Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2001
• Hauptverfasser: Орлов, В.Д., Удовицкий, В.Г.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Schlagworte: Материалы для микроэлектроники
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70885
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры / В.Д. Орлов, В.Г. Удовицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 9-11. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Исследованы тонкие пленки органических полупроводников с макроциклической структурой фталоцианина и дигидродибензотетрааза[14]аннулена. Подтверждено, что при напылении в вакууме химическая структура молекул органических полупроводников сохраняется. Пленки имеют пористую мелкокристаллическую структуру. При определенных условиях напыления были получены высокоупорядоченные ориентированные пленки даже на аморфных неориентированных подложках. Пленки обладали полупроводниковой электро­провод­ностью р-типа. Методом рентгеноструктурного анализа показано влияние химического модифицирования структуры на пространственное строение молекул.