Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров

Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчет...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:	2001
Main Authors:	Черняк, Н.Г., Стеценко, О.В.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Subjects:	Сенсоэлектроника
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70894
record_format	dspace
spelling	Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. 2014-11-15T19:02:01Z 2014-11-15T19:02:01Z 2001 Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894 531.767 Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
spellingShingle	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. Сенсоэлектроника
title_short	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
title_full	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
title_fullStr	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
title_full_unstemmed	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
title_sort	решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
author	Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В.
author_facet	Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В.
topic	Сенсоэлектроника
topic_facet	Сенсоэлектроника
publishDate	2001
language	Russian
container_title	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format	Article
description	Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин.
issn	2225-5818
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894
citation_txt	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv	AT černâkng rešeniezadačigazovogodempfirovaniâčuvstvitelʹnyhélementovmikroélektronnyhakselerometrov AT stecenkoov rešeniezadačigazovogodempfirovaniâčuvstvitelʹnyhélementovmikroélektronnyhakselerometrov
first_indexed	2025-12-02T09:39:16Z
last_indexed	2025-12-02T09:39:16Z
_version_	1850862125300318209

Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров

Institution

Similar Items