Buchumschlag

Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки

Рассмотрены физические процессы, протекающие в системе О₂–SiO₂–Si под действием некогерентного излучения в период окисления кремния методом быстрой термической обработки....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2001
Hauptverfasser:	Светличный, А.М., Агеев, О.А., Шляховой, Д.А.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Schlagworte:	Технология производства
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70875
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Особенности получения тонких пленок SiO₂ методом быстрой термической обработки / А.М. Светличный, О.А. Агеев, Д.А. Шляховой // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 38-43. — Бібліогр.: 29 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Влияние обработки поверхности и нагрева на высоту потенциального барьера контактов к SiC
von: Агеев, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Оптимизация технологии “хлоридной” обработки тонких пленок халькогенидов кадмия
von: Харченко, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Влияние различных видов термической обработки на структуру и свойства сапфира
von: Турманидзе, Р.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Особенности активированной вакуумной химико-термической обработки материалов
von: Змий, В.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Косвенный лазерный нагрев поликристаллического кремния для получения активных элементов микросхем
von: Искендер-заде, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Разработка новой высокодинамичной машины для термической резки
von: Верещаго, Е.Н., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Сверхпроводимость гранулированных пленок 80NbN–20SiO₂
von: Юзефович, О.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние радиационной обработки на параметры интегральных преобразователей температуры
von: Мокрицкий, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Особенности методов контроля толщины тонких эпитаксиальных LSMO-пленок
von: Николаенко, Ю.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Формовочные процессы с применением термической обработки пенополистирола
von: Тихонова, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Методологические аспекты формирования параллельно-иерархической сети для быстрой обработки динамических изображений
von: Кокряцкая, Н.И.
Veröffentlicht: (2014)

Исследование режимов температурной обработки медных оболочек тепловых микротруб
von: Николаенко, Ю.Е., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Применение контролируемого анодного окисления для экспресс-контроля в технологии пленок и тонкопленочных структур
von: Лебедева, Т.С., et al.
Veröffentlicht: (2003)

Проблемы получения непрерывнолитых биметаллических заготовок
von: Титова, Т.М.
Veröffentlicht: (2004)

Повышение достоверности отбраковки БИС методом понижения питающего напряжения
von: Белоус, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Иванчиков, А.Э., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Структура и параметр решетки тонких пленок C₆₀
von: Пугачев, А.Т., et al.
Veröffentlicht: (1999)

Получение электрокоммутационных слоев керамических теплопереходов методом детонационного напыления
von: Ащеулов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Спектр поглощения тонких пленок KPb₂Cl₅
von: Юнакова, О.Н., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Усовершенствованный режим комбинированной термической обработки проката из хромомолибденовой стали
von: Луценко, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Получение тонких пленок Si₃N₄ при пониженном давлении на пластинах диаметром до 200 мм
von: Наливайко, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Микроструктура и магнитные свойства постоянных магнитов Nd-Fe-B, полученных методом разнонаправленной механико-термической обработки (РМТО)
von: Бовда, А.М., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Фоточувствительность АФН – плёнок в гетероструктуре из CDTE-SiO₂-Si под действием внешнего электрического поля
von: Отажонов, С.М.
Veröffentlicht: (2004)

Индукционное устройство для термической обработки сварных стыков железнодорожных рельсов
von: Пантелеймонов, Е.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Структура и свойства хромомолибденовой стали после смягчающей термической обработки
von: Луценко, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

ИК спектры тонких пленок криоконденсатов изотопической смеси воды
von: Алдияров, А., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние термической обработки на состояние поверхности легированных кристаллов фосфида галлия
von: Лобанов, А.А.
Veröffentlicht: (1983)

Селективная спектроскопия примесных ионов Pr³⁺ в кристаллах Y₂SiO₅ , Gd₂SiO₅ , Lu₂SiO₅
von: Малюкин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Автоэмиссионные свойства острийных катодов на основе пленок графена на SiC
von: Конакова, Р.В., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
von: Кузьмин, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Микроскопическая природа оптических центров Pr³⁺ в кристаллах Y₂SiO₅, Lu₂SiO₅, Gd₂SiO₅
von: Малюкин, Ю.В., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Особенности повышения чувствительности датчиков-ограничителей на основе тонких пленок высокотемпературных сверхпроводников
von: Кучер, Д.Б., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Оптические свойства тонких плёнок диантимонида празеодима золотистой окраски
von: Джабуа, З.У., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Особенности связывания воды в композитних системах SiO₂ / левомицетин и SiO₂ / левомицетин / АМ1
von: Крупская, Т.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Особенности кинетики несимметричной сегрегации примеси на границах тонких металлических пленок
von: Давыдова, И.М., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Ivanchykau, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гальваномагнитные свойства тонких пленок висмута, легированного теллуром
von: Орлова, Д.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Вещественные вложения и скетчи для быстрой оценки расстояний и сходств
von: Рачковский, Д.А.
Veröffentlicht: (2016)

Методика нанесения тонких фуллереновых пленок на циркониевые подложки
von: Щур, Д.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структура тонких пленок С₆₀ на (100) NaCl
von: Горбенко, Н.И., et al.
Veröffentlicht: (2002)