Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов
Показана возможность создания двухполосного фоторезистора для ИК-областей спектра на основе варизонной эпитаксиальной структуры КРТ с расположенным в глубине пленки (параллельно освещаемой поверхности) рекомбинационно активным слоем металлургической границы. При этом спектральное положение полос фот...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70889 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов / А.И. Власенко, З.К. Власенко, В.А. Гнатюк, А.Б. Смирнов, И.В. Курило, И.А. Рудый, И.И. Ижнин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 25-29. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859592956863840256 |
|---|---|
| author | Власенко, А.И. Власенко, З.К. Гнатюк, В.А. Смирнов, А.Б. Курило, И.В. Рудый, И.А. Ижнин, И.И. |
| author_facet | Власенко, А.И. Власенко, З.К. Гнатюк, В.А. Смирнов, А.Б. Курило, И.В. Рудый, И.А. Ижнин, И.И. |
| citation_txt | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов / А.И. Власенко, З.К. Власенко, В.А. Гнатюк, А.Б. Смирнов, И.В. Курило, И.А. Рудый, И.И. Ижнин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 25-29. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Показана возможность создания двухполосного фоторезистора для ИК-областей спектра на основе варизонной эпитаксиальной структуры КРТ с расположенным в глубине пленки (параллельно освещаемой поверхности) рекомбинационно активным слоем металлургической границы. При этом спектральное положение полос фоточувствительности может технологически регулироваться составом и рекомбинационными параметрами диффузионного и нарощенного слоев.
|
| first_indexed | 2025-11-27T18:10:24Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 6 25
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Äâóõïîëîñíûé ÈÊ-ôîòîðåçèñòîð ìîæ-
íî ðåàëèçîâàòü íà îñíîâå âàðèçîííîé
ýïèòàêñèàëüíîé ñòðóêòóðû CdHgTe
ñ ðåêîìáèíàöèîííî àêòèâíûì ñëîåì â
îáëàñòè ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû.
Èíòåíñèâíîå ðàçâèòèå ìåòîäîâ è ñðåäñòâ ÈÊ-
ôîòîýëåêòðîíèêè è èõ èñïîëüçîâàíèå â ðàçëè÷íûõ
ñôåðàõ ÷åëîâå÷åñêîé äåÿòåëüíîñòè (â ñèñòåìàõ ìî-
íèòîðèíãà, îïòè÷åñêîé ñâÿçè, ìåäèöèíå, ñïåöèàëüíîé
àïïàðàòóðå è äð.) ïîçâîëèëî íà íîâîì êà÷åñòâåí-
íîì óðîâíå ðåøàòü çàäà÷è, ñâÿçàííûå ñ ðåãèñòðàöè-
åé è êîíòðîëåì ïàðàìåòðîâ îêðóæàþùåé ñðåäû, èñ-
ñëåäóåìûõ ïðîöåññîâ è îáúåêòîâ [1�4]. Íàïðèìåð,
äëÿ äèñòàíöèîííîãî ìîíèòîðèíãà â ðàçëè÷íûõ ñïåê-
òðàëüíûõ äèàïàçîíàõ â óñëîâèÿõ ôîíîâûõ ñèãíà-
ëîâ, ñîèçìåðèìûõ ñ ïîëåçíûìè, öåëåñîîáðàçíî ïðè-
ìåíåíèå ìíîãîïîëîñíûõ ôîòîýëåìåíòîâ ñ ïîäàâëå-
íèåì ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè â òåõ ñïåêòðàëüíûõ äè-
àïàçîíàõ, êîòîðûå íå ñîîòâåòñòâóþò ñïåêòðó èçëó-
÷åíèÿ ïîëåçíûõ ñèãíàëîâ. Îñîáåííî ýòî âàæíî äëÿ
ðåàëèçàöèè çàäà÷, â êîòîðûõ èñïîëüçóþòñÿ äèñòàí-
öèîííûå ìåòîäû îáíàðóæåíèÿ è ðàñïîçíàâàíèÿ îáúåê-
òîâ íà îñíîâå èõ îòðàæàòåëüíîé è èçëó÷àòåëüíîé
ñïîñîáíîñòè. Ýòî ñâÿçàíî ñ òåì, ÷òî îòðàæàòåëüíûå
ñâîéñòâà îáúåêòîâ èññëåäóþòñÿ â âèäèìîé è áëèæ-
íåé ÈÊ-îáëàñòè ñïåêòðà, à èçëó÷àòåëüíûå � â ñðåä-
íåé è äàëüíåé [5].
Îáû÷íî ýòîò âîïðîñ ðåøàåòñÿ êîíñòðóèðîâàíè-
åì ãåòåðîñòðóêòóð, �ñýíäâè÷åé� èç ñëîåâ èëè ïëàñ-
òèí ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìàòåðèàëîâ ñ ðàçëè÷íîé
øèðèíîé çàïðåùåííîé çîíû Eg (ñêëåèâàíèåì, ýïè-
òàêñèàëüíûì íàðàùèâàíèåì è ò. ï.). Óêàçàííûå
ñòðóêòóðû èìåþò ðÿä î÷åâèäíûõ íåäîñòàòêîâ: ýòî, â
÷àñòíîñòè, áîëüøèå îïòè÷åñêèå ïîòåðè çà ñ÷åò îòðà-
æåíèÿ è ðàññåèâàíèÿ, ñóùåñòâåííûå ìåõàíè÷åñêèå
íàïðÿæåíèÿ íà ãðàíèöàõ ðàçäåëà (ïîñëåäíèå îñî-
áåííî êðèòè÷íû ïðè îõëàæäåíèè äî íèçêèõ òåìïå-
ðàòóð, ïðè êîòîðûõ îáû÷íî èñïîëüçóþòñÿ ôîòîäå-
òåêòîðû äëÿ äèàïàçîíà 8�14 ìêì), óñêîðåííàÿ äåã-
ðàäàöèÿ ñòðóêòóð è äð. Ýòèõ íåäîñòàòêîâ â áîëü-
øåé èëè ìåíüøåé ñòåïåíè ëèøåíû ñòðóêòóðû ñ ïëàâ-
íûì ãðàäèåíòîì ñîñòàâà (âàðèçîííûå) ñî ñïåöèàëü-
íûìè ïðîôèëÿìè ëåãèðîâàíèÿ, èñïîëüçîâàíèå êîòî-
ðûõ öåëåñîîáðàçíî òàêæå è ñ òî÷êè çðåíèÿ ïîäáîðà
îïòèìàëüíûõ ðàáî÷èõ ñïåêòðàëüíûõ äèàïàçîíîâ ôî-
òîïðèåìíèêîâ.
ÂÀÐÈÇÎÍÍÛÅ ÑËÎÈ ÍÀ ÎÑÍÎÂÅ ÒÂÅÐÄÛÕ ÐÀÑÒÂÎÐÎÂ
CdHgTe ÄËß ÄÂÓÕÏÎËÎÑÍÛÕ ÈÊ-ÔÎÒÎÐÅÇÈÑÒÎÐÎÂ
Ä. ô.-ì. í. À. È. ÂËÀÑÅÍÊÎ, Ç. Ê. ÂËÀÑÅÍÊÎ,
ê. ô.-ì. í. Â. À. ÃÍÀÒÞÊ, À. Á. ÑÌÈÐÍÎÂ,
ä. ô.-ì. í. È. Â. ÊÓÐÈËÎ, È. À. ÐÓÄÛÉ,
ê. ô.-ì. í. È. È. ÈÆÍÈÍ
Óêðàèíà, ã. Êèåâ, Èí-ò ôèçèêè ïîëóïðîâîäíèêîâ ÍÀÍÓ;
ã. Ëüâîâ, ÃÓ «Ëüâîâñêàÿ ïîëèòåõíèêà», ÍÈÈ ìàòåðèàëîâ ÍÏÏ "Êàðàò"
E-mail: mickle@semicond.kiev.ua
Äëÿ öåëåé àýðîêîñìè÷åñêîãî çîíäèðîâàíèÿ îñî-
áåííî âàæíî, ÷òîáû ïîëîñû ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè
òàêèõ ôîòîïðèåìíèêîâ ñîîòâåòñòâîâàëè îêíàì ïðî-
çðà÷íîñòè àòìîñôåðû (0,95�1,05 ìêì, 1,2�1,3 ìêì,
1,5�1,8 ìêì, 2,1�2,4 ìêì, 3,3�4,2 ìêì, 4,5�5,1 ìêì,
8�13 ìêì [4, ñ. 37]). Ïîñêîëüêó, â ñîîòâåòñòâèè ñ
çàêîíîì Ðýëåÿ äëÿ ðàññåÿíèÿ ëó÷èñòîé ýíåðãèè ìåë-
êèìè ÷àñòèöàìè, ïðîïóñêàíèå àòìîñôåðû ðàñòåò ñ
óâåëè÷åíèåì äëèíû âîëíû, íàèáîëüøóþ àêòóàëüíîñòü
äëÿ àýðîêîñìè÷åñêîãî ìîíèòîðèíãà è îïòè÷åñêîé ñâÿ-
çè, îñîáåííî â óñëîâèÿõ çàïûëåííîé èëè âëàæíîé
àòìîñôåðû, ïðèîáðåòàþò ôîòîïðèåìíèêè, ñî÷åòàþùèå
ïîëîñû â êîðîòêî- è äëèííîâîëíîâîì äèàïàçîíàõ âîëí.
Ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü â ñïåêòðàëüíîì äèàïàçî-
íå âñåõ ïðèâåäåííûõ âûøå îêîí ïðîçðà÷íîñòè àò-
ìîñôåðû ìîæåò áûòü îáåñïå÷åíà ïîëóïðîâîäíèêî-
âûìè òâåðäûìè ðàñòâîðàìè CdõHg1�õTe (ÊÐÒ), â
êîòîðûõ â çàâèñèìîñòè îò ñîñòàâà õ øèðèíà çàïðå-
ùåííîé çîíû Eg ìåíÿåòñÿ â ïðåäåëàõ 0�1,6 ýÂ [6,
ñ. 105]. Ïðèìåíåíèå ãîìîçîííîãî ìàòåðèàëà îïðåäå-
ëåííîãî ñîñòàâà õ ïîçâîëÿåò ðåàëèçîâàòü ëèøü ñå-
ëåêòèâíûé ôîòîðåçèñòîð ñ ìàêñèìóìîì ôîòî÷óâ-
ñòâèòåëüíîñòè â ñïåêòðàëüíîé îáëàñòè hν ≈ Eg, ïðè
ýòîì øèðèíà ïîëîñû îãðàíè÷èâàåòñÿ, â îñíîâíîì, ñ
êîðîòêîâîëíîâîé ñòîðîíû � ïîâåðõíîñòíîé ðåêîì-
áèíàöèåé, ñ äëèííîâîëíîâîé � ñïåêòðàëüíûì ðàñ-
ïðåäåëåíèåì êîýôôèöèåíòà ïîãëîùåíèÿ α, èìåþùèì
â ýòèõ êðèñòàëëàõ ýêñïîíåíöèàëüíûé õàðàêòåð [7].
Øèðîêàÿ ñïåêòðàëüíàÿ ïîëîñà ôîòî÷óâñòâèòåëüíî-
ñòè â äèàïàçîíå 0,8�15 ìêì ìîæåò áûòü îáåñïå÷åíà
âàðèçîííîé ñòðóêòóðîé ÊÐÒ [8], â êîòîðîé ñîäåðæà-
íèå Cd õ èçìåíÿåòñÿ ïî ãëóáèíå îò 1 äî 0,19. Ìíî-
ãîïîëîñíûé æå õàðàêòåð ñïåêòðà ôîòî÷óâñòâèòåëü-
íîñòè ìîæåò áûòü ïîëó÷åí ââåäåíèåì íà îïðåäåëåí-
íûå ãëóáèíû ðåêîìáèíàöèîííî àêòèâíûõ îáëàñòåé.
Òàêèå ñòðóêòóðû ìîãóò áûòü ïîëó÷åíû îäíîé èç ýïè-
òàêñèàëüíûõ òåõíîëîãèé (ãàçîôàçíîé, æèäêîôàçíîé,
ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâîé è äð.).  êà÷åñòâå íàèáîëåå
ïðîñòîãî, äîñòóïíîãî è äåøåâîãî ìåòîäà ýïèòàêñè-
àëüíîãî íàðàùèâàíèÿ, êîòîðûé ïîçâîëÿåò àâòîìàòè-
÷åñêè ïîëó÷àòü ãðàäèåíòíûå ñòðóêòóðû çàäàííîãî
ïðîôèëÿ, ìîæåò áûòü ïðèìåíåí ìåòîä ïàðîôàçíîé
ýïèòàêñèè ñëîåâ HgTe íà ïîäëîæêó CdTe [9].
Íàñòîÿùàÿ ðàáîòà ïîñâÿùåíà èññëåäîâàíèþ è àíà-
ëèçó ñòðóêòóðû è ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ õàðàêòåðèñ-
òèê âàðèçîííûõ ïàðîôàçíûõ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ
ÊÐÒ ñ öåëüþ êîíñòðóèðîâàíèÿ íà èõ îñíîâå äâóõ-
ïîëîñíîãî ÈÊ-ïðèåìíèêà èçëó÷åíèÿ.
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
30. 01 2001 ã.
Îïïîíåíò ä. ô.-ì. í. È. Ï. ÏÐÎÊÎÏÅÍÊÎ
4
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 6
26
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Ïîëó÷åíèå è îñîáåííîñòè ñòðóêòóðû âàðèçîííûõ
ñëîåâ ÊÐÒ
Ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè ïåðåìåííîãî ñîñòàâà ÊÐÒ
âûðàùèâàëèñü ìåòîäîì èçîòåðìè÷åñêîé ïàðîôàçíîé
ýïèòàêñèè, àíàëîãè÷íûì ìåòîäó, îïèñàííîìó â [9]. Â
êà÷åñòâå ïîäëîæåê ïðèìåíÿëèñü ïëàñòèíû âûñîêî-
îìíîãî p-CdTe, à òàêæå òâåðäûõ ðàñòâîðîâ CdMnTe
(ÊÌÒ), CdZnTe (ÊÖÒ) è äð. ðàçëè÷íîãî ñîñòàâà,
îðèåíòèðîâàííûå â ïëîñêîñòÿõ {111} èëè {110}.
Èñïîëüçîâàëñÿ îïòè÷åñêè ïðîçðà÷íûé âûñîêîîìíûé
CdTe ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì íå ìåíåå
105 Îì·ñì è ïëîòíîñòüþ äèñëîêàöèé Nd<105 ñì2.
Îïòè÷åñêóþ îäíîðîäíîñòü ìàòåðèàëà îïðåäåëÿëè ïî
ïðîïóñêàíèþ â ñïåêòðàëüíîì äèàïàçîíå 2�15 ìêì
ïðè Ò=300 Ê ïðè ñêàíèðîâàíèè ñâåòîâûì çîíäîì
ñâåòà ïî ïîâåðõíîñòè øàéáû. Äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ïðè-
áîðíûõ ñòðóêòóð îòáèðàëèñü ïëàñòèíû ñ ïðîçðà÷-
íîñòüþ íå ìåíåå 50% è åå íåîäíîðîäíîñòüþ ïî ïëà-
ñòèíå íå áîëåå 2%.  êà÷åñòâå èñòî÷íèêà èñïîëüçî-
âàëèñü êðèñòàëëû HgTe èëè ÊÐÒ (â âèäå ðàçìåëü-
÷åííîãî ïîðîøêà èëè ïëàñòèí), ïîìåùåííûå â êâàð-
öåâûõ ÷àøêàõ íà ðàññòîÿíèè 3�7 ìì îò ïîäëîæåê.
Âûðàùèâàíèå ñëîåâ ïðîèçâîäèëîñü ïðè Ò=550�
600°Ñ. Ñêîðîñòü íàðàùèâàíèÿ, òîëùèíà ñëîåâ, ñî-
ñòàâ êîìïîíåíòîâ íà ïîâåðõíîñòè è ïðîôèëè èõ ðàñ-
ïðåäåëåíèÿ ïî òîëùèíå ðåãóëèðîâàëèñü òåìïåðàòó-
ðîé, âðåìåíåì ðîñòà, äàâëåíèåì íàñûùåííûõ ïàðîâ
Hg, Te (äëÿ ñîçäàíèÿ íåîáõîäèìîãî äàâëåíèÿ â àì-
ïóëó äîáàâëÿëîñü ðàññ÷èòàííîå êîëè÷åñòâî ðòóòè,
çàâèñÿùåå îò ðîñòîâûõ òåìïåðàòóð è ñâîáîäíîãî
îáúåìà àìïóëû; äëÿ ïîëó÷åíèÿ òîëñòûõ âàðèçîí-
íûõ ñëîåâ äîáàâëÿëñÿ ñâîáîäíûé Te).
Ïîëó÷åííûå ñëîè èìåëè ãëàäêóþ çåðêàëüíóþ
ïîâåðõíîñòü, áûëè ìîíîêðèñòàëëè÷íûìè ñ âûñîêèì
ñîâåðøåíñòâîì ñòðóêòóðû ãëóáîêèõ ñëîåâ, î ÷åì ñâè-
äåòåëüñòâîâàëè ýëåêòðîííîãðàììû íà îòðàæåíèå, ñî-
äåðæàùèå ëèíèè è ïîëîñû Êèêó÷÷è. Ñëîè ïîâòîðÿ-
ëè îðèåíòàöèþ ïîäëîæêè è íåêîòîðûå åå äåôåêòû
� òàêèå, â ÷àñòíîñòè, êàê ãðàíèöû çåðåí.
Âûðàùåííûå ñëîè èìåëè ð-òèï ïðîâîäèìîñòè.
Îòæèãîì â ïàðàõ ðòóòè èëè ñïåöèàëüíîé ïðîãðàì-
ìîé îõëàæäåíèÿ òèï ïðîâîäèìîñòè ñëîåâ êîíâåðòè-
ðîâàëñÿ â n-òèï.
Òèï ïðîâîäèìîñòè êîíòðîëèðîâàëñÿ òåðìîçîíäè-
ðîâàíèåì êîñîãî øëèôà. Ñîäåðæàíèå êîìïîíåíòîâ
è ïðèìåñåé, èõ ðàñïðåäåëåíèå ïî ãëóáèíå èçó÷àëèñü
ãàëüâàíîìàãíèòíûìè, îïòè÷åñêèìè, ëþìèíåñöåíòíû-
ìè, ôîòîýëåêòðè÷åñêèìè ìåòîäàìè, à òàêæå ïî äàí-
íûì ýëåìåíòíîãî è ñòðóêòóðíîãî àíàëèçà, â ÷àñòíî-
ñòè, ýëåêòðîííî-çîíäîâîãî ðåíòãåíî-ñïåêòðàëüíîãî
ìèêðîàíàëèçà, ýëåêòðîííîé Îæå-ñïåêòðîìåòðèè, ðåí-
òãåíîâñêîé ôîòîýëåêòðîííîé ñïåêòðîìåòðèè, ðàñòðî-
âîé ýëåêòðîííîé ìèêðîñêîïèè ñêîëîâ è ïîâåðõíîñ-
òè ñëîåâ. Èñïîëüçîâàëèñü ðåíòãåíîâñêèå ìèêðîàíà-
ëèçàòîðû JÑÕÀ-733, Camebax (äèàìåòð ýëåêòðîííî-
ãî çîíäà 2 ìêì, ãëóáèíà âûõîäà ðåíòãåíîâñêîãî èç-
ëó÷åíèÿ � 3 ìêì), Îæå-ñïåêòðîìåòð 09 ÈÎÑ-2, ðàñ-
òðîâûé ýëåêòðîííûé ìèêðîñêîï BS-300.
 ïðîöåññå ïàðîôàçíîé ýïèòàêñèè â ïîäëîæêå
CdTe èäåò ïðîöåññ òâåðäîôàçíîãî çàìåùåíèÿ Cd
àòîìàìè Hg, â íàðàñòàþùåé ïëåíêå ÊÐÒ ïðîèñõîäèò
çàìåùåíèå àòîìîâ ðòóòè àòîìàìè Cd (îäíîâðåìåííî
èçìåíÿåòñÿ ïàðàìåòð êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè). Íå-
ñìîòðÿ íà òî, ÷òî ïîñòîÿííûå ðåøåòîê (à) è èõ
òåìïåðàòóðíûå êîýôôèöèåíòû ðàñøèðåíèÿ (α) â èñ-
õîäíûõ êîìïîíåíòàõ ýòîé ãåòåðîêîìïîçèöèè (CdTe
è HgTe) ïî÷òè ñîâïàäàþò (äëÿ CdTe à=0,6481 íì,
α=5,5·10�6 Ê�1; äëÿ HgTe à=0,6461 íì, α=4·10�6 Ê�1 [6,
10]), åå ìåòàëëóðãè÷åñêàÿ ãðàíèöà îáîãàùåíà ñòðóê-
òóðíûìè äåôåêòàìè, î ÷åì ñâèäåòåëüñòâóåò ïðèâå-
äåííàÿ íà ðèñ. 1 ìèêðîôîòîãðàôèÿ ïîïåðå÷íîãî
ñêîëà ïëåíêè, ïðîòðàâëåííîé â ñåëåêòèâíîì òðàâè-
òåëå.  îáëàñòè ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû íàáëþ-
äàåòñÿ ïîâûøåííàÿ ïëîòíîñòü äèñëîêàöèîííûõ ÿìîê
òðàâëåíèÿ Nd≈106�107 ñì�2. Ôèçèêî-ìåõàíè÷åñêèå
óñëîâèÿ íà ãðàíèöå ðàçäåëà "ïîäëîæêà � íàðîùåí-
íûé ñëîé", ïðèâîäÿùèå ê åå ñòðóêòóðíîìó íåñîâåð-
øåíñòâó, ïðîàíàëèçèðîâàíû â [11].
Ïðè èñïîëüçîâàíèè â êà÷åñòâå ïîäëîæåê ÊÌÒ,
ÊÖÒ àíàëèç ïðîôèëåé ñîñòàâà ïîïåðå÷íûõ ñêîëîâ
ïîëó÷åííûõ ñòðóêòóð ïîêàçàë íàëè÷èå â íàðîùåí-
íûõ ñëîÿõ íå òîëüêî îñíîâíûõ êîìïîíåíòîâ Cd è
Hg, íî è èçîâàëåíòíîé ñîñòàâëÿþùåé Mn èëè Zn,
êîòîðûå íàõîäèëèñü â èñõîäíûõ ìàòåðèàëàõ ïîäëî-
æåê (ñîîòâåòñòâåííî ÊÌÒ è ÊÖÒ). Ýòî ñâèäåòåëü-
ñòâóåò î íàëè÷èè ïðîöåññà äèôôóçèè èçîâàëåíòíîé
ñîñòàâëÿþùåé èç ïîäëîæêè â íàðàùèâàåìûé ñëîé
âî âðåìÿ ýïèòàêñèàëüíîãî ðîñòà. Äëÿ ïðèìåðà íà
ðèñ. 2 ïðèâåäåíû èçîáðàæåíèå âî âòîðè÷íûõ ýëåê-
òðîíàõ ñêîëà ñòðóêòóðû ÊÌÒ�ÊÌÐÒ ñ ñîäåðæàíè-
åì ìàðãàíöà â ïîäëîæêå 8% è êðèâûå ðàñïðåäåëå-
íèÿ ñîäåðæàíèÿ Ñd, Mn è Hg (ïîñêîëüêó ñêîë íå
âñåãäà èäåàëüíî çåðêàëåí, ïðè èíòåðïðåòàöèè ðàñ-
ïðåäåëåíèé ñîñòàâà, ïîëó÷åííûõ â àâòîìàòè÷åñêîì ðåæè-
ìå, ñëåäóåò ó÷èòûâàòü �òåíåâûå� ýôôåêòû, ýôôåê-
òû ðàññåèâàíèÿ è äð., êîòîðûå, â ïåðâóþ î÷åðåäü,
èìåþò ìåñòî â îáëàñòè ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû).
Áîëåå òî÷íî ðàñïðåäåëåíèå ñîñòàâà ìîæåò áûòü ïîëó-
÷åíî ïîøàãîâûìè èçìåðåíèÿìè â îòäåëüíûõ òî÷êàõ
ñ ïðèìåíåíèåì ìåòîäèê, ó÷èòûâàþùèõ ïðîÿâëåíèå
ýòèõ ýôôåêòîâ. Àíàëîãè÷íûå äàííûå ïîëó÷åíû è äëÿ
ñòðóêòóð, âûðàùåííûõ íà ïîäëîæêàõ CdTe è ÊÖÒ.
Ïðîöåññû âçàèìíîé äèôôóçèè Cd (Zn, Mn) è Hg
â ïîäëîæêå è â íàðàñòàþùåé ïëåíêå óäîâëåòâîðè-
òåëüíî îïèñûâàþòñÿ äâóìÿ êâàçèíåçàâèñèìûìè çíà-
÷åíèÿìè êîýôôèöèåíòà äèôôóçèè D1(y) è D2(y).
Ðèñ. 1. Ìèêðîôîòîãðàôèÿ
ïîïåðå÷íîãî ñêîëà ïàðî-
ôàçíîé ýïèòàêñèàëüíîé
ãåòåðîñèñòåìû CdTe�ÊÐÒ,
ïðîòðàâëåííîé â ñåëåêòèâ-
íîì òðàâèòåëå
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 6 27
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
Êàê ñëåäóåò èç ðèñ. 2, äèôôóçèÿ êàäìèÿ â äèôôó-
çèîííîì ñëîå Hd(t) õàðàêòåðèçóåòñÿ êîýôôèöèåí-
òîì äèôôóçèè D1≈10�9 ñì2/ñ. ×èñëåííîå çíà÷åíèå
D1, ïîëó÷åííîå äëÿ ýòîãî ñëîÿ, áëèçêî ê âåëè÷èíå
êîýôôèöèåíòà äèôôóçèè êàäìèÿ ïî âàêàíñèîííîìó
ìåõàíèçìó ïðè îòæèãå áèíàðíîãî ñîåäèíåíèÿ CdTe
â ïàðàõ êàäìèÿ [8], ÷òî óêàçûâàåò íà ïîäîáèå ïðî-
öåññîâ äèôôóçèè, íåñìîòðÿ íà áîëüøîå ðàçëè÷èå
êîíöåíòðàöèé äèôôóíäèðóþùèõ êîìïîíåíòîâ (îò
1016 ñì�3 äî 1023 ñì�3). Äèôôóçèÿ êàäìèÿ â ýïè-
òàêñèàëüíî-äèôôóçèîííîì ñëîå îïèñûâàåòñÿ êâàçè-
ïîñòîÿííûì çíà÷åíèåì êîýôôèöèåíòà äèôôóçèè
D2=10�7
ñì
2/ñ, âåëè÷èíà êîòîðîãî íà äâà ïîðÿäêà âûøå,
÷åì çíà÷åíèÿ D1.
Ñ ó÷åòîì äàííûõ ïî D1 è D2 ïîäáèðàþòñÿ òåõ-
íîëîãè÷åñêèå ðåæèìû ïîëó÷åíèÿ äèôôóçèîííîãî è
íàðîùåííîãî ñëîåâ çàäàííûõ òîëùèí è ãðàäèåíòîâ
ñîñòàâà, ÷òî, êàê áóäåò ïîêàçàíî íèæå, ñóùåñòâåííî
îïðåäåëÿåò âèä ñïåêòðàëüíûõ çàâèñèìîñòåé ôîòî-
ïðîâîäèìîñòè è ñïåêòðàëüíûå äèàïàçîíû ôîòî÷óâ-
ñòâèòåëüíîñòè âàðèçîííûõ ñòðóêòóð.
Ôîòîýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà âàðèçîííûõ ñëîåâ
ÊÐÒ
Ñòðóêòóðû äëÿ èññëåäîâàíèÿ ôîòîýëåêòðè÷åñêèõ
õàðàêòåðèñòèê ïîëó÷àëè ïîñëå óäàëåíèÿ âûñîêîîì-
íîé ïîäëîæêè è ÷àñòè äèôôóçèîííîãî èëè íàðî-
ùåííîãî ñëîÿ (ñîîòâåòñòâåííî ñ øèðîêîçîííîé èëè
óçêîçîííîé ñòîðîíû), ïðè ýòîì â çàâèñèìîñòè îò
óñëîâèé ýêñïåðèìåíòà (ñìîòðè íèæå) îáëàñòü ìå-
òàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû (îáëàñòü II íà ðèñ. 2) îñòà-
âàëàñü â òîëùå èññëåäóåìîãî îáðàçöà, ëèáî óäàëÿ-
ëàñü âìåñòå ñ íàðîùåííûì ñëîåì (îáëàñòü III íà
ðèñ. 2) äëÿ ïîëó÷åíèÿ ñòðóêòóð ñ ðåçêèì ãðàäèåí-
òîì ñîñòàâà, ëèáî âìåñòå ñ äèôôóçèîííûì ñëîåì
(îáëàñòü I íà ðèñ. 2) � äëÿ ñòðóêòóð ñ ìàëûì ãðà-
äèåíòîì ñîñòàâà. Ìåòàëëè÷åñêèå êîíòàêòû ðàñïîëà-
ãàëèñü íà òîðöàõ ñëîÿ.
Íà ðèñ. 3 ïðèâåäåíû ñïåêòðû ôîòîïðîâîäèìîñòè
(ÔÏ) ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ÊÐÒ n-òèïà íà ïîäëîæ-
êå CdTe ïðè Ò=77 Ê ïðè îñâåùåíèè ñî ñòîðîíû
íàðîùåííîãî ñëîÿ (1) è ñî ñòîðîíû ïîäëîæêè (2), à
òàêæå ñïåêòðû ÔÏ ýòîé æå ñòðóêòóðû, ñîäåðæàùåé
òîëüêî äèôôóçèîííûé ñëîé ÊÐÒ (ñ óäàëåííîé íàðî-
ùåííîé ÷àñòüþ ïëåíêè), ïðè îñâåùåíèè ñ óçêîçîííîé
(3) è øèðîêîçîííîé (4) ñòîðîíû. Ïðè èõ àíàëèçå â
âàðèçîííîì ïîëóïðîâîäíèêå íåîáõîäèìî ó÷èòûâàòü
ñëåäóþùèå ôàêòîðû:
� ïîëîñà ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè îãðàíè÷èâàåòñÿ,
â îñíîâíîì, êðàéíèìè ïî òîëùèíå ïëàñòèíû çíà÷å-
íèÿìè Eg (Eg0 ïðè z=0 è Egd ïðè z=d);
� ôóíêöèÿ ôîòîãåíåðàöèè íåðàâíîâåñíûõ íîñè-
òåëåé çàðÿäà (ÍÍÇ) F(z) ïåðåìåùàåòñÿ ïî êîîðäè-
íàòå z ïðè èçìåíåíèè ýíåðãèè ôîòîíîâ â ñâÿçè ñ
çàâèñèìîñòüþ Eg(z);
� èç-çà äðåéôà â êâàçèýëåêòðè÷åñêîì ïîëå ñòðóê-
òóðû ôóíêöèè ãåíåðàöèè è ðåêîìáèíàöèè ïàð ÍÍÇ,
êàê ïðàâèëî, ïðîñòðàíñòâåííî ðàçäåëåíû;
� â èñïîëüçóåìîé ìåòîäèêå èçìåðåíèÿ ÔÏ (òîð-
öåâûå êîíòàêòû) åå ïîëíîå çíà÷åíèå, ÿâëÿÿñü èíòåã-
ðàëüíîé âåëè÷èíîé, îïðåäåëÿåòñÿ ãëóáèíîé ìîäóëÿ-
öèè ñâåòîì ïðîâîäèìîñòè ñëîåâ ñ ðàçëè÷íîé ôîòî-
÷óâñòâèòåëüíîñòüþ; ëîêàëüíîå çíà÷åíèå ôîòîñèãíà-
ëà UñÔÏ~ <µ(z)τ(z)>. Ôîðìà ñïåêòðà UñÔÏ(λ) â
ïðåäåëàõ ïîëîñû ÔÏ çàäàåòñÿ êîîðäèíàòíûìè çà-
âèñèìîñòÿìè ïîäâèæíîñòè ÍÍÇ â ñëîå (µ) è èõ
âðåìåíè æèçíè (τ);
� äëÿ ôèêñèðîâàííîãî çíà÷åíèÿ hνi=Egi(z) øè-
ðèíà ôîòîïðîâîäÿùåãî ñëîÿ ∆zi îãðàíè÷åíà, â îñ-
Ðèñ. 2.
à � ìèêðîôîòîãðàôèÿ ñêîëà ýïèòàêñèàëüíîé ñòðóêòóðû
CdMnHgTe�CdMnTe âî âòîðè÷íûõ ýëåêòðîíàõ;
á � ýêñïåðèìåíòàëüíûå (òî÷êè) è ðàññ÷èòàííûå (ëè-
íèè) çíà÷åíèÿ ðàñïðåäåëåíèÿ ñîñòàâà Cd (1), Mn (2),
Hg (3) ïî òîëùèíå ñëîÿ CdMnHgTe
Ñ
îñ
òà
â
êî
ì
ïî
íå
íò
îâ
, %
100
75
50
25
0 25 50 75 100 125 h, ìêì
I II III
3
1
2
x×0,1
à)
á)
Uñ,
îòí. åä.
0,5
0
2 4 6 8 λ, ìêì
4
3
2
4
3
2 1
Ðèñ. 3. Ñïåêòðàëüíîå ðàñïðåäåëåíèå ÔÏ ýïèòàêñèàëü-
íîé ñòðóêòóðû CdTe�ÊÐÒ:
èñõîäíîé (1, 2), ñ óäàëåííûì íàðîùåííûì ñëîåì (3, 4); 1, 3 �
îñâåùåíèå ñî ñòîðîíû ïëåíêè; 2, 4 � ñî ñòîðîíû ïîäëîæêè
4*
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 6
28
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
íîâíîì, ñóììîé äèôôóçèîííî-äðåéôîâûõ äëèí ÍÍÇ
âäîëü êâàçèýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ L+ è ïðîòèâ ïîëÿ
L� îòíîñèòåëüíî ìàêñèìóìà ôóíêöèè èõ ãåíåðàöèè
(∆zi≈L++L�);
� âåëè÷èíû L+, L� â ñòðóêòóðàõ ñ êîîðäèíàòíîé
çàâèñèìîñòüþ âåëè÷èí µ, τ èìåþò ñìûñë ýôôåêòèâ-
íûõ (â óñëîâèÿõ ðåçêîãî ãðàäèåíòà Eg èõ èñïîëüçî-
âàíèå äëÿ êîëè÷åñòâåííûõ îöåíîê òðåáóåò äîïîëíè-
òåëüíîãî àíàëèçà);
� âåëè÷èíà ôîòîòîêà ÷åðåç ïëàñòèíó òîëùèíîé
d è ïîïåðå÷íûì ñå÷åíèåì S ðàâíà
∫=
d
i dzzjSJ
0
,)(
ãäå ji � ïëîòíîñòü ôîòîòîêà â ñëîå, ïåðïåíäèêóëÿð-
íîì íàïðàâëåíèþ ðàñïðîñòðàíåíèÿ ñâåòà.
Ïðè îñâåùåíèè ñòðóêòóðû ñ óçêîçîííîé ñòîðîíû
(îáëàñòü III íà ðèñ. 2) íàáëþäàåòñÿ δ-îáðàçíàÿ ôîð-
ìà ñïåêòðîâ ÔÏ (ðèñ. 3), òèïè÷íàÿ äëÿ îäíîðîä-
íûõ äèôôóçèîííî òîëñòûõ îáðàçöîâ ñ ïîâûøåííîé
ñêîðîñòüþ ïîâåðõíîñòíîé ðåêîìáèíàöèè s. Ýòî ïîä-
òâåðæäàþò äàííûå ðåíòãåíîñïåêòðàëüíîãî àíàëèçà
î êâàçèîäíîðîäíîì õàðàêòåðå ðàñïðåäåëåíèÿ ñîñòà-
âà â íàðîùåííîì ñëîå ñòðóêòóðû. Ïðè ìàêñèìàëü-
íîì çíà÷åíèè êîýôôèöèåíòà ïîãëîùåíèÿ â ÊÐÒ
α≈103 ñì�1 [12] ãëóáèíà ïðîíèêíîâåíèÿ ñâåòà (áåç
ó÷åòà êîîðäèíàòíîé çàâèñèìîñòè Eg) 1/α~10 ìêì,
Lp≈3...5 ìêì, ò. å. ïðîâîäèìîñòü ïðè ïîâåðõíîñòíîì
âîçáóæäåíèè ìîäóëèðóåòñÿ â ñëîå íå áîëåå 10�
15 ìêì (òîëùèíà íàðîùåííîãî ñëîÿ ïëåíêè ≈70 ìêì).
Çíà÷åíèå s, îïðåäåëåííîå ïî êðàòíîñòè ñïàäàíèÿ
ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè â êîðîòêîâîëíîâîì äèàïàçî-
íå ïðè τ≈10�7 ñ (èçìåðåííîãî ïî êèíåòèêå ðåëàêñà-
öèè ÔÏ) [13], ñîñòàâëÿåò ≈6·103 ñì·ñ�1.
Ïðè îñâåùåíèè ýòîé ñòðóêòóðû ñî ñòîðîíû ïîä-
ëîæêè ñïåêòðàëüíûé äèàïàçîí åå ôîòî÷óâñòâèòåëü-
íîñòè ðàñøèðÿåòñÿ â êîðîòêîâîëíîâóþ îáëàñòü (äî
1,5�2 ìêì, ðèñ. 3, êðèâàÿ 2) çà ñ÷åò �ïîäêëþ÷åíèÿ�
ñëîåâ ñ áîëüøèìè çíà÷åíèÿìè Eg (îáëàñòü I íà
ðèñ. 2). �Ïðîâàë� ñèãíàëà ïî ñïåêòðó ìåæäó äâó-
ìÿ ìàêñèìóìàìè (â îáëàñòè 4�6 ìêì) åñòåñòâåííî
ñâÿçàòü ñ óìåíüøåíèåì ïàðàìåòðà <µτ> â ñëîå ñ
õ=0,3�0,4. Îñíîâíîé ïðè÷èíîé ìîæåò áûòü ñòðóê-
òóðíî íåñîâåðøåííàÿ îáëàñòü â ãëóáèíå ïëàñòèíû,
ñîîòâåòñòâóþùàÿ ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöå ìåæäó
äèôôóçèîííûì è íàðîùåííûì ñëîÿìè [11] ñ íèçêè-
ìè çíà÷åíèÿìè µ, τ (îáëàñòü II íà ðèñ. 2). Ïî äàí-
íûì ðåíòãåíîñïåêòðàëüíîãî àíàëèçà, â èññëåäîâàí-
íîé ñòðóêòóðå îíà ðàñïîëàãàåòñÿ íà ãëóáèíå, ñîîò-
âåòñòâóþùåé îáëàñòè ñîñòàâîâ õ≈0,3�0,4 (â çàâè-
ñèìîñòè îò ïàðàìåòðîâ ðîñòà) (ñì. ðèñ. 2), ÷òî êîð-
ðåëèðóåò ñî ñïåêòðàìè ÔÏ (Eg (x=0,3) ≈ 0,25 ýÂ).
Âëèÿíèå ýòîãî ñëîÿ ðàñïðîñòðàíÿåòñÿ íà ÍÍÇ ïî
îáå ñòîðîíû íà ðàññòîÿíèÿ L+, L�. Òàêèì îáðàçîì,
ïðè èçâåñòíîì ðàñïðåäåëåíèè ñîñòàâà òâåðäîãî ðà-
ñòâîðà ïî òîëùèíå ïëåíêè è ñïåêòðàëüíîìó äèàïà-
çîíó �ïðîâàëà� ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè â êðèâîé ñïåê-
òðàëüíîãî ðàñïðåäåëåíèÿ ÔÏ ñ òî÷íîñòüþ äî çíà-
÷åíèé (L++L�) ìîæåò áûòü íàéäåíà òîëùèíà äåôåê-
òíîãî ñëîÿ, ïðèñóùåãî ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöå.
Ñëåäóåò îòìåòèòü íàáëþäàþùååñÿ (êàê ïðàâèëî,
íåáîëüøîå) íåñîîòâåòñòâèå ñïåêòðàëüíîãî ïîëîæå-
íèÿ äëèííîâîëíîâîãî ìàêñèìóìà ÔÏ ñîñòàâó ìàòå-
ðèàëà íà ïîâåðõíîñòè ïëåíêè, îöåíåííîãî ïî äàí-
íûì ðåíòãåíîñïåêòðàëüíîãî àíàëèçà (ñäâèã åãî â
êîðîòêîâîëíîâóþ îáëàñòü), ÷òî ìîæåò áûòü ñâÿçàíî
ñ óâåëè÷åíèåì ïðîçðà÷íîñòè îáðàçöà äëÿ ýíåðãèé
êâàíòîâ â ñâÿçè ñ óìåíüøåíèåì ýôôåêòèâíîé òîë-
ùèíû ïîãëîùàþùåãî ñëîÿ, à òàêæå ñ ðîëüþ âàðè-
çîííîãî êâàçèýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ, ñòÿãèâàþùåãî
ÍÍÇ ê óçêîçîííîé ïîâåðõíîñòè ñ ãëóáèíû Lð
+, ãäå
îíè ðåêîìáèíèðóþò ñ ïîâåðõíîñòíûì âðåìåíåì æèç-
íè, ìåíüøèì îáúåìíîãî (τs<τv), è, ñîîòâåòñòâåííî, ñ
óìåíüøåíèåì ÔÏ â äëèííîâîëíîâîì ñïåêòðàëüíîì
äèàïàçîíå.
Ïîñëå óäàëåíèÿ íàðîùåííîãî �êâàçèîäíîðîäíî-
ãî� ñëîÿ (îáëàñòè II, III íà ðèñ. 2) îñòàåòñÿ äèôôó-
çèîííûé ñëîé ñ áîëüøåé Egmin è áîëüøèì ãðàäèåí-
òîì ñîñòàâà (dEg/dz>>100 ýÂ/ñì). Ïðè åãî îáëó-
÷åíèè ñ óçêîçîííîé ñòîðîíû ìàêñèìóì ÔÏ (ïî ñðàâ-
íåíèþ ñ èñõîäíûì) ñìåùàåòñÿ â êîðîòêîâîëíîâóþ
îáëàñòü (â ñòîðîíó áîëüøèõ ñîñòàâîâ) (ðèñ. 3, ñðàâ-
íè êðèâûå 3, 1); äëèííîâîëíîâûé ñïàä ñîîòâåòñòâó-
åò ðàñïîëîæåíèþ ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû ñ íèç-
êîé âåëè÷èíîé τ (ïðàêòè÷åñêè ñîâïàäàåò ñ ìèíèìó-
ìîì íà êðèâîé 2). Îòíîñèòåëüíîå âûðàâíèâàíèå ôî-
òî÷óâñòâèòåëüíîñòè â êîðîòêîâîëíîâîé îáëàñòè è
ìàêñèìóìå ÔÏ ïî ñðàâíåíèþ ñ êðèâîé 1 åñòåñòâåí-
íî ñâÿçàòü íå ñ óìåíüøåíèåì ñêîðîñòè ïîâåðõíîñò-
íîé ðåêîìáèíàöèè (ïîñêîëüêó îáðàáîòêà ïîâåðõíî-
ñòåé â îáîèõ ñëó÷àÿõ ïðîâîäèëàñü îäèíàêîâî), à ñ
óìåíüøåíèåì âêëàäà â ÔÏ âëèÿþùèõ íà ôîðìèðî-
âàíèå ìàêñèìóìà è äëèííîâîëíîâîãî êðàÿ îáúåì-
íûõ ãåíåðàöèîííî-ðåêîìáèíàöèîííûõ ïðîöåññîâ (ñì.
âûøå) [13]. Äåéñòâèòåëüíî, âñòðîåííîå êâàçèýëåêò-
ðè÷åñêîå ïîëå ïðèâîäèò ê óâåëè÷åíèþ ýôôåêòèâ-
íîé äèôôóçèîííîé äëèíû äî L+, è îáðàçåö â ðåêîì-
áèíàöèîííîì îòíîøåíèè ñòàíîâèòñÿ äèôôóçèîííî
òîíêèì.  ýòîì ñëó÷àå õàðàêòåð ñïåêòðà ÔÏ îïðå-
äåëÿåòñÿ, â îñíîâíîì, ïîâûøåííûì òåìïîì ðåêîìáè-
íàöèè íà óçêîçîííîé ïîâåðõíîñòè ïëåíêè.
Ïðè îñâåùåíèè ýòîé ñòðóêòóðû ñ øèðîêîçîííîé
ñòîðîíû ñïåêòð ÔÏ ïðàêòè÷åñêè ñîâïàäàåò ñ êðè-
âîé 3 è êîðîòêîâîëíîâûì ó÷àñòêîì êðèâîé 2 (ðèñ. 3,
êðèâàÿ 4). Ñëåäóåò îòìåòèòü òàêæå ñîâïàäåíèå êðè-
âûõ 3 è 4 ñ êîðîòêîâîëíîâûì ìàêñèìóìîì êðèâîé
2; ýòî ïîäòâåðæäàåò, ÷òî ïîñëåäíèé ôîðìèðóåòñÿ ðàñ-
ïîëîæåííûì â ïîäëîæêå äèôôóçèîííûì âàðèçîí-
íûì ñëîåì.
Îñíîâíûå õàðàêòåðíûå îñîáåííîñòè îïèñàííûõ
âûøå ñïåêòðîâ ÔÏ íàáëþäàþòñÿ íà âàðèçîííûõ
ñëîÿõ ÊÐÒ, âûðàùåííûõ êàê íà ïîäëîæêàõ CdTe
{111}-îðèåíòàöèè, òàê è íà ïîäëîæêàõ {110}-îðèåí-
òàöèè.
***
Òàêèì îáðàçîì, ïîêàçàíà âîçìîæíîñòü ñîçäàíèÿ
äâóõïîëîñíîãî ôîòîðåçèñòîðà äëÿ ÈÊ-îáëàñòåé ñïåê-
òðà íà îñíîâå âàðèçîííîé ýïèòàêñèàëüíîé ñòðóêòó-
ðû ÊÐÒ ñ ðàñïîëîæåííûì â ãëóáèíå ïëåíêè (ïàðàë-
ëåëüíî îñâåùàåìîé ïîâåðõíîñòè) ðåêîìáèíàöèîííî
àêòèâíûì ñëîåì ìåòàëëóðãè÷åñêîé ãðàíèöû. Ïðè ýòîì
ñïåêòðàëüíîå ïîëîæåíèå ïîëîñ ôîòî÷óâñòâèòåëüíî-
ñòè ìîæåò òåõíîëîãè÷åñêè ðåãóëèðîâàòüñÿ ñîñòàâîì
è ðåêîìáèíàöèîííûìè ïàðàìåòðàìè äèôôóçèîííîãî
è íàðîùåííîãî ñëîåâ.
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2001, ¹ 6 29
ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Õàäñîí Ð. Èíôðàêðàñíûå ñèñòåìû.� Ì.: Ìèð,
1972.
2. Rogalski A. Infrared ðhoton detectors.� USA: SPIE
Optical Engineering Press, 1995.
3. Êóðáàòîâ Ë. Í. Îïòîýëåêòðîíèêà âèäèìîãî è èí-
ôðàêðàñíîãî äèàïàçîíîâ ñïåêòðà.� Ì.: Èçä-âî ÌÔÒÈ,
1999.
4. Êîçåëêèí Â. Â., Óñîëüöåâ È. Ô. Îcíîâû èíôðà-
êðàñíîé òåõíèêè.� Ì.: Ìàøèíîñòðîåíèå, 1967.
5. Áóçóê Â. Â., Ãóñà÷åíêî À. Â., Æóðàâëåâ Ï. Â. è
äð. Êîìïëåêñèðîâàííûå äâóõñïåêòðàëüíûå îïòèêî-ýëåê-
òðîííûå ñèñòåìû // Òð. 16-é Ìåæäóíàð. íàó÷.-òåõí. êîíô.
ïî ôîòîýëåêòðîíèêå è ïðèáîðàì íî÷íîãî âèäåíèÿ.� Ìîñ-
êâà, ÃÓÏ �ÍÏÎ �ÎÐÈÎÍ�, 25�27 ìàÿ 2000 ã.�
Ñ. 26�27.
6. Áåð÷åíêî Í. Í., Êðåâñ Â. Å., Ñðåäèí Â. Ã. Ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûå òâåðäûå ðàñòâîðû è èõ ïðèìåíåíèå.� Ì.:
Âîåíèçäàò, 1982.
7. Âëàñåíêî À. È., Âëàñåíêî Ç. Ê., Ëþá÷åíêî À. Â.
Ñïåêòðàëüíûå õàðàêòåðèñòèêè ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè ïî-
ëóïðîâîäíèêîâ ñ ýêñïîíåíöèàëüíûì êðàåì ôóíäàìåí-
òàëüíîãî ïîãëîùåíèÿ // Ôèçèêà è òåõíèêà ïîëóïðîâîä-
íèêîâ.� 1999.� Ò. 33, ¹ 11.� Ñ. 1295�1299.
8. Âëàñåíêî À. È. Ñïåêòðàëüíîå ðàñïðåäåëåíèå ôî-
òî÷óâñòâèòåëüíîñòè âàðèçîííûõ p�n�p-ñòðóêòóð
CdõHg1�õTe // Îïòîýëåêòðîíèêà è ïîëóïðîâîäíèêîâàÿ
òåõíèêà.� 1996.� ¹ 31.� Ñ. 191�194.
9. Tufte O. N, Stelzer E. L. Growth and properties of
epitaxial layer // J. Appl. Phys.� 1969.� Vol. 40, N 11.�
P. 4559�4568.
10. Ãàâàëåøêî Í. Ï., Ãîðëåé Ï. Í., Øåíäåðîâñêèé
Â. À. Óçêîçîííûå ïîëóïðîâîäíèêè. Ïîëó÷åíèå è ôèçè-
÷åñêèå ñâîéñòâà.� Ê.: Íàóêîâà äóìêà, 1984.
11. Kurilo I. V., Rudyi I. O., Vlasenko O. I. Misfit
dislocations and stresses in CdxHg1�xTe/CdTe
heterojunctions // Journal of Crystal Growth.� 1999.�
Vol. 204, N 4.� P. 447�452.
12. Finkman E., Nemirowski Y. Infrared optical absorp-
tion of Hg1�xCdxTe // J. Appl. Phys.� 1979.� Vol. 50,
N 6.� P. 4356�4361.
13. Âëàñåíêî À. È., Ëþá÷åíêî À. Â., Ñàëüêîâ Å. À.
Ðåêîìáèíàöèÿ â êðèñòàëëàõ CdxHg1�xTe n-òèïà ïðè ïî-
âåðõíîñòíîì âîçáóæäåíèè // Óêðàèíñêèé ôèçè÷åñêèé
æóðíàë.� 1980.� Ò. 25, ¹ 3.� Ñ. 434�441.
3-ÿ ÌÅÆÄÓÍÀÐÎÄÍÀß
ÍÀÓ×ÍÎ-ÏÐÀÊÒÈ×ÅÑÊÀß ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈß
«ÑÎÂÐÅÌÅÍÍÛÅ ÈÍÔÎÐÌÀÖÈÎÍÍÛÅ È ÝËÅÊÒÐÎÍÍÛÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ»
21�24 ìàÿ 2002 ãîäà Óêðàèíà, ã. Îäåññà
ÏÐÎÁËÅÌÀÒÈÊÀ ÊÎÍÔÅÐÅÍÖÈÈ
Àäðåñ Îðãêîìèòåòà"ÑÈÝÒ-2002":
Óêðàèíà, 65044, Îäåññà-44, ïð. Øåâ÷åíêî, 1, ÎÍÏÓ,
Èí-ò ðàäèîýëåêòðîíèêè è òåëåêîììóíèêàöèé.
Ó÷åíûé ñåêðåòàðü êîíôåðåíöèè Ùåðáàêîâà Ãàëèíà Þðüåâíà
Òåë. (0482) 28-85-42
Ñåêðåòàðü Îðãêîìèòåòà Òèõîíîâà Åëåíà Àíàòîëüåâíà
Òåë./ôàêñ (048)733-67-91, òåë. (048)733-72-83
Å-mail: tkea@odessa.net
Èíôîðìàöèÿ
î ê
îíô
åðåí
öèè
íà w
eb-ñ
àéòå
tkea
.wallst
.ru
Òåõíè÷åñêàÿ è èíâåñòèöèîííàÿ ïîëèòè-
êà â îáëàñòè ðàçðàáîòêè è ïðîèçâîäñòâà
ýëåêòðîííûõ ñðåäñòâ
Òåëåêîììóíèêàöèîííûå òåõíîëîãèè. Ïðå-
îáðàçîâàíèå è îáðàáîòêà èíôîðìàöèè
Èíôîðìàöèîííûå è êîìïüþòåðíûå òåõ-
íîëîãèè â ýëåêòðîíèêå
Èíôîðìàöèîííûå òåõíîëîãèè äèñòàíöè-
îííûõ èññëåäîâàíèé (â ò. ÷. àýðîêîñìè-
÷åñêèå èññëåäîâàíèÿ, ëîêàöèîííûå ñèñ-
òåìû è ñðåäñòâà)
Èíôîðìàöèîííûå è èçìåðèòåëüíûå ïðåîá-
ðàçîâàòåëè è ñèñòåìû
ü
ü
ü
ü
ü
Ìàòåìàòè÷åñêîå ìîäåëèðîâàíèå. ÑÀÏÐ.
Ñïåöèàëüíûå òåõíîëîãèè îáðàáîòêè èí-
ôîðìàöèè
Êîíñòðóèðîâàíèå ýëåêòðîííûõ ýëåìåíòîâ
è àïïàðàòîâ, îáåñïå÷åíèå êà÷åñòâà è
íàäåæíîñòè
Ôóíêöèîíàëüíàÿ ýëåêòðîíèêà. Îïîòî-
ýëåêòðîíèêà. Íàíîýëåêòðîíèêà
Òåõíîëîãèÿ ïðîèçâîäñòâà ýëåêòðîííûõ
ýëåìåíòîâ è àïïàðàòîâ (â ò. ÷. ïîâåðõ-
íîñòíûé ìîíòàæ, ñïåöèàëüíîå îáîðóäî-
âàíèå)
Ìàòåðèàëû ýëåêòðîííîé òåõíèêè (â ò. ÷.
äèàãíîñòèêà ìàòåðèàëîâ è èçäåëèé)
ü
ü
ü
ü
ü
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70889 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-27T18:10:24Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Власенко, А.И. Власенко, З.К. Гнатюк, В.А. Смирнов, А.Б. Курило, И.В. Рудый, И.А. Ижнин, И.И. 2014-11-15T18:52:48Z 2014-11-15T18:52:48Z 2001 Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов / А.И. Власенко, З.К. Власенко, В.А. Гнатюк, А.Б. Смирнов, И.В. Курило, И.А. Рудый, И.И. Ижнин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 25-29. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70889 621.384.3 Показана возможность создания двухполосного фоторезистора для ИК-областей спектра на основе варизонной эпитаксиальной структуры КРТ с расположенным в глубине пленки (параллельно освещаемой поверхности) рекомбинационно активным слоем металлургической границы. При этом спектральное положение полос фоточувствительности может технологически регулироваться составом и рекомбинационными параметрами диффузионного и нарощенного слоев. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микроэлектроника Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов Article published earlier |
| spellingShingle | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов Власенко, А.И. Власенко, З.К. Гнатюк, В.А. Смирнов, А.Б. Курило, И.В. Рудый, И.А. Ижнин, И.И. Функциональная микроэлектроника |
| title | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов |
| title_full | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов |
| title_fullStr | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов |
| title_full_unstemmed | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов |
| title_short | Варизонные слои на основе твердых растворов CdHgTe для двухполосных ИК-фоторезисторов |
| title_sort | варизонные слои на основе твердых растворов cdhgte для двухполосных ик-фоторезисторов |
| topic | Функциональная микроэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микроэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70889 |
| work_keys_str_mv | AT vlasenkoai varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov AT vlasenkozk varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov AT gnatûkva varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov AT smirnovab varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov AT kuriloiv varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov AT rudyiia varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov AT ižninii varizonnyesloinaosnovetverdyhrastvorovcdhgtedlâdvuhpolosnyhikfotorezistorov |