Зображення обкладинки

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки

Рассмотрены физические процессы, протекающие в системе О₂–SiO₂–Si под действием некогерентного излучения в период окисления кремния методом быстрой термической обработки....

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:	2001
Автори:	Светличный, А.М., Агеев, О.А., Шляховой, Д.А.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Теми:	Технология производства
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70875
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки / А.М. Светличный, О.А. Агеев, Д.А. Шляховой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 38-43. — Бібліогр.: 29 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
за авторством: Агеев, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Оптимизация технологии “хлоридной” обработки тонких пленок халькогенидов кадмия
за авторством: Харченко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Влияние различных видов термической обработки на структуру и свойства сапфира
за авторством: Турманидзе, Р.С., та інші
Опубліковано: (2010)

Особенности активированной вакуумной химико-термической обработки материалов
за авторством: Змий, В.И., та інші
Опубліковано: (2011)

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
за авторством: Искендер-заде, З.А., та інші
Опубліковано: (2002)

Разработка новой высокодинамичной машины для термической резки
за авторством: Верещаго, Е.Н., та інші
Опубліковано: (2004)

Сверхпроводимость гранулированных пленок 80NbN–20SiO₂
за авторством: Юзефович, О.И., та інші
Опубліковано: (2010)

Влияние радиационной обработки на параметры интегральных преобразователей температуры
за авторством: Мокрицкий, В.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
за авторством: Николаенко, Ю.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Формовочные процессы с применением термической обработки пенополистирола
за авторством: Тихонова, О.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Методологические аспекты формирования параллельно-иерархической сети для быстрой обработки динамических изображений
за авторством: Кокряцкая, Н.И.
Опубліковано: (2014)

Исследование режимов температурной обработки медных оболочек тепловых микротруб
за авторством: Николаенко, Ю.Е., та інші
Опубліковано: (2000)

Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
за авторством: Лебедева, Т.С., та інші
Опубліковано: (2003)

Проблемы получения непрерывнолитых биметаллических заготовок
за авторством: Титова, Т.М.
Опубліковано: (2004)

Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
за авторством: Белоус, А.И., та інші
Опубліковано: (2001)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Иванчиков, А.Э., та інші
Опубліковано: (2009)

Структура и параметр решетки тонких пленок C₆₀
за авторством: Пугачев, А.Т., та інші
Опубліковано: (1999)

Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2004)

Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
за авторством: Юнакова, О.Н., та інші
Опубліковано: (2015)

Усовершенствованный режим комбинированной термической обработки проката из хромомолибденовой стали
за авторством: Луценко, В.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
за авторством: Наливайко, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2012)

Микроструктура и магнитные свойства постоянных магнитов Nd-Fe-B, полученных методом разнонаправленной механико-термической обработки (РМТО)
за авторством: Бовда, А.М., та інші
Опубліковано: (2000)

Фоточувствительность АФН – плёнок в гетероструктуре из CDTE-SiO₂-Si под действием внешнего электрического поля
за авторством: Отажонов, С.М.
Опубліковано: (2004)

Индукционное устройство для термической обработки сварных стыков железнодорожных рельсов
за авторством: Пантелеймонов, Е.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Структура и свойства хромомолибденовой стали после смягчающей термической обработки
за авторством: Луценко, В.А., та інші
Опубліковано: (2011)

ИК спектры тонких пленок криоконденсатов изотопической смеси воды
за авторством: Алдияров, А., та інші
Опубліковано: (2002)

Влияние термической обработки на состояние поверхности легированных кристаллов фосфида галлия
за авторством: Лобанов, А.А.
Опубліковано: (1983)

Селективная спектроскопия примесных ионов Pr³⁺ в кристаллах Y₂SiO₅ , Gd₂SiO₅ , Lu₂SiO₅
за авторством: Малюкин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2000)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
за авторством: Конакова, Р.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
за авторством: Кузьмин, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Микроскопическая природа оптических центров Pr³⁺ в кристаллах Y₂SiO₅, Lu₂SiO₅, Gd₂SiO₅
за авторством: Малюкин, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2002)

Особенности повышения чувствительности датчиков-ограничителей на основе тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников
за авторством: Кучер, Д.Б., та інші
Опубліковано: (2006)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
за авторством: Джабуа, З.У., та інші
Опубліковано: (2012)

Особенности связывания воды в композитних системах SiO₂ / левомицетин и SiO₂ / левомицетин / АМ1
за авторством: Крупская, Т.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Особенности кинетики несимметричной сегрегации примеси на границах тонких металлических пленок
за авторством: Давыдова, И.М., та інші
Опубліковано: (2011)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
за авторством: Орлова, Д.С., та інші
Опубліковано: (2009)

Вещественные вложения и скетчи для быстрой оценки расстояний и сходств
за авторством: Рачковский, Д.А.
Опубліковано: (2016)

Методика нанесения тонких фуллереновых пленок на циркониевые подложки
за авторством: Щур, Д.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
за авторством: Горбенко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2002)