Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления
Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от пр...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2001 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2001
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862621866733076480 |
|---|---|
| author | Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. |
| author_facet | Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. |
| citation_txt | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:24:58Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70896 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:24:58Z |
| publishDate | 2001 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. 2014-11-15T19:05:12Z 2014-11-15T19:05:12Z 2001 Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896 539.23 Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от приложенного к разряду ВЧ-напряжения. Показаны пути создания алгоритма настройки системы, исключающего возникновение скачков. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления Article published earlier |
| spellingShingle | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления Будянский, А.М. Фареник, В.И. Яцков, А.П. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| title | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_full | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_fullStr | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_full_unstemmed | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_short | Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| title_sort | особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления |
| topic | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| topic_facet | Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896 |
| work_keys_str_mv | AT budânskiiam osobennostiavtomatizaciidiodnyhreaktornyhsistemmikrotravleniâ AT farenikvi osobennostiavtomatizaciidiodnyhreaktornyhsistemmikrotravleniâ AT âckovap osobennostiavtomatizaciidiodnyhreaktornyhsistemmikrotravleniâ |