Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2001
• Main Authors: Дудник, С.Ф., Залюбовский, И.И., Сагалович, А.В., Сагалович, В.В., Фареник, В.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Subjects: Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70863
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Конструкционные материалы с покрытиями в узлах технологического оборудования / С.Ф. Дудник, И.И. Залюбовский, А.В. Сагалович, В.В. Сагалович, В.И. Фареник // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 3. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Обосновано применение композиционных материалов типа "основа-покрытие" в качестве конструкционных материалов для некоторых энергоемких узлов технологического оборудования микроэлектроники (элементы, тепловые узлы, тепловые трубы, тигли и др.). Разработана методика нанесения покрытий и опре...