Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2001
• Main Author: Гусейнов, Я.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Subjects: Датчики
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70879
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Интегральные микроэлектронные преобразователи для дистанционных измерений / Я.Ю. Гусейнов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 4-5. — С. 51-52. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Разработаны магнито- и газочувствительные интегральные преобра­зователи с частотным выходом на базе пленок поликристаллического кремния, выращенных в едином технологическом цикле эпитаксиаль­ного наращивания монокристаллических пленок n-типа проводимости....