Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика

Показана возможность использования в качестве подзатворного диэлектрика МДП-структур оксидов Er, Dy, La. Преимущества использования оксидов редкоземельных элементов в качестве подзатворного диэлектрика определяются большой величиной удельной емкости. Это дает возможность улучшить эксплуатационные ха...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2001
Автори: Курмашев, Ш.Д., Викулин, И.М., Ленков, С.В.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70884
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика / Ш.Д. Курмашев, И.М. Викулин, С.В. Ленков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 6-8. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862716060627632128
author Курмашев, Ш.Д.
Викулин, И.М.
Ленков, С.В.
author_facet Курмашев, Ш.Д.
Викулин, И.М.
Ленков, С.В.
citation_txt Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика / Ш.Д. Курмашев, И.М. Викулин, С.В. Ленков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 6-8. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Показана возможность использования в качестве подзатворного диэлектрика МДП-структур оксидов Er, Dy, La. Преимущества использования оксидов редкоземельных элементов в качестве подзатворного диэлектрика определяются большой величиной удельной емкости. Это дает возможность улучшить эксплуатационные характеристики систем отображения информации, МДП-транзисторов, расширить диапазон изменения емкости варикапов, а также создавать малогабаритные конденсаторы большой емкости.
first_indexed 2025-12-07T18:02:14Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70884
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T18:02:14Z
publishDate 2001
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Курмашев, Ш.Д.
Викулин, И.М.
Ленков, С.В.
2014-11-15T18:42:46Z
2014-11-15T18:42:46Z
2001
Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика / Ш.Д. Курмашев, И.М. Викулин, С.В. Ленков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 6-8. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70884
621.314.26
Показана возможность использования в качестве подзатворного диэлектрика МДП-структур оксидов Er, Dy, La. Преимущества использования оксидов редкоземельных элементов в качестве подзатворного диэлектрика определяются большой величиной удельной емкости. Это дает возможность улучшить эксплуатационные характеристики систем отображения информации, МДП-транзисторов, расширить диапазон изменения емкости варикапов, а также создавать малогабаритные конденсаторы большой емкости.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Материалы для микроэлектроники
Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
Article
published earlier
spellingShingle Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
Курмашев, Ш.Д.
Викулин, И.М.
Ленков, С.В.
Материалы для микроэлектроники
title Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
title_full Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
title_fullStr Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
title_full_unstemmed Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
title_short Кремниевые МДП-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
title_sort кремниевые мдп-структуры с оксидами редкоземельных элементов в качестве диэлектрика
topic Материалы для микроэлектроники
topic_facet Материалы для микроэлектроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70884
work_keys_str_mv AT kurmaševšd kremnievyemdpstrukturysoksidamiredkozemelʹnyhélementovvkačestvediélektrika
AT vikulinim kremnievyemdpstrukturysoksidamiredkozemelʹnyhélementovvkačestvediélektrika
AT lenkovsv kremnievyemdpstrukturysoksidamiredkozemelʹnyhélementovvkačestvediélektrika