Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2001
• Hauptverfasser: Будянский, А.М., Фареник, В.И., Яцков, А.П.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
• Schlagworte: Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70896
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности автоматизации диодных реакторных систем микротравления / А.М. Будянский, В.И. Фареник, А.П. Яцков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 48-51. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Проведено изучение природы скачков интенсивности ВЧ-разряда, возникающих в цепи автоматических согласующих устройств генераторов при эксплуатации ВЧ газоразрядных систем. Показано, что наличие или отсутствие скачков в системе полностью определяется формой зависимости собственной емкости плазмы от пр...