Светличный, А., Агеев, О., & Шляховой, Д. (2001). Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Светличный, А.М, О.А Агеев, und Д.А Шляховой. "Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2001.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Светличный, А.М, et al. "Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.