Buchumschlag

Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров

Проведен аналитический расчет коэффициентов газового демпфирования колебаний планарного чувствительного элемента (ЧЭ) измерителя углового ускорения и получены геометрические параметры ЧЭ, обеспечивающие требуемые характеристики. Полученные результаты могут быть использованы при решении задач расчет...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:	2001
Hauptverfasser:	Черняк, Н.Г., Стеценко, О.В.
Format:	Artikel
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Schlagworte:	Сенсоэлектроника
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70894
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Решение задачи газового демпфирования чувствительных элементов микроэлектронных акселерометров / Н.Г. Черняк, О.В. Стеценко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 43-46. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Нанокристаллы Si1–xGex в роли чувствительных элементов сенсора магнитного поля и температуры
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Датчик скорости газового потока
von: Годованюк, В.Н., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Методика проектирования элементов прецизионного датчика давления с пневмомеханическим резонатором
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Особенности конструкции и технологии сборки микроэлектронных координатно-чувствительных детекторов
von: Сидоренко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Прецизионный датчик давления с пневмомеханическим резонатором для бортового оборудования ЛА
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Выбор базовых элементов двухосного мультисенсорного инерциального датчика
von: Мухоед, Н.А.
Veröffentlicht: (2003)

Статические погрешности измерителя углового ускорения и методы их устранения
von: Лопушенко, В.К., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Экспериментальные исследования датчика давления с пневмомеханическим резонатором
von: Черняк, Н.Г., et al.
Veröffentlicht: (2005)

Создание переключающих элементов с памятью на основе кристаллов CdTe
von: Байдуллаева, А., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Акустические датчики для дистанционного контроля давления
von: Карапетьян, Г.Я., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Преобразователь давления с частотным выходом на основе однопереходных тензотранзисторов
von: Бабичев, Г.Г., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Использование позитронной аннигиляционной спектроскопии для контроля процессов влагопоглощения в нанопористой керамике MgAl₂O₄
von: Клым, Г.И., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Дифференциальный термометр с высокой разрешающей способностью
von: Готра, З.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Поверхностно-барьерные структуры для ультрафиолетовых сенсоров пламени
von: Бобренко, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Зміна провідності структур «пористий кремній з наночастинками срібла — кремній» при детектуванні перекису водню
von: Кутова, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Анизотропный приемник теплового излучения на основе антимонида кадмия
von: Добровольский, Ю.Г., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование функций преобразования и чувствительности радиоизмерительного преобразователя давления
von: Осадчук, В.С., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Трехпараметрический генераторный датчик
von: Филинюк, Н.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Формирование дельта-легированного водородом p-слоя в природных и CVD-кристаллах алмаза
von: Алтухов, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Физический принцип преобразования флуктуаций в датчиках
von: Головко, А.Г.
Veröffentlicht: (2003)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Датчики на поверхностных акустических волнах для дистанционного контроля температуры
von: Катаев, В.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Оптические сенсоры газов на основе полупроводниковых источников ИК-излучения
von: Кабаций, В.Н.
Veröffentlicht: (2008)

Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей
von: Вакив, Н.М.
Veröffentlicht: (2010)

Оптоэлектронные сенсоры газов на основе многоэлементных источников ИК-излучения
von: Кабаций, В.Н.
Veröffentlicht: (2010)

Исследование влияния электронного облучения на кремниевые тензорезисторы
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Сравнительные характеристики оптронов с открытым оптическим каналом
von: Швец, А.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Пассивный датчик на поверхностных активных волнах для дистанционного контроля параметров
von: Карапетьян, Г.Я., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование частотной зависимости проводимости нитевидных кристаллов кремния при криогенных температурах для создания сенсоров температуры на их основе
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Оперативный контроль состояния акустических сенсорных сетей
von: Болтенков, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Температурная зависимость рабочих характеристик пьезоэлектрических сенсоров на основе поливинилиденфторида
von: Ревенюк, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Чувствительный элемент двухфункционального сенсора магнитного поля и деформации на основе микрокристаллов Si<B, Ni>
von: Дружинин, А.A., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Високотемпературні сенсори деформації на основі ниткоподібних кристалів фосфіду галію
von: Дружинін, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Інформаційно-вимірювальна система на базі датчиків з тензорезисторами на основі мікрокристалів кремнію
von: Дружинін, А.О., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Магнитокоммутируемая микросхема и датчик измерения скорости ветра на ее основе
von: Касимов, Ф.Д., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Датчики Холла на основе структур GaAs, полученных низкотемпературной ЖФЭ из расплавов Bi
von: Вакив, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (2002)

Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Датчик гидростатического давления на основе микрокристаллов антимонида галлия
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Автотрассовый газоанализатор
von: Девятко, Г.А., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Система измерения магнитного поля и температуры с цифровой обработкой сигнала
von: Дружинин, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)