Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники
Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы фо...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2000 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2000
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70930 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники / С.В. Завьялов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 57-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859951825574166528 |
|---|---|
| author | Завьялов, С.В. |
| author_facet | Завьялов, С.В. |
| citation_txt | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники / С.В. Завьялов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 57-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы формирования оксида алюминия и способы его уплотнения полимеризацией для достижения требуемых изоляционных и теплофизических характеристик. Результаты работы представляют практическую ценность для создания резисторов, нагревательных элементов и других элементов электроники с повышенной (до 150 Вт) рассеиваемой мощностью.
The «know-how» obtaining surfaces from anodic oxidation aluminium for electro-conduction diamond like films is proposed. Anodic oxidation of aluminium allows to form coverings isolated properties of which considerably surpass traditional surfaces from ceramics. The methods of formation of alumina and ways of its densification by polymerization for achievement of required isolation and thermo-physical characteristics have been considered. The results of work represent practical value for creating resistors, heating elements and other elements of electronics with increased (up to 150 W) dissipated power.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:17:44Z |
| format | Article |
| fulltext |
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 57
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
àêóñòîîïòè÷åñêèé ñêàíåð � ðåàëèçóåò äèñê-
ðåòíîå îòêëîíåíèå ëàçåðíîãî ïó÷êà ïðè çàäàííîì
óðîâíå îòêëîíåíèÿ åãî ýíåðãèè â ðåçóëüòàòå ïðåîá-
ðàçîâàíèÿ äèñêðåòíî èçìåíÿþùåéñÿ ÷àñòîòû ðàäèî-
ñèãíàëà.
Íåîáõîäèìî îòìåòèòü, ÷òî íà îñíîâå ÀÎß, èñ-
ïîëüçóÿ àíèçîòðîïíóþ äèôðàêöèþ ñâåòà íà àêóñòè-
÷åñêèõ âîëíàõ, ìîæíî ðåàëèçîâàòü òàê íàçûâàåìûé
àêóñòîîïòè÷åñêèé ôèëüòð, ïðåäíàçíà÷åííûé äëÿ ñå-
ëåêöèè îïòè÷åñêèõ ñèãíàëîâ ïðè ïîñòóïëåíèè íà âõîä
óïðàâëåíèÿ ñîîòâåòñòâóþùèõ ðàäèîñèãíàëîâ.
***
Òàêèì îáðàçîì, îñíîâíûì áàçîâûì ýëåìåíòîì àêó-
ñòîîïòè÷åñêèõ óñòðîéñòâ óïðàâëåíèÿ ëàçåðíûì ïó÷-
êîì ÿâëÿåòñÿ àêóñòîîïòè÷åñêàÿ ÿ÷åéêà, êîòîðîé ïðè-
ñóùè âñå ñâîéñòâà, òðàêòóåìûå òåðìèíîì «ëàçåðíîå
ìîäóëÿöèîííîå óñòðîéñòâî».
Êîíêðåòíîå íàçâàíèå àêóñòîîïòè÷åñêîé ÿ÷åéêè,
âûïîëíÿþùåé ôóíêöèè ëàçåðíîãî ìîäóëÿöèîííîãî
óñòðîéñòâà, îïðåäåëÿåò öåëåâîå íàçíà÷åíèå ñèñòåìû,
â êîòîðîé îíà ïðèìåíÿåòñÿ.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Àíäðååâ À. À., Äàíèëîâ Â. Â., Ãóñåâ Î. Á. è äð.
Àêóñòîîïòè÷åñêèé àíàëèçàòîð ñïåêòðà // Ïðèáîðû è òåõ-
íèêà ýêñïåðèìåíòà.� 1992.� ¹ 6.� Ñ. 205.
2. Äàíèëîâ Â. Â., Áåëèê Ò. Â., Äåðêà÷åíêî Å. Â. è
äð. Ëàçåðíîå ìîäóëÿöèîííîå óñòðîéñòâî // Òàì æå.�
1992.� ¹ 4.� Ñ. 236�237.
3. Ãðèá Á. Í., Êîíäèëåíêî È. È., Êîðîòêîâ Ï. À.,
Öÿùåíêî Þ. Ï. Ýëåêòðîîïòè÷åñêèå äåôëåêòîðû ñâåòà.�
Êèåâ: Òåõíiêà, 1980.
4. Äàíèëîâ Â. Â., Äàíèëîâà Ã. Â., Áåëèê Ò. Â., Ïëîò-
íè÷åíêî Â. Ã. Ñâåòîâîäíûé ÈÊ ðàäèîìåòð äëÿ ìåäè-
öèíñêîé äèàãíîñòèêè // Òåç. äîêë. VI Ìåæäóíàð. íàó÷.-
òåõí. êîíô. «ÂÎËÑÏÈ�95».� Çàïîðîæüå, 1995.�
Ñ. 16�17.
5. Äàíèëîâ Â. Â., Ðîãàíîâ Ë. Ì., ×óðêèí À. Â. Àêó-
ñòîîïòè÷åñêèå ýëåìåíòû ìåæáëî÷íîé âîëîêîííî-îïòè÷åñ-
êîé ñâÿçè äëÿ âûñîêîïðîèçâîäèòåëüíûõ âû÷èñëèòåëü-
íûõ ñðåäñòâ // Òàì æå.� Ñ. 32�35.
6. Êîíäðàòåíêîâ Ã. Ñ. Îáðàáîòêà èíôîðìàöèè êîãå-
ðåíòíûìè îïòè÷åñêèìè ñèñòåìàìè.� Ì. : Ñîâ. ðàäèî,
1972.
7. Êëóäçèí Â. Â. Ôèçè÷åñêèå îñíîâû ïîñòðîåíèÿ àêó-
ñòîîïòè÷åñêèõ óñòðîéñòâ.� Ë. : Ëåíèíãð. ýëåêòðîòåõ-
íè÷. èí-ò, 1980.
8. Áàëàêøèé Â. È., Ïàðûãèí Â. Í., ×èðêîâ Ë. Å. Ôè-
çè÷åñêèå îñíîâû àêóñòîîïòèêè.� Ì. : Ðàäèî è ñâÿçü, 1985.
9. Ìóñòåëü Å. Ð., Ïàðûãèí Â. Í. Ìåòîäû ìîäóëÿöèè
è ñêàíèðîâàíèÿ ñâåòà.� Ì. : Íàóêà, 1970.
10. ßðèâ À. Ââåäåíèå â îïòè÷åñêóþ ýëåêòðîíèêó.�
Ì. : Âûñøàÿ øêîëà, 1983.
Ïðåäëàãàåòñÿ òåõíîëîãèÿ ïðîèçâîä-
ñòâà íåòðàäèöèîííûõ ïîäëîæåê èç
àíîäíî-îêñèäèðîâàííîãî àëþìèíèÿ, ïî
èçîëÿöèîííûì ñâîéñòâàì çíà÷èòåëüíî
ïðåâîñõîäÿùèõ òðàäèöèîííûå ïîäëîæ-
êè èç êåðàìèêè.
Ñèíòåç óãëåðîäíûõ àëìàçîïîäîáíûõ ïëåíîê
(ÀÏÏ) îñóùåñòâëÿåòñÿ ïëàçìîõèìè÷åñêèì ìåòîäîì
èç æèäêîãî îðãàíè÷åñêîãî ðåàãåíòà ñ Â×-àññèñòè-
ðîâàíèåì [1]. Ëåãèðîâàíèå ÀÏÏ ìåòàëëàìè, òàêèìè
êàê Cr, W, Ti, çíà÷èòåëüíî ðàñøèðÿåò èõ ñâîéñòâà.
Ýëåêòðîïðîâîäíûå ÀÏÏ îáëàäàþò òàêèìè âàæíû-
ìè äëÿ ñîçäàíèÿ ýëåìåíòîâ ýëåêòðîíèêè ñâîéñòâàìè,
êàê âûñîêàÿ ñòàáèëüíîñòü ïðîâîäèìîñòè, íèçêàÿ
âåëè÷èíà òåìïåðàòóðíîãî êîýôôèöèåíòà ñîïðîòèâ-
ëåíèÿ (10�6�10�4 1/Ê), øèðîêèé äèàïàçîí óäåëü-
íîãî ñîïðîòèâëåíèÿ (10�4�109 Îì·ñì), ñòîéêîñòü ê
ñâåðõáîëüøèì (áîëåå 106 À/ñì2) ïëîòíîñòÿì òîêà,
ïðåâûøàþùàÿ ìèãðàöèîííûé ïðåäåë ìåäè, âûñîêàÿ
îäíîðîäíîñòü ðàñïðåäåëåíèÿ ñîïðîòèâëåíèÿ ïî ïî-
âåðõíîñòè ïîäëîæêè, íèçêèé óðîâíü øóìîâ, âûñîêàÿ
èçíîñîñòîéêîñòü è ìèêðîòâåðäîñòü, ðàäèàöèîííàÿ è
òåðìîñòîéêîñòü. Ýòî ïîçâîëÿåò èñïîëüçîâàòü èõ äëÿ
ñîçäàíèÿ ïàññèâíîé ýëåìåíòíîé áàçû ýëåêòðîíèêè ñ
ìîùíîñòüþ ðàññåÿíèÿ äî 150 Âò/ñì2 â ñî÷åòàíèè ñ
ìàëûìè ðàçìåðàìè � ðåçèñòîðîâ, íàãðåâàòåëüíûõ
ýëåìåíòîâ è ò. ä.
Äëÿ ïîëíîé ðåàëèçàöèè ïðèíöèïèàëüíûõ âîçìîæ-
íîñòåé ýëåêòðîïðîâîäíûõ ÀÏÏ òðåáóåòñÿ ðåøåíèå
åùå íåêîòîðûõ ïðîáëåì. Îäíà èç íèõ � çàìåíà
òðàäèöèîííûõ ïîäëîæåê èç êåðàìèêè íà áîëåå ñî-
âåðøåííûå, îáëàäàþùèå âûñîêîé òåïëîïðîâîäíîñ-
òüþ è âîçìîæíîñòüþ èçîëÿöèè ÀÏÏ. Îäíàêî â îä-
íîì ìàòåðèàëå òàêèå ñâîéñòâà íå ñî÷åòàþòñÿ.
Ëó÷øèì òåïëîïðîâîäÿùèì ìàòåðèàëîì ñ òî÷êè
çðåíèÿ ýêîíîìè÷íîñòè è òåõíîëîãè÷íîñòè ÿâëÿåòñÿ
àëþìèíèé, íî îí íå äèýëåêòðèê. Äèýëåêòðè÷åñêóþ
ïëåíêó íà ïîâåðõíîñòè àëþìèíèÿ îáðàçóåò åãî îê-
ñèä. Îäíàêî òàêàÿ ïëåíêà, ôîðìèðóþùàÿñÿ åñòåñòâåí-
íûì îáðàçîì, íå îòâå÷àåò òðåáîâàíèÿì, ïðåäúÿâëÿå-
ìûì ê ìàòåðèàëàì ïîäëîæåê ïîä ÀÏÏ.
Îêñèäíûé ñëîé íà àëþìèíèè ìîæåò áûòü ñôîð-
ìèðîâàí ïóòåì àíîäíîãî îêèñëåíèÿ. Îñíîâíûìè
ÍÎÂÛÅ ÏÎÄËÎÆÊÈ ÄËß ÀËÌÀÇÎÏÎÄÎÁÍÛÕ
ÏËÅÍÎ×ÍÛÕ ÝËÅÌÅÍÒΠÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÈ
Ñ. Â. ÇÀÂÜßËÎÂ
Óêðàèíà, Îäåññêèé ãîñ. ïîëèòåõíè÷åñêèé óí-ò
Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ
10.12 1999 ã.
Îïïîíåíòû ä. ò. í. Â. À. ÌÎÊÐÈÖÊÈÉ,
ê. ô.-ì. í. Ñ. Ì. ÐÎÒÍÅÐ
8
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3
58
òðåáîâàíèÿìè ê àíîäíî-îêñèäèðîâàííîìó ïîêðûòèþ
(ÀÎÏ) íà àëþìèíèè ÿâëÿþòñÿ îäíîðîäíîñòü, îòñóò-
ñòâèå ñêâîçíûõ ïîð è ìèêðîòðåùèí, òîëùèíà îêîëî
80�100 ìêì, ñòîéêîñòü ê òåìïåðàòóðå ïîðÿäêà 300�
350ºÑ, óäîâëåòâîðèòåëüíûå äèýëåêòðè÷åñêèå ñâîé-
ñòâà, âûñîêèå òâåðäîñòü, ïðî÷íîñòü è ýëàñòè÷íîñòü,
ñîîòâåòñòâóþùèå óñëîâèÿì ïîñëåäóþùèõ ïðîöåññîâ
ñèíòåçà è îòæèãà àëìàçîïîäîáíûõ ïëåíîê [1]. Âû-
ïîëíåíèå ýòèõ òðåáîâàíèé çàòðóäíÿåòñÿ ðàçëè÷èåì
çíà÷åíèé òåìïåðàòóðíîãî êîýôôèöèåíòà ëèíåéíîãî
ðàñøèðåíèÿ àëþìèíèÿ (23·10�6 ºÑ�1) è îêñèäà
(5·10�6 ºÑ�1). Àëþìèíèé ïðè íàãðåâàíèè ñóùåñòâåí-
íî ðàñøèðÿåòñÿ, à ÀÎÏ ïðè òåìïåðàòóðå 350ºÑ äàåò
óñàäêó èç-çà ïîòåðè àäñîðáöèîííîé êðèñòàëëèçàöè-
îííîé âîäû. Â ðåçóëüòàòå ýòîãî íàñòóïàåò ðàçðûâ
îêèñíîé ïëåíêè. Ìèêðîòðåùèíû èíîãäà îáðàçóþòñÿ
ïðè áîëåå íèçêîé òåìïåðàòóðå (80�100ºÑ), ÷òî íà-
êëàäûâàåò äîñòàòî÷íî ñåðüåçíûå îãðàíè÷åíèÿ íà
òåìïåðàòóðíûå ðåæèìû îñàæäåíèÿ ÀÏÏ. Ñâîéñòâà
ÀÎÏ çàâèñÿò îò ìàðêè àëþìèíèÿ, ñîñòàâà ýëåêòðî-
ëèòà è ðåæèìîâ àíîäèðîâàíèÿ, à òàêæå çàâåðøàþ-
ùåé îïåðàöèè çàïîëíåíèÿ ïîð â ñòðóêòóðå ÀÎÏ.
 äàííîé ðàáîòå èç òåõíè÷åñêîãî àëþìèíèÿ ìàð-
êè ÀÄ-1 è àëþìèíèåâûõ ñïëàâîâ ÀÌÃ-2Ì, ÀÌÃ-3Ì,
ÀÌÖ äëÿ ïîñëåäóþùåãî àíîäèðîâàíèÿ ôîðìèðîâà-
ëèñü ïëàñòèíû ñ ðàçìåðàìè òðàäèöèîííûõ ïîäëîæåê
ïîä ÀÏÏ 60×48×1,5 ìì. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ òðåáóåìî-
ãî ñîñòîÿíèÿ ïîâåðõíîñòè îáðàçöîâ (ãëóáèíà ìèê-
ðîíåðîâíîñòåé 0,02 ìêì) ïðîâîäèëèñü âñå íåîáõîäè-
ìûå îïåðàöèè âñåõ ýòàïîâ îáðàáîòêè [2, ñ. 30�44].
Êà÷åñòâî àíîäèðîâàíèÿ ñóùåñòâåííî çàâèñåëî îò
ïîñëåäíåé îïåðàöèè � ïîëèðîâàíèÿ ïëàñòèí [3]. Â
ðàáîòå èñïîëüçîâàëîñü ýëåêòðîõèìè÷åñêîå ïîëèðî-
âàíèå â ðàñòâîðå ñëåäóþùåãî ñîñòàâà: îðòîôîñôîð-
íàÿ êèñëîòà (ïëîòíîñòü ρ=1,7 ã/ñì3) � 50 ã/ë,
ñåðíàÿ êèñëîòà (ρ=1,84 ã/ñì3) � 39 ã/ë, õðîìî-
âûé àíãèäðèä � 3 ã/ë, äèñòèëëèðîâàííàÿ âîäà �
8 ã/ë. Ôîðìèðóþùåå íàïðÿæåíèå ñîñòàâëÿëî 12�
18 Â, ïëîòíîñòü òîêà � 20 A/äì2 ïðè òåìïåðàòóðå
75�85ºÑ. Ïðîöåññ äëèëñÿ îò 1 äî 10 ìèí.
Ôîðìèðîâàíèå ÀÎÏ ïðîâîäèëîñü â íàèáîëåå
ïîïóëÿðíûõ è ýêîíîìè÷íûõ ñîñòàâàõ ýëåêòðîëèòîâ
è ðåæèìàõ àíîäèðîâàíèÿ [2�4] (òàáë. 1) íà óñòà-
íîâêå ïîëóïðîìûøëåííîãî òèïà, ñíàáæåííîé õîëî-
äèëüíûì àãðåãàòîì [2].
Íàèáîëåå ñòàáèëüíî è óïðàâëÿåìî ïðîõîäèë ïðî-
öåññ îáðàçîâàíèÿ ÀÎÏ â ýëåêòðîëèòå ÑÙ-100-30.
Îäíàêî âî âñåõ ñëó÷àÿõ ïîëó÷åííûé îêñèä áûë ïî-
ðèñòûì, ÷òî íå ïîçâîëÿëî îñàæäàòü íà íåì òîíêî-
ïëåíî÷íûå ïðîâîäÿùèå ñòðóêòóðû. Ïîýòîìó ïåðåä
ñèíòåçîì ÀÏÏ íåîáõîäèìî ïðîâîäèòü çàïîëíåíèå
ïîð è ìèêðîòðåùèí â ÀÎÏ. ×àñòè÷íî çàïîëíèòü
ïîðû ìîæíî êèïÿ÷åíèåì â äèñòèëëèðîâàííîé âîäå,
÷òî ïðèâîäèò ê îáðàçîâàíèþ â ïîðàõ ðûõëîãî ñëîÿ
îêñèäà àëþìèíèÿ. Äëÿ áîëåå ýôôåêòèâíîãî óïëîò-
íåíèÿ íà ïîâåðõíîñòü ÀÎÏ íàíîñÿò ãðóíòóþùèå
ïîêðûòèÿ.
Èçâåñòíû òðè îñíîâíûõ ìåòîäèêè ãðóíòîâêè ïî-
âåðõíîñòè ÀÎÏ [4]: ïðîïèòêà èõ ïîëèìåðîì ñ ïîñ-
ëåäóþùèì îòâåðæäåíèåì, íàïûëåíèå äèýëåêòðèêà, íà-
ïûëåíèå àëþìèíèÿ è åãî îêèñëåíèå. Â äàííîé ðàáî-
òå ÀÎÏ óïëîòíÿëèñü ïåðâûì ñïîñîáîì, êîòîðûé îáåñ-
ïå÷èâàåò íàäåæíîå çàïîëíåíèå ìàêðî- è ìèêðîïîð
ïî âñåé ïîâåðõíîñòè.  êà÷åñòâå ïîëèìåðà èñïîëü-
çîâàëè ïîëèèìèäíûé ëàê ÀÄ-9103, ïîëèâñàí, àíàòåðì
IV [3, 5]. Èçáûòêè ïîëèìåðíîãî ïîêðûòèÿ óäàëÿ-
ëèñü ìåõàíè÷åñêèì ïóòåì, ÷òî ïîçâîëèëî äîïîëíè-
òåëüíî ïîâûñèòü êëàññ ÷èñòîòû îáðàáîòêè ïîâåðõ-
íîñòè ÀÎÏ. Ëó÷øèå ðåçóëüòàòû ïîëó÷åíû ïðè èñ-
ïîëüçîâàíèè àíàòåðìà IV, êîòîðûé íàíîñèëñÿ íà ïîä-
ëîæêó ìåòîäîì îêóíàíèÿ ñ ïîñëåäóþùåé ïîëèìåðè-
çàöèåé óëüòðàôèîëåòîâûì èçëó÷åíèåì. Èçáûòêè ïî-
ëèìåðèçîâàííîãî ñëîÿ ðàñïûëÿëèñü â êèñëîðîäíîé
ïëàçìå è àíàòåðì îñòàâàëñÿ òîëüêî â ïîðàõ. Ïîëè-
ìåðèçàöèÿ ïðè òåìïåðàòóðå 300�350ºÑ ïðåäñòàâ-
ëÿåòñÿ õîðîøåé òðåíèðîâêîé ÀÎÏ äëÿ ïîñëåäóþ-
ùåãî ñèíòåçà ÀÏÏ.
 òàáë. 2 ïðèâåäåíû çíà÷åíèÿ ïðîáîéíîãî íà-
ïðÿæåíèÿ äëÿ îáðàçöîâ ÀÎÏ, óïëîòíåííûõ êèïÿ-
÷åíèåì â äèñòèëëèðîâàííîé âîäå (*) è àíàòåðìîì
IV (**).
ÀÎÏ òîëùèíîé ïîðÿäêà 80 ìêì, ñôîðìèðîâàí-
íûå â ýëåêòðîëèòå ÑÙ-100-30 íà àëþìèíèè ìàðêè
ÀÄ-1 è óïëîòíåííûå ïîëèìåðèçàöèåé â àíàòåðìå IV,
ïîêàçàëè óäîâëåòâîðèòåëüíûå äèýëåêòðè÷åñêèå ñâîé-
ñòâà: ïðîáîéíîå íàïðÿæåíèå îêîëî 1800 Â, ýëåêò-
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
Òàáëèöà 1
Ñîñòàâû ýëåêòðîëèòîâ, ðåæèìû àíîäèðîâàíèÿ è ïàðàìåòðû ÀÎÏ
Íîìåð
ñîñòàâà
Ñîñòàâ è êîíöåíòðàöèÿ
ýëåêòðîëèòà, ã/ë
Ïëîòíîñòü
òîêà, À/äì
2
Òåìïåðà-
òóðà, ºÑ
Ïðîäîëæèòåëü-
íîñòü, ìèí
Ïðåäåëüíàÿ
òîëùèíà, ìêì
Òåðìî-
ñòîéêîñòü, ºÑ
1 Ùàâåëåâàÿ êèñëîòà, 40–60 3–3,5 20–25 120–150 > 100 250–300
2 Ñóëüôîñàëèöèëîâàÿ êèñëîòà , 100;
ùàâåëåâàÿ êèñëîòà (ÑÙ-100), 30
3 30–40 120–180 > 100 300–400
3 Ñåðíàÿ êèñëîòà, 108–115;
ùàâåëåâàÿ êèñëîòà, 18–20
2,5–4 0–12 90–120 120–150 250–270
4 Ùàâåëåâàÿ êèñëîòà, 50;
áîðíàÿ êèñëîòà, 10–15;
ëèìîííàÿ êèñëîòà, 30
2,5 20–40 120 60–80 250–350
5 Îðòîôîñôîðíàÿ êèñëîòà, 40–50;
ùàâåëåâàÿ êèñëîòà, 30;
ëèìîííàÿ êèñëîòà, 10–30;
ñïèðò èçîïðîïèëîâûé, 50;
àëþìèíèé ñåðíîêèñëûé, 1
1,5–2 5–10 30 40 450–500
Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 2�3 59
ÊÎÌÏÎÍÅÍÒÛ ÄËß ÝËÅÊÒÐÎÍÍÎÉ ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÛ
ðè÷åñêàÿ ïðî÷íîñòü 22,5 Â/ìêì, ñîïðîòèâëåíèå èçî-
ëÿöèè 7,5·1011 Îì.
Ñðàâíåíèå òåïëîïðîâîäíîñòè òðàäèöèîííûõ ïîä-
ëîæåê è òàêèõ ÀÎÏ ïîêàçûâàåò çíà÷èòåëüíûå ïðå-
èìóùåñòâà ïîñëåäíèõ (òàáë. 3).
Ñôîðìèðîâàííûå ÀÎÏ èñïîëüçîâàëèñü â êà÷å-
ñòâå ïîäëîæåê äëÿ ÀÏÏ, íà îñíîâå êîòîðûõ ñîçäà-
âàëèñü ðåçèñòîðû ñ óäåëüíîé ìîùíîñòüþ ðàññåÿíèÿ
150�200 êÂò/ì2, à òàêæå íàãðåâàòåëè ïðîòî÷íîé
âîäû è ïîäîáíûå èçäåëèÿ.
***
Ðàçðàáîòàííàÿ òåõíîëîãèÿ ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü
íà àëþìèíèè îêñèäíûå ïîêðûòèÿ ñ óäîâëåòâîðè-
òåëüíûìè äèýëåêòðè÷åñêèìè ñâîéñòâàìè, èìåþùèå
ïðåèìóùåñòâà ïåðåä òðàäèöèîííûìè ïîäëîæêàìè èç
êåðàìèêè. Âíåäðåíèå àíîäíî-îêñèäèðîâàííûõ ïîêðû-
òèé â òåõíîëîãèþ ïðîèçâîäñòâà àëìàçîïîäîáíûõ
ïëåíîê ïîçâîëèò çíà÷èòåëüíî ñíèçèòü çàòðàòû íà
ïðîèçâîäñòâî ýëåìåíòîâ è ñîçäàâàòü ïîäëîæêè ëþ-
áîé êîíôèãóðàöèè.
ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ
1. Ìîêðèöêèé Â. À., Ðîòíåð Ñ. Ì., Çàâüÿëîâ Ñ. Â.
Òåõíîëîãèÿ ïîëó÷åíèÿ ëåãèðîâàííûõ ÀÏÏ // Cá. òð.
ÎÃÏÓ.� 1999.� Âûï. 3 (9).� Ñ. 183�187.
2. Àâåðüÿíîâ Å. Å. Ñïðàâî÷íèê ïî àíîäèðîâàíèþ.�
Ì. : Ìàøèíîñòðîåíèå, 1988.
3. Ãîíãàí Ñ. Ï. Ýëåêòðîííûå ïðåîáðàçîâàòåëè è òåõ-
íîëîãèÿ èõ èçãîòîâëåíèÿ: Äèññ. ... êàíä. òåõí. íàóê.�
Êèøèíýó, 1999.
4. Êîðîòêåâè÷ À. Â., Êîöàðåíêî Â. À., Ïëåøêèí
Â. À. Ðàñøèðåíèå ôóíêöèîíàëüíûõ âîçìîæíîñòåé ïîä-
ëîæåê ÃÈÑ // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêò-
ðîííîé àïïàðàòóðå.� ¹ 4�92�1�93.� Ñ. 3�7.
5. Ñîêîë Â. À., Êîñòþ÷åíêî Ñ. À. Àëþìèíèåâûå ïîä-
ëîæêè äëÿ ãèáðèäíûõ èíòåãðàëüíûõ ìèêðîñõåì // Îá-
ìåí îïûòîì â ðàäèîïðîìûøëåííîñòè.� 1982.�
¹ 7.� Ñ. 87�88.
Í
Î
Â
Û
Å
Ê
Í
È
Ã
È
Âèêóëèíà Ë. Ô., Ãëàóáåðìàí Ì. À. Ôèçèêà ñåíñîðîâ òåìïåðàòóðû è ìàã-
íèòíîãî ïîëÿ.� Îäåññà : Ìàÿê, 2000.� 244 ñ.
Ðàññìîòðåíû ôèçè÷åñêèå ïðèíöèïû ðàáîòû ñåíñîðîâ � ÷óâñòâèòåëüíûõ ýëåìåíòîâ, ïðå-
îáðàçóþùèõ ðàçëè÷íûå âèäû íåýëåêòðè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé (òåìïåðàòóðà è ìàãíèòíîå
ïîëå) â ýëåêòðè÷åñêèé ñèãíàë. Îñíîâíîå âíèìàíèå óäåëåíî ïîëóïðîâîäíèêîâûì ñåíñîðàì.
Ïðèâîäÿòñÿ òåîðåòè÷åñêèå ñîîòíîøåíèÿ, îïðåäåëÿþùèå èõ ïàðàìåòðû, à òàêæå îñíîâíûå
õàðàêòåðèñòèêè ñåíñîðîâ, âûïóñêàåìûõ ïðîìûøëåííîñòüþ. Óêàçàíû îáëàñòè èõ ïðèìåíåíèÿ.
Êîðíåé÷óê Â. È., Ëåñîâîé È. Ï. Âîëîêîííî-îïòè÷åñêèå èçìåðåíèÿ.�
Ê. : Íàóêîâà äóìêà, 1999.� 323 ñ.
Èçëîæåíû ôèçè÷åñêèå ïðèíöèïû ôóíêöèîíèðîâàíèÿ êîìïîíåíòîâ, ìîäóëåé è ñèñòåì
ïåðåäà÷è èíôîðìàöèè, èñïîëüçóþùèõ êâàðöåâûå âîëîêíà â êà÷åñòâå ñðåäû ðàñïðîñòðàíå-
íèÿ îïòè÷åñêèõ ñèãíàëîâ. Îïèñàíû îñíîâíûå èçìåðÿåìûå íà ïðàêòèêå õàðàêòåðèñòèêè è
ïàðàìåòðû ñèãíàëîâ è óñòðîéñòâ. Ïðèâåäåíû ìåòîäèêè èçìåðåíèé, ðåêîìåíäóåìûå ìåæäó-
íàðîäíûìè îðãàíèçàöèÿìè (ETSI, ITU, CENELEC è äð.) Ðàññìîòðåíû îñíîâû ïîñòðîåíèÿ
è ïàðàìåòðû ñîâðåìåííîãî êîíòðîëüíî-èçìåðèòåëüíîãî îáîðóäîâàíèÿ äëÿ âîëîêîííî-îïòè-
÷åñêèõ ñèñòåì ïåðåäà÷è.
Äëÿ èíæåíåðíî-òåõíè÷åñêèõ ðàáîòíèêîâ ïðåäïðèÿòèé ýëåêòðîñâÿçè, ñèñòåì êàáåëüíîãî
òåëåâèäåíèÿ è ëîêàëüíûõ âû÷èñëèòåëüíûõ ñåòåé. Ìîæåò áûòü ïîëåçíîé ñòóäåíòàì âóçîâ è
òåõíèêóìîâ, îáó÷àþùèõñÿ ïî ñïåöèàëüíîñòè «Òåëåêîììóíèêàöèè».
8*
Òàáëèöà 2
Ñðàâíèòåëüíûé àíàëèç àíîäíî-îêñèäèðîâàííûõ ïîêðûòèé
Âèä îáðàáîòêè ÀÎÏ
Íà îñíîâå ñåðíîé
êèñëîòû
(ñîñòàâ ¹3)
Íà îñíîâå
îðòîôîñôîðíîé
êèñëîòû (ñîñòàâ ¹5)
ÑÙ-100-30
(ñîñòàâ ¹ 2)
Òåìïåðàòóðà îòæèãà, ºÑ 100, 300
Öèêë òåðìîîáðàáîòêè, ìèí 30, 30
Ñïîñîá óïëîòíåíèÿ * ** * ** * **
Ôîðìèðóþùåå íàïðÿæåíèå, Â 75 – 150 – 90 –
Ïðîáîéíîå íàïðÿæåíèå, Â 800 >1200 1000 >1600 1000 >1800
Òàáëèöà 3
Òåïëîïðîâîäíîñòü ïîäëîæåê, èñïîëüçóåìûõ äëÿ ñèíòåçà àëìàçîïîäîáíûõ ïëåíîê
Al
Ìàòåðèàë ïîäëîæêè
Êåðàìèêà
ÂÊ94-1
Êåðàìèêà
ÂÊ100
Si3N4 AlN
ÀÄ-1 Ñïëàâû
ÀÎÏ
íà Al
Òåïëîïðîâîäíîñòü,
Âò/(ì·Ê)
10–12 35 35 80–120 150 <120 80–100
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70930 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:17:44Z |
| publishDate | 2000 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Завьялов, С.В. 2014-11-16T17:25:28Z 2014-11-16T17:25:28Z 2000 Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники / С.В. Завьялов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 2-3. — С. 57-59. — Бібліогр.: 5 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70930 536.21 Предлагается технология получения нетрадиционных подложек из анодно-оксидированного алюминия для электропроводных алмазоподобных пленок. Анодирование алюминия позволяет формировать покрытия, изолирующие свойства которых значительно превосходят традиционные подложки из керамики. Рассмотрены методы формирования оксида алюминия и способы его уплотнения полимеризацией для достижения требуемых изоляционных и теплофизических характеристик. Результаты работы представляют практическую ценность для создания резисторов, нагревательных элементов и других элементов электроники с повышенной (до 150 Вт) рассеиваемой мощностью. The «know-how» obtaining surfaces from anodic oxidation aluminium for electro-conduction diamond like films is proposed. Anodic oxidation of aluminium allows to form coverings isolated properties of which considerably surpass traditional surfaces from ceramics. The methods of formation of alumina and ways of its densification by polymerization for achievement of required isolation and thermo-physical characteristics have been considered. The results of work represent practical value for creating resistors, heating elements and other elements of electronics with increased (up to 150 W) dissipated power. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Компоненты для электронной аппаратуры Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники Нові підкладинки для алмазоподібних плівкових елементів електроніки The «know-how» surfaces for diamond like film elements of electronics Article published earlier |
| spellingShingle | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники Завьялов, С.В. Компоненты для электронной аппаратуры |
| title | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники |
| title_alt | Нові підкладинки для алмазоподібних плівкових елементів електроніки The «know-how» surfaces for diamond like film elements of electronics |
| title_full | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники |
| title_fullStr | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники |
| title_full_unstemmed | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники |
| title_short | Новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники |
| title_sort | новые подложки для алмазоподобных пленочных элементов электроники |
| topic | Компоненты для электронной аппаратуры |
| topic_facet | Компоненты для электронной аппаратуры |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70930 |
| work_keys_str_mv | AT zavʹâlovsv novyepodložkidlâalmazopodobnyhplenočnyhélementovélektroniki AT zavʹâlovsv novípídkladinkidlâalmazopodíbnihplívkovihelementívelektroníki AT zavʹâlovsv theknowhowsurfacesfordiamondlikefilmelementsofelectronics |