Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров
Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчет...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Datum: | 2001 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862659563321294848 |
|---|---|
| author | Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. |
| author_facet | Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. |
| citation_txt | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин.
|
| first_indexed | 2025-12-02T09:39:16Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70894 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-02T09:39:16Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. 2014-11-15T19:02:01Z 2014-11-15T19:02:01Z 2001 Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894 531.767 Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчета параметров газового демпфирования планарных ЧЭ различных датчиков физических величин. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Сенсоэлектроника Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров Article published earlier |
| spellingShingle | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров Черняк, Н.Г. Стеценко, О.В. Сенсоэлектроника |
| title | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_full | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_fullStr | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_full_unstemmed | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_short | Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| title_sort | решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров |
| topic | Сенсоэлектроника |
| topic_facet | Сенсоэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894 |
| work_keys_str_mv | AT černâkng rešeniezadačigazovogodempfirovaniâčuvstvitelʹnyhélementovmikroélektronnyhakselerometrov AT stecenkoov rešeniezadačigazovogodempfirovaniâčuvstvitelʹnyhélementovmikroélektronnyhakselerometrov |