Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра

Изложены особенности разработанной установки для выращивания монокристаллов GaAs диаметром 80—100 мм под слоем флюса в условиях низкого температурного градиента. Монокристаллы GaAs характеризуются низкой плотностью дислокаций (5·10⁴ см⁻²) и равномерностью ее распределения по сечению. Отмечается нест...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Дата:2001
Автори: Ковтун, Г.П., Кравченко, А.И., Щербань, А.П.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2001
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70897
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра / Г.П. Ковтун, А.И. Кравченко, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 52-53. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862541552105029632
author Ковтун, Г.П.
Кравченко, А.И.
Щербань, А.П.
author_facet Ковтун, Г.П.
Кравченко, А.И.
Щербань, А.П.
citation_txt Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра / Г.П. Ковтун, А.И. Кравченко, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 52-53. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Изложены особенности разработанной установки для выращивания монокристаллов GaAs диаметром 80—100 мм под слоем флюса в условиях низкого температурного градиента. Монокристаллы GaAs характеризуются низкой плотностью дислокаций (5·10⁴ см⁻²) и равномерностью ее распределения по сечению. Отмечается нестабильность диаметра и появление двойникования у выращиваемых монокристаллов при значительном снижении температурного градиента.
first_indexed 2025-11-24T18:04:23Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70897
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-11-24T18:04:23Z
publishDate 2001
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Ковтун, Г.П.
Кравченко, А.И.
Щербань, А.П.
2014-11-15T19:06:46Z
2014-11-15T19:06:46Z
2001
Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра / Г.П. Ковтун, А.И. Кравченко, А.П. Щербань // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 52-53. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70897
621.315.592:658.511.5
Изложены особенности разработанной установки для выращивания монокристаллов GaAs диаметром 80—100 мм под слоем флюса в условиях низкого температурного градиента. Монокристаллы GaAs характеризуются низкой плотностью дислокаций (5·10⁴ см⁻²) и равномерностью ее распределения по сечению. Отмечается нестабильность диаметра и появление двойникования у выращиваемых монокристаллов при значительном снижении температурного градиента.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
Article
published earlier
spellingShingle Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
Ковтун, Г.П.
Кравченко, А.И.
Щербань, А.П.
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
title Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
title_full Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
title_fullStr Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
title_full_unstemmed Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
title_short Установка для выращивания малодислокационных монокристаллов GaAs большого диаметра
title_sort установка для выращивания малодислокационных монокристаллов gaas большого диаметра
topic Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
topic_facet Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70897
work_keys_str_mv AT kovtungp ustanovkadlâvyraŝivaniâmalodislokacionnyhmonokristallovgaasbolʹšogodiametra
AT kravčenkoai ustanovkadlâvyraŝivaniâmalodislokacionnyhmonokristallovgaasbolʹšogodiametra
AT ŝerbanʹap ustanovkadlâvyraŝivaniâmalodislokacionnyhmonokristallovgaasbolʹšogodiametra