Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления
Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от пр...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2001 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70896 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. 2014-11-15T19:05:12Z 2014-11-15T19:05:12Z 2001 Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896 539.23 Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| spellingShingle |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title_short |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_full |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_fullStr |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_full_unstemmed |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_sort |
особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| author |
Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. |
| author_facet |
Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. |
| topic |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| publishDate |
2001 |
| language |
Russian |
| container_title |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| format |
Article |
| description |
Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков.
|
| issn |
2225-5818 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896 |
| citation_txt |
Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT budânskiiam osobennostiavtomatizaciidiodnyhreaktornyhsistemmikrotravleniâ AT farenikvi osobennostiavtomatizaciidiodnyhreaktornyhsistemmikrotravleniâ AT âckovap osobennostiavtomatizaciidiodnyhreaktornyhsistemmikrotravleniâ |
| first_indexed |
2025-12-07T13:24:58Z |
| last_indexed |
2025-12-07T13:24:58Z |
| _version_ |
1850856071443251200 |