Электрический импеданс электроакустического преобразователя

Коэффициент передачи пьезопреобразователя можно рассчитать по результатам определения его входного импеданса. In engineering calculation of electrical coupling coefficient of electromechanical systems will form "upper electrode - piezotransducer - coupling layers waveguide" the inaccurac...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2000
Hauptverfasser: Данилов, В.В., Иванов, С.В.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2000
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70941
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Электрический импеданс электроакустического преобразователя / В.В. Данилов, С.В. Иванов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 4. — С. 22-24. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859643933661855744
author Данилов, В.В.
Иванов, С.В.
author_facet Данилов, В.В.
Иванов, С.В.
citation_txt Электрический импеданс электроакустического преобразователя / В.В. Данилов, С.В. Иванов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 4. — С. 22-24. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Коэффициент передачи пьезопреобразователя можно рассчитать по результатам определения его входного импеданса. In engineering calculation of electrical coupling coefficient of electromechanical systems will form "upper electrode - piezotransducer - coupling layers waveguide" the inaccuracy up to 300% occur because of the used Q-factor measurements and its low values. In the article theoretical basis and experimental check of possibility of basic characteristics definition for such systems by input impedance determination results have been presented.
first_indexed 2025-12-07T13:24:58Z
format Article
fulltext Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 4 22 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÀß ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Êîýôôèöèåíò ïåðåäà÷è ïüåçîïðåîáðà- çîâàòåëÿ ìîæíî ðàññ÷èòàòü ïî ðåçóëü- òàòàì îïðåäåëåíèÿ åãî âõîäíîãî èìïå- äàíñà. Ïåðñïåêòèâíîñòü èñïîëüçîâàíèÿ àêóñòîîïòè÷åñ- êèõ óñòðîéñòâ (ÀÎÓ) â îïòè÷åñêèõ ñèñòåìàõ âûñî- êîïðîèçâîäèòåëüíîé îáðàáîòêè ñèãíàëîâ, ãäå îíè ïðèìåíÿþòñÿ â êà÷åñòâå ýëåìåíòîâ ââîäà èíôîðìà- öèè, ïîêàçàíà â [1, 2]. Êàê èçâåñòíî [2], ïðîèçâîäè- òåëüíîñòü ëþáîé îïòè÷åñêîé ñèñòåìû îáðàáîòêè èí- ôîðìàöèè îïðåäåëÿåòñÿ áûñòðîäåéñòâèåì åå ôóíê- öèîíàëüíûõ ýëåìåíòîâ è, â ïåðâóþ î÷åðåäü, ýëåìåí- òîì ââîäà èíôîðìàöèè â ëàçåðíûé ïó÷îê. Êîíñò- ðóêòèâíî-êîìïîíîâî÷íîé îñíîâîé ëþáîãî ÀÎÓ ÿâ- ëÿåòñÿ àêóñòîîïòè÷åñêàÿ ÿ÷åéêà (ÀÎß), áûñòðîäåé- ñòâèå êîòîðîé (íà óðîâíå ôèçè÷åñêîé ìîäåëè) îï- ðåäåëÿåòñÿ øèðîêîïîëîñíîñòüþ ÷àñòîòíî-çàâèñèìûõ ïàðàìåòðîâ åå ýëåìåíòîâ [3]. Ê ýëåìåíòàì ÀÎÓ îò- íîñÿò: ýëåêòðè÷åñêóþ öåïü ñîãëàñîâàíèÿ ÀÎß ñ èñ- òî÷íèêîì óïðàâëÿþùåãî ðàäèîñèãíàëà, ýëåêòðîàêóñ- òè÷åñêèé ïðåîáðàçîâàòåëü (ÝÀÏ), ñðåäó àêóñòîîïòè- ÷åñêîãî âçàèìîäåéñòâèÿ(ÀÎÂ), àêóñòè÷åñêóþ íàãðóç- êó è äð.  ðåàëüíûõ ÀÎÓ èõ ôóíêöèè ñîîòâåò- ñòâåííî âûïîëíÿþò [4]: ýëåêòðè÷åñêàÿ ñîãëàñóþ- ùàÿ öåïü, ïüåçîýëåêòðè÷åñêèé ïðåîáðàçîâàòåëü (ÏÏ) íà îñíîâå êðèñòàëëè÷åñêèõ ïëàñòèí èëè ïëåíîê, ñâå- òîçâóêîïðîâîä (ÑÇÏ), àêóñòè÷åñêàÿ íàãðóçêà.  ðàáîòå [3, ñ. 72] îòìå÷àëîñü, ÷òî ïðîöåññ îïðåäåëåíèÿ êîýôôèöèåíòà ýëåêòðè÷åñêîé ñâÿçè k äëÿ ñèëüíî àêóñòè÷åñêè íàãðóæåííûõ ÏÏ (äîáðîòíîñòü Q<10) øèðîêî èçâåñòíûì ìåòîäîì õà- ðàêòåðèñòè÷åñêèõ ÷àñòîò ðåçîíàíñà è àíòèðåçîíàíñà ïðèâîäèò ê îòíîñèòåëüíîé ïîãðåøíîñòè ïîðÿäêà 20�350%. Òàêàÿ ïîãðåøíîñòü ñâÿçàíà ñ íåòî÷íîñòüþ îïðåäåëåíèÿ äîáðîòíîñòè Q, ïîñêîëüêó èñïîëüçóåìàÿ â [1�3] ôèçè÷åñêàÿ ìîäåëü ÏÏ íå ó÷èòûâàåò êîìï- ëåêñíîé ÷àñòîòíî-çàâèñèìîé àêóñòè÷åñêîé íàãðóæåí- íîñòè ÏÏ.  äàííîé ðàáîòå, èñïîëüçóÿ ïðåäñòàâëåíèå ýêâè- âàëåíòíûõ ñõåì (â ÷àñòíîñòè, ÷åòûðåõýëåìåíòíîãî äâóõïîëþñíèêà) ñ ó÷åòîì êîìïëåêñíîé ÷àñòîòíî-çà- âèñèìîé àêóñòè÷åñêîé íàãðóæåííîñòè ÏÏ ÀÎß [4], ðàññìàòðèâàåòñÿ âõîäíîé ýëåêòðè÷åñêèé èìïåäàíñ ÝÀÏ, ñîçäàííîãî íà îñíîâå ïüåçîýëåêòðè÷åñêîé ïëà- ñòèíû, è îïðåäåëÿåòñÿ êîýôôèöèåíò ïðåîáðàçîâà- íèÿ ýëåêòðè÷åñêîé ìîùíîñòè â àêóñòè÷åñêóþ íå íà îñíîâå èñïîëüçîâàíèÿ äîáðîòíîñòè, à íà îñíîâå îï- ðåäåëåíèÿ åå âõîäíîãî èìïåäàíñà. Ìåòîä ýêâèâàëåíòíûõ ñõåì íà îñíîâå ýëåêòðî- àêóñòè÷åñêèõ àíàëîãèé ñòàâèò ýëåìåíòàì ýëåêòðî- àêóñòè÷åñêîãî òðàêòà ÀÎß â ñîîòâåòñòâèå òîêè è íàïðÿæåíèÿ, ÿâëÿþùèåñÿ ïîäîáèåì ñêîðîñòåé è ñèë â ðàçëè÷íûõ åãî ó÷àñòêàõ ïðè äâèæåíèè óïðóãîé âîëíû âäîëü ñòðóêòóðû, ïîêàçàííîé íà ðèñ. 1. Çäåñü ÂÝ � âåðõíèé ýëåêòðîä, ÏÏ � ïüåçîýëåêòðè÷åñêèé ïðåîáðàçîâàòåëü, ÑÑ � ñâÿçóþùèå ÏÏ ñî ñðåäîé ÀΠ(ÑÇÏ) ñëîè, êîòîðûå ñîçäàþòñÿ ìåòîäàìè ìèê- ðîýëåêòðîííîé òåõíîëîãèè [5]. Ðèñ. 1. Ñòðóêòóðà ýëåêòðîàêóñòè÷åñêîãî ïðåîáðàçîâàòå- ëÿ â âèäå ïüåçîýëåêòðè÷åñêîé ïëàñòèíû ñ äâóõñòîðîííåé àêóñòè÷åñêîé íàãðóçêîé Ðàññìîòðèì ïëàñòèíêó ïüåçîýëåêòðèêà (ÏÏ) òîëùèíîé d, èìåþùåé ïëîùàäü ïîïåðå÷íîãî ñå÷åíèÿ S. Ïðåäïîëîæèì, ÷òî íà ïîâåðõíîñòè çàäàí ïîòåíöèàë U=U0exp(iωt) (ãäå U0 � àìïëèòóäíîå çíà÷åíèå ïðèëîæåííîãî íàïðÿæåíèÿ, i= −1 , ω � öèêëè÷åñêàÿ ÷àñòîòà, t � âðåìÿ), à ñìåùåíèå ÷àñòèö ìàòåðèàëà çàâèñèò îò êîîðäèíàòû Y, íàïðàâëåííîé ïåðïåíäèêóëÿðíî ïîâåðõíîñòè (ðèñ. 1). Àìïëèòóäà ñìåùåíèÿ ξ óäîâëåòâîðÿåò âîëíîâî- ìó óðàâíåíèþ è ïðåäñòàâèìà â âèäå ξ=[b1sin(kY)+b2cos(kY)]exp(iωt), (1) ãäå b1, b2 � àìïëèòóäíûå çíà÷åíèÿ ñìåùåíèÿ, k � âîëíî- âîå ÷èñëî. Îòñþäà ñëåäóåò, ÷òî êîëåáàòåëüíûå ñêîðîñòè ν1 è ν2 ðàâíû: ν ξ ω1 0 2= = = ä ät i b Y , ν ξ ω ν2 1 1= = − − = ä ät i b kd kd Y d sin( ) cos( ) . (2) Âûðàæåíèå äëÿ b1 èìååò âèä b kd i kd1 2 1= −ν ν ω cos( ) sin( ) . (3) Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 21.02 2000 ã. Îïïîíåíò ê. ô.-ì. í. Ñ. Ï. ÑÅÐÃÈÅÍÊÎ Ê. ò. í. Â. Â. ÄÀÍÈËÎÂ, Ñ. Â. ÈÂÀÍΠÓêðàèíà, ã. Äîíåöê, ÍÈÈ êîìïëåêñíîé àâòîìàòèçàöèè ÝËÅÊÒÐÈ×ÅÑÊÈÉ ÈÌÏÅÄÀÍÑ ÝËÅÊÒÐÎÀÊÓÑÒÈ×ÅÑÊÎÃÎ ÏÐÅÎÁÐÀÇÎÂÀÒÅËß 0 d Y F1 F2 ν1 ν2 ÂÝ ÏÏ ÑÑ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 4 23 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÀß ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ þò çíà÷åíèÿ Z1=�iZp/sin(kd), Z2=�iZptg(kd/2).  ñîñòàâå ñõåìû èìååòñÿ ïðàêòè÷åñêè íå ðåàëèçóå- ìûé ýëåìåíò � îòðèöàòåëüíàÿ åìêîñòü. (Äàëåå ýòî íå ñîçäàåò êàêèõ-ëèáî çàòðóäíåíèé, ïîñêîëüêó ñõå- ìà òðàíñôîðìèðóåòñÿ òàê, ÷òî â íåé èñïîëüçóþòñÿ òîëüêî ðåàëüíûå ýëåìåíòû.) Ïðåäïîëîæèì, ÷òî ÏÏ íà âûõîäàõ (F1, ν1) è (F2, ν2) ìåõàíè÷åñêè íàãðóæåí íà èìïåäàíñû ÂÝ è ÑÑ, ðàâ- íûå Zd è Zpr, ñîîòâåòñòâåííî. Àêóñòè÷åñêèé èìïå- äàíñ äàííîé ñèñòåìû ñî ñòîðîíû âòîðè÷íîé îáìîòêè ýëåêòðîìåõàíè÷åñêîãî òðàíñôîðìàòîðà (àêóñòè÷åñ- êàÿ ñòîðîíà) ðàâåí Z iZ Z iZ Z iZ Z Z iZ a p d p pr p d pr p= + + + + − ( tg )( tg ) tg sin( ) ϕ ϕ ϕ ϕ2 2 , (11) ãäå ôàçîâàÿ ïîñòîÿííàÿ ϕ=kd/2. Èñïîëüçîâàíèå ðàçëîæåíèé ôóíêöèé tg ϕ è sin(2ϕ) â îêðåñòíîñòè ÷àñòîòû ïîëóâîëíîâîãî ðåçîíàíñà ÏÏ (d=λ/2, ω=ωa) ïðè ϕ=π(1+δ)/2 ïðèâîäèò Za ê âèäó Za=(Zd+Zpr)/4+iZpπδ/4. (12) Çäåñü tg ϕ=(π2δ2�8)/4πδ, sin(2ϕ)=�πδ, ãäå δ=(ω�ωa)/ωa � îòíîñèòåëüíàÿ ÷àñòîòíàÿ ðàññòðîéêà. Âûðàæåíèå äëÿ Za ýêâèâàëåíòíî èìïåäàíñó íà- ãðóæåííîãî ïîñëåäîâàòåëüíîãî êîëåáàòåëüíîãî êîí- òóðà ~ ~LC . Ñõåìà ÏÏ íà ðèñ. 2 ïðèíèìàåò âèä, ïîêà- çàííûé íà ðèñ. 3. Ïðè ïåðåíîñå ýëåìåíòîâ íà ýëåêòðè÷åñêóþ ÷àñòü èìïåäàíñ Za íåîáõîäèìî ðàçäåëèòü íà N2. Òîãäà, ñ ó÷åòîì �Ñ0, ïîëó÷èì ýëåêòðè÷åñêóþ ýêâèâàëåíòíóþ ñõåìó ÏÏ (ðèñ. 4). Çäåñü äëÿ êîìïåíñàöèè åìêîñòè Ñ0 äîáàâëåíà èíäóêòèâíîñòü L0, ïîäêëþ÷àåìàÿ ñíà- ðóæè ÏÏ. Çíà÷åíèÿ L, C: L=Zpπ/(2ωrK), C=2K/(πωrZp). Äëÿ ìàòåðèàëîâ, îáëàäàþùèõ ïüåçîýôôåêòîì, ñïðà- âåäëèâû ñëåäóþùèå óðàâíåíèÿ äëÿ ìåõàíè÷åñêîãî íà- ïðÿæåíèÿ Ò è ýëåêòðè÷åñêîé èíäóêöèè D [6, ñ. 360]: Ò=ñÅ ä äY ξ �åÒÅ; (4) D=åÒ ä äY ξ +εηÅ, (5) Äëÿ íàõîæäåíèÿ ñèë F1 è F2 ïîäñòàâèì íàïðÿ- æåííîñòü ïîëÿ Å=(D�εη)/εη â óðàâíåíèå (4), òîãäà Ò=ñDη�eD/εη . (6) Ýëåêòðè÷åñêàÿ èíäóêöèÿ D ñâÿçàíà ñ òîêîì I, òåêóùèì ÷åðåç ÏÏ ñ ïëîùàäüþ S, ñîîòíîøåíèåì D=I/(iωS). Ó÷èòûâàÿ, ÷òî F1=�ST|Y=0, ïîëó÷àåì: F1=�iZp[ν2/sin(kd)�ν1/tg(kd)]+ieI/(ωεη), (7) ãäå Zp � âîëíîâîå àêóñòè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå ÏÏ: Zp=ScDk/ω. Àíàëîãè÷íî, äëÿ F2: F2=�ST |Y=d= =�iZp[ν1/sin(kd)�ν2/tg(kd)]+ieI/(ωεη). (8) Èíòåãðèðóÿ óðàâíåíèå (5) ñ ó÷åòîì îòñóòñòâèÿ çàðÿäîâ (div → D=0), ïîëó÷èì: Dd=e(ξ|Y=d�ξ|Y=0)�Uεη, (9) ãäå U EdY d = ∫ 0 � ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ íà ýëåêòðîäàõ ïëàñòèíû � U=[�e/(iωεη)](ν2�ν1)+Id/(iωSεη). (10) Ñîâîêóïíîñòü (7), (8), (10) îïèñûâàåò øåñòè- ïîëþñíèê, õàðàêòåðèçóåìûé äâóìÿ ìåõàíè- ÷åñêèìè ñòîðîíàìè è îäíîé ýëåêòðè÷åñêîé. Äëÿ òà- êîãî øåñòèïîëþñíèêà Ìýçîíîì [7] ïðåäëîæåíà ýê- âèâàëåíòíàÿ ñõåìà, âêëþ÷àþùàÿ â ñåáÿ èäåàëüíûé ýëåêòðîìåõàíè÷åñêèé òðàíñôîðìàòîð (ðèñ. 2). Êîýôôèöèåíò òðàíñôîðìàöèè øåñòèïîëþñíèêà (ðèñ. 2) ðàâåí N=eC0/εη; C0=Sεη/d � ñòàòè÷åñ- êàÿ åìêîñòü çàæàòîãî ÏÏ. Èìïåäàíñû Z1 è Z2 èìå- I �C0 C0 1:N Z1 Z2 Z2 ν1 ν2 F1 F2 Ðèñ. 2. Ýêâèâàëåíòíàÿ ñõåìà äâóõñòîðîííå íàãðóæåí- íîãî ÏÏ L ~ Ðèñ. 3. Òðàíñôîðìèðîâàííàÿ ýêâèâàëåíòíàÿ ñõåìà ÏÏ �C0 C0 1:N Zd/4 Zpr/4 C ~ L Ðèñ. 4. Ýëåêòðè÷åñêàÿ ýêâèâàëåíòíàÿ ñõåìà ÏÏ C0 Zd/4K Zpr/4K C L0 ãäå ñÅ � åÒ � εη � ìîäóëü óïðóãîñòè, èçìåðåííûé ïðè ïîñòîÿííîì ýëåêòðè÷åñêîì ïîëå Å; ïüåçîýëåêòðè÷åñêèé ìîäóëü, èçìåðåííûé ïðè ïî- ñòîÿííîì íàïðÿæåíèè Ò; äèýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü, èçìåðåííàÿ ïðè ïîñòîÿííîé ìåõàíè÷åñêîé äåôîðìàöèè η= ä äY ξ . Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2000, ¹ 4 24 ÝËÅÊÒÐÎÍÍÀß ÀÏÏÀÐÀÒÓÐÀ: ÈÑÑËÅÄÎÂÀÍÈß, ÐÀÇÐÀÁÎÒÊÈ Êîýôôèöèåíò òðàíñôîðìàöèè N2=K ðàâåí K k k Ñ Vp p= − 'ýì 'ýì . 2 2 2 0 2 2 1 8 π ρ εη (13) Çäåñü ρp, Vp � ïëîòíîñòü ìàòåðèàëà ÏÏ è ñêî- ðîñòü çâóêà â ÏÏ, ñîîòâåòñòâåííî. ×àñòîòó ðåçîíàí- ñà ωr=1/ LC ñâîáîäíîé ÏÏ ìîæíî íàéòè èñïîëü- çóÿ óðàâíåíèå [6, c. 378], ñâÿçûâàþùåå åå ñ ÷àñòîòîé àíòèðåçîíàíñà ωà=πVp/d: k r a r a 'ýì tg .2 2 2 π ω ω πω ω       = (14) Êâàäðàò êîýôôèöèåíòà ýëåêòðîìåõàíè÷åñêîé ñâÿ- çè k2 ýì õàðàêòåðèçóåò äîëþ ýëåêòðè÷åñêîé ýíåðãèè, ïåðåøåäøåé â óïðóãóþ ìåõàíè÷åñêóþ ýíåðãèþ, è c êîýôôèöèåíòîì ýëåêòðè÷åñêîé ñâÿçè k ñâÿçàí âû- ðàæåíèÿìè k=C/C0, k=k2 ýì/(1�k2 ýì). Âõîäíîé ýëåêòðè÷åñêèé èìïåäàíñ ÏÏ ñ øóí- òèðóþùåé èíäóêòèâíîñòüþ L0 ðàâåí Z i L R i L C X L C R i L C X i L e = + − + − + − + + ω ω ω ω ω ω ω 0 2 0 0 0 1 1 1 [ ( / )] ( )[ ( / )] ,(15) ãäå R=R(Ω) è X=X(Ω) � âåùåñòâåííàÿ è ìíèìàÿ ÷àñòè ñóììû èìïåäàíñîâ ÂÝ è ÑÑ; Ω=ω/ωr � îòíîñèòåëüíàÿ ÷àñòîòà. (×àñòîòíûå çàâèñèìîñòè R=R(Ω) è X=X(Ω), íîð- ìèðîâàííûå íà àêóñòè÷åñêîå ñîïðîòèâëåíèå ñâåòîçâóêî- ïðîâîäà, îïðåäåëåíû â [4].) ×àñòîòà ðåçîíàíñà íàãðóæåííîé ÏÏ ω0 ÿâëÿåòñÿ ðåøåíèåì òðàíñöåíäåíòíîãî óðàâíåíèÿ äëÿ ðåàêòèâ- íîé ñîñòàâëÿþùåé èìïåäàíñà â êîíòóðå îòíîñèòåëü- íî âåëè÷èíû Ω0=ω0/ωr: Ω0 2�1+Ω0CX(Ω0)=0. (16) Óìíîæèâ ÷èñëèòåëü è çíàìåíàòåëü (15) íà ωC, à òàêæå ó÷èòûâàÿ ñîîòíîøåíèÿ äëÿ ωr è k è ÷òî ω0=1/ L C0 0 , ïîëó÷èì: Z i L RC i CX RC i CX ik e = + − + − + − + + ω ω ω ω ω ω ω ω ω 0 2 2 0 2 2 2 0 2 1 1 1 [ ( )] ( / )[ ( )] / . Ω Ω (17) Êîìïîíåíòû (17) ïðåäñòàâèì â âèäå ω ω ω ω π π CX CX C L X C L X X Z X r r p = = = = =Ω Ω Ω Ω~ ~ ; 2 2 (18) ω ω ω ω π RX RX C L R R r r= = =Ω Ω2 , (19) ãäå X � , R � � íîðìèðîâàííûå íà Zp çíà÷åíèÿ X è R. C ó÷åòîì âûðàæåíèé (18), (19) âõîäíîé èìïå- äàíñ (17) ïðèíèìàåò âèä [ ] [ ]Z i L R i X R i X ik e = + − + − + − + + ω π π π π 0 2 0 2 0 2 2 2 2 2 1 2 2 1 2 Ω Ω Ω Ω Ω Ω Ω Ω Ω Ω / ( / ) ( ) / ( / ) . (20) Äëÿ ÏÏ, íå çàøóíòèðîâàííîãî èíäóêòèâíîñòüþ L0, èìïåäàíñ Zå ðàâåí Z i C R i X R i k X e r = − + − + + − − +ω π π π π0 2 2 2 1 2 2 1 2Ω Ω Ω Ω Ω Ω Ω / ( / ) / ( / ) . (21) Ïðè äàëüíåéøåì àíàëèçå âîçáóæäåíèÿ óïðóãèõ âîëí â ñòðóêòóðå ÂÝ�ÏÏ�ÑÑ�ÑÇÏ âîñïîëüçóåìñÿ êîýôôèöèåíòîì îòðàæåíèÿ à íà âõîäå ýêâèâàëåíò- íîé ñõåìû (ðèñ. 4): − = − + Γ( ) ( ) ( ) ,i Z i R Z i R e g e g ω ω ω (22) ãäå Rg � âîëíîâîå ñîïðîòèâëåíèå ñëåâà îò âõîäà ÏÏ. Âåëè÷èíà àêóñòè÷åñêîé ìîùíîñòè, èçëó÷àåìîé ÏÏ â íàïðàâëåíèè ÂÝ è ÑÑ, ðàâíà [2, ñ. 39] ~ Ðà=Ð0(1�| à | 2), (23) ãäå Ð0 � ýëåêòðè÷åñêàÿ ìîùíîñòü ïîäâîäèìîãî ñèãíàëà. Ó÷èòûâàÿ, ÷òî ÂÝ è ÑÑ îáðàçóþò äåëèòåëü ìîù- íîñòè, àêóñòè÷åñêàÿ ìîùíîñòü, îòäàâàåìàÿ ÷åðåç ÑÑ â ÑÇÏ, ðàâíà P P Z Z Za a pr pr d = + ~ Re Re( ) . (24)  êà÷åñòâå ïðèìåðà ïðàêòè÷åñêîé çíà÷èìîñòè (21) ïðèâåäåì ðåçóëüòàòû ñðàâíèòåëüíîãî àíàëèçà (ñì. ðèñ. 5) ðàñ÷åòîâ ÷àñòîòíîé çàâèñèìîñ- òè ìîäóëÿ âõîäíîãî ýëåêòðè÷åñêîãî èìïåäàíñà | Z e | ïüåçîïðåîáðàçîâàòåëåé ÀÎß ïî ïðåäëîæåííîé ìåòî- äèêå è âåëè÷èí | Z e | , ïîëó÷åííûõ ýêñïåðèìåíòàëüíî äëÿ ñòðóêòóð ÏÏ�ÑÑ�ÑÇÏ. Èññëåäîâàëèñü ñòðóêòóðû [3] LiNbO3�Ep�SiO2, LiNbO3�Ep�ÒÔ10, LiNbO3�Cu�In�Cu�SiO2, LiNbO3�In�PbMoO4 (YZ-ñðåç), LiNbO3�In�ÒÔ1, ãäå Ep � ñâÿçóþùèé ñëîé íà îñíîâå ýïîêñèäíîé ñìîëû ÝÄ-20, Cu�In�Cu � ñâÿçóþùèå ñëîè òèïà «ìåäü� èíäèé�ìåäü». Ðåçîíàíñíûå ÷àñòîòû ñòðóêòóð, ñîãëàñíî [3, ñ. 75], ñîñòàâëÿëè ñîîòâåòñòâåííî 4,22, 25,09, 168,2, 70,78, 23,98 ÌÃö, ïðè ýòîì íà÷àëüíàÿ è êîíå÷íàÿ ÷àñòîòû àíàëèçà âûáèðàëèñü ðàâíûìè 0,2Fr è 2Fr, ñîîòâåòñòâåííî. Èç ïðèâåäåííûõ ãðàôèêîâ âèäíî, ÷òî çíà÷åíèÿ èìïåäàíñîâ â äàëüíåé îáëàñòè îò ðåçîíàíñà ñ íåçíà- ÷èòåëüíûì ðàçëè÷èåì ìîæíî ñ÷èòàòü îäèíàêîâûìè. Ïîäîáíîå ñâîéñòâî îáúÿñíÿåòñÿ ñëàáûì âëèÿíèåì ôàçîâûõ ñîîòíîøåíèé â ýêâèâàëåíòíîì êîíòóðå è êîìïëåêñíîé ÷àñòîòíî-çàâèñèìîé àêóñòè÷åñêîé íàãðó- æåííîñòè â ðåàëüíîé ñòðóêòóðå ÏÏ�ÑÑ�ÑÇÏ. Òà- êèì îáðàçîì, â ýòîé îáëàñòè àïïðîêñèìàöèþ çàâèñè- ìîñòè |Ze| ïîñðåäñòâîì ÷åòûðåõýëåìåíòíîé ýêâèâà- ëåíòíîé ñõåìû ìîæíî ñ÷èòàòü óäîâëåòâîðèòåëüíîé. Èíàÿ ñèòóàöèÿ èìååò ìåñòî â îêðåñòíîñòè ðåçî- íàíñà. Ïðè ýòîì, â îáùåì ñëó÷àå, èçìåíÿåòñÿ âåùå- ñòâåííàÿ è ìíèìàÿ ÷àñòè àêóñòè÷åñêîãî èìïåäàíñà ÑÑ â ñå÷åíèè, ñìåæíîì ñ ÏÏ. Âíîñèìàÿ ðåàêòèâíàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ íàãðóçêè ñìåùàåò ðåçîíàíñíóþ ÷àñ- òîòó ñèñòåìû â öåëîì, à òàêæå ÷àñòîòó àíòèðåçîíàí- ñà. Èçìåíåíèÿ êðóòèçíû çàâèñèìîñòè èìïåäàíñà è åãî ýêñòðåìàëüíûå çíà÷åíèÿ â ðåçîíàíñíîé îáëàñòè îáóñëîâëåíû ÷àñòîòíîé çàâèñèìîñòüþ âåùåñòâåííîé ÷àñòè àêóñòè÷åñêîãî èìïåäàíñà íàãðóçêè. * * * Òàêèì îáðàçîì, ïðåäëîæåííûå ïðåäñòàâëåíèÿ (17)�(21) ïîçâîëÿþò äëÿ ýëåêòðîìåõàíè÷åñêîé ñèñ- òåìû âèäà «âíåøíèé ýëåêòðîä � ïüåçîïëàñòèíà �
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-70941
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T13:24:58Z
publishDate 2000
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Данилов, В.В.
Иванов, С.В.
2014-11-16T19:46:28Z
2014-11-16T19:46:28Z
2000
Электрический импеданс электроакустического преобразователя / В.В. Данилов, С.В. Иванов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2000. — № 4. — С. 22-24. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70941
Коэффициент передачи пьезопреобразователя можно рассчитать по результатам определения его входного импеданса.
In engineering calculation of electrical coupling coefficient of electromechanical systems will form "upper electrode - piezotransducer - coupling layers waveguide" the inaccuracy up to 300% occur because of the used Q-factor measurements and its low values. In the article theoretical basis and experimental check of possibility of basic characteristics definition for such systems by input impedance determination results have been presented.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронная аппаратура: исследования, разработки
Электрический импеданс электроакустического преобразователя
Электричний імпеданс електроакустичного перетворювача
The electrical impedance of electroacoustic transducer
Article
published earlier
spellingShingle Электрический импеданс электроакустического преобразователя
Данилов, В.В.
Иванов, С.В.
Электронная аппаратура: исследования, разработки
title Электрический импеданс электроакустического преобразователя
title_alt Электричний імпеданс електроакустичного перетворювача
The electrical impedance of electroacoustic transducer
title_full Электрический импеданс электроакустического преобразователя
title_fullStr Электрический импеданс электроакустического преобразователя
title_full_unstemmed Электрический импеданс электроакустического преобразователя
title_short Электрический импеданс электроакустического преобразователя
title_sort электрический импеданс электроакустического преобразователя
topic Электронная аппаратура: исследования, разработки
topic_facet Электронная аппаратура: исследования, разработки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70941
work_keys_str_mv AT danilovvv élektričeskiiimpedansélektroakustičeskogopreobrazovatelâ
AT ivanovsv élektričeskiiimpedansélektroakustičeskogopreobrazovatelâ
AT danilovvv élektričniiímpedanselektroakustičnogoperetvorûvača
AT ivanovsv élektričniiímpedanselektroakustičnogoperetvorûvača
AT danilovvv theelectricalimpedanceofelectroacoustictransducer
AT ivanovsv theelectricalimpedanceofelectroacoustictransducer