APA (7th ed.) Citation

Светличный, А., Агеев, О., & Шляховой, Д. (2001). Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Светличный, А.М, О.А Агеев, and Д.А Шляховой. "Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2001.

MLA (8th ed.) Citation

Светличный, А.М, et al. "Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.