Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования
Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и опре...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862602623802146816 |
|---|---|
| author | Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. |
| author_facet | Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. |
| citation_txt | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики.
The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics.
|
| first_indexed | 2025-11-28T03:14:05Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70863 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T03:14:05Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. 2014-11-15T14:32:08Z 2014-11-15T14:32:08Z 2001 Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 621.793.16:669.27 Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и определены условия осаждения, обеспечивающие высокую адгезию, плотность, чистоту покрытий и другие эксплуатационные характеристики. The application of the composite materials with coatings for the some components of technological equipment for microelectronics (components of the heat furnaces, heat pipes, crucibles etc.) have been justified. The technology of coatings deposition has been worked out and conditions of coatings deposition have been determinated to produce high adhesion, high density, high purity of coatings and other operating characteristics. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования The construction materials with coating in components of technological equipment Article published earlier |
| spellingShingle | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования Дудник, С.Ф. Залюбовский, И.И. Сагалович, А.В. Сагалович, В.В. Фареник, В.И. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_alt | The construction materials with coating in components of technological equipment |
| title_full | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_fullStr | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_full_unstemmed | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_short | Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| title_sort | конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863 |
| work_keys_str_mv | AT dudniksf konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT zalûbovskiiii konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT sagalovičav konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT sagalovičvv konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT farenikvi konstrukcionnyematerialyspokrytiâmivuzlahtehnologičeskogooborudovaniâ AT dudniksf theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT zalûbovskiiii theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT sagalovičav theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT sagalovičvv theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment AT farenikvi theconstructionmaterialswithcoatingincomponentsoftechnologicalequipment |