Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки
Рассмотрены физические процессы, протекающие в системе О₂–SiO₂–Si под действием некогерентного излучения в период окисления кремния методом быстрой термической обработки....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70875 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки / А.М. Светличный, О.А. Агеев, Д.А. Шляховой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 38-43. — Бібліогр.: 29 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70875 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Светличный, А.М. Агеев, О.А. Шляховой, Д.А. 2014-11-15T16:39:53Z 2014-11-15T16:39:53Z 2001 Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки / А.М. Светличный, О.А. Агеев, Д.А. Шляховой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 38-43. — Бібліогр.: 29 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70875 539.216.2.002—546.28 Рассмотрены физические процессы, протекающие в системе О₂–SiO₂–Si под действием некогерентного излучения в период окисления кремния методом быстрой термической обработки. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технология производства Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки |
| spellingShingle |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки Светличный, А.М. Агеев, О.А. Шляховой, Д.А. Технология производства |
| title_short |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки |
| title_full |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки |
| title_fullStr |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки |
| title_full_unstemmed |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки |
| title_sort |
особенности получения тонких пленок sio₂ методом быстрой термической обработки |
| author |
Светличный, А.М. Агеев, О.А. Шляховой, Д.А. |
| author_facet |
Светличный, А.М. Агеев, О.А. Шляховой, Д.А. |
| topic |
Технология производства |
| topic_facet |
Технология производства |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Рассмотрены физические процессы, протекающие в системе О₂–SiO₂–Si под действием некогерентного излучения в период окисления кремния методом быстрой термической обработки.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70875 |
| citation_txt |
Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки / А.М. Светличный, О.А. Агеев, Д.А. Шляховой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 38-43. — Бібліогр.: 29 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT svetličnyiam osobennostipolučeniâtonkihplenoksio2metodombystroitermičeskoiobrabotki AT ageevoa osobennostipolučeniâtonkihplenoksio2metodombystroitermičeskoiobrabotki AT šlâhovoida osobennostipolučeniâtonkihplenoksio2metodombystroitermičeskoiobrabotki |
| first_indexed |
2025-12-07T16:48:56Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:48:56Z |
| _version_ |
1850868903473840128 |