Иващук, А., & В.П, К. (2000). Устройство для очистки и легирования поверхности полупроводника. Технология и конструирование в электронной аппаратуре.
Chicago Style (17th ed.) CitationИващук, А.В, and Кохан В.П. "Устройство для очистки и легирования поверхности полупроводника." Технология и конструирование в электронной аппаратуре 2000.
MLA (8th ed.) CitationИващук, А.В, and Кохан В.П. "Устройство для очистки и легирования поверхности полупроводника." Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2000.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.