Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности

• Опубліковано в: : Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Дата: 2001
• Автори: Лепих, Я.И., Лопушенко, В.К.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Теми: Сенсоэлектроника
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70895
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос.

Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические харак...