Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений
Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70879 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859572045714554880 |
|---|---|
| author | Гусейнов, Я.Ю. |
| author_facet | Гусейнов, Я.Ю. |
| citation_txt | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости.
|
| first_indexed | 2025-11-27T00:15:32Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 4�5 51
ÄÀÒ×ÈÊÈ
ÈÍÒÅÃÐÀËÜÍÛÅ ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ
ÏÐÅÎÁÐÀÇÎÂÀÒÅËÈ
ÄËß ÄÈÑÒÀÍÖÈÎÍÍÛÕ ÈÇÌÅÐÅÍÈÉ
Ê. ô.-ì. í. ß. Þ. ÃÓÑÅÉÍÎÂ
Àçåðáàéäæàí, Ñóìãàèòñêèé ãîñ. óíèâåðñèòåò
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
29.01 2001 ã.
Îïïîíåíòû ê. ô.-ì. í. Â. È. ÑÈÄÎÐÎÂ,
ê. ò. í. Ñ. À. ÃÎÐÜÅÂ
Òåõíîëîãèÿ ëîêàëüíîãî âûðàùèâàíèÿ
ïîëè- è ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïëåíîê
êðåìíèÿ ïîçâîëÿåò ñîçäàâàòü èíòåã-
ðàëüíûå ïðåîáðàçîâàòåëè äëÿ äèñòàí-
öèîííûõ èçìåðåíèé.
Øèðîêîå èñïîëüçîâàíèå êðåìíèåâîé ìèêðîýëåê-
òðîííîé òåõíîëîãèè äëÿ ñîçäàíèÿ ïðèáîðîâ ñ îòðè-
öàòåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì (íåãàòðîíîâ) ñîçäàëî
óñëîâèÿ äëÿ áóðíîãî ïðîãðåññà â îáëàñòè ðàçðàáîò-
êè àïïàðàòóðû ñïåöèàëüíîãî íàçíà÷åíèÿ.
Ïîñëå ðàçâèòèÿ ëàìïîâîé è ñõåìîòåõíè÷åñêîé íå-
ãàòðîíèêè [1, ñ. 146] áûëè çàëîæåíû êîíñòðóêòèâ-
íî-òåõíîëîãè÷åñêèå îñíîâû ìèêðîýëåêòðîííîé íå-
ãàòðîíèêè òðåòüåãî ïîêîëåíèÿ íåãàòðîííûõ ïðèáî-
ðîâ [2, ñ. 7]. Ýòî ñòàëî âîçìîæíûì áëàãîäàðÿ ðà-
áîòàì ïî òåõíîëîãèè ôîðìèðîâàíèÿ ëîêàëüíûõ ïëå-
íîê ïîëè- è ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ â ïðî-
öåññå ýïèòàêñèàëüíîãî íàðàùèâàíèÿ êðåìíèåâûõ
ïëåíîê n-òèïà ïðîâîäèìîñòè íà êðåìíèåâîé ïîäëîæêå
ÊÄÁ-10 [3].
Øèðîêî èçâåñòíû ðàçëè÷íûå äàò÷èêè ôèçè÷åñ-
êèõ, õèìè÷åñêèõ [4], ìàãíèòíûõ [5], ìåõàíè÷åñêèõ [6]
è äðóãèõ âåëè÷èí. Åñëè âûõîäíîé ñèãíàë ñ ÷óâ-
ñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà ïîäàòü íà ñõåìó íåãàòðîíà ñ
S-îáðàçíîé âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêîé (ÂÀÕ),
òî ïðîèñõîäèò ãåíåðàöèÿ êîëåáàíèé, ÷òî ïîçâîëÿåò
ïåðåäàâàòü èçìåðÿåìûé ñèãíàë íà ðàññòîÿíèå.
Íà ðèñ. 1 ïðåäñòàâëåíà ñõåìà ðàçðàáîòàííîãî
äàò÷èêà ìàãíèòíîãî ïîëÿ ñ ÷àñòîòíûì âûõîäîì íà
ãàëüâàíîìàãíèòîðåêîìáèíàöèîííîì (ÃÌÐ) ýôôåê-
òå. Ñåíñîðîì ñëóæàò äâà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ðåçè-
ñòîðà n-òèïà ïðîâîäèìîñòè, èçîëèðîâàííûõ îáðàòíî
ñìåùåííûì p�n-ïåðåõîäîì è ðàçäåëåííûõ ïðîñëîé-
êîé èç ïîëèêðåìíèÿ ñðåäíåãî óðîâíÿ ëåãèðîâàíèÿ,
ëîêàëüíî âûðàùåííîé íà ïîäëîæêå p-òèïà ïðîâîäè-
ìîñòè ÊÄÁ-10 ñîãëàñíî òåõíîëîãèè [3]. Ïîâåðõíîñ-
òüþ ñ âûñîêîé ñêîðîñòüþ ïîâåðõíîñòíîé ðåêîìáè-
íàöèè ÿâëÿåòñÿ ãðàíèöà ðàçäåëà ìåæäó ìîíî- è ïî-
ëèêðèñòàëëè÷åñêèìè ïëåíêàìè. Ïðèíöèï äåéñòâèÿ,
ôèçèêî-òåõíîëîãè÷åñêèå è êîíñòðóêòèâíûå îñîáåí-
íîñòè ÃÌÐ-ýëåìåíòà, à òàêæå èõ ìàãíèòîýëåêòðè÷åñ-
êèå ïàðàìåòðû áûëè ïîäðîáíî îïèñàíû â [7].
Ñ öåëüþ ðàñøèðåíèÿ ðàáî÷åãî äèàïàçîíà òåìïå-
ðàòóð è ïîâûøåíèÿ ÷óâñòâèòåëüíîñòè ÃÌÐ-ýëåìåíò
ìîæåò áûòü òàêæå èçãîòîâëåí íà îñíîâå âèñìóòñî-
äåðæàùåé ïëåíêè "èíäèé�ñòèáèóì", âûðàùåííîé íà
ïîëóèçîëèðóþùåé àðñåíèäãàëëèåâîé ïîäëîæêå [8],
òîëüêî â ýòîì ñëó÷àå íàïðàâëåíèå èíäóêöèè ìàãíèò-
íîãî ïîëÿ äîëæíî áûòü íàïðàâëåíî ïàðàëëåëüíî
ïëîñêîñòè ïîäëîæêè, ïîñêîëüêó ãðàíüþ ñ âûñîêîé
ñêîðîñòüþ ïîâåðõíîñòíîé ðåêîìáèíàöèè ÿâëÿåòñÿ
ãðàíèöà ðàçäåëà ìåæäó ïëåíêîé è ïîäëîæêîé.
Ñîâìåñòíî ñ ðåçèñòîðàìè R1 è R2 ñåíñîð ïðåä-
ñòàâëÿåò ñîáîé ýëåêòðè÷åñêèé ìîñò, îäíà äèàãîíàëü
êîòîðîãî ïîäêëþ÷åíà ê èñòî÷íèêó ïèòàíèÿ, à ñ äðó-
ãîé äèàãîíàëè íàïðÿæåíèå ðàçáàëàíñà ïîäàåòñÿ íà
áàçû òðàíçèñòîðîâ VT3 è VT4, íà êîòîðûõ ñîáðàí
àíàëîã íåãàòðîíà. Ìåæäó ýìèòòåðàìè òðàíçèñòîðîâ
VT1 è VT2, ãäå íàáëþäàåòñÿ îòðèöàòåëüíîå äèôôå-
ðåíöèàëüíîå ñîïðîòèâëåíèå, âêëþ÷åí ÷àñòîòîçàäàþ-
ùèé ýëåìåíò � êîíäåíñàòîð C1. Ïðè îòñóòñòâèè
ìàãíèòíîãî ïîëÿ ìîñò áàëàíñèðóåòñÿ ðåçèñòîðàìè
R1 è R2. Ïîä äåéñòâèåì ìàãíèòíîãî ïîëÿ ïîòîê
íîñèòåëåé çàðÿäà â ÃÌÐ-ýëåìåíòå îòêëîíÿåòñÿ îò
ïðÿìîëèíåéíîãî ïóòè. Â îäíîì èç ðåçèñòîðîâ íîñè-
òåëè ïîäõîäÿò áëèæå ê ïîëèêðåìíèåâîé ïëåíêå, ãäå
âûñîêà ñêîðîñòü ïîâåðõíîñòíîé ðåêîìáèíàöèè, à â
äðóãîì � íàîáîðîò, ê ïðîòèâîïîëîæíîé ãðàíè ñ
p�n-ïåðåõîäîì, ãäå ñêîðîñòü ïîâåðõíîñòíîé ðåêîì-
áèíàöèè ìàëà. Ýòî ïðèâîäèò ê èçìåíåíèþ ñîïðîòèâ-
ëåíèÿ, â ðåçóëüòàòå ÷åãî ïðîèñõîäèò ðàçáàëàíñ ìîñ-
òà. Áàçû òðàíçèñòîðîâ VT3 è VT4 èçìåíÿþò ñâîé
ïîòåíöèàë, ìåíÿåòñÿ ÂÀÕ àíàëîãà íåãàòðîíà è, êàê
ñëåäñòâèå, ãåíåðèðóåìàÿ ÷àñòîòà.
R3 R4
ÃÌÐ 430 430
+Uï
Âûõ.
VT1 VT2
VT3 VT4
C1
430ï
R1 R2 R5
22ê 22ê 22ê
Ðèñ. 1. Ïðèíöèïèàëüíàÿ ñõåìà äàò÷èêà ìàãíèòíîãî
ïîëÿ ñ ÷àñòîòíûì âûõîäîì íà îñíîâå ÃÌÐ-ýëåìåíòà
Â
7*
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 4�5
52
ÄÀÒ×ÈÊÈ
Ðàçðàáîòàí òàêæå äàò÷èê äûìà ñ ÷àñòîòíûì âû-
õîäîì, ñõåìà êîòîðîãî ïðèâåäåíà íà ðèñ. 2. Ñåíñîð
äàò÷èêà ñîçäàí íà îñíîâå ïîëèêðåìíèåâîé ïëåíêè
êðåñòîîáðàçíîé ôîðìû ñ ÷åòûðüìÿ êîíòàêòàìè, âû-
ðàùåííîé òàê æå, êàê è â ñëó÷àå ÃÌÐ-ýëåìåíòà, â
åäèíîì ýïèòàêñèàëüíîì ïðîöåññå ñ ìîíîêðèñòàëëè-
÷åñêèìè ïëåíêàìè êðåìíèÿ n-òèïà ïðîâîäèìîñòè íà
ïîäëîæêå p-òèïà ïðîâîäèìîñòè ïî òåõíîëîãèè, îïè-
ñàííîé â [3]. Ðàçìàõ ïëå÷ � 400 è 200 ìêì ïðè
øèðèíå 40 ìêì. Ñåíñîð âêëþ÷åí â ãåíåðàòîð íà
àíàëîãå íåãàòðîíà ñ ïåðåêðåñòíûìè êîëëåêòîðíî-
áàçîâûìè ñâÿçÿìè ìåæäó òðàíçèñòîðàìè ÷åðåç êîí-
äåíñàòîðû.
Ïðè ïðîïóñêàíèè âäîëü äëèííîãî ïëå÷à ñåíñîðà
ïîñòîÿííîãî òîêà âîçäåéñòâèå äûìà âåäåò ê ïîÿâ-
ëåíèþ ìåæäó âûâîäàìè êîðîòêîãî ïëå÷à ðàçíîñòè
R2 R4
22ê Ìîíî-Si Ïîëè-Si 22ê
R1 R3
4,7ê 4,7ê
Ñ1 C2
47ï 47ï
C4
47ï
+Uï (10 B)
Âûõ.
p
C3
1ï
Ðèñ. 2. Ïðèíöèïèàëüíàÿ ñõåìà äàò÷èêà äûìà ñ ÷àñ-
òîòíûì âûõîäîì íà ïîëèêðåìíèåâîé ïëåíêå
ïîòåíöèàëîâ, äîñòèãàþùåé íåñêîëüêèõ ñîò ìèëëè-
âîëüò. Êðàòêîâðåìåííîå âîçäåéñòâèå äûìà ïðè ãî-
ðåíèè âàòû ïðèâîäèëî ê óâåëè÷åíèþ ÷àñòîòû îò 39
äî 43 êÃö.
Òàêèì îáðàçîì, òåõíîëîãèÿ ëîêàëüíîãî âûðàùè-
âàíèÿ ïîëè- è ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïëåíîê êðåì-
íèÿ ïîçâîëÿåò ñîçäàâàòü èíòåãðàëüíûå ïðåîáðàçî-
âàòåëè äëÿ äèñòàíöèîííûõ èçìåðåíèé ðàçëè÷íûõ
âåëè÷èí.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ñåðüåçíîâ À. Í., Ãàðÿèíîâ Ñ. À., Êàñèìîâ Ô. Ä. è
äð. Íåãàòðîíèêà.� Íîâîñèáèðñê: Íàóêà, 1995.
2. Êàñèìîâ Ô. Ä., Àãàåâ Ô. Ã., Ôèëèíþê Í. À. Ôè-
çèêî-òåõíè÷åñêèå è ñõåìîòåõíè÷åñêèå îñîáåííîñòè ïðî-
åêòèðîâàíèÿ êðåìíèåâûõ ìèêðîýëåêòðîííûõ ïðåîáðà-
çîâàòåëåé íà îñíîâå íåãàòðîíîâ.� Áàêó: ÝËÌ, 1999.
3. Abdullajev A. G., Kasimov F. D. The simultaneous
growths of mono- and polycrystalline silicon films // Thin
Solid Films.� 1984.� Vol. 115, N 3.� P. 237�243.
4. ×àïëûãèí Þ. À. Ìèêðîýëåêòðîííûå äàò÷èêè
ôèçè÷åñêèõ è ôèçèêî-õèìè÷åñêèõ âåëè÷èí //  ñá.: Ðàç-
ðàáîòêà è èññëåäîâàíèå ìèêðîýëåêòðîííûõ êðåìíèåâûõ
äàò÷èêîâ è ýëåìåíòîâ ïàìÿòè ÑÁÈÑ ÄÎÇÓ.� Ì.:
ÌÈÝÒ, 1994.� Ñ. 5�13.
5. Ãàëóøêîâ À. È., ×àïëûãèí Þ. À. Èíòåãðàëüíûå
ìàãíèòî÷óâñòâèòåëüíûå ìèêðîñèñòåìû // Èçâ. âóçîâ.
Ýëåêòðîíèêà.� 2000.� ¹ 4�5.� Ñ. 124�127.
6. Ïàíêðàòîâ Î. Â., Áðåõîâ Ð. Ñ., Ïîãàëîâ À. È. Ðàç-
ðàáîòêà è èññëåäîâàíèå èíòåãðàëüíûõ ïüåçîðåçèñòèâíûõ
àêñåëåðîìåòðîâ // Òàì æå.� 1997.� ¹ 1.� Ñ. 57�61.
7. Êàñèìîâ Ô. Ä., Ãóñåéíîâ ß. Þ. Êðåìíèåâûé èí-
òåãðàëüíûé ãàëüâàíîìàãíèòîðåêîìáèíàöèîííûé ýëåìåíò
// Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïà-
ðàòóðå.� 2000.� ¹ 5�6.� Ñ. 16�18.
8. Kasimov F. D., Huseinov Ya.Yu. Integral galvano-
magnetic recombination element based on heteroepitaxial
bismuth-containing InSb films //Functional Materials
(Kharkiv, Institute for single crystals).� 1999.� Vol. 6,
N 5.� P. 934�938.
Ï Î Ä Ï È Ñ Ê À
Í À Ò Ê Ý À
Ðåäàêöèÿ æóðíàëà
"Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå"
ïðîñèò Âàñ ïîèíòåðåñîâàòüñÿ, ïîäïèñàíà ëè Âàøà îðãàíèçàöèÿ íà æóðíàë "ÒÊÝÀ" íà
2002 ãîä (èíäåêñ â ïîäïèñíûõ êàòàëîãàõ � 71141, ïåðèîäè÷íîñòü � 6 íîìåðîâ). Ïîäïèñêó
ìîæíî îôîðìèòü è íåïîñðåäñòâåííî ÷åðåç ðåäàêöèþ. Äëÿ ýòîãî ñîîòâåòñòâóþùóþ ñóììó
(öåíà îäíîãî íîìåðà � 15 ãðí.) íåîáõîäèìî ïåðåâåñòè â àäðåñ ðåäàêöèè ïî ïî÷òå
(Óêðàèíà, 65028, Îäåññà, óë. Á. Õìåëüíèöêîãî, 59) èëè íà óêàçàííûé ðàñ÷åòíûé ñ÷åò.
Ðåêâèçèòû äëÿ ïåðå÷èñëåíèÿ íà ñ÷åò
ü â ãðèâíàõ:
Ïîëó÷àòåëü ÄÏ �Íåïòóí-Òåõíîëîãèÿ�, ÎÊÏÎ 24543343. Áàíê ïîëó÷àòåëÿ: Îòä. ¹ 6 "Èëüè÷åâñêîå"
ÖÎ ÏÈÁ â ã. Îäåññå, ÌÔÎ 328135, ð/ñ 26002301535969. Íàçíà÷åíèå ïëàòåæà: çà ïîäïèñêó íà æóðíàë
"ÒÊÝÀ".
ü â ðîññèéñêèõ ðóáëÿõ:
Ïîëó÷àòåëü: Ïðîìèíâåñòáàíê Óêðàèíû. Êîðñ÷åò: êîðñ÷åò òèïà Ê ¹ 30122810400000000284.
Áàíê ïîëó÷àòåëÿ: ÈÍÍ 7707083893 Ñáåðáàíê Ðîññèè, ã. Ìîñêâà, ÁÈÊ 044525225, êîðñ÷åò
¹ 30101810400000000225 â ÎÏÅÐÓ Ìîñêîâñêîãî ÃÒÓ Áàíêà Ðîññèè. Íàçíà÷åíèå ïëàòåæà: äëÿ ÄÏ
�Íåïòóí-Òåõíîëîãèÿ�, ÎÊÏÎ 24543343, ð/ñ 6002301535969, êîä 810 â îòä. ¹ 6 "Èëüè÷åâñêîå"ÖÎ ÏÈÁ â
ã. Îäåññå, ÌÔÎ 328135, çà ïîäïèñêó íà æóðíàë "ÒÊÝÀ".
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70879 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T00:15:32Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гусейнов, Я.Ю. 2014-11-15T16:45:10Z 2014-11-15T16:45:10Z 2001 Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70879 621.316.826 Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобразователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиального наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Датчики Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений Article published earlier |
| spellingShingle | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений Гусейнов, Я.Ю. Датчики |
| title | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений |
| title_full | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений |
| title_fullStr | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений |
| title_full_unstemmed | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений |
| title_short | Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений |
| title_sort | интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений |
| topic | Датчики |
| topic_facet | Датчики |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70879 |
| work_keys_str_mv | AT guseinovâû integralʹnyemikroélektronnyepreobrazovatelidlâdistancionnyhizmerenii |