñòðóêòóðíûõ äåôåêòîâ ÌÀÃ. Òðóä-
íîñòè ñîçäàíèÿ ñâåðõâûñîêîòåìïåðàòóðíûõ òåïëîâûõ òðóá
ñâÿçàíû ñ âûáîðîì êîíñòðóêöèîííûõ ìàòåðèàëîâ äëÿ
êîðïóñà òðóáû, êîòîðûé äîëæåí íå âçàèìîäåéñòâîâàòü ñ
æèäêîìåòàëëè÷åñêèì ëèòèåâûì òåïëîíîñèòåëåì ïðè âû-
ñîêèõ òåìïåðàòóðàõ ýêñïëóàòàöèè, áûòü ãàçîíåïðîíèöà-
åìûì, à òàêæå òåõíîëîãè÷íûì ïðè èçãîòîâëåíèè.
Íà ìàêåòàõ òåïëîâîé òðóáû èç ñòàëè 12Õ18Í10Ò ñ
âîëüôðàìîâûì ïîêðûòèåì ïðîâåäåíû èññëåäîâàíèÿ ïî
ñâàðêå ìàòåðèàëà âñòûê [4]. Óñòàíîâëåíî, ÷òî â çîíå ñâàð-
êè íàðóøåíèé â ïîêðûòèè è ïî ãðàíèöå ðàçäåëà «ïî-
êðûòèå�îñíîâà» íå íàáëþäàåòñÿ.
Áûëè ïðîèçâåäåíû òàêæå èññëåäîâàíèÿ ïðîöåññà
îñàæäåíèÿ âîëüôðàìà íà ñâàðíûå øâû íèîáèÿ. Óñòà-
íîâëåíî, ÷òî ïîêðûòèÿ èç âîëüôðàìà, îñàæäàåìûå ïî îï-
òèìàëüíûì ðåæèìàì, è â ìåñòå ñâàðêè èìåþò õîðîøóþ
àäãåçèþ, ìèêðîòðåùèí è ðàññëîåíèé íå îáíàðóæåíî. Ïî-
êðûòèÿ âûäåðæèâàþò òåðìè÷åñêèå óäàðû, âîçíèêàþùèå
ïðè ñâàðêå êîìïîçèöèîííîãî ìàòåðèàëà «Nb � W-ïîêðû-
òèå», ñîõðàíÿÿ ñïëîøíîñòü è àäãåçèþ â îáëàñòÿõ, ïðèëå-
ãàþùèõ ê ñâàðíîìó øâó.
Íàíåñåíèå âîëüôðàìîâîãî ïîêðûòèÿ íà íèîáèå-
âûå ñïëàâû ïî ðàçðàáîòàííûì òåõíîëîãèÿì ïîçâî-
ëèëî ñîçäàòü îïûòíûå ýêçåìïëÿðû âûñîêîòåìïåðà-
òóðíûõ òðóá äâóõ ìîäèôèêàöèé (öèëèíäðè÷åñêîé è
÷àøåîáðàçíîé) äèàìåòðîì äî 180 ìì è äëèíîé äî
120 ìì ñ ëèòèåâûì òåïëîíîñèòåëåì (ðèñ. 2), ñïîñîá-
íûõ ðàáîòàòü â àãðåññèâíûõ ñðåäàõ âûðàùèâàíèÿ
ÌÀà ïðè ðàáî÷èõ òåìïåðàòóðàõ 1200�1450°Ñ [4].
Ïðîâåäåííûå èñïûòàíèÿ â ðîñòîâîé óñòàíîâêå ïîêà-
çàëè, ÷òî òàêèå òåïëîâûå òðóáû îáåñïå÷èâàþò ýôôåêòèâ-
íîå âûðàâíèâàíèå òåìïåðàòóðíîãî ïîëÿ ïî âñåé äëèíå è
ïîäòâåðäèëè ðàáîòîñïîñîáíîñòü òåïëîâûõ òðóá â óñëî-
âèÿõ âûðàùèâàíèÿ ÌÀÃ ïðè òåìïåðàòóðàõ 1250�1350°Ñ,
÷òî ïîçâîëÿåò ñîçäàòü óçåë ñ óëó÷øåííûìè òåïëîôèçè-
÷åñêèìè õàðàêòåðèñòèêàìè è ïåðåéòè ê îòðàáîòêå òåõ-
íîëîãèè ïîëó÷åíèÿ áîëåå ñîâåðøåííûõ ìîíîêðèñòàëëîâ
àðñåíèäà ãàëëèÿ.
 ýêñïåðèìåíòàëüíîì ïîðÿäêå ïîêðûòèÿ áûëè ïî-
ëó÷åíû òàêæå ïðèìåíèòåëüíî ê òèãåëüíûì ìàòåðèàëàì
âûðàùèâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëîâ êðåìíèÿ è äð. [5].
***
Òàêèì îáðàçîì, ðàçðàáîòàííûì ìåòîäîì ìîæíî
ôîðìèðîâàòü ðàçëè÷íûå êîìïîçèöèîííûå ìàòåðèà-
ëû òèïà «îñíîâà�ïîêðûòèå», âûáèðàÿ èõ ñîñòàâ â
çàâèñèìîñòè îò êîíêðåòíûõ óñëîâèé ýêñïëóàòàöèè è
äðóãèõ òðåáîâàíèé. Ïðè ýòîì ïîêðûòèÿ ìîãóò áûòü
îäíîêîìïîíåíòíûå, ìíîãîêîìïîíåíòíûå èëè ìíîãî-
ñëîéíûå, íàïðèìåð, «ãðàôèò�âîëüôðàì�íèòðèä
áîðà», «êâàðö�íèòðèä áîðà» è äð.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Èâàíîâ Â. Å., Íå÷èïîðåíêî Å. Ï., Êðèâîðó÷êî
Â. Ì., Ñàãàëîâè÷ Â. Â. Êðèñòàëëèçàöèÿ òóãîïëàâêèõ
ìåòàëëîâ èç ãàçîâîé ôàçû.� Ì.: Àòîìèçäàò, 1974.
2. Êîðîëåâ Þ. Ì., Ñòîëÿðîâ Â. È. Âîññòàíîâëåíèå
ôòîðèäîâ òóãîïëàâêèõ ìåòàëëîâ âîäîðîäîì.� Ì.: Ìå-
òàëëóðãèÿ, 1981.
3. Ñàìñîíîâ Ã. Â., Âèíèöêèé Ì. Ì. Òóãîïëàâêèå ñî-
åäèíåíèÿ.� Ì.: Ìåòàëëóðãèÿ, 1970.
4. Ñàãàëîâè÷ Â. Â., Äóäíèê Ñ. Ô., Êèðþõèí Í. Ì. è
äð. Ðàçðàáîòêà ìåòîäèêè èçãîòîâëåíèÿ âûñîêîòåìïåðà-
òóðíûõ òåïëîâûõ òðóá è èçó÷åíèå âîçìîæíîñòè íàíåñå-
íèÿ çàùèòíûõ ïîêðûòèé íà ýëåìåíòû òåïëîâîãî óçëà ïå÷è
âûðàùèâàíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ êðèñòàëëîâ.� Õàðü-
êîâ: ÕÔÒÈ, 1990.� Îò÷åò ¹ 2241.
5. Ñàãàëîâè÷ Â. Â., ×ó÷êàëîâ À. Ã., Êàðäàøîâ Â. È.,
Òàðàñîâ Ì. Ý. Ôèçèêî-õèìè÷åñêèå îñíîâû ïîëó÷åíèÿ
ïèðîëèòè÷åñêîãî íèòðèäà áîðà.� Õàðüêîâ: ÕÔÒÈ, 1991.�
Îò÷åò ¹ 2412.
Òàáëèöà 6
Ñðàâíåíèå ýëåêòðîôèçè÷åñêèõ õàðàêòåðèñòèê
ÌÀÃ, ñèíòåçèðîâàííîãî â ðåàêòîðå ñ âîëüôðàìî-
âûì ïîêðûòèåì (GaAsW) è áåç ïîêðûòèÿ (GaAsC)
ÌÀÃ GaAsW GaAsÑ
6074 5500 Ïîäâèæíîñòü ýëåêò-
ðîíîâ, ñì
2/(·ñ) 4910 5100
5,55·107 1,7·108 Ýëåêòðîñîïðîòèâ-
ëåíèå, Îì·ñì 3,35·108 1,1·108
Ðèñ. 2. Âûñîêî-
òåìïåðàòóðíûå
òåïëîâûå òðóáû
ñ ïîêðûòèÿìè
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70863 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T03:14:05Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. 2014-11-15T14:32:08Z 2014-11-15T14:32:08Z 2001 Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 621.793.16:669.27 Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики. The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования The construction materials with coating in components of technological equipment Article published earlier |
| spellingShingle | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_alt | The construction materials with coating in components of technological equipment |
| title_full | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_fullStr | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_full_unstemmed | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_short | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_sort | конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 |
| work_keys_str_mv | AT dudniksf konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT zalûbovskiiii konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT sagalovičav konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT sagalovičvv konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT farenikvi konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT dudniksf theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT zalûbovskiiii theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT sagalovičav theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT sagalovičvv theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT farenikvi theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment |